JPH04364207A - 磁気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドおよびその製造方法Info
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- JPH04364207A JPH04364207A JP14025591A JP14025591A JPH04364207A JP H04364207 A JPH04364207 A JP H04364207A JP 14025591 A JP14025591 A JP 14025591A JP 14025591 A JP14025591 A JP 14025591A JP H04364207 A JPH04364207 A JP H04364207A
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Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク等の磁気
記録媒体に対して情報の記録・再生を行う磁気ヘッドと
その製造方法に関する。
記録媒体に対して情報の記録・再生を行う磁気ヘッドと
その製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、コンピュータ等の磁気記録装置
であるハードディスク装置に記録・再生を行うための磁
気ヘッドの一種である磁気回路にギャップを設けたリン
グタイプのフェライトヘッドが多用されている。
であるハードディスク装置に記録・再生を行うための磁
気ヘッドの一種である磁気回路にギャップを設けたリン
グタイプのフェライトヘッドが多用されている。
【０００３】このフェライトヘッドは、大きくモノリシ
ック型とコンポジット型に分けられ、現在では、トラッ
ク密度の増加による狭トラック化にともない、それぞれ
小型化して使用されている。
ック型とコンポジット型に分けられ、現在では、トラッ
ク密度の増加による狭トラック化にともない、それぞれ
小型化して使用されている。
【０００４】一方のモノリシック型は、スライダがヘッ
ド磁気回路を兼用しており、センタレールと称されるト
ラック幅加工が施されている。他方のコンポジット型は
、小型のフェライト磁気回路が非磁性セラミックにはめ
込まれ、ガラスモールドされている。
ド磁気回路を兼用しており、センタレールと称されるト
ラック幅加工が施されている。他方のコンポジット型は
、小型のフェライト磁気回路が非磁性セラミックにはめ
込まれ、ガラスモールドされている。
【０００５】両者一長一短があり、両方式の選択はハー
ドディスク装置の設計コンセプトに従って行われている
。
ドディスク装置の設計コンセプトに従って行われている
。
【０００６】最近では、両者のメリットを生かした小型
の２レールモノリシック型が開発され多用されている。
の２レールモノリシック型が開発され多用されている。
【０００７】以下、この小型の２レールモノリシック型
のフェライトヘッドの製造方法を説明する。
のフェライトヘッドの製造方法を説明する。
【０００８】まず、高密度フェライトとしては熱間静水
圧プレス処理をした多結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライト等の焼
結フェライトからなる素材ブロックを機械加工により切
断して平板状をなすスライダブロック、および断面略コ
字状をなすヘッドコアブロックを形成し、続いてスライ
ダブロックの一側面にヘッドコアブロックをガラスによ
り接合する。そして、ヘッドコアブロックをスライダブ
ロックとの接合面に沿って所定の間隔で切り欠いて所定
のコア幅のヘッドコアを複数形成し、この後、スライダ
ブロックの磁気ディスクと対向する面に、浮動性を上げ
るための負圧溝をヘッドコアとの接合面と直交する方向
に沿って多数加工する。ついで、スライダブロックの表
面にラッピング加工を施しその面粗度を改善した後、ス
ライダブロックを各ヘッドコアの接合面と直交する方向
にスライスして複数のスライダを得る。そして、各スラ
イダ表面およびヘッドコアのエッジに所定の面取り加工
を施し、ついでヘッドコアの面取り部に補強ガラスを接
合してヘッドコアの強度を向上させ、所定の仕上げ加工
を施すことにより小型の２レールモノリシック型のフェ
ライトヘッドが同時に複数製造される。
圧プレス処理をした多結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライト等の焼
結フェライトからなる素材ブロックを機械加工により切
断して平板状をなすスライダブロック、および断面略コ
字状をなすヘッドコアブロックを形成し、続いてスライ
ダブロックの一側面にヘッドコアブロックをガラスによ
り接合する。そして、ヘッドコアブロックをスライダブ
ロックとの接合面に沿って所定の間隔で切り欠いて所定
のコア幅のヘッドコアを複数形成し、この後、スライダ
ブロックの磁気ディスクと対向する面に、浮動性を上げ
るための負圧溝をヘッドコアとの接合面と直交する方向
に沿って多数加工する。ついで、スライダブロックの表
面にラッピング加工を施しその面粗度を改善した後、ス
ライダブロックを各ヘッドコアの接合面と直交する方向
にスライスして複数のスライダを得る。そして、各スラ
イダ表面およびヘッドコアのエッジに所定の面取り加工
を施し、ついでヘッドコアの面取り部に補強ガラスを接
合してヘッドコアの強度を向上させ、所定の仕上げ加工
を施すことにより小型の２レールモノリシック型のフェ
ライトヘッドが同時に複数製造される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た従来のフェライトヘッドの製造方法においては、補強
用のガラスにギャップ形成用の通常のガラス（例えばＳ
ｉＯ２ ）より融点の低い低融点ガラスを使用しなけれ
ばならず、また、コンポジット型に使用されるガラスに
は、小さいチップコアをガラスでモールドするため、低
融点ガラスを用いる必要がある。
た従来のフェライトヘッドの製造方法においては、補強
用のガラスにギャップ形成用の通常のガラス（例えばＳ
ｉＯ２ ）より融点の低い低融点ガラスを使用しなけれ
ばならず、また、コンポジット型に使用されるガラスに
は、小さいチップコアをガラスでモールドするため、低
融点ガラスを用いる必要がある。
【００１０】この低融点ガラスは、一般に鉛ガラスと呼
ばれるＰｂ−Ｓｉ系ガラスに各種添加剤を配合して用い
られており、耐環境性に弱く、ガラス表面への成分の拡
散等による表面元素とガラス表面への各種付着物、例え
ば水分と反応してガラスの表面に白やけとか青やけと呼
ばれる腐食やＰｂ，Ｎａ等の反応生成物が析出して、磁
気記録装置実装時に磁気記録媒体に傷等を発生させ、デ
ーターエラーを起こしたり、ヘッドクラッシュを起こす
等の問題があった。
ばれるＰｂ−Ｓｉ系ガラスに各種添加剤を配合して用い
られており、耐環境性に弱く、ガラス表面への成分の拡
散等による表面元素とガラス表面への各種付着物、例え
ば水分と反応してガラスの表面に白やけとか青やけと呼
ばれる腐食やＰｂ，Ｎａ等の反応生成物が析出して、磁
気記録装置実装時に磁気記録媒体に傷等を発生させ、デ
ーターエラーを起こしたり、ヘッドクラッシュを起こす
等の問題があった。
【００１１】一般に、低融点ガラスの表面保護の手段と
しては、アルカリや酸による表面処理等があるが、フェ
ライトヘッドにおいては、ギャップの大きさを維持した
り、フェライト、セラミック、その他の部品材料に損傷
を与えないようにすることが困難であり、使用できなか
った。
しては、アルカリや酸による表面処理等があるが、フェ
ライトヘッドにおいては、ギャップの大きさを維持した
り、フェライト、セラミック、その他の部品材料に損傷
を与えないようにすることが困難であり、使用できなか
った。
【００１２】本発明は、前述した従来のものにおける問
題点を克服し、低融点ガラスを用いてもガラスに腐食や
反応生成物が析出することを防止することができ、磁気
記録媒体等に損傷を与えることのない信頼性の極めて優
れた磁気ヘッドと、その磁気ヘッドを容易に製造するこ
とのできる磁気ヘッドの製造方法を提供することを目的
とする。
題点を克服し、低融点ガラスを用いてもガラスに腐食や
反応生成物が析出することを防止することができ、磁気
記録媒体等に損傷を与えることのない信頼性の極めて優
れた磁気ヘッドと、その磁気ヘッドを容易に製造するこ
とのできる磁気ヘッドの製造方法を提供することを目的
とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ため請求項１に記載の磁気ヘッドは、ガラスボンディン
グ部を有する磁気ヘッドにおいて、前記ガラス表面にプ
ラズマ成分が形成されていることを特徴とする。
ため請求項１に記載の磁気ヘッドは、ガラスボンディン
グ部を有する磁気ヘッドにおいて、前記ガラス表面にプ
ラズマ成分が形成されていることを特徴とする。
【００１４】また、請求項２に記載の本発明の磁気ヘッ
ドの製造方法は、プラズマ装置によりプラズマを発生さ
せ、そのプラズマ成分中にガラスボンディング部を有す
る磁気ヘッドを入れることにより、前記ガラス表面にプ
ラズマ成分を吸着反応させることを特徴としている。
ドの製造方法は、プラズマ装置によりプラズマを発生さ
せ、そのプラズマ成分中にガラスボンディング部を有す
る磁気ヘッドを入れることにより、前記ガラス表面にプ
ラズマ成分を吸着反応させることを特徴としている。
【００１５】また、請求項３に記載の本発明の磁気ヘッ
ドの製造方法は、請求項２において、プラズマは不活性
気体または酸素ガスを用いたことを特徴としている。
ドの製造方法は、請求項２において、プラズマは不活性
気体または酸素ガスを用いたことを特徴としている。
【００１６】
【作用】請求項１に記載の本発明の磁気ヘッドによれば
、ガラス表面にプラズマ成分が形成されているために、
低融点ガラスを用いてもガラスに腐食や反応生成物が析
出することを防止することができ、磁気記録媒体等に損
傷を与えることのない信頼性の極めて優れた磁気ヘッド
となる。
、ガラス表面にプラズマ成分が形成されているために、
低融点ガラスを用いてもガラスに腐食や反応生成物が析
出することを防止することができ、磁気記録媒体等に損
傷を与えることのない信頼性の極めて優れた磁気ヘッド
となる。
【００１７】請求項２に記載の本発明の磁気ヘッドの製
造方法によれば、磁気ヘッドに使用した低融点ガラスの
表面に、磁気ヘッドに悪影響を与えず、プラズマ成分を
吸着・反応・拡散させることができ、ガラス表面に腐食
や反応生成物が析出することを防止することができる。
造方法によれば、磁気ヘッドに使用した低融点ガラスの
表面に、磁気ヘッドに悪影響を与えず、プラズマ成分を
吸着・反応・拡散させることができ、ガラス表面に腐食
や反応生成物が析出することを防止することができる。
【００１８】請求項３に示すように不活性気体または酸
素ガスを用いてプラズマ成分を吸着・反応・拡散させる
と、前述した請求項２に記載の作用の他に、特定のプラ
ズマ成分を吸着・反応・拡散させることができ、ガラス
の成分毎に適した処理をすることができる。
素ガスを用いてプラズマ成分を吸着・反応・拡散させる
と、前述した請求項２に記載の作用の他に、特定のプラ
ズマ成分を吸着・反応・拡散させることができ、ガラス
の成分毎に適した処理をすることができる。
【００１９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面により説明する
。
。
【００２０】図１および図２は本発明に係る磁気ヘッド
の製造方法を、小型の２レールモノリシック型の磁気ヘ
ッドの製造に適用した一実施例を示し、図３および図４
は本発明方法によって製造された本発明の磁気ヘッドの
一実施例を示す。
の製造方法を、小型の２レールモノリシック型の磁気ヘ
ッドの製造に適用した一実施例を示し、図３および図４
は本発明方法によって製造された本発明の磁気ヘッドの
一実施例を示す。
【００２１】まず、本発明における磁気ヘッドの製造工
程を詳述すると、図１のａに示すように、平板状をなす
素材ブロック１を原材料として用いる。この素材ブロッ
ク１は焼結フェライトからなるもので、その製造工程を
簡略に説明すると、まず、原料である酸化物や炭酸塩な
どの粉末（例えば、α−Ｆｅ２ Ｏ３ ，Ｍｎ３ Ｏ４
，ＭｎＣＯ３ ，ＺｎＯ）をフェライトの分子成分比
に秤量し、これを機械的に混合して９００〜１２００℃
で加熱することにより、以下の反応を生じさせてフェラ
イトを生成する。
程を詳述すると、図１のａに示すように、平板状をなす
素材ブロック１を原材料として用いる。この素材ブロッ
ク１は焼結フェライトからなるもので、その製造工程を
簡略に説明すると、まず、原料である酸化物や炭酸塩な
どの粉末（例えば、α−Ｆｅ２ Ｏ３ ，Ｍｎ３ Ｏ４
，ＭｎＣＯ３ ，ＺｎＯ）をフェライトの分子成分比
に秤量し、これを機械的に混合して９００〜１２００℃
で加熱することにより、以下の反応を生じさせてフェラ
イトを生成する。
【００２２】ＭｎＯ＋Ｆｅ２ Ｏ３ →ＭｎＦｅ２ Ｏ
４ ＺｎＯ＋Ｆｅ２ Ｏ３ →ＺｎＦｅ２ Ｏ４ つい
で、生成されたフェライト粉末を適宜な容器に入れ熱間
静水プレスをして所望の形状に成形し、続いて成形され
た圧粉体を焼結することにより固相反応を生じさせて所
要形状の焼結フェライトを製造する。また、フェライト
粉末の製造方法としては液相反応によるものでもよく、
ホットプレス法により成形と焼結を同時に行ってもよい
。
４ ＺｎＯ＋Ｆｅ２ Ｏ３ →ＺｎＦｅ２ Ｏ４ つい
で、生成されたフェライト粉末を適宜な容器に入れ熱間
静水プレスをして所望の形状に成形し、続いて成形され
た圧粉体を焼結することにより固相反応を生じさせて所
要形状の焼結フェライトを製造する。また、フェライト
粉末の製造方法としては液相反応によるものでもよく、
ホットプレス法により成形と焼結を同時に行ってもよい
。
【００２３】このようにして製造された素材ブロック１
からフェライトヘッドを製造するには、まず、図１のｂ
に示すように、素材ブロック１を粒度４００〜６００番
の切断砥石を用いてスライダブロック２とコアブロック
３とに切断し、ついで図１のｃに示すように、コアブロ
ック３の切断面に溝４を加工する。そして、スライダブ
ロック２およびコアブロック３の切断面を研磨する。
からフェライトヘッドを製造するには、まず、図１のｂ
に示すように、素材ブロック１を粒度４００〜６００番
の切断砥石を用いてスライダブロック２とコアブロック
３とに切断し、ついで図１のｃに示すように、コアブロ
ック３の切断面に溝４を加工する。そして、スライダブ
ロック２およびコアブロック３の切断面を研磨する。
【００２４】ついで、図１のｄに示すように、コアブロ
ック３にガラス物質５を付着させる。このガラス物質５
は通常のガラス物質（例えば、ＳｉＯ２ 等）が用いら
れる。そして、図１のｅに示すように、コアブロック３
の上面にトラックウェイの仮溝６を加工する。その後、
トラックウェイの仮溝６面にメタルスパッタリングを行
って金属膜７を形成する。そして、図１のｆに示すよう
に、コアブロック３のスライダブロック対向面を研磨し
、その後ギャップ形成用のＳｉＯ２ などをスパッタリ
ングで成膜する。そして、図１のｇに示すように、スラ
イダブロック２の切断面にコアブロック３の切断面を突
き合わせてこれらを予め付着させたガラス物質５を溶か
して接合するとともにギャップ８を形成する。
ック３にガラス物質５を付着させる。このガラス物質５
は通常のガラス物質（例えば、ＳｉＯ２ 等）が用いら
れる。そして、図１のｅに示すように、コアブロック３
の上面にトラックウェイの仮溝６を加工する。その後、
トラックウェイの仮溝６面にメタルスパッタリングを行
って金属膜７を形成する。そして、図１のｆに示すよう
に、コアブロック３のスライダブロック対向面を研磨し
、その後ギャップ形成用のＳｉＯ２ などをスパッタリ
ングで成膜する。そして、図１のｇに示すように、スラ
イダブロック２の切断面にコアブロック３の切断面を突
き合わせてこれらを予め付着させたガラス物質５を溶か
して接合するとともにギャップ８を形成する。
【００２５】スライダブロック２とコアブロック３を接
合したら、ついで、図２のａに示すように、スライダブ
ロック２とコアブロック３の接合面に直交する方向に所
定間隔で切断し、複数の素子単位のスライダ９に分断す
る。そして、図２のｂに示すようにスライダ９の上下面
を一体的に研磨して所定の厚さに成形する。そして、図
２のｃに示すように、スライダ９の上面にフェライトヘ
ッドを磁気記録媒体に対して浮上させるための負圧溝１
０を刻設して２本のレール９ａ、９ｂを形成するととも
に、１本のレール９ａとギャップを介して連結されてい
るヘッドコア１１を形成する。その後ヘッドコア１１お
よびスライダ９の２本のレール９ａ、９ｂの角隅部に所
定の面取り加工をし、ついでヘッドコア１１の面取り部
にガラス物質１２で肉盛りをして（図４参照）、ヘッド
コア１１の強度を増加させる。このガラス物質１２は、
スライダブロック２とコアブロック３の接合に使用した
通常のガラス物質（例えば、ＳｉＯ２ 等）に比べて融
点がはるかに低い、いわゆる低融点ガラスである。これ
は、スライダブロック２とコアブロック３の接合を破壊
しないための重要点である。そして、スライダ９の表面
を所定の形状に研磨して図２のｄに示すような小型の２
レールモノリシック型のフェライトヘッドが形成される
。図３は、前述した製造工程を経て形成された小型の２
レールモノリシック型のフェライトヘッドのギャップ部
の詳細を示す。
合したら、ついで、図２のａに示すように、スライダブ
ロック２とコアブロック３の接合面に直交する方向に所
定間隔で切断し、複数の素子単位のスライダ９に分断す
る。そして、図２のｂに示すようにスライダ９の上下面
を一体的に研磨して所定の厚さに成形する。そして、図
２のｃに示すように、スライダ９の上面にフェライトヘ
ッドを磁気記録媒体に対して浮上させるための負圧溝１
０を刻設して２本のレール９ａ、９ｂを形成するととも
に、１本のレール９ａとギャップを介して連結されてい
るヘッドコア１１を形成する。その後ヘッドコア１１お
よびスライダ９の２本のレール９ａ、９ｂの角隅部に所
定の面取り加工をし、ついでヘッドコア１１の面取り部
にガラス物質１２で肉盛りをして（図４参照）、ヘッド
コア１１の強度を増加させる。このガラス物質１２は、
スライダブロック２とコアブロック３の接合に使用した
通常のガラス物質（例えば、ＳｉＯ２ 等）に比べて融
点がはるかに低い、いわゆる低融点ガラスである。これ
は、スライダブロック２とコアブロック３の接合を破壊
しないための重要点である。そして、スライダ９の表面
を所定の形状に研磨して図２のｄに示すような小型の２
レールモノリシック型のフェライトヘッドが形成される
。図３は、前述した製造工程を経て形成された小型の２
レールモノリシック型のフェライトヘッドのギャップ部
の詳細を示す。
【００２６】つぎに、前述した製造工程を経て形成され
たフェライトヘッドを、一般に知られたプラズマ装置に
入れプラズマ照射を行い、ヘッドコアの補強用のガラス
物質１２の表面にプラズマ成分を吸着・反応・拡散させ
て、プラズマ装置からフェライトヘッドを取り出して製
造が完了する。
たフェライトヘッドを、一般に知られたプラズマ装置に
入れプラズマ照射を行い、ヘッドコアの補強用のガラス
物質１２の表面にプラズマ成分を吸着・反応・拡散させ
て、プラズマ装置からフェライトヘッドを取り出して製
造が完了する。
【００２７】つぎに、前述した磁気ヘッドの製造方法に
おいて、具体的なプラズマ処理を例示しながら作用を説
明する。
おいて、具体的なプラズマ処理を例示しながら作用を説
明する。
【００２８】既知のプラズマ装置（プラズマＣＶＤ）で
、前述したフェライトヘッドに、交流電源の周波数：１
３．５６ＭＨｚ，出力：３００Ｗ，圧力：０．２トル，
使用ガス：窒素ガス，プラズマ処理時間：２０分のプラ
ズマ処理を施した。なお、このときのフェライトヘッド
に使用したガラス物質１２は，Ｎａ，Ｌｉ，Ｚｎ等を無
量含んだＰｂ−Ｓｉ系ガラスである。
、前述したフェライトヘッドに、交流電源の周波数：１
３．５６ＭＨｚ，出力：３００Ｗ，圧力：０．２トル，
使用ガス：窒素ガス，プラズマ処理時間：２０分のプラ
ズマ処理を施した。なお、このときのフェライトヘッド
に使用したガラス物質１２は，Ｎａ，Ｌｉ，Ｚｎ等を無
量含んだＰｂ−Ｓｉ系ガラスである。
【００２９】つぎに、従来品であるプラズマ処理をしな
いフェライトヘッドと本発明である前記プラズマ処理を
施したフェライトヘッドの比較試験として、湿度８０％
（但し、結露しない温度条件）の恒湿槽内に入れ、ガラ
ス表面への析出物の有無の経時変化を調査する耐環境試
験を行った。
いフェライトヘッドと本発明である前記プラズマ処理を
施したフェライトヘッドの比較試験として、湿度８０％
（但し、結露しない温度条件）の恒湿槽内に入れ、ガラ
ス表面への析出物の有無の経時変化を調査する耐環境試
験を行った。
【００３０】図５に前記試験結果を示す。この試験結果
からも明白なように、プラズマ装置によりプラズマ処理
を行うと、ガラス表面への析出物の発生がなく、従来例
のようなガラスの表面に白やけとか青やけと呼ばれる腐
食やＰｂ，Ｎａ等の反応生成物が析出して、磁気記録装
置実装時に磁気記録媒体に傷等を発生させデーターエラ
ーを起こしたり、ヘッドクラッシュを起こす等の問題を
防止することができる。
からも明白なように、プラズマ装置によりプラズマ処理
を行うと、ガラス表面への析出物の発生がなく、従来例
のようなガラスの表面に白やけとか青やけと呼ばれる腐
食やＰｂ，Ｎａ等の反応生成物が析出して、磁気記録装
置実装時に磁気記録媒体に傷等を発生させデーターエラ
ーを起こしたり、ヘッドクラッシュを起こす等の問題を
防止することができる。
【００３１】さらに、アルゴンガス，酸素ガスをプラズ
マ処理時に用いても同様な効果を確認した。
マ処理時に用いても同様な効果を確認した。
【００３２】なお、本発明は前述した実施例に限定され
るものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である
。例えば、ガラス物質の成分に適したガスをプラズマ処
理に用いるとか、ガスを単体でなく混合気にすることも
できる。また、本発明は前記実施例のフェライトヘッド
に限定されるものではなく、例えば、薄膜磁気ヘッドの
製造等にガラスを使用する磁気ヘッドに対しても同様に
適用することができる。
るものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である
。例えば、ガラス物質の成分に適したガスをプラズマ処
理に用いるとか、ガスを単体でなく混合気にすることも
できる。また、本発明は前記実施例のフェライトヘッド
に限定されるものではなく、例えば、薄膜磁気ヘッドの
製造等にガラスを使用する磁気ヘッドに対しても同様に
適用することができる。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、プ
ラズマ装置によりプラズマを発生させ、そのプラズマ成
分中にガラスボンディング部を有する磁気ヘッドを入れ
ることにより、ガラス表面にプラズマ成分を吸着反応さ
せることで、低融点ガラスを用いてもガラスに腐食や反
応生成物が析出するのを確実に防止することができ、従
来のようなガラス表面への成分の拡散等による表面元素
とガラス表面への各種付着物、例えば水分と反応して、
ガラスの表面に白やけとか青やけと呼ばれる腐食やＰｂ
，Ｎａ等の反応生成物が析出して、磁気記録装置実装時
に磁気記録媒体に傷等を発生させデーターエラーを起こ
したり、ヘッドクラッシュを起こすことのない信頼性の
極めて優れた磁気ヘッドを得ることができる等の効果を
奏する。
ラズマ装置によりプラズマを発生させ、そのプラズマ成
分中にガラスボンディング部を有する磁気ヘッドを入れ
ることにより、ガラス表面にプラズマ成分を吸着反応さ
せることで、低融点ガラスを用いてもガラスに腐食や反
応生成物が析出するのを確実に防止することができ、従
来のようなガラス表面への成分の拡散等による表面元素
とガラス表面への各種付着物、例えば水分と反応して、
ガラスの表面に白やけとか青やけと呼ばれる腐食やＰｂ
，Ｎａ等の反応生成物が析出して、磁気記録装置実装時
に磁気記録媒体に傷等を発生させデーターエラーを起こ
したり、ヘッドクラッシュを起こすことのない信頼性の
極めて優れた磁気ヘッドを得ることができる等の効果を
奏する。
【図１】ａからｇは、本発明の磁気ヘッドの製造方法に
従って小型の２レールモノリシック型のフェライトヘッ
ドを製造する場合の製造工程を示す図
従って小型の２レールモノリシック型のフェライトヘッ
ドを製造する場合の製造工程を示す図
【図２】ａからｄは、本発明の磁気ヘッドの製造方法に
従って小型の２レールモノリシック型のフェライトヘッ
ドを製造する場合の図１のｇの後の製造工程を示す図
従って小型の２レールモノリシック型のフェライトヘッ
ドを製造する場合の図１のｇの後の製造工程を示す図
【
図３】図２のｄのギャップ部を示す詳細断面図
図３】図２のｄのギャップ部を示す詳細断面図
【図４】
図２のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図
図２のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図
【図５】本発明によ
るフェライトヘッドと従来のフェライトヘッドの環境試
験結果を示す図
るフェライトヘッドと従来のフェライトヘッドの環境試
験結果を示す図
１ 素材ブロック
２ スライダブロック
３ コアブロック
５ ガラス物質
８ ギャップ
９ スライダ
１１ ヘッドコア
１２ ガラス物質
Claims (3)
- 【請求項１】 ガラスボンディング部を有する磁気ヘ
ッドにおいて、前記ガラス表面にプラズマ成分が形成さ
れていることを特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項２】 プラズマ装置によりプラズマを発生さ
せ、そのプラズマ成分中にガラスボンディング部を有す
る磁気ヘッドを入れることにより、前記ガラス表面にプ
ラズマ成分を吸着反応させることを特徴とするフェライ
トヘッドの製造方法。 - 【請求項３】 プラズマは不活性気体または酸素ガス
を用いたことを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッド
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14025591A JPH04364207A (ja) | 1991-06-12 | 1991-06-12 | 磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14025591A JPH04364207A (ja) | 1991-06-12 | 1991-06-12 | 磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04364207A true JPH04364207A (ja) | 1992-12-16 |
Family
ID=15264533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14025591A Pending JPH04364207A (ja) | 1991-06-12 | 1991-06-12 | 磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04364207A (ja) |
-
1991
- 1991-06-12 JP JP14025591A patent/JPH04364207A/ja active Pending
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