JPH045941B2 - - Google Patents
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- JPH045941B2 JPH045941B2 JP4163582A JP4163582A JPH045941B2 JP H045941 B2 JPH045941 B2 JP H045941B2 JP 4163582 A JP4163582 A JP 4163582A JP 4163582 A JP4163582 A JP 4163582A JP H045941 B2 JPH045941 B2 JP H045941B2
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- ccd camera
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- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 42
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 16
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 5
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 4
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 4
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 1
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 1
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- 238000004092 self-diagnosis Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
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Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、シート状物の表面の傷を自動的
に、かつ精度よく検査する欠点検査装置に関する
ものである。
に、かつ精度よく検査する欠点検査装置に関する
ものである。
従来から被検査物であるシート状物上に光を照
射し、その反射光をセンサに入射させてシート状
物の表面の傷を検査する装置が提案されている。
しかし、従来の検査装置では、滑らかに変化する
傷や、シート状物の送り方向に連続している小さ
な傷等の検出は困難である欠点があつた。
射し、その反射光をセンサに入射させてシート状
物の表面の傷を検査する装置が提案されている。
しかし、従来の検査装置では、滑らかに変化する
傷や、シート状物の送り方向に連続している小さ
な傷等の検出は困難である欠点があつた。
この発明は、上述の点にかんがみなされたもの
である。以下この発明を図面について説明する。
である。以下この発明を図面について説明する。
第１図はこの発明の一実施例を示す全体構成の
略図である。この図で、１は低圧ナトリウムラン
プ、２はCCDカメラ、３は被検査物であるシー
ト状物、４はロールであり、ロール４で送られる
シート状物３を低圧ナトリウムランプ１で照射
し、その反射光をCCDカメラ２で撮像する。１
０は処理回路である。
略図である。この図で、１は低圧ナトリウムラン
プ、２はCCDカメラ、３は被検査物であるシー
ト状物、４はロールであり、ロール４で送られる
シート状物３を低圧ナトリウムランプ１で照射
し、その反射光をCCDカメラ２で撮像する。１
０は処理回路である。
低圧ナトリウムランプ１とCCDカメラ２の関
係は一定になるように、第２図のように筐体５中
に固定して設けられる。６はシリンドリカルレン
ズであり、θは60゜で設定される。
係は一定になるように、第２図のように筐体５中
に固定して設けられる。６はシリンドリカルレン
ズであり、θは60゜で設定される。
第３図は処理回路１０の内部構成を示すブロツ
ク図であり、１１は＋方向大欠点検出部、１２は
一方向大欠点検出部、１３は小欠点の集合欠点検
出部、１４は緩徐欠点検出部、１５は2048セル分
のメモリを少なくとも有する累積器、１６は線状
微小欠点検出器、１７は抑制回路で、前記１１〜
１４の各部のいずれか１つに出力が出たときに累
積器１５の動作を停止させるものである。１８は
排他論理ブロツクである。
ク図であり、１１は＋方向大欠点検出部、１２は
一方向大欠点検出部、１３は小欠点の集合欠点検
出部、１４は緩徐欠点検出部、１５は2048セル分
のメモリを少なくとも有する累積器、１６は線状
微小欠点検出器、１７は抑制回路で、前記１１〜
１４の各部のいずれか１つに出力が出たときに累
積器１５の動作を停止させるものである。１８は
排他論理ブロツクである。
次に各部の動作について順次説明する。
CCDカメラ２（第１図）の出力は、ノイズだ
けがとり出され、そのレベルを算出し、ノイズレ
ベルが決定され、その値に所要の係数をかけてし
きい値レベルが決定される。このしきい値レベル
以上がシート状物３の表面の傷の状態を表わす信
号となる。
けがとり出され、そのレベルを算出し、ノイズレ
ベルが決定され、その値に所要の係数をかけてし
きい値レベルが決定される。このしきい値レベル
以上がシート状物３の表面の傷の状態を表わす信
号となる。
＋方向大欠点検出部１１では、第４図に示すよ
うに、CCDカメラ２の出力信号Ｓのうち、＋方向
の振幅Ｄがあらかじめ定めた値DA以上のとき出
力信号S11を出す。この信号は抑制回路１７にも
加えられ、累積器１５の動作を停止させる。
うに、CCDカメラ２の出力信号Ｓのうち、＋方向
の振幅Ｄがあらかじめ定めた値DA以上のとき出
力信号S11を出す。この信号は抑制回路１７にも
加えられ、累積器１５の動作を停止させる。
一方向大欠点検出部１２は、第５図に示すよう
に、CCDカメラ２の出力信号Ｓのうち、一方向
の振幅Ｄがあらかじめ定めた値DB以上のとき、
出力信号S12を出す。
に、CCDカメラ２の出力信号Ｓのうち、一方向
の振幅Ｄがあらかじめ定めた値DB以上のとき、
出力信号S12を出す。
小欠点の集合欠点検出部１３は、１個１個の欠
点（傷）は小さいが、その数が多いとき出力を出
すものである。すなわち、第６図ａ，ｂに示すよ
うに、＋方向または一方向の振幅Ｄが、あらかじ
め定めた値DCPより大きいものが一定時間（例え
ば200ｍsec）中に所定の個数NC以上存在すると
き、出力信号S13を出す。
点（傷）は小さいが、その数が多いとき出力を出
すものである。すなわち、第６図ａ，ｂに示すよ
うに、＋方向または一方向の振幅Ｄが、あらかじ
め定めた値DCPより大きいものが一定時間（例え
ば200ｍsec）中に所定の個数NC以上存在すると
き、出力信号S13を出す。
緩徐欠点検出部１４は、滑らかに変化する欠点
の検出を行うものである。すなわち、第７図ａに
示すのは累積器１５に累積されたデータを示し、
第７図ｂは今回の走査で得られた一走査分の出力
信号を示すものである。第７図ｂで点線で示すの
は第７図ａの累積されたデータであり、緩徐欠点
検出部１４では、その差を積分する。すなわち、
CCDカメラ２の各セルにおける累積値と、その
各セルにそれぞれ対応する今回の走査における値
との差をとつて、積分を行う。この場合、第７図
ｂの左右の細かい凹凸はノイズによるものであ
り、したがつて、積分すると＋、−で打ち消され
てしまうので、こうして得られた積分値DIは緩
徐欠点がない場合にはおよそ０になるが、第７図
ｂのように緩徐欠点のある場合には斜線部の面積
が検出され大きな値となる。積分値DIがあらか
じめ定めた値DDより大きくなつたとき、出力信
号S14を出力する。これにより滑らかに変化する
欠点を検出できる。
の検出を行うものである。すなわち、第７図ａに
示すのは累積器１５に累積されたデータを示し、
第７図ｂは今回の走査で得られた一走査分の出力
信号を示すものである。第７図ｂで点線で示すの
は第７図ａの累積されたデータであり、緩徐欠点
検出部１４では、その差を積分する。すなわち、
CCDカメラ２の各セルにおける累積値と、その
各セルにそれぞれ対応する今回の走査における値
との差をとつて、積分を行う。この場合、第７図
ｂの左右の細かい凹凸はノイズによるものであ
り、したがつて、積分すると＋、−で打ち消され
てしまうので、こうして得られた積分値DIは緩
徐欠点がない場合にはおよそ０になるが、第７図
ｂのように緩徐欠点のある場合には斜線部の面積
が検出され大きな値となる。積分値DIがあらか
じめ定めた値DDより大きくなつたとき、出力信
号S14を出力する。これにより滑らかに変化する
欠点を検出できる。
線状微小欠点検出器１６は、シート状物３の送
り方向を連続している欠点を検出しようとするも
のである。
り方向を連続している欠点を検出しようとするも
のである。
すなわち、累積器１５に累積された現在値
YOLDiに下記の演算を加えて新しいYNEWiとする。
YOLDiに下記の演算を加えて新しいYNEWiとする。
YNEWi←YOLDi＋SiCE／１＋CE
ここに、ｉ＝１、……、2048
Siは現在の信号値
CEは累積の重み（例えば0.1）
そして、YNEWiがあらかじめ定めた所定値DE以
上のとき出力信号S16を出す。
上のとき出力信号S16を出す。
まず、ここで用いられている累積値Ｙは単純に
加算していつた値ではなく、それまでの加重平均
値YOLDiに新たに得られた出力信号値SiにCEの重
みをかけて加算し、それを（１＋CE）で除して
加重平均値を得、これをYNEWi＝YOLDi+1としたも
のを累積値Ｙと呼んでいる。
加算していつた値ではなく、それまでの加重平均
値YOLDiに新たに得られた出力信号値SiにCEの重
みをかけて加算し、それを（１＋CE）で除して
加重平均値を得、これをYNEWi＝YOLDi+1としたも
のを累積値Ｙと呼んでいる。
このような値は通常、
YNEWi＝YOLDi・ｔ＋Si（１−ｔ）（０≦ｔ≦１）
と表されることが多いが、実際のデジタル回路に
おいては、除する数（１＋CE）を２のべき乗に
するようにすることにより（例えばCE＝１、３、
７等）、割り算を高速で処理できるようにしてい
る。すなわち、上記YNEWiの式は、実際の回路で
行われている演算式を書いたものであり、１／
（１＋CE）＝ｔとすれば、通常用いられる加重平
均の式となる。
おいては、除する数（１＋CE）を２のべき乗に
するようにすることにより（例えばCE＝１、３、
７等）、割り算を高速で処理できるようにしてい
る。すなわち、上記YNEWiの式は、実際の回路で
行われている演算式を書いたものであり、１／
（１＋CE）＝ｔとすれば、通常用いられる加重平
均の式となる。
上記累積の重みCEは一例として0.1としたが、
これは適当決定すればよく、少々の傷は検出しな
いようにするのであれば小さな値に、厳密に検出
しようとすれば大きな値に設定すればよい。そし
て、YNEWiは各セル毎に累積されており、この値
が直ちに線状微小欠点を現わすのではなく、この
値が所定値DE以上のときをはじめて線状微小欠
点と判定する。
これは適当決定すればよく、少々の傷は検出しな
いようにするのであれば小さな値に、厳密に検出
しようとすれば大きな値に設定すればよい。そし
て、YNEWiは各セル毎に累積されており、この値
が直ちに線状微小欠点を現わすのではなく、この
値が所定値DE以上のときをはじめて線状微小欠
点と判定する。
なお、自己診断機能として、単位時間当りの欠
点検出信号数による診断を行わせる。例えば、１
時間に欠点検出個数が０のときはアラーム点灯を
行う。また、10秒間に欠点検出個数があらかじめ
定めた数以上のときアラーム点灯を行わせ、さら
にその状態が例えば30秒間連続したとき、アラー
ム点灯のほかにブザー吹鳴と出力信号の出力禁止
をさせるなどすれば、より一層、検査の信頼性を
増すことができる。
点検出信号数による診断を行わせる。例えば、１
時間に欠点検出個数が０のときはアラーム点灯を
行う。また、10秒間に欠点検出個数があらかじめ
定めた数以上のときアラーム点灯を行わせ、さら
にその状態が例えば30秒間連続したとき、アラー
ム点灯のほかにブザー吹鳴と出力信号の出力禁止
をさせるなどすれば、より一層、検査の信頼性を
増すことができる。
なお、上記ではCCDカメラ２によりシート状
物３の表面の走査を行つたが、これは一般に固体
撮像素子を用いることができる。また、シート状
物３の幅が広いときはCCDカメラ２を複数個並
置し、それに応じ処理回路１０を設けるものとす
る。
物３の表面の走査を行つたが、これは一般に固体
撮像素子を用いることができる。また、シート状
物３の幅が広いときはCCDカメラ２を複数個並
置し、それに応じ処理回路１０を設けるものとす
る。
以上詳細に説明したように、この発明は一走査
分の出力信号をデイジタル的に累積器に累積さ
せ、線状微小欠点検出器で、この累積値に所定の
重みを乗じかつ対応する出力信号を順次累積し、
この値から線状微小欠点を検出するようにしたの
で、シート状物の表面に浅い傷でも連続している
ものであれば確実に検出することができる。
分の出力信号をデイジタル的に累積器に累積さ
せ、線状微小欠点検出器で、この累積値に所定の
重みを乗じかつ対応する出力信号を順次累積し、
この値から線状微小欠点を検出するようにしたの
で、シート状物の表面に浅い傷でも連続している
ものであれば確実に検出することができる。
さらに、この発明では緩徐欠点検出部を設け、
累積器に記憶された前回迄の累積値を示す出力信
号と今回の一走査分の出力信号とを対応する出力
信号ごとに差をとり積分し、この積分値により緩
徐欠点の検出を行うようにしたので、滑らかに変
化する傷の場合にも、検出が可能である利点を有
する。
累積器に記憶された前回迄の累積値を示す出力信
号と今回の一走査分の出力信号とを対応する出力
信号ごとに差をとり積分し、この積分値により緩
徐欠点の検出を行うようにしたので、滑らかに変
化する傷の場合にも、検出が可能である利点を有
する。
第１図はこの発明の一実施例を示す全体構成の
略図、第２図は低圧ナトリウムランプとCCDカ
メラの関係を示す図、第３図はこの発明の処理回
路の内部構成を示す図、第４図、第５図、第６図
ａ，ｂ、第７図ａ，ｂはいずれも動作説明のため
の波形図である。 図中、１は低圧ナトリウムランプ、２はCCD
カメラ、３はシート状物、４はロール、１０は処
理回路、１１は＋方向大欠点検出部、１２は一方
向大欠点検出部、１３は小欠点の集合欠点検出
部、１４は緩徐欠点検出部、１５は累積器、１６
は線状微小欠点検出器、１７は抑制回路、１８は
排他論理ブロツクである。
略図、第２図は低圧ナトリウムランプとCCDカ
メラの関係を示す図、第３図はこの発明の処理回
路の内部構成を示す図、第４図、第５図、第６図
ａ，ｂ、第７図ａ，ｂはいずれも動作説明のため
の波形図である。 図中、１は低圧ナトリウムランプ、２はCCD
カメラ、３はシート状物、４はロール、１０は処
理回路、１１は＋方向大欠点検出部、１２は一方
向大欠点検出部、１３は小欠点の集合欠点検出
部、１４は緩徐欠点検出部、１５は累積器、１６
は線状微小欠点検出器、１７は抑制回路、１８は
排他論理ブロツクである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 被検査物であるシート状物を照明し、その反
射光をCCDカメラで受光し、このCCDカメラの
出力信号から前記シート状物の表面の傷を検知す
る装置において、前記CCDカメラによる前記シ
ート状物の一走査分の出力信号をデイジタル的に
累積記憶する累積器と、この累積器に記憶された
出力信号のそれぞれに所定の重みを乗じかつ対応
する出力信号を順次累積し、この累積値が所定値
に達したとき線状微小欠点の信号の出力を行う線
状微小欠点検出器とを備えたことを特徴とするシ
ート状物の欠点検査装置。 ２ 被検査物であるシート状物を照明し、その反
射光をCCDカメラで受光し、このCCDカメラの
出力信号から前記シート状物の表面の傷を検知す
る装置において、前記CCDカメラによる前記シ
ート状物の一走査分の出力信号をデイジタル的に
累積記憶する累積器と、この累積器に記憶された
出力信号のそれぞれに所定の重みを乗じかつ対応
する出力信号を順次累積し、この累積値が所定値
に達したとき線状微小欠点の信号の出力を行う線
状微小欠点検出器と、前記累積器に記憶された前
回迄の累積値を示す出力信号と今回の一走査分の
出力信号とを対応する出力信号ごとに差をとり積
分し、この積分値が一定値に達したとき緩徐欠点
の信号の出力を行う緩徐欠点検出部とを備えたこ
とを特徴とするシート状物の欠点検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4163582A JPS58160852A (ja) | 1982-03-18 | 1982-03-18 | シ−ト状物の欠点検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4163582A JPS58160852A (ja) | 1982-03-18 | 1982-03-18 | シ−ト状物の欠点検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58160852A JPS58160852A (ja) | 1983-09-24 |
| JPH045941B2 true JPH045941B2 (ja) | 1992-02-04 |
Family
ID=12613783
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4163582A Granted JPS58160852A (ja) | 1982-03-18 | 1982-03-18 | シ−ト状物の欠点検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58160852A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61231443A (ja) * | 1985-04-05 | 1986-10-15 | Mitsubishi Electric Corp | 光学表面検査装置 |
| JP2772429B2 (ja) * | 1989-03-22 | 1998-07-02 | スズキ株式会社 | バンパの取付構造 |
| JP5780936B2 (ja) * | 2011-12-06 | 2015-09-16 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 検査装置 |
-
1982
- 1982-03-18 JP JP4163582A patent/JPS58160852A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58160852A (ja) | 1983-09-24 |
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