JPH04373393A - 固体撮像素子検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像素子の欠陥を
検査する固体撮像素子検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の固体撮像素子検査装置と
しては、被検査対象の固体撮像素子の各光電変換セルか
ら画素データを読み出し、このデータに対して所定の演
算処理を施し、その演算結果をもとに固体撮像素子の欠
陥の有無を検出するようにした構成が知られている。

【０００３】図６は従来の固体撮像素子検査装置の構成
を示す概略ブロック図である。図６に示すように、従来
の固体撮像素子検査装置は、被検査対象の固体撮像素子
Ａを駆動して各光電変換セルからの画素データの出力信
号を得るための駆動回路１と、固体撮像素子Ａからの出
力信号をディジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器２と、
Ａ／Ｄ変換器５１からのディジタル信号を記憶する記憶
器３と、記憶器３に記憶されたデータを読み出し、この
データに対して所定の演算を施す演算処理回路４と、そ
の演算結果をもとに欠陥画素数をカウントする全エリア
カウンタ回路５と、駆動回路１の起動、停止、演算処理
回路４の起動、停止および全エリアカウンタ回路５の起
動、停止等、各部の制御を行うコントローラ６とから構
成されている。

【０００４】以上のような構成において、以下、その動
作について説明する。駆動回路１が被検査対象の固体撮
像素子Ａを駆動し、この固体撮像素子Ａから光電変換セ
ルの配列により順次画素データを出力させる。出力され
た画素データは、順次、Ａ／Ｄ変換器２により、例えば
、１０ビットのディジタル信号に変換され、記憶器３に
光電変換セルの配列に対応して記憶される。この動作を
固体撮像素子Ａのすべての光電変換セルについて行う。 記憶器３に取り込まれた画素データは、順次、演算処理
回路４に転送され、ラプラシアン・フィルタを使用した
演算処理が施される。このラプラシアン・フィルタは図
４に示すように、注目画素抽出用のデータＭ０として「
８」が、周辺画素抽出用のデータＭ１〜Ｍ８として「−
１」が設定されている。そして、演算処理回路４は上述
したラプラシアン・フィルタを使用し、図５に示すよう
な画素データの被検査画素Ｐ０に対する周辺近傍の８つ
の画素データＰ１〜Ｐ８の平均値との差分を求める演算
処理を行う。次に、その演算結果は全エリアカウンタ回
路５４に取り込まれ、演算処理回路５３における演算結
果が判定レベル以上である欠陥画素の個数をカウントし
、そのカウント値の個数により欠陥の有無についての判
定処理を行い、画素欠陥の集合体（ザラと呼ぶ）の検査
を行う。このようにして被検査対象の固体撮像素子Ａの
検査を行っている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の固体撮像素子検査装置では、固体撮像素子Ａの全画
素データについてのみ欠陥画素数をカウントしているた
め、局所的な画素欠陥の集合体の検出を行うことができ
ない。すなわち、欠陥画素数が同数であっても、全エリ
アにわたって均等に欠陥画素が分散していると良品であ
るが、部分的に集中していると不良品となる場合が存在
し、両者を判別することは不可能であった。

【０００６】本発明は、上記のような従来例の問題を解
決するものであり、固体撮像素子の局所的なレベルの小
さな画素欠陥の集合体の検出をも行うことができ、した
がって、固体撮像素子の検査精度を向上させることがで
きるようにした固体撮像素子検査装置を提供することを
目的とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の固体撮像素子検
査装置は、上記目的を達成するために、被検査対象の固
体撮像素子の各光電変換セルから画素データを出力させ
る駆動回路と、上記画素データに対して所定の演算処理
を施す演算処理手段と、この演算処理手段による演算結
果をもとに上記固体撮像素子の全画素について欠陥画素
数をカウントする全エリアカウンタ回路と、上記演算処
理手段による演算結果をもとに分割されたエリアごとに
欠陥画素数をカウントする分割エリアカウンタ回路とを
備えたものである。

【０００８】そして、上記分割エリアカウンタ回路とし
て、欠陥画素を判定するためのレベルを記憶する判定レ
ベル記憶器と、上記演算処理手段からの演算結果と上記
判定レベル記憶器の判定レベルとを比較し、カウントア
ップ信号を出力する比較器と、上記演算処理手段からの
画素データに対応する上記固体撮像素子の配列位置を示
すアドレス情報を出力する分割エリア指定回路と、この
分割エリア指定回路により選択されたカウンタが上記比
較器から出力されたカウントアップ信号によりカウント
アップされるカウンタ群とを備えることができる。

【０００９】

【作用】したがって、本発明によれば、駆動回路により
被検査対象の固体撮像素子の各光電変換セルから画素デ
ータを出力させ、この画素データに対して演算処理手段
により所定の演算処理を施し、その演算結果をもとに全
エリアカウンタ回路により固体撮像素子の全エリアの欠
陥画素をすべてカウントすると共に、分割エリアカウン
タ回路により、画素データのエリアを任意に分割し、そ
れぞれの分割エリアごとに欠陥画素をカウントする。こ
のように全画素データについて欠陥画素数をカウントす
ることに加え、局所的に欠陥画素数をカウントするので
、固体撮像素子の局所的な画素欠陥の集合体の検査をも
行うことができる。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
しながら説明する。

【００１１】図１は本発明の一実施例における固体撮像
素子検査装置を示す概略ブロック図、図２は同固体撮像
素子検査装置に用いる分割エリアカウンタ回路の一例を
示す概略ブロック図である。

【００１２】図１に示すように、本発明実施例の固体撮
像素子検査装置は、駆動回路１０と、Ａ／Ｄ変換器１１
と、記憶器１２と、演算処理回路１３と、全エリアカウ
ンタ回路１４と、分割エリアカウンタ回路１５と、コン
トローラ１６とを備えている。駆動回路１０は被検査対
象の固体撮像素子Ａを駆動してこの固体撮像素子Ａの各
光電変換セルから画素データを出力させる。Ａ／Ｄ変換
器１１は固体撮像素子Ａからの出力信号をディジタル信
号に変換する。記憶器１２はＡ／Ｄ変換器１１からのデ
ィジタル信号を記憶する。演算処理回路１３は記憶器１
２から転送された画素データに対して所定の演算処理を
行う。全エリアカウンタ回路１４は演算処理回路１３の
演算結果をもとに全画素について欠陥画素の個数をカウ
ントする。分割エリアカウンタ回路１５は演算処理回路
１３の演算結果をもとに分割されたエリアごとに欠陥画
素数の個数をカウントする。コントローラ１６は駆動回
路１０の起動、停止、演算処理回路１３の起動、停止、
全エリアカウンタ回路１４の起動、停止および分割エリ
アカウンタ回路１５の起動、停止等、各部の制御を行う
。

【００１３】分割エリアカウンタ回路１５は図２に示す
ように、判定レベル記憶器１７と、比較器１８と、分割
エリア指定回路１９と、カウンタ群２０とを備えている
。判定レベル記憶器１７は欠陥画素を判定するためのレ
ベルを記憶している。比較器１８は演算処理回路１３か
らの演算結果と判定レベル記憶器１７に記憶してある判
定レベルとの比較を行い、演算結果が判定レベル以上で
ある時、カウンタ群２０の中の選択されたカウンタをカ
ウントアップする信号を出力する。分割エリア指定回路
１９は入力された演算処理回路１３からの画素データに
対応する固体撮像素子Ａの配列位置情報からいずれの分
割エリアに所属する画素データであるかを判断し、その
エリアに対応するカウンタをカウンタ群２０の中のカウ
ンタから選択する。分割エリア指定回路１９では、例え
ば、図３に示すように、固体撮像素子Ａの全エリアを分
割し、それぞれの分割エリアに対してカウンタ群２０の
カウンタを割り当てる。カウンタ群２０は分割エリアご
とに欠陥画素の個数をカウントするために用いられる。

【００１４】以上の構成において、以下、その動作につ
いて説明する。図１に示すように、駆動回路１０が被検
査対象の固体撮像素子Ａを駆動させ、この固体撮像素子
Ａから光電変換セルの配列により順次画素データを出力
させる。出力された画素データは、順次、Ａ／Ｄ変換器
１１により、例えば、１０ビットのディジタル信号に変
換され、記憶器１２に光電変換セルの配列に対応して記
憶される。この動作を固体撮像素子Ａのすべての光電変
換セルについて行う。記憶器１２に取り込まれた画素デ
ータは、順次、データ処理回路１３へ転送され、そこで
、上記従来例と同様にラプラシアン・フィルタを使用し
た演算処理が施される。その演算結果は、全エリアカウ
ンタ回路１４および分割エリアカウンタ回路１５にそれ
ぞれ入力される。全エリアカウンタ回路１４では全画素
についての欠陥画素の個数をカウントし、欠陥の有無に
ついての判定処理を行う。一方、分割エリアカウンタ回
路１５では分割されたエリアごとの欠陥画素の個数をカ
ウントし、欠陥の有無についての判定処理を行う。

【００１５】分割エリアカウンタ回路１５における動作
について更に詳細に説明する。図２に示すように、演算
処理回路１３において演算された演算結果が比較器１８
へ入力される。この比較器１８では、判定レベル記憶器
１７に記憶されている欠陥画素判定用の判定レベルと比
較される。判定レベル以上の値であれば、比較器１８か
らカウンタ値をカウントアップするカウントアップ信号
が出力される。また、この動作と同時に固体撮像素子Ａ
の配列位置を示すアドレス情報が分割エリア指定回路１
９へ入力される。この分割エリア指定回路１９では、現
在入力された演算処理回路１３からの演算結果がいずれ
の分割エリアであるかを判定し、その分割エリアに対応
するカウンタ群２０の中の一つのカウンタを選択し、そ
のカウンタの動作可能信号を出力する。このようにして
、分割エリア指定回路１９により選択されたカウンタ群
２０の中の１つのカウンタに対して比較器１８から出力
されたカウントアップ信号が入力され、そのカウンタの
値が１カウント増加する。この動作を固体撮像素子Ａの
全画素について行うことにより、それぞれの分割エリア
ごとの欠陥画素数を教えることができる。更に、それぞ
れの分割エリアの欠陥画素数に対して判定処理を行い、
局所的な画素欠陥の集合体の検査を行うことができる。

【００１６】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、駆
動回路により被検査対象の固体撮像素子の各光電変換セ
ルから画素データを出力させ、この画素データに対して
演算処理手段により所定の演算処理を施し、その演算結
果をもとに全エリアカウンタ回路により固体撮像素子の
全エリアの欠陥画素をすべてカウントすると共に、分割
エリアカウンタ回路により、画素データのエリアを任意
に分割し、それぞれの分割エリアごとに欠陥画素をカウ
ントする。このように全画素データについて欠陥画素数
をカウントすることに加え、局所的に欠陥画素数をカウ
ントするので、固体撮像素子の局所的な画素欠陥の集合
体の検査をも行うことができる。したがって、検査精度
を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例における固体撮像素子検査装
置を示す概略ブロック図

【図２】同固体撮像素子検査装置に用いる分割エリアカ
ウンタ回路の一例を示す概略ブロック図

【図３】固体撮
像素子の全画素をエリア分割する一例の説明図

【図４】欠陥検査に使用するラプラシアン・フィルタを
示す説明図

【図５】ラプラシアン・フィルタにより演算処理される
画素データの説明図

【図６】従来の固体撮像素子検査装置を示す概略ブロッ
ク図

【符号の説明】

Ａ　　被検査固体撮像素子 １０　　駆動回路 １１　　Ａ／Ｄ変換器 １２　　記憶器 １３　　演算処理回路 １４　　全エリアカウンタ回路 １５　　分割エリアカンタ回路 １６　　コントローラ １７　　判定レベル記憶器 １８　　比較器 １９　　分割エリア指定回路 ２０　　カウンタ群

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　被検査対象の固体撮像素子の各光電変
   換セルから画素データを出力させる駆動回路と、上記画
   素データに対して所定の演算処理を施す演算処理手段と
   、この演算処理手段による演算結果をもとに上記固体撮
   像素子の全画素について欠陥画素数をカウントする全エ
   リアカウンタ回路と、上記演算処理手段による演算結果
   をもとに分割されたエリアごとに欠陥画素数をカウント
   する分割エリアカウンタ回路とを備えた固体撮像素子検
   査装置。
2. 【請求項２】　　分割エリアカウンタ回路が、欠陥画素
   を判定するためのレベルを記憶する判定レベル記憶器と
   、演算処理手段からの演算結果と上記判定レベル記憶器
   の判定レベルとを比較し、カウントアップ信号を出力す
   る比較器と、演算処理手段からの画素データに対応する
   固体撮像素子の配列位置を示すアドレス情報を出力する
   分割エリア指定回路と、この分割エリア指定回路により
   選択されたカウンタが上記比較器から出力されたカウン
   トアップ信号によりカウントアップされるカウンタ群と
   を備えた請求項１記載の固体撮像素子検査装置。