JPH04354314A - 積層セラミックインダクタの製造方法 - Google Patents
積層セラミックインダクタの製造方法Info
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- JPH04354314A JPH04354314A JP3155151A JP15515191A JPH04354314A JP H04354314 A JPH04354314 A JP H04354314A JP 3155151 A JP3155151 A JP 3155151A JP 15515191 A JP15515191 A JP 15515191A JP H04354314 A JPH04354314 A JP H04354314A
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- ferrite
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- magnet
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Landscapes
- Hard Magnetic Materials (AREA)
- Soft Magnetic Materials (AREA)
- Manufacturing Cores, Coils, And Magnets (AREA)
- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、品質係数およびインダ
クタンス値の優れた積層セラミックインダクタの製造方
法に関する。
クタンス値の優れた積層セラミックインダクタの製造方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の積層セラミックインダクタの製造
方法では、例えばＮｉ・Ｚｎ系のフェライト磁性粉末と
有機バインダとを混合したスラリーをシート状に形成し
、得られたシートの各々の上に、積層されたときコイル
を構成するように配分された種々の異なるパターンを導
電ペーストでそれぞれ形成し、これら複数枚のシートを
積層圧着し、所定寸法に裁断して、対向する２つの端面
に前記コイルの端末がそれぞれ導出された状態で焼成し
、コイルの端末が導出された前記両端面にそれぞれ導電
性ペーストを塗布して焼き付け外部電極を構成している
。
方法では、例えばＮｉ・Ｚｎ系のフェライト磁性粉末と
有機バインダとを混合したスラリーをシート状に形成し
、得られたシートの各々の上に、積層されたときコイル
を構成するように配分された種々の異なるパターンを導
電ペーストでそれぞれ形成し、これら複数枚のシートを
積層圧着し、所定寸法に裁断して、対向する２つの端面
に前記コイルの端末がそれぞれ導出された状態で焼成し
、コイルの端末が導出された前記両端面にそれぞれ導電
性ペーストを塗布して焼き付け外部電極を構成している
。
【０００３】前記コイルを構成する導電ペーストは、金
属の抵抗値が低いこととコスト面を考慮してＡｇペース
トが用いられている。このＡｇペーストはフェライト素
体とともに焼成される。
属の抵抗値が低いこととコスト面を考慮してＡｇペース
トが用いられている。このＡｇペーストはフェライト素
体とともに焼成される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、Ａｇペ
ーストをコイル導体とした積層セラミックインダクタは
焼成温度を高くするとフェライトの焼成密度が高くなり
、インダクタンス（Ｌ）を高める効果があるが、Ａｇが
フェライト素体中に拡散して、フェライト素体の抵抗値
を低下させ、その結果品質係数（Ｑ）を低下させる。 したがって、Ｌ、Ｑの兼ね合いから焼成温度を決定し、
いずれか一方の特性を犠牲にしているのが現状で、Ｌ、
Ｑともに満足すべき値を持つ積層セラミックインダクタ
を得ることは困難であるという課題があった。
ーストをコイル導体とした積層セラミックインダクタは
焼成温度を高くするとフェライトの焼成密度が高くなり
、インダクタンス（Ｌ）を高める効果があるが、Ａｇが
フェライト素体中に拡散して、フェライト素体の抵抗値
を低下させ、その結果品質係数（Ｑ）を低下させる。 したがって、Ｌ、Ｑの兼ね合いから焼成温度を決定し、
いずれか一方の特性を犠牲にしているのが現状で、Ｌ、
Ｑともに満足すべき値を持つ積層セラミックインダクタ
を得ることは困難であるという課題があった。
【０００５】本発明の目的は、上記積層セラミックイン
ダクタの製造方法を改善して、インダクタンス（Ｌ）を
高くすることができ、しかもＡｇのフェライト素体中へ
の拡散が抑制されるため品質係数Ｑの低下が生じない製
造方法を提供することにある。
ダクタの製造方法を改善して、インダクタンス（Ｌ）を
高くすることができ、しかもＡｇのフェライト素体中へ
の拡散が抑制されるため品質係数Ｑの低下が生じない製
造方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者は上記目的を達
成すべく研究の結果、磁性フェライト粉末と有機バイン
ダーを混合したフェライトスラリーをフェライトグリー
ンシートに成形し、さらにコイルを形成する導電ペース
トを塗布し、積層、圧着、裁断、焼成し、これに外部端
子を形成する積層セラミックインダクタの製造方法にお
いて、上記フェライトグリーンシートを成形するに当っ
て相対向して配置された同極または異極の磁石によって
与えられる磁場中で成形すれば、成形密度が増大するの
でインダクタ素体が通常の焼成温度よりも数１０度（℃
）低い温度で焼成された場合でも従来と同等の焼成密度
が得られ、しかも品質係数Ｑを低下させないインダクタ
素子が得られることを見出し、本発明に到達した。
成すべく研究の結果、磁性フェライト粉末と有機バイン
ダーを混合したフェライトスラリーをフェライトグリー
ンシートに成形し、さらにコイルを形成する導電ペース
トを塗布し、積層、圧着、裁断、焼成し、これに外部端
子を形成する積層セラミックインダクタの製造方法にお
いて、上記フェライトグリーンシートを成形するに当っ
て相対向して配置された同極または異極の磁石によって
与えられる磁場中で成形すれば、成形密度が増大するの
でインダクタ素体が通常の焼成温度よりも数１０度（℃
）低い温度で焼成された場合でも従来と同等の焼成密度
が得られ、しかも品質係数Ｑを低下させないインダクタ
素子が得られることを見出し、本発明に到達した。
【０００７】すなわち本発明は、磁性フェライト粉末を
有機バインダーおよび有機溶剤と混練して得られたフェ
ライトスラリーをシート状に成形し、得られたフェライ
トグリーンシートにコイル形成用の導電ペーストを塗布
して積層用シートをつくり、これら積層用シートを複数
枚積層、圧着し、裁断、焼成して得られた素子に外部端
子を形成することからなる積層セラミックインダクタの
製造方法において、上記フェライトグリーンシートの成
形を、好ましくは該シートの厚み方向に直交する方向あ
るいは厚み方向と平行する方向に印加された磁場中で行
うことを特徴とする積層セラミックインダクタの製造方
法を提供するものである。
有機バインダーおよび有機溶剤と混練して得られたフェ
ライトスラリーをシート状に成形し、得られたフェライ
トグリーンシートにコイル形成用の導電ペーストを塗布
して積層用シートをつくり、これら積層用シートを複数
枚積層、圧着し、裁断、焼成して得られた素子に外部端
子を形成することからなる積層セラミックインダクタの
製造方法において、上記フェライトグリーンシートの成
形を、好ましくは該シートの厚み方向に直交する方向あ
るいは厚み方向と平行する方向に印加された磁場中で行
うことを特徴とする積層セラミックインダクタの製造方
法を提供するものである。
【０００８】
【作用】磁場中で磁性フェライトのグリーンシートを成
形すると磁界方向の成形密度が向上する。このシートに
導電ペーストを塗布してコイルを形成し、圧着して焼成
すると、低温焼成でも焼成密度を高めることができるた
め、Ａｇの拡散を防いで焼成することができる。したが
って品質係数Ｑを低下させずに磁気特性の優れた積層セ
ラミックインダクタを製造することができる。
形すると磁界方向の成形密度が向上する。このシートに
導電ペーストを塗布してコイルを形成し、圧着して焼成
すると、低温焼成でも焼成密度を高めることができるた
め、Ａｇの拡散を防いで焼成することができる。したが
って品質係数Ｑを低下させずに磁気特性の優れた積層セ
ラミックインダクタを製造することができる。
【０００９】
【実施例１】図１は本発明の１実施例において用いられ
たベースフィルム上へのフェライトスラリーの塗工装置
の模式断面図であって、以下、この図を参照して説明す
る。
たベースフィルム上へのフェライトスラリーの塗工装置
の模式断面図であって、以下、この図を参照して説明す
る。
【００１０】Ｆｅ２ Ｏ３ ：４９モル％、ＮｉＯ：２
１モル％、ＺｎＯ：２０モル％およびＣｕＯ：１０モル
％を秤量し、水とともにボールミルに投入して混合・分
散を行い、ボールミルから取り出して乾燥した後、大気
中 ８００℃で２時間加熱し仮焼した。その後再び水と
ともにボールミルに投入して１５時間解砕し、ボールミ
ルから取り出して乾燥してフェライト粉末を得た。この
フェライト粉末にポリブチラールを主成分とする有機バ
インダーと有機溶剤を加え、混練して粘度 ４，２００
ｃｐ のフェライトスラリーを得た。
１モル％、ＺｎＯ：２０モル％およびＣｕＯ：１０モル
％を秤量し、水とともにボールミルに投入して混合・分
散を行い、ボールミルから取り出して乾燥した後、大気
中 ８００℃で２時間加熱し仮焼した。その後再び水と
ともにボールミルに投入して１５時間解砕し、ボールミ
ルから取り出して乾燥してフェライト粉末を得た。この
フェライト粉末にポリブチラールを主成分とする有機バ
インダーと有機溶剤を加え、混練して粘度 ４，２００
ｃｐ のフェライトスラリーを得た。
【００１１】これとは別に、Ａｇ粉末とエチルセルロー
スとα−ターピネオールとブチルカルビトールアセテー
トを混練したＡｇペーストを用意した。
スとα−ターピネオールとブチルカルビトールアセテー
トを混練したＡｇペーストを用意した。
【００１２】一方、図１に見られるように、上下に同極
が対向した所謂突き合わせ磁石５を設置し、その磁石の
磁極間を水平に通過するようにポリエチレンテレフタレ
ートのベースフィルム３を走行させ、前記ベースフィル
ムが走行する方向に見て磁石の後方にドクターブレード
６を配し、一方磁石の前方に乾燥炉（図示せず）を配し
、ベースフィルム３が支持板４上を連続して走行する塗
工装置を用意した。
が対向した所謂突き合わせ磁石５を設置し、その磁石の
磁極間を水平に通過するようにポリエチレンテレフタレ
ートのベースフィルム３を走行させ、前記ベースフィル
ムが走行する方向に見て磁石の後方にドクターブレード
６を配し、一方磁石の前方に乾燥炉（図示せず）を配し
、ベースフィルム３が支持板４上を連続して走行する塗
工装置を用意した。
【００１３】前記塗工装置において、フェライトスラリ
ー溜り２を介してフェライトスラリーを塗工したベース
フィルムを搬送する速度を２ｍ／ｍｉｎに設定し、磁界
強度はシートの長手方向に ３，０００ Ｏｅ の磁界
を印加し（７は磁力線の方向を示す）、乾燥炉の温度設
定は、４０℃から １００℃に順次昇温する温度プロフ
ァイルに設定し、前記スラリーを塗工した結果、厚さ約
５０μｍのシートを得た。得られたシートの成形密度は
２．４ｇ／ｃｍ３ であった。
ー溜り２を介してフェライトスラリーを塗工したベース
フィルムを搬送する速度を２ｍ／ｍｉｎに設定し、磁界
強度はシートの長手方向に ３，０００ Ｏｅ の磁界
を印加し（７は磁力線の方向を示す）、乾燥炉の温度設
定は、４０℃から １００℃に順次昇温する温度プロフ
ァイルに設定し、前記スラリーを塗工した結果、厚さ約
５０μｍのシートを得た。得られたシートの成形密度は
２．４ｇ／ｃｍ３ であった。
【００１４】前記シートに前記Ａｇペーストを用いて、
略コの字状のパターンを印刷した。該パターンは、該シ
ートを積層・圧着することによって、スルーホールを介
して隣接するシート間の導電ペーストが接続してコイル
を形成するパターンである。このようなシートを複数枚
積層し、略７ターン巻回された積層セラミックインダク
タを形成し、 ８７０℃の温度で焼成した。該素子の両
端には前記コイルの端末が導出され、該端面に外部電極
を構成して積層セラミックインダクタを構成した。
略コの字状のパターンを印刷した。該パターンは、該シ
ートを積層・圧着することによって、スルーホールを介
して隣接するシート間の導電ペーストが接続してコイル
を形成するパターンである。このようなシートを複数枚
積層し、略７ターン巻回された積層セラミックインダク
タを形成し、 ８７０℃の温度で焼成した。該素子の両
端には前記コイルの端末が導出され、該端面に外部電極
を構成して積層セラミックインダクタを構成した。
【００１５】焼成後積層セラミックインダクタの密度は
３０個の平均値で５．３ｇ／ｃｍ３ であり、測定周波
数１０ＭＨｚｋにおけるインダクタンス（Ｌ）の平均値
は ２．４μＨであり、品質係数（Ｑ）は６０であった
。
３０個の平均値で５．３ｇ／ｃｍ３ であり、測定周波
数１０ＭＨｚｋにおけるインダクタンス（Ｌ）の平均値
は ２．４μＨであり、品質係数（Ｑ）は６０であった
。
【００１６】なお、図２は本実施例におけるフェライト
スラリー中のフェライトの並び方を示す模式断面図であ
る。
スラリー中のフェライトの並び方を示す模式断面図であ
る。
【００１７】
【実施例２】実施例１において、同極が対向した磁石５
を用いて磁界強度はシートの長手方向に ３，０００
Ｏｅ の磁界を印加したことに代えて、異極が対向し、
磁界の方向がシートの厚みの方向に ５，０００ Ｏｅ
の磁界を印加したこと以外は、実施例１と同様に行っ
た結果、焼成後の密度は ５．２ｇ／ｃｍ３ であり、
測定周波数１０ＭＨｚｋにおけるインダクタンス（Ｌ）
の平均値は ２．３μＨであり、品質係数（Ｑ）は５９
であった。
を用いて磁界強度はシートの長手方向に ３，０００
Ｏｅ の磁界を印加したことに代えて、異極が対向し、
磁界の方向がシートの厚みの方向に ５，０００ Ｏｅ
の磁界を印加したこと以外は、実施例１と同様に行っ
た結果、焼成後の密度は ５．２ｇ／ｃｍ３ であり、
測定周波数１０ＭＨｚｋにおけるインダクタンス（Ｌ）
の平均値は ２．３μＨであり、品質係数（Ｑ）は５９
であった。
【００１８】なお、図４は本実施例におけるフェライト
スラリシート中のフェライトの並び方を示す模式断面図
である。
スラリシート中のフェライトの並び方を示す模式断面図
である。
【００１９】
【比較例】実施例１において、フェライトグリーンシー
トを磁場中で成形しなかったことと、焼成温度を ８７
０℃に代えて ９２０℃としたこと以外は実施例１と同
様に行った結果、焼成後の密度は ５．３ｇ／ｃｍ３
であり、測定周波数１０ＭＨｚｋにおけるインダクタン
ス（Ｌ）の平均値は ２．２μＨであり、品質係数（Ｑ
）は４８であった。
トを磁場中で成形しなかったことと、焼成温度を ８７
０℃に代えて ９２０℃としたこと以外は実施例１と同
様に行った結果、焼成後の密度は ５．３ｇ／ｃｍ３
であり、測定周波数１０ＭＨｚｋにおけるインダクタン
ス（Ｌ）の平均値は ２．２μＨであり、品質係数（Ｑ
）は４８であった。
【００２０】なお、図３は本比較例におけるフェライト
スラリシート中のフェライトの並び方を示す模式断面図
である。
スラリシート中のフェライトの並び方を示す模式断面図
である。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の方法によ
れば、上記実施例に示したように数十度低い温度で焼成
して、従来と同等の焼成密度を得ることができる。した
がって、Ａｇの拡散を少なくしてＱ特性の低下を防止し
、高いインダクタンス（Ｌ）と大きな品質係数（Ｑ）を
同時に具備した積層セラミックインダクタを提供するこ
とができる。この効果は多大である。
れば、上記実施例に示したように数十度低い温度で焼成
して、従来と同等の焼成密度を得ることができる。した
がって、Ａｇの拡散を少なくしてＱ特性の低下を防止し
、高いインダクタンス（Ｌ）と大きな品質係数（Ｑ）を
同時に具備した積層セラミックインダクタを提供するこ
とができる。この効果は多大である。
【図１】本発明の１実施例に用いられたフェライトスラ
リーのベースフィルム上への塗工装置の主要部を示す模
式断面図である。
リーのベースフィルム上への塗工装置の主要部を示す模
式断面図である。
【図２】ベースフィルム上に塗工されたフェライトスラ
リーに、本発明の方法によりシートの長手方向に磁場を
印加した際のフェライトの並び方を示す模式断面図であ
る。
リーに、本発明の方法によりシートの長手方向に磁場を
印加した際のフェライトの並び方を示す模式断面図であ
る。
【図３】シート上に塗工されたフェライトスラリーに、
磁場を印加しなかった場合のフェライトスラリー中のフ
ェライトの並び方を示す模式断面図である。
磁場を印加しなかった場合のフェライトスラリー中のフ
ェライトの並び方を示す模式断面図である。
【図４】ベースフィルム上に塗工されたフェライトスラ
リーに、本発明の方法によりシートの厚み方向に磁場を
印加した際のフェライトの並び方を示す模式断面図であ
る。
リーに、本発明の方法によりシートの厚み方向に磁場を
印加した際のフェライトの並び方を示す模式断面図であ
る。
１ フェライト
２ フェライトスラリー溜り
３ ベースフィルム
４ 支持板
５ 同極が対向した磁石
６ ドクターブレード
７ 磁力線の向き
Claims (3)
- 【請求項１】 磁性フェライト粉末を有機バインダー
等と混練して得られたフェライトスラリーを磁場中でシ
ート状に成形し、得られたフェライトグリーンシートに
コイル形成用の導電ペーストを塗布して積層用シートを
つくり、これら積層用シートを複数枚積層、圧着し、裁
断、焼成して得られた素子に外部端子を形成することか
らなる積層セラミックインダクタの製造方法。 - 【請求項２】 上記フェライトグリーンシートの磁場
中成形における磁界の方向が該シートの厚み方向に直交
する方向である請求項１記載の方法。 - 【請求項３】 上記フェライトグリーンシートの磁場
中成形における磁界の方向が該シートの厚み方向と平行
する方向である請求項１記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3155151A JPH04354314A (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | 積層セラミックインダクタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3155151A JPH04354314A (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | 積層セラミックインダクタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04354314A true JPH04354314A (ja) | 1992-12-08 |
Family
ID=15599653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3155151A Withdrawn JPH04354314A (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | 積層セラミックインダクタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04354314A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999016089A1 (fr) * | 1997-09-22 | 1999-04-01 | Tdk Corporation | Elements ceramiques stratifies |
| US6251299B1 (en) | 1998-12-28 | 2001-06-26 | Tdk Corporation | Magnetic material, inductance element using the same and manufacturing method thereof |
-
1991
- 1991-05-31 JP JP3155151A patent/JPH04354314A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999016089A1 (fr) * | 1997-09-22 | 1999-04-01 | Tdk Corporation | Elements ceramiques stratifies |
| US6235221B1 (en) | 1997-09-22 | 2001-05-22 | Tdk Corporation | Multilayer ceramic part |
| US6251299B1 (en) | 1998-12-28 | 2001-06-26 | Tdk Corporation | Magnetic material, inductance element using the same and manufacturing method thereof |
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