JPH04372318A - Ｘ，ｙ，ｚ駆動装置 - Google Patents
Ｘ，ｙ，ｚ駆動装置Info
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- JPH04372318A JPH04372318A JP3173300A JP17330091A JPH04372318A JP H04372318 A JPH04372318 A JP H04372318A JP 3173300 A JP3173300 A JP 3173300A JP 17330091 A JP17330091 A JP 17330091A JP H04372318 A JPH04372318 A JP H04372318A
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- JP
- Japan
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- axis
- drive device
- ball screw
- shaft
- fixed
- Prior art date
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
- B23Q1/626—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/18—Mechanical movements
- Y10T74/18568—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary
- Y10T74/18576—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary including screw and nut
- Y10T74/18712—Contamination related
- Y10T74/1872—Imperforate enclosure
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
- Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
- Y10T74/20341—Power elements as controlling elements
- Y10T74/20354—Planar surface with orthogonal movement only
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ，Ｙ，Ｚ駆動装置に
関する。
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のＸ，Ｙ，Ｚ駆動装置とし
ては、固定部に固定されたＸ方向に長いＸテーブルと、
このＸテーブルの移動テーブルのテーブル上に直交させ
て固定され、Ｘテーブルの案内レールに沿ってＸ方向に
移動可能で、かつＹ方向に長く構成されたＹテーブルと
、このＹテーブルの移動テーブルの側面に垂直に配設さ
れたＺ軸とで構成されたものが知られている。
ては、固定部に固定されたＸ方向に長いＸテーブルと、
このＸテーブルの移動テーブルのテーブル上に直交させ
て固定され、Ｘテーブルの案内レールに沿ってＸ方向に
移動可能で、かつＹ方向に長く構成されたＹテーブルと
、このＹテーブルの移動テーブルの側面に垂直に配設さ
れたＺ軸とで構成されたものが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
装置では、Ｘテーブルの移動テーブル上に直交させて配
設されたＹテーブルの移動テーブルの側面に垂直にＺ軸
が配設されているので、Ｚ軸全体の荷重がＹテーブルの
移動テーブルの一側面に対して回転モーメントが働き、
ＸＹテーブルの機械精度に悪影響を及ぼすという欠点が
ある。更に、このＺ軸のアーム先端部に例えば、自動車
などの重量物が載置される場合には、このような重量物
が載置された状態での回転モーメントによる影響を配慮
した設計が必要となるために、装置が複雑化するという
欠点がある。
装置では、Ｘテーブルの移動テーブル上に直交させて配
設されたＹテーブルの移動テーブルの側面に垂直にＺ軸
が配設されているので、Ｚ軸全体の荷重がＹテーブルの
移動テーブルの一側面に対して回転モーメントが働き、
ＸＹテーブルの機械精度に悪影響を及ぼすという欠点が
ある。更に、このＺ軸のアーム先端部に例えば、自動車
などの重量物が載置される場合には、このような重量物
が載置された状態での回転モーメントによる影響を配慮
した設計が必要となるために、装置が複雑化するという
欠点がある。
【０００４】そこで、本発明は上記従来技術の欠点に鑑
みなされたもので、Ｚ軸の重心を該軸が載置されるテー
ブル面よりも下方に位置するように配設して、他の装置
への回転モーメントによる影響をなくし、組立が容易で
機械精度も向上させることのできるＸ，Ｙ，Ｚ駆動装置
を提供することを目的とする。
みなされたもので、Ｚ軸の重心を該軸が載置されるテー
ブル面よりも下方に位置するように配設して、他の装置
への回転モーメントによる影響をなくし、組立が容易で
機械精度も向上させることのできるＸ，Ｙ，Ｚ駆動装置
を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、基台上に固定
された駆動手段によりＸ方向（又はＹ方向）に移動可能
なテーブルを有する第１の駆動装置と、該第１の駆動装
置に載置され該第１の駆動装置と直交するＹ方向（又は
Ｘ方向）に移動可能なテーブルを有する第２の駆動装置
とを備えたＸＹ駆動装置と、該ＸＹ駆動装置と垂直なＺ
方向に移動可能なＺ軸を有するＺ軸駆動装置とを備えた
Ｘ，Ｙ，Ｚ駆動装置において、前記Ｚ軸駆動装置は、Ｚ
軸駆動手段と、Ｚ軸とで構成され、該Ｚ軸は、第２の駆
動装置のテーブル面に対して垂直に設けられ、かつ該Ｚ
軸の重心が前記第２のテーブル面よりも下方に位置する
ように該軸を配設するように構成したものである。
された駆動手段によりＸ方向（又はＹ方向）に移動可能
なテーブルを有する第１の駆動装置と、該第１の駆動装
置に載置され該第１の駆動装置と直交するＹ方向（又は
Ｘ方向）に移動可能なテーブルを有する第２の駆動装置
とを備えたＸＹ駆動装置と、該ＸＹ駆動装置と垂直なＺ
方向に移動可能なＺ軸を有するＺ軸駆動装置とを備えた
Ｘ，Ｙ，Ｚ駆動装置において、前記Ｚ軸駆動装置は、Ｚ
軸駆動手段と、Ｚ軸とで構成され、該Ｚ軸は、第２の駆
動装置のテーブル面に対して垂直に設けられ、かつ該Ｚ
軸の重心が前記第２のテーブル面よりも下方に位置する
ように該軸を配設するように構成したものである。
【０００６】
【実施例】次に、本発明の実施例を図面を用いて詳細に
説明する。図１は、本発明に係るＸ，Ｙ，Ｚ駆動装置の
平面図であり、図２は、図１に示すＡ−Ａ線に関する一
部断面を含む側面図である。
説明する。図１は、本発明に係るＸ，Ｙ，Ｚ駆動装置の
平面図であり、図２は、図１に示すＡ−Ａ線に関する一
部断面を含む側面図である。
【０００７】図１に示すように、基台１は、図２に二点
鎖線にて示されるフレーム上に固定されており、この基
台１には、略長方形形状の切欠き部１ａが形成されてい
る。モータＭ１ は、この基台１上に固定され、このモ
ータＭ１ の出力軸端部にはプーリ２が取り付けられて
いる。また、モータＭ１ と平行に配設されたボールね
じ３の軸端部には、プーリ４が取り付けられている。前
記プーリ２とプーリ４間には、ベルト５が掛け渡されて
おり、これによってモータＭ１ の回転トルクがボール
ねじ３に伝達される。また、ボールねじ３は、その両端
近傍の無ねじ部を基台１上に固定された一対の固定軸受
６１ 及び６２ の軸受内に設けられたベアリング６１
ａ，６２ａを介して回転可能に軸支されている。この固
定軸受６１ 及び６２ の両端には、ベアリングナット
７１ 及び７２ が設けられ、該ナット７１ 及び７２
によりボールねじ３の軸方向における位置規制がなさ
れている。前記ベアリングナット７１ の他方の端部に
は、固定軸受６１ に固定された原点位置検出用のスト
ッパー９が設けられており、またボールねじ３の軸端部
には、基台１に取付け固定されたブレーキ１０が設けら
れている。
鎖線にて示されるフレーム上に固定されており、この基
台１には、略長方形形状の切欠き部１ａが形成されてい
る。モータＭ１ は、この基台１上に固定され、このモ
ータＭ１ の出力軸端部にはプーリ２が取り付けられて
いる。また、モータＭ１ と平行に配設されたボールね
じ３の軸端部には、プーリ４が取り付けられている。前
記プーリ２とプーリ４間には、ベルト５が掛け渡されて
おり、これによってモータＭ１ の回転トルクがボール
ねじ３に伝達される。また、ボールねじ３は、その両端
近傍の無ねじ部を基台１上に固定された一対の固定軸受
６１ 及び６２ の軸受内に設けられたベアリング６１
ａ，６２ａを介して回転可能に軸支されている。この固
定軸受６１ 及び６２ の両端には、ベアリングナット
７１ 及び７２ が設けられ、該ナット７１ 及び７２
によりボールねじ３の軸方向における位置規制がなさ
れている。前記ベアリングナット７１ の他方の端部に
は、固定軸受６１ に固定された原点位置検出用のスト
ッパー９が設けられており、またボールねじ３の軸端部
には、基台１に取付け固定されたブレーキ１０が設けら
れている。
【０００８】ボールねじ３には、図示せぬボールを介し
てボールねじナット８が嵌合装着されている。このボー
ルねじナット８には、連結部材１１を介してテーブル１
５が連結されており、該ナット８の移動によりボールね
じ３の軸方向に移動される構成となっている。このテー
ブル１５の下方両側には、該テーブル１５を案内する案
内機構１６が配設されている。また、テーブル１５には
、基台１に形成された切欠き部１ａと直交する方向に略
長方形形状の切欠き部１５ａが形成されている。
てボールねじナット８が嵌合装着されている。このボー
ルねじナット８には、連結部材１１を介してテーブル１
５が連結されており、該ナット８の移動によりボールね
じ３の軸方向に移動される構成となっている。このテー
ブル１５の下方両側には、該テーブル１５を案内する案
内機構１６が配設されている。また、テーブル１５には
、基台１に形成された切欠き部１ａと直交する方向に略
長方形形状の切欠き部１５ａが形成されている。
【０００９】案内機構１６は、ボールねじ３の軸と平行
に配設され、基台１上に固定された一対の案内レール１
６ａと、該レール１６ａに沿ってボール（又はころ）を
介して摺動可能な断面略コ字形状の摺動部材１６ｂ（図
２に図示）とで構成され、テーブル１５はこの摺動部材
１６ｂに取付け固定されている。以上のような構成によ
りＸ駆動装置が構成されている。
に配設され、基台１上に固定された一対の案内レール１
６ａと、該レール１６ａに沿ってボール（又はころ）を
介して摺動可能な断面略コ字形状の摺動部材１６ｂ（図
２に図示）とで構成され、テーブル１５はこの摺動部材
１６ｂに取付け固定されている。以上のような構成によ
りＸ駆動装置が構成されている。
【００１０】次に、上記Ｘ駆動装置のテーブル１５上に
は、Ｙ駆動装置がＸ駆動装置と直交する方向に移動可能
に載置されている。
は、Ｙ駆動装置がＸ駆動装置と直交する方向に移動可能
に載置されている。
【００１１】図１に示すように、テーブル１５上には、
モータＭ２ 及び固定軸受２０１ 及び２０２ が取付
け固定されている。モータＭ２ の出力軸は、カップリ
ング２１を介してボールねじ２２の軸端部と連結されて
いる。このボールねじ２２は、その無ねじ部分が前記固
定軸受２０１ 及び２０２ に設けられたベアリング２
０１ａ，２０２ａを介して回転可能に軸支されている。 また、固定軸受２０１ 及び２０２ の両端には、ベア
リングナット２３１ 及び２３２ が設けられ、該ナッ
ト２３１ 及び２３２ によりボールねじ２２の位置規
制がなされている。前記ベアリングナット２３１ の他
方の端部には、固定軸受２０１ に固定された原点位置
検出用のストッパー２５が設けられており、またボール
ねじ２２の軸端部には、テーブル１５に取付け固定され
たブレーキ２４が設けられている。
モータＭ２ 及び固定軸受２０１ 及び２０２ が取付
け固定されている。モータＭ２ の出力軸は、カップリ
ング２１を介してボールねじ２２の軸端部と連結されて
いる。このボールねじ２２は、その無ねじ部分が前記固
定軸受２０１ 及び２０２ に設けられたベアリング２
０１ａ，２０２ａを介して回転可能に軸支されている。 また、固定軸受２０１ 及び２０２ の両端には、ベア
リングナット２３１ 及び２３２ が設けられ、該ナッ
ト２３１ 及び２３２ によりボールねじ２２の位置規
制がなされている。前記ベアリングナット２３１ の他
方の端部には、固定軸受２０１ に固定された原点位置
検出用のストッパー２５が設けられており、またボール
ねじ２２の軸端部には、テーブル１５に取付け固定され
たブレーキ２４が設けられている。
【００１２】ボールねじ２２には、図示せぬボールを介
してボールねじナット２６が嵌合装着されている。この
ボールねじナット２６には、連結部材２７を介してテー
ブル２８が連結されており、該ナット２６の移動により
ボールねじ２２の軸方向に移動される構成となっている
。また、前記テーブル２８には、Ｕ字状切欠き２８ａが
形成されている。このテーブル２８の下方両側で、かつ
案内機構１６と直交する方向には、該テーブル２８を案
内する案内機構２９がテーブル１５上に配設されている
。
してボールねじナット２６が嵌合装着されている。この
ボールねじナット２６には、連結部材２７を介してテー
ブル２８が連結されており、該ナット２６の移動により
ボールねじ２２の軸方向に移動される構成となっている
。また、前記テーブル２８には、Ｕ字状切欠き２８ａが
形成されている。このテーブル２８の下方両側で、かつ
案内機構１６と直交する方向には、該テーブル２８を案
内する案内機構２９がテーブル１５上に配設されている
。
【００１３】この案内機構２９は、ボールねじ２２と平
行に配設され、テーブル１５上に固定された一対の案内
レール２９ａと、該レール２９ａに沿ってボール２９ｂ
（又はころ）を介して摺動可能な断面略コ字形状の摺動
部材２９ｃ（図２に図示）とで構成され、テーブル２８
はこの摺動部材２９ｃに取付け固定されている。以上の
ような構成によりＹ駆動装置が構成されている。
行に配設され、テーブル１５上に固定された一対の案内
レール２９ａと、該レール２９ａに沿ってボール２９ｂ
（又はころ）を介して摺動可能な断面略コ字形状の摺動
部材２９ｃ（図２に図示）とで構成され、テーブル２８
はこの摺動部材２９ｃに取付け固定されている。以上の
ような構成によりＹ駆動装置が構成されている。
【００１４】次に、図１及び図２に示すＺ軸駆動装置４
１の構成について説明する。このＺ軸駆動装置４１は、
テーブル２８上に搭載されており、Ｚ軸４２とＺ軸駆動
手段とで構成されている。
１の構成について説明する。このＺ軸駆動装置４１は、
テーブル２８上に搭載されており、Ｚ軸４２とＺ軸駆動
手段とで構成されている。
【００１５】Ｚ軸４２は、図２に示すようにテーブル２
８の下方に伸長するように配設され、かつテーブル２８
上に固定された略錐体状のＺ軸支持部材４３に固定保持
される。このＺ軸は、テーブル２８に形成されたＵ字状
切欠き２８ａ内を通過して配設されている。また、この
Ｚ軸４２の重心は、テーブル２５の下方になるように配
設されているので、Ｚ軸４２が安定すると共にテーブル
２８及びテーブル１５に対してモーメントによる影響を
抑えている。このＺ軸４２の下端部には、Ｚ軸駆動手段
としてのモータ４４及びギヤ４５，４５が取り付けられ
ている。
８の下方に伸長するように配設され、かつテーブル２８
上に固定された略錐体状のＺ軸支持部材４３に固定保持
される。このＺ軸は、テーブル２８に形成されたＵ字状
切欠き２８ａ内を通過して配設されている。また、この
Ｚ軸４２の重心は、テーブル２５の下方になるように配
設されているので、Ｚ軸４２が安定すると共にテーブル
２８及びテーブル１５に対してモーメントによる影響を
抑えている。このＺ軸４２の下端部には、Ｚ軸駆動手段
としてのモータ４４及びギヤ４５，４５が取り付けられ
ている。
【００１６】モータ４４は、基台１の面に対して垂直で
、かつＺ軸と平行にＺ軸４２の下端部に固定された保持
部材４６に取付け固定されている。このモータ４４の出
力軸には、ギヤ４５ａが軸支されており、該軸は軸受４
７ａにより回転可能に支持されている。ギヤ４５ａは、
ギヤ４５ｂと噛合されており、該ギヤ４５ｂは、Ｚ軸４
２を駆動する駆動軸４９に取付けられている。この駆動
軸４９の軸方向端部には、軸受４７ｂを介してブレーキ
４８が取付けられている。
、かつＺ軸と平行にＺ軸４２の下端部に固定された保持
部材４６に取付け固定されている。このモータ４４の出
力軸には、ギヤ４５ａが軸支されており、該軸は軸受４
７ａにより回転可能に支持されている。ギヤ４５ａは、
ギヤ４５ｂと噛合されており、該ギヤ４５ｂは、Ｚ軸４
２を駆動する駆動軸４９に取付けられている。この駆動
軸４９の軸方向端部には、軸受４７ｂを介してブレーキ
４８が取付けられている。
【００１７】また、駆動軸４９の他方の端部は、ベアリ
ングを介して軸受部材５０に回転可能に支持されており
、該駆動軸の回転力は、該駆動軸と連結又は一体に形成
されたボールねじ５１に伝達される。軸受部材５０のフ
ランジには、略中空円筒状の外筒５３が取付け固定され
ている。ボールねじ５１のボールねじ面と対峙して内筒
面に形成された螺旋状軌道溝を有するボールねじナット
５２が、前記ボールねじ面と該溝に挟持された多数のボ
ールを介して、ボールねじ５１に対して垂直方向に移動
可能に嵌合装着されている。これらボールねじ５１とボ
ールねじナット５２とをボールねじ体と総称する。
ングを介して軸受部材５０に回転可能に支持されており
、該駆動軸の回転力は、該駆動軸と連結又は一体に形成
されたボールねじ５１に伝達される。軸受部材５０のフ
ランジには、略中空円筒状の外筒５３が取付け固定され
ている。ボールねじ５１のボールねじ面と対峙して内筒
面に形成された螺旋状軌道溝を有するボールねじナット
５２が、前記ボールねじ面と該溝に挟持された多数のボ
ールを介して、ボールねじ５１に対して垂直方向に移動
可能に嵌合装着されている。これらボールねじ５１とボ
ールねじナット５２とをボールねじ体と総称する。
【００１８】ボールねじナット５２の上端面には、略中
空円筒状のボールスプライン軸５４の一端が取付け固定
されており、このボールスプライン軸５４の他端には、
軸方向に複数条の直線状軌道溝５５が形成されている。 外筒内周上端部には、ボールスプライン体５６が配設さ
れ、このボールスプライン体５６の内周に形成された直
線状軌道溝と前記直線状軌道溝５５との間に挿入された
多数のボール５６ａを介して前記ボールスプライン軸５
４が軸方向に進退可能に嵌合されている。それ故、前記
ボールスプライン軸５４に形成された直線状軌道溝５５
は、該軸５４の移動ストロークを決定する軸方向長さが
形成されていると共にボールスプライン体５６を介して
外筒５３との位置規制がなされている。また、外筒５３
の上端面には、蓋体５７が設けられている。
空円筒状のボールスプライン軸５４の一端が取付け固定
されており、このボールスプライン軸５４の他端には、
軸方向に複数条の直線状軌道溝５５が形成されている。 外筒内周上端部には、ボールスプライン体５６が配設さ
れ、このボールスプライン体５６の内周に形成された直
線状軌道溝と前記直線状軌道溝５５との間に挿入された
多数のボール５６ａを介して前記ボールスプライン軸５
４が軸方向に進退可能に嵌合されている。それ故、前記
ボールスプライン軸５４に形成された直線状軌道溝５５
は、該軸５４の移動ストロークを決定する軸方向長さが
形成されていると共にボールスプライン体５６を介して
外筒５３との位置規制がなされている。また、外筒５３
の上端面には、蓋体５７が設けられている。
【００１９】また、ボールスプライン軸５４の軸方向へ
の移動に伴ってボールスプライン軸５４の先端に設けら
れた軸作動部材５９との間には、伸縮自在なフレックス
カバー５８が配設されており、該カバー５８はボールス
プライン軸５４の移動に伴って伸縮する構成となってい
る。また、６０は、グリースニップルであり、６１はボ
ールねじ用給油穴である。
の移動に伴ってボールスプライン軸５４の先端に設けら
れた軸作動部材５９との間には、伸縮自在なフレックス
カバー５８が配設されており、該カバー５８はボールス
プライン軸５４の移動に伴って伸縮する構成となってい
る。また、６０は、グリースニップルであり、６１はボ
ールねじ用給油穴である。
【００２０】次に、上記構成よりなるＸＹＺ駆動装置の
動作について図１及び図２を用いて説明する。
動作について図１及び図２を用いて説明する。
【００２１】■まず、駆動手段としてのモータＭ１ が
図示せぬマイクロコンピュータ等からなる制御手段によ
り指令が発せられて駆動されると、プーリ２の回転駆動
力がベルト５によりプーリ４に伝達されてボールねじ３
を駆動する。このボールねじ３が駆動されると、ボール
ねじナット８が駆動され、連結部材１１を介してＸ方向
にテーブル１５は駆動される。このテーブル１５は、案
内機構１６の案内レール１６ａに沿って直線移動する。 この時、図２に示すＺ軸４２は、基台１に形成された切
欠き部１ａ内を移動するので、所定の範囲内で移動可能
な構成となっている。
図示せぬマイクロコンピュータ等からなる制御手段によ
り指令が発せられて駆動されると、プーリ２の回転駆動
力がベルト５によりプーリ４に伝達されてボールねじ３
を駆動する。このボールねじ３が駆動されると、ボール
ねじナット８が駆動され、連結部材１１を介してＸ方向
にテーブル１５は駆動される。このテーブル１５は、案
内機構１６の案内レール１６ａに沿って直線移動する。 この時、図２に示すＺ軸４２は、基台１に形成された切
欠き部１ａ内を移動するので、所定の範囲内で移動可能
な構成となっている。
【００２２】■次に、Ｙ方向に移動可能なテーブル２８
は、テーブル１５上に搭載されているのでテーブル１５
の移動に伴ってＸ方向への移動が可能であると同時にＹ
方向においても相対的な移動が可能である。すなわち、
駆動手段としてのモータＭ２が駆動されると、該駆動力
によってボールねじ２２が駆動されて該ボールねじ２２
に嵌合装着されたボールねじナット２６が軸方向に移動
される。この軸方向への移動に伴って連結部材２７が移
動してテーブル２８がＹ方向に移動される。この時、図
２に示すＺ軸は、テーブル１５に形成された切欠き部１
５ａ内を所定の範囲内で移動可能である。
は、テーブル１５上に搭載されているのでテーブル１５
の移動に伴ってＸ方向への移動が可能であると同時にＹ
方向においても相対的な移動が可能である。すなわち、
駆動手段としてのモータＭ２が駆動されると、該駆動力
によってボールねじ２２が駆動されて該ボールねじ２２
に嵌合装着されたボールねじナット２６が軸方向に移動
される。この軸方向への移動に伴って連結部材２７が移
動してテーブル２８がＹ方向に移動される。この時、図
２に示すＺ軸は、テーブル１５に形成された切欠き部１
５ａ内を所定の範囲内で移動可能である。
【００２３】■上記■及び■がＸＹ駆動装置としての動
作であるが、更に本発明はＺ軸にも移動できる構成とな
っている。すなわち、駆動手段としてのモータ４４が図
示せぬ制御回路からの指令により駆動されると、この回
転駆動力がギヤ４５ａ及び４５ｂを介してボールねじ５
１に伝達される。このボールねじ５１の回転に伴ってボ
ールねじナット５２が図２に示す上方、すなわち垂直方
向に駆動され、これと共にボールスプライン軸５４も一
体に上昇する。ところが、このボールスプライン軸５４
の上方外周には複数条の直線状軌道溝が形成されており
、該溝はボールスプライン体５６により規制されている
ので、直線的に移動される。したがって、ボールスプラ
イン軸５４の先端部に取り付けられた軸作動部材５９に
は、ボールねじ５１の回転力が直線的に変換されて軸方
向に直線移動可能な構成となっている。
作であるが、更に本発明はＺ軸にも移動できる構成とな
っている。すなわち、駆動手段としてのモータ４４が図
示せぬ制御回路からの指令により駆動されると、この回
転駆動力がギヤ４５ａ及び４５ｂを介してボールねじ５
１に伝達される。このボールねじ５１の回転に伴ってボ
ールねじナット５２が図２に示す上方、すなわち垂直方
向に駆動され、これと共にボールスプライン軸５４も一
体に上昇する。ところが、このボールスプライン軸５４
の上方外周には複数条の直線状軌道溝が形成されており
、該溝はボールスプライン体５６により規制されている
ので、直線的に移動される。したがって、ボールスプラ
イン軸５４の先端部に取り付けられた軸作動部材５９に
は、ボールねじ５１の回転力が直線的に変換されて軸方
向に直線移動可能な構成となっている。
【００２４】なお、本実施例では、Ｚ軸の重心をテーブ
ル２８の下方に位置するように構成したが、駆動手段と
してのモータ４４等を含めて重心位置を決定するように
してもよい。
ル２８の下方に位置するように構成したが、駆動手段と
してのモータ４４等を含めて重心位置を決定するように
してもよい。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、Ｚ
軸をテーブル面に垂直に設けると共に該Ｚ軸の重心がテ
ーブル面よりも下方に位置するように該軸を配設したの
で、Ｚ軸全体の荷重が移動テーブルの一側面に対して回
転モーメントが働くというようなことがない。したがっ
て、装置としての機械精度を向上させることができると
いう効果がある。また、本発明によれば、Ｚ軸の重心位
置を下方に位置させることによりＸＹ駆動装置との重量
バランスが良くなり、装置の安定性を向上させることが
できるという効果がある。
軸をテーブル面に垂直に設けると共に該Ｚ軸の重心がテ
ーブル面よりも下方に位置するように該軸を配設したの
で、Ｚ軸全体の荷重が移動テーブルの一側面に対して回
転モーメントが働くというようなことがない。したがっ
て、装置としての機械精度を向上させることができると
いう効果がある。また、本発明によれば、Ｚ軸の重心位
置を下方に位置させることによりＸＹ駆動装置との重量
バランスが良くなり、装置の安定性を向上させることが
できるという効果がある。
【図１】図１は、本発明に係るＸ，Ｙ，Ｚ駆動装置の平
面図である。
面図である。
【図２】図２は、図１に示すＸ，Ｙ，Ｚ駆動装置のＡ−
Ａ線からみた一部断面を含む側面図である。
Ａ線からみた一部断面を含む側面図である。
【符合の説明】１ 基
台３，２２，５１ ボールねじ ８，２６，５２ ボールねじナット１１，２７
連結部材 １５，２８ テーブル １６，２９ 案内機構
台３，２２，５１ ボールねじ ８，２６，５２ ボールねじナット１１，２７
連結部材 １５，２８ テーブル １６，２９ 案内機構
Claims (2)
- 【請求項１】 基台上に固定された駆動手段によりＸ
方向（又はＹ方向）に移動可能なテーブルを有する第１
の駆動装置と、該第１の駆動装置に載置され該第１の駆
動装置と直交するＹ方向（又はＸ方向）に移動可能なテ
ーブルを有する第２の駆動装置とを備えたＸＹ駆動装置
と、該ＸＹ駆動装置と垂直なＺ方向に移動可能なＺ軸を
有するＺ軸駆動装置とを備えたＸ，Ｙ，Ｚ駆動装置にお
いて、前記Ｚ軸駆動装置は、Ｚ軸駆動手段と、Ｚ軸とで
構成され、該Ｚ軸は、第２の駆動装置のテーブル面に対
して垂直に設けられ、かつ該Ｚ軸の重心が前記第２のテ
ーブル面よりも下方に位置するように該軸を配設するよ
うに構成したことを特徴とするＸ，Ｙ，Ｚ駆動装置。 - 【請求項２】 前記Ｚ軸は、Ｚ軸駆動手段からの回転
トルクが付与されるボールねじ体と、該ボールねじ体に
より伝達される回転出力を直線的な移動に変換させて軸
作動部材に伝達させるボールスプライン体とを有する請
求項１記載のＸ，Ｙ，Ｚ駆動装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3173300A JPH04372318A (ja) | 1991-06-19 | 1991-06-19 | Ｘ，ｙ，ｚ駆動装置 |
| US07/901,354 US5265491A (en) | 1991-06-19 | 1992-06-19 | X-Y-Z drive apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3173300A JPH04372318A (ja) | 1991-06-19 | 1991-06-19 | Ｘ，ｙ，ｚ駆動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04372318A true JPH04372318A (ja) | 1992-12-25 |
Family
ID=15957890
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3173300A Pending JPH04372318A (ja) | 1991-06-19 | 1991-06-19 | Ｘ，ｙ，ｚ駆動装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5265491A (ja) |
| JP (1) | JPH04372318A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104827331A (zh) * | 2015-01-23 | 2015-08-12 | 南京建克机械有限公司 | 一种数控重切走心机上的第三轴组结构 |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB9204772D0 (en) * | 1992-03-05 | 1992-04-15 | Black & Decker Inc | Workcentre |
| US5864595A (en) * | 1996-09-18 | 1999-01-26 | General Electric Company | Actuator for facilitating performance of work in a nuclear reactor |
| US20110102744A1 (en) * | 2006-10-10 | 2011-05-05 | Philip Saad | Camera support for cinematography equipment |
| US7794088B1 (en) * | 2006-10-10 | 2010-09-14 | Philip Saad | Camera support for cinematography equipment |
| KR100819936B1 (ko) | 2006-12-04 | 2008-04-10 | 한월숙 | 복합 스테이지 |
| KR100921985B1 (ko) * | 2007-09-10 | 2009-10-14 | (주)케이엘메드 | 보행 재활 기구의 보행 궤적 유도 장치 |
| USD578146S1 (en) * | 2008-01-17 | 2008-10-07 | Yu Tian | Actuating device |
| US20090193925A1 (en) * | 2008-02-04 | 2009-08-06 | Pzung-Cheng Liou | Three-Axis Displacement Platform |
| ATE531619T1 (de) * | 2009-08-27 | 2011-11-15 | Eurocopter Deutschland | Einziehbares fahrwerk für ein drehflügler |
| CN115143151B (zh) * | 2022-08-16 | 2023-05-09 | 山东大学 | 一种无摩擦零泄漏液压执行器及驱动系统 |
| CN115055984B (zh) * | 2022-08-16 | 2022-11-25 | 山东大学 | 一种电液微位移平台、微位移系统、精度补偿系统及方法 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3279079A (en) * | 1965-10-22 | 1966-10-18 | Portage Machine Company | Inspection machine |
| US3432135A (en) * | 1966-12-29 | 1969-03-11 | Whittaker Corp | Subreflector-positioning mechanism |
| US3884363A (en) * | 1973-09-13 | 1975-05-20 | Bendix Corp | Programmable universal transfer device |
| GB2120202A (en) * | 1982-05-03 | 1983-11-30 | Nova Robotics Inc | Industrial robot |
| JPS60232839A (ja) * | 1984-05-04 | 1985-11-19 | Hitachi Ltd | 直線状案内軌道の固定装置 |
| US4729536A (en) * | 1986-11-04 | 1988-03-08 | Harry Scala | Anagraphic stand |
| JPH0192390U (ja) * | 1987-12-10 | 1989-06-16 |
-
1991
- 1991-06-19 JP JP3173300A patent/JPH04372318A/ja active Pending
-
1992
- 1992-06-19 US US07/901,354 patent/US5265491A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104827331A (zh) * | 2015-01-23 | 2015-08-12 | 南京建克机械有限公司 | 一种数控重切走心机上的第三轴组结构 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5265491A (en) | 1993-11-30 |
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