JPH0436760U - - Google Patents
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- JPH0436760U JPH0436760U JP7807890U JP7807890U JPH0436760U JP H0436760 U JPH0436760 U JP H0436760U JP 7807890 U JP7807890 U JP 7807890U JP 7807890 U JP7807890 U JP 7807890U JP H0436760 U JPH0436760 U JP H0436760U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- gas introduction
- generation source
- beam generation
- source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 8
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 claims 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例装置の概略図、第２図
は本考案の実施例装置における動作を示す図、第
３図は従来例装置の概略図である。 １……試料、２……中性粒子ビーム発生源、３
……電源、４……ガスボンベ、５，８……切換え
弁、６……流量調節弁、７……真空ポンプ、９…
…比較回路、１０……制御回路、１１……外部ス
イツチ。
は本考案の実施例装置における動作を示す図、第
３図は従来例装置の概略図である。 １……試料、２……中性粒子ビーム発生源、３
……電源、４……ガスボンベ、５，８……切換え
弁、６……流量調節弁、７……真空ポンプ、９…
…比較回路、１０……制御回路、１１……外部ス
イツチ。
Claims (1)
- 電子線発生源と電子線発生源から発生した電子
の通路上に被イオン化ガスを導入するガス導入手
段とを備えた一次粒子発生源から発生した一次粒
子を真空雰囲気内に配置される試料に照射して試
料をイオン化するイオン源において、該電子線発
生源から発生する電子線電流に対応した信号を得
る手段と、前記ガス導入手段によるガス導入を遮
断する手段と、前記電子線電流に対応した信号が
所定の閾値を越えた時にガス導入を開始し、且つ
前記電子線発生源における電子線発生の停止と連
動してガス導入を停止するように遮断手段を制御
する制御手段とを設けたことを特徴とするイオン
源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7807890U JPH0436760U (ja) | 1990-07-23 | 1990-07-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7807890U JPH0436760U (ja) | 1990-07-23 | 1990-07-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0436760U true JPH0436760U (ja) | 1992-03-27 |
Family
ID=31621039
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7807890U Pending JPH0436760U (ja) | 1990-07-23 | 1990-07-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0436760U (ja) |
-
1990
- 1990-07-23 JP JP7807890U patent/JPH0436760U/ja active Pending
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