JPH04350194A - 部分めっき装置 - Google Patents
部分めっき装置Info
- Publication number
- JPH04350194A JPH04350194A JP15087691A JP15087691A JPH04350194A JP H04350194 A JPH04350194 A JP H04350194A JP 15087691 A JP15087691 A JP 15087691A JP 15087691 A JP15087691 A JP 15087691A JP H04350194 A JPH04350194 A JP H04350194A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plating
- mask
- plate
- nozzle
- plating solution
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はリードフレーム等の金属
板に部分的にめっきを施すための装置に関する。
板に部分的にめっきを施すための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置用リードフレームは、半導体
素子接合部及びインナーリード部にのみ金、銀等をめっ
きするのが通常であり、このような部分めっきには、被
めっき物へ下方からめっき液を噴射するノズルと、被め
っき物に密着してめっきエリアを規定するマスク板と、
このマスク板を支えるマスク支持板と、被めっき物を上
方から押える押圧板とを備えた装置を用いるのが一般的
である。
素子接合部及びインナーリード部にのみ金、銀等をめっ
きするのが通常であり、このような部分めっきには、被
めっき物へ下方からめっき液を噴射するノズルと、被め
っき物に密着してめっきエリアを規定するマスク板と、
このマスク板を支えるマスク支持板と、被めっき物を上
方から押える押圧板とを備えた装置を用いるのが一般的
である。
【０００３】該めっき装置の操作は、被めっき物をマス
ク板上に載せ、押圧板で被めっき物をマスク板に押し付
け、ノズルよりめっき液を噴射すると同時にノズル付近
に設けられた不溶性陽極と被めっき物との間に通電して
めっきするようになっている。
ク板上に載せ、押圧板で被めっき物をマスク板に押し付
け、ノズルよりめっき液を噴射すると同時にノズル付近
に設けられた不溶性陽極と被めっき物との間に通電して
めっきするようになっている。
【０００４】このような部分めっきにおいて近年、めっ
きエリアの精度、めっき厚の均一性を高めるべく種々の
改良が為され、図３にその要部平面図を、図４に断面図
を示すように複数個の開孔１が一例に配列されたマスク
板２と、該マスク板２を支えるマスク支持板３とからな
り、該マスク板２の各開孔の下にノズル４を配置しかつ
各ノズルはマスク支持板３に取付け、該マスク支持板３
にはめっき液をノズル周囲から下方へ流通せしめる孔５
と側方へ排出せしめる孔６が設けられた装置が用いられ
ている。
きエリアの精度、めっき厚の均一性を高めるべく種々の
改良が為され、図３にその要部平面図を、図４に断面図
を示すように複数個の開孔１が一例に配列されたマスク
板２と、該マスク板２を支えるマスク支持板３とからな
り、該マスク板２の各開孔の下にノズル４を配置しかつ
各ノズルはマスク支持板３に取付け、該マスク支持板３
にはめっき液をノズル周囲から下方へ流通せしめる孔５
と側方へ排出せしめる孔６が設けられた装置が用いられ
ている。
【０００５】この装置によればノズル４の先端と被めっ
き物７との距離が短かく、空間にめっき液が充満し易く
かつ強力に攪拌され、めっきにより金属濃度が低下した
めっき液を順次排出するので、エリア精度が良好で均一
な厚さのめっきを行うことができる。
き物７との距離が短かく、空間にめっき液が充満し易く
かつ強力に攪拌され、めっきにより金属濃度が低下した
めっき液を順次排出するので、エリア精度が良好で均一
な厚さのめっきを行うことができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが半導体装置用
リードフレームにおいて、１組のリードの小型のものを
１枚のシートに多列に配置してコスト節減を図る試みが
ある。そのようなリードフレームの場合被めっき個所も
多列に配置されることになるが、その部分めっきは２列
までは前記方式で実施できるものの３列以上になると中
央の列のめっき液が排出し得なくなり、全被めっき個所
に均一なめっきができなくなる。
リードフレームにおいて、１組のリードの小型のものを
１枚のシートに多列に配置してコスト節減を図る試みが
ある。そのようなリードフレームの場合被めっき個所も
多列に配置されることになるが、その部分めっきは２列
までは前記方式で実施できるものの３列以上になると中
央の列のめっき液が排出し得なくなり、全被めっき個所
に均一なめっきができなくなる。
【０００７】本発明の目的は２列以上の被めっき個所を
有する被めっき物の全列に均一なめっきを施し得る改良
された部分めっき装置を提供することにある。
有する被めっき物の全列に均一なめっきを施し得る改良
された部分めっき装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の部分めっき装置は、マスク板には複数個の開孔
が多列に配列され、各開孔の下に配置されるノズルはマ
スク支持板に取付けられ、前記マスク板下部及びマスク
支持板上部にはめっき液を側方へ流通せしめる溝及びノ
ズル周囲から下方へ流通せしめる孔が設けられ、マスク
支持板側方には前記溝及び流通孔に連続する多数個のめ
っき液排出孔が設けられている点に特徴がある。
本発明の部分めっき装置は、マスク板には複数個の開孔
が多列に配列され、各開孔の下に配置されるノズルはマ
スク支持板に取付けられ、前記マスク板下部及びマスク
支持板上部にはめっき液を側方へ流通せしめる溝及びノ
ズル周囲から下方へ流通せしめる孔が設けられ、マスク
支持板側方には前記溝及び流通孔に連続する多数個のめ
っき液排出孔が設けられている点に特徴がある。
【０００９】図１及び図２は本発明の部分めっき装置の
一実施例を示す図で、図１はその要部を概念的に示す平
面図、図２は断面図である。なお図１ではマスク板の開
孔は省略してある。この部分めっき装置は、複数個の開
孔１１が３列に配列されたマスク板１２と、該マスク板
１２を支えるマスク支持板１３とからなり、該マスク板
１２の各開孔の下にノズル１４を配置しかつ各ノズルは
マスク支持板１３に取付け、前記マスク板１２の下面に
めっき液を側方に流通せしめる溝１５が設けられ、一方
前記マスク支持板１３の上面にもめっき液を側方へ流通
せしめる溝１６が設けられ、更に該マスク支持板１３に
は側端のノズル周囲からめっき液を下方へ流通せしめる
孔１７が設けられ、マスク支持板１３の側方には前記溝
１５，１６及び流通孔１７に連続する多数個のめっき液
排出孔１８が設けられている。
一実施例を示す図で、図１はその要部を概念的に示す平
面図、図２は断面図である。なお図１ではマスク板の開
孔は省略してある。この部分めっき装置は、複数個の開
孔１１が３列に配列されたマスク板１２と、該マスク板
１２を支えるマスク支持板１３とからなり、該マスク板
１２の各開孔の下にノズル１４を配置しかつ各ノズルは
マスク支持板１３に取付け、前記マスク板１２の下面に
めっき液を側方に流通せしめる溝１５が設けられ、一方
前記マスク支持板１３の上面にもめっき液を側方へ流通
せしめる溝１６が設けられ、更に該マスク支持板１３に
は側端のノズル周囲からめっき液を下方へ流通せしめる
孔１７が設けられ、マスク支持板１３の側方には前記溝
１５，１６及び流通孔１７に連続する多数個のめっき液
排出孔１８が設けられている。
【００１０】
【作用】この部分めっき装置によるめっき操作は、被め
っき物１９をマスク板１２上に位置合せして載せ、図示
しない押圧板により上方から被めっき物１９を該マスク
板１２に押し付け、めっき液循環路の弁操作によってノ
ズル１４からめっき液を噴射すると同時に該ノズル１４
の付近に設けた図示しない不溶性陽極と被めっき物１９
との間に通電すれば良い。
っき物１９をマスク板１２上に位置合せして載せ、図示
しない押圧板により上方から被めっき物１９を該マスク
板１２に押し付け、めっき液循環路の弁操作によってノ
ズル１４からめっき液を噴射すると同時に該ノズル１４
の付近に設けた図示しない不溶性陽極と被めっき物１９
との間に通電すれば良い。
【００１１】ノズル１４から噴射されためっき液は被め
っき物１９の露出部に衝突して落下するが、両端のノズ
ルからのめっき液はノズルの側方に設けられた流通孔１
７を伝って排出孔１８から排出され、一方中央のノズル
からのめっき液はマスク板１２の下面及びマスク支持板
１３の上面に設けられた溝で形成する空間を流れ、マス
ク支持板１３の上面の排出孔から排出される。
っき物１９の露出部に衝突して落下するが、両端のノズ
ルからのめっき液はノズルの側方に設けられた流通孔１
７を伝って排出孔１８から排出され、一方中央のノズル
からのめっき液はマスク板１２の下面及びマスク支持板
１３の上面に設けられた溝で形成する空間を流れ、マス
ク支持板１３の上面の排出孔から排出される。
【００１２】
【発明の効果】このようにめっき液の流通が改善された
ことにより、被めっき物の全列に均一なめっきを施すこ
とができるようになった。
ことにより、被めっき物の全列に均一なめっきを施すこ
とができるようになった。
【００１３】前記実施例は被めっき個所が３列の場合を
示したが、４列、５列の場合も同様であり、本発明は２
列以上の多列部分めっきに好適の装置である。
示したが、４列、５列の場合も同様であり、本発明は２
列以上の多列部分めっきに好適の装置である。
【図１】本発明による部分めっき装置の一実施例の要部
を概念的に示す平面図である。
を概念的に示す平面図である。
【図２】本発明による部分めっき装置の一実施例の要部
を概念的に示す断面図である。
を概念的に示す断面図である。
【図３】従来の部分めっき装置の構成例を示す要部平面
図である。
図である。
【図４】従来の部分めっき装置の構成例を示す要部断面
図である。
図である。
２ 従来の部分めっき装置のマスク板３
従来の部分めっき装置のマスク支持板４
従来の部分めっき装置のノズル１２ 本発
明部分めっき装置のマスク板１３ 本発明部分め
っき装置のマスク支持板１４ 本発明部分めっき
装置のノズル１５ マスク板下面の溝 １６ マスク支持板上面の溝 １７ めっき液流通孔 １８ めっき液排出孔
従来の部分めっき装置のマスク支持板４
従来の部分めっき装置のノズル１２ 本発
明部分めっき装置のマスク板１３ 本発明部分め
っき装置のマスク支持板１４ 本発明部分めっき
装置のノズル１５ マスク板下面の溝 １６ マスク支持板上面の溝 １７ めっき液流通孔 １８ めっき液排出孔
Claims (1)
- 【請求項１】 被めっき物へ下方からめっき液を噴射
するノズルと、被めっき物に密着してめっきエリアを規
定するマスク板と、このマスク板を支えるマスク支持板
と、被めっき物を上方から押える押圧板とを備えた部分
めっき装置において、マスク板には複数個の開孔が多列
に配列され、各開孔の下に配置されるノズルはマスク支
持板に取付けられており、前記マスク板下面及びマスク
支持板上面にはめっき液を側方へ流通せしめる溝及びノ
ズル周囲から下方へ流通せしめる孔が設けられ、マスク
支持板側方には前記溝及び流通孔に連続する多数個のめ
っき液排出孔が設けられてなる部分めっき装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15087691A JPH0819543B2 (ja) | 1991-05-28 | 1991-05-28 | 部分めっき装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15087691A JPH0819543B2 (ja) | 1991-05-28 | 1991-05-28 | 部分めっき装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04350194A true JPH04350194A (ja) | 1992-12-04 |
| JPH0819543B2 JPH0819543B2 (ja) | 1996-02-28 |
Family
ID=15506311
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15087691A Expired - Lifetime JPH0819543B2 (ja) | 1991-05-28 | 1991-05-28 | 部分めっき装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0819543B2 (ja) |
-
1991
- 1991-05-28 JP JP15087691A patent/JPH0819543B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0819543B2 (ja) | 1996-02-28 |
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