JPH02185681A - 真空排気装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔Ｗ東上の利用分野〕 この発明は密閉空間の真空排気装置に関するものである
。

〔従来の技術〕

第２図は従来の１つの真空ポンプを用いて２つの真空排
気室を排気する真空排気装置の配管図である。

図において、（１）　、　（２）は真空排気室、（３）
・（４）は真空排気室と真空ポンプを導通させるための
排気用電磁弁、（６）　、　（６）は真空排気室１１）
　、　（りをそれぞれ大気圧へ戻す丸めの電磁弁、（７
）は真空ポンプである。

次に動作について説明する。真空排気室（υ全排気する
場合はまず真空ポンプ（７）を動作させ、その後［１６
弁（３）を開にする。真空排気室（１）が一定の真空度
に達した後電磁弁（３）を閉にする。これで真空排気室
（１）の排気は完了である０次に、真空排気室（２）の
排気は電磁弁（４）を開き、一定の真空度に達した後電
磁弁（４）を閉にする。以下電磁弁（３）　Ｉ　（４）
の開閉のコントロールにより真空排気室の排気を行う。

又真空排気室を大気圧に戻す九めには電磁弁（５）　（
６）を開き、又はＮ２などを入れる。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の真空排気装置の排気システムは以上のように構成
されていたので、一方の真空排気室が排気中でかなりの
真空度になっている時、他方の真空排気室の排気電磁弁
を開にすると排気電磁弁により真空排気室が導通し、気
体が気圧の低い方へ逆流する。このため一方の真空排気
室が排気中の場合は他方の排気用電磁弁開閉が出来ず、
したがって排気用ｌ！電磁弁開閉のコントロールが複雑
であり操作が難かしいという問題点があった。

この発明は上記の皺な問題点を解消するためになされ九
もので、両方の排気用電磁弁を開いても真空排気室間の
逆流が起こらない真空排気装置を得ることを目的とする
。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係る真空排気装置は真空排気室の排気部に逆
流防止弁を取付けるようにしたものである。

〔作　用〕

この発明における真空排気装置は各真空排気室の排気部
にそれぞれ逆流防止弁を設けることにより気体の逆流が
阻止され、真空排気電磁弁の操作を可能にする。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明の一実施例を示す真空排気装置の配管図で
、前記従来のものに逆流防止弁（８）。

（９）を取付けたもので、他の符号は前記従来のものと
同一である。

次に動作について説明する。真空排気室（２）は排気中
とする。すなわち、真空ポンプ（７）は動作中で排気用
′１ｌｔｌａ弁（４）は開であり、真空度はかなり高く
なっているものとする。又、電磁弁（３）　、　＋５）
　、　（６）は閉である。次に、真空排気室（１）を排
気するために排気用電磁弁（３）を開にする。逆流防止
弁（９）の作用で真空排気室＋１）から真空排気室（２
）へ気体が逆流する事はない。又、上記と逆の順番で排
気し喪としても逆流防止弁（８）の作用で、真空排気室
（２）から真空排気室＋１）へ気体が逆流する串はない
。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれは、各真空排気室にそれぞ
れ逆流防止弁を取付けるようにしたので、真空排気の際
には気体の逆流が無くなり、真空排気電磁弁をそれぞれ
自由に関することができ、真空排気のコントロールが容
易になるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例による真空排気室間の配管
図、第２図は従来の真空排気装置の配管図である。 図において、（υ、（２１は真空排気室、（３）〜（６
）　＃−１電磁弁、（７）は真空ポンプ、（８）　、　
（９）は逆流防止弁を示す。 なお、図中、同一符号は同一　または相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ２つの真空排気室をそれぞれ独立に１つの真空ポンプで
   排気出来る様に逆流防止弁を備えたことを特徴とする真
   空排気装置。