JPH0436468A - バルブ機構を備えた配管装置 - Google Patents

バルブ機構を備えた配管装置

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JPH0436468A
JPH0436468A JP2142650A JP14265090A JPH0436468A JP H0436468 A JPH0436468 A JP H0436468A JP 2142650 A JP2142650 A JP 2142650A JP 14265090 A JP14265090 A JP 14265090A JP H0436468 A JPH0436468 A JP H0436468A
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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    • C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は、例えば連続スパッタリング装置のロードロ
ック部に好適なバルブ機構を備えた配管装置に関する。
（従来の技術） デジタル化された音声情報や画像情報を大量に記録する
のにコンパクトディスク（以下、ＣＤと略称する）が広
く使用されるようになってきた。
ＣＤは、透明な合成樹脂性の基板面に、スパッタリング
により光反射率の高いアルミニューム（＾１）薄膜層が
形成され、「１」か「０」のデジタル情報に合わせて開
けられたピット（ｐｉｔ）と称する小さな孔を、照射レ
ーザ光の反射波あるいは透過波の有無によりを読み出す
ように構成されている。
１枚のディスクへの薄膜形成は比較的短時間で可能なこ
とから、従来は第３図に示す構成の連続スパッタリング
装置か採用されている。
即ち、基板ｌは、軸２ａを中心に回転及び上下方向に移
動可能なアーム状の搬送装置２によって、搬送室３に搬
送される。搬送装置２には吸着パット２１を備えたロー
ドロック蓋２２が設けられ、基板ｌはその吸着パット２
１に吸着されて搬送される。
なお、吸着パッ）２１は、図示しないが搬送装置２のア
ーム中を通した排気管によって外部の排気ポンプに接続
されている。
搬送室３は、第３図に断面図で示したように、上蓋３１
を有した容器であって、その内部はロードロック部３ａ
とスパッタ部３ｂとに区分されるが、ロードロック部３
ａに位置する上蓋３１には、基板Ｉを受渡しするための
ロードロック室３１ａが形成されている。
また、搬送室３内には、軸３２ａを中心に回転及び上下
方向に移動可能な搬送テーブル３２が設けられ、基板１
はロードロック部３ａからスパッタ部３ｂに搬送される
。
スパッタ部３ｂの上には、上蓋３１の開口部３１ｂを介
してスパッタ室４１及びスパッタ源４２が構成配置され
るとともに、開口部３１ｂには基板ｌを受けるマスク４
３が取付けられている。マスク４３の下面に密着された
基板１面には、アルミニュームの薄膜が例えば２秒間と
いう短い時間内で形成される。
なお、基板１がマスク５３に密着されていないときのス
パッタ室４１内は、搬送室３の排気口３３から排気され
る。
ところで、上蓋３１のロードロック室３１ａは、基板１
をロードロック蓋２２からサセプタ３２ｂへ渡したり、
あるいは成膜後の基板ｌを逆にサセプタ３２ｂからロー
ドロック蓋２２へ渡すために、大気と真空との境界室と
して構成されている。
即ち、基板１をロードロック蓋２２からサセプタ３２ｂ
へ渡す場合は、吸着パット２１の吸引力に抗するため、
ロードロック室３１ａ内を排気することが必要である。
第４図にも拡大して示すように、排気孔及び吸気孔であ
る共通管路３１ｅは外部の回転ポンプ５に接続され、バ
ルブ７１を開くことによって、ロードロック室３１ａ内
を荒引きし、基板Ｉをロードロック蓋２２からサセプタ
３２ｂに移動させる。その後、搬送テーブル３２を下げ
、搬送室３及びロードロック室３１ａ内が更に高真空と
なるように排気口３３から排気させている。
成膜後の基板１をサセプタ３２ｂからロードロック蓋２
２へと渡す場合は、ロードロック室３１ａ内を大気状態
とすることが必要とされる。
そこで、バルブ７１を閉じるとともに、第５図に示すよ
うに、分岐管６に接続された他方のバルブ７２を一時的
に開操作して、ロードロック室３１ａを大気圧状態とし
、基板ｌを吸着バット２１に吸着させて搬出する。
なお、第４図の符号りは封止用のＯリングを示し、また
第５図の８１．８２は夫々回転ポンプ５及び大気につな
がる配管を示す。
しかしながら、バルブ７１．７２のような従来のバルブ
機構を有する配管装置では、ロードロック室３１ａから
から回転ポンプ５あるいは大気圧の空間までつなげるの
に、夫々独立した機能を有する各バルブ７１．７２をボ
ルト等で分岐管等に接続することとなるから、構成が大
形化するとともに、吸排経路も長くなってコンダクタン
ス（流通気体の抵抗の逆数）が小さくなるので、大気と
真空との境界室用としての機能が低下するというという
問題があった。
このことは、例えば一方のバルブ７２を省略して、１個
のバルブ７１を直接共通管路３１ｃに接続して排気専用
として構成する場合も同様である。
（発明が解決しようとする課８） 従来のバルブ機構を備えた配管装置は、例えばロードロ
ック室等の真空室に通じる器壁内管路に、独立したバル
ブを容器外で接続する構成となったので、構成が大形化
し、コンダクタンスが小さくなるという欠点があった。
この発明は、上記従来の欠点を解消し、簡単な構成によ
り、配管経路がより短く小形化が可能なバルブ機構を備
えた配管装置を提供することを目的とする。
［発明の構成コ （課題を解決するための手段） この発明は、真空容器等を構成した器壁に外部に連通す
る管路が形成され、この管路にバルブ機構か接続されて
なるバルブ機構を備えた配管装置において、前記バルブ
機構の弁体が前記器壁の外壁面で前記管路を直接開閉す
るように構成したことを特徴とする。
（作用） この発明によるバルブ機構を備えた配管装置は、バルブ
機構の弁体が直接、管路を開閉するように構成し、従来
のように独立したバルブを接続することがないので、吸
または排管路長を短縮することができる。
（実施例） 以下、第１図及び第２図を参照し、この発明によるバル
ブ機構を備えた配管装置の一実施例を説明する。なお、
第３図ないし第５図に示した従来のバルブ機構を備えた
配管装置と同一構成には同一符号を付して詳細な説明は
省略する。
即ち、第１図はこの実施例におけるバルブ機構を備えた
配管装置をスパッタリング装置に適用した場合の要部拡
大断面図である。
第１図において、ロードロック室３１ａを構成する搬送
室３の上蓋３１の器壁内に、ロードロック室３１ａ内に
開口した共通管路３１ｃが横方向に形成されている。第
２図にも示すように、上蓋３１の同じく器壁内で、一方
はその共通管路ａｌｅに連なり他方では外部の複数の配
管に夫々接続される分岐管路３１ｄ、３１ｅが、途中で
下方に折り曲げ形成されている。この分岐管路３１ｄ、
３１ｅは、この実施例では、これら２つの分岐管路３１
ｄ、３１ｅが夫々ロードロック室３１ａに対して、排気
管及び吸気管として機能する。
前記２つの分岐管路３１ｄ、３１ｅの出口では、搬送室
３の器壁がブロック状に延長して上蓋３１と接合するよ
うに構成され、各分岐管路３１ｄ、３１ｅに対応した凹
部状のマニホールド３４ａ、３４ｂが形成されている。
マニホールド３４ａ、３４ｂには夫々従来と同様に回転
ポンプ（５）及び大気に連なる配管８１．８２が開口し
て接続されるとともに、夫々一対のバルブ機構９１．９
２の各弁体９１ａ、９２ａが前記分岐管路３１ｄ、３１
ｅの出口を開閉自在とするように構成されている。
９１ｂ、９２ｂは前記弁体９１ａ、９２ａと連結するシ
リンダである。
この実施例によるバルブ機構を備えた配管装置は、上記
のように構成されたので、吸着パット（２１）の基板１
をサセプタ３２ｂに移動させるために、一方のバルブ機
構９２を閉じた状態で他方のバルブ機構９１のシリンダ
９１ｂを操作して、分岐管路３１ｄを開け、回転ポンプ
（５）により荒引き排気する。
また、サセプタ３２ｂの基板Ｉを吸着バット（２１）で
吸着して取出すときは、上記とは逆に、バルブ機構９１
を閉操作し、バルブ機構９２を一時的に開操作すること
によって、ロードロック室３１ａ内を一旦大気状態に変
え、基板１を搬出することができる。
上記のように、この発明によるバルブ機構を備えた配管
装置は、例えばロードロック室３１ａを形成するような
容器（上蓋３１）の器壁内に、内外に連通ずる管路（３
１ｃ、３１ｄ、３１ｅ）を形成し、その外側に開口した
管路をバルブ機構の弁体９１ａ、９２ａが直接、開閉す
る構成としたものである。従って、上蓋３１の管路開口
側の壁面３１ｆがそのまま各バルブ機構のマニホールド
を構成する内壁面となることから、バルブ機構がコンパ
クトに構成される。
換言すれば、従来のように、バルブ機構自体を搬送室３
と独立した構成ではなく、搬送室３の器壁とともに組込
むように構成されたので、配管系の短縮化が可能となっ
た。
なお、上記実施例では、上蓋３１内に１個の共通管路と
これに連なる一対の分岐管路とが構成された場合を示し
たが、必ずしもこれに限定されることなく、例えば分岐
管路がなく、単に１つの排気管路に１個のバルブ機構が
接続したものでもよい。
また、用途によっては、ロードロック室３１ａに開口し
た管路（共通管路３１ｃ）も１個に限らず、複数個設け
られそれ等が同じ容器壁内で合流させて外側に開口して
取出すように構成されたのに適用してもよく、器壁内の
配管形態は任意に構成することができる。また、管路や
マニホールドも、例えばアルミ合金からなる器壁内に形
成しようとすれば、ＮＣ制御による切削加工で容易かつ
高精度に製作して組立てることができる。
また、上記実施例では、この発明装置をスパッタリング
装置に適用した場合を説明したが、容器の器壁そのもの
を利用してバルブ機構を組込むことによって、経路長さ
が短く、がっ小形化され、大きなコンダクタンスと高い
信頼性が得られるものであるから、真空容器以外にも広
く採用できるものであり、空気の吸排のみならず、各種
ガスの導入等にも適用できる。
［発明の効果］ この発明によるバルブ機構を備えた配管装置は、容器の
器壁を利用したバルブ機構の組込み構成としたことによ
って、全体の小形化や高い信頼性等が得られるものであ
り、実用に際して得られる効果大である。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明によるバルブ機構を備えた配管装置の
一実施例を連続スパッタリング装置に適用した状態を示
す要部拡大断面図、第２図は第１図に示した装置のＡ−
Ａ線断面図、第３図は従来のバルブ機構を備えた配管装
置を連続スパッタリング装置に適用した状態を示す一部
断面構成図、第４図は第３図に示す要部拡大断面図、第
５図は第３図に示した装置の拡大左側面図である。 １・・・基板、２・・・搬送装置、３・・・搬送室、３
１・・・上蓋、３１ａ・・・ロードロック室、３１ｃ・
・・共通管路、 ３１ｄ、３１ｅ・・・分岐管路、５・・・回転ポンプ、
９１．９２・・・バルブ機構、 ９１ａ。 ９２ａ・・・弁体。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 真空容器等を構成した器壁に外部に連通する管路が形成
    され、この管路にバルブ機構が接続されてなるバルブ機
    構を備えた配管装置において、前記バルブ機構の弁体が
    前記器壁の外壁面で前記管路を直接開閉するように構成
    したことを特徴としたバルブ機構を備えた配管装置。
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