JPH0437723Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、例えば半導体ウエハーのような薄板
や植物の種のような微粒物を取扱う際に、真空圧
を利用して吸着保持又は離脱させる真空チヤツク
と組合せ使用する減圧弁に関するものである。

（従来の技術） この種の真空チヤツク例えば半導体ウエハー用
の真空ピンセツトは、第６図で示すように構成さ
れている。

押ボタン１の操作で内蔵された開閉弁機構（図
示せず）を作動して流路を開閉するようにしたピ
ンセツト本体２と、先端側に偏平な吸着板３が取
着されて基端側を前記ピンセツト本体２の一方端
部に装着される中空の吸引導管４で構成されてい
る。そして前記真空ピンセツトは、ピンセツト本
体２の他方端部に対して着脱可能に螺合されるコ
ネクタ５と、当該コネクタに嵌着される吸引チユ
ーブ６を介して真空計７や止弁８および真空ポン
プ９等の吸気源装置に接続される。

前記真空ピンセツトは、止弁８を開いた状態で
真空ポンプ９を作動させると、吸着板３の面板上
に開口する細孔（図示せず）から空気が吸引さ
れ、半導体ウエハー等の被吸着体が吸着板３に吸
着保持される。又、押ボタン１を押圧操作する
と、内蔵された開閉弁機構が吸引される空気の流
路を遮断し、前記被吸着体は吸着板３から離脱さ
れる。

しかしながら、前記した半導体ウエハー等の被
吸着体は吸着力が強すぎると傷付ける恐れがあ
り、また吸着力は被吸着体の径等によつて適正値
が異るために真空圧の調節が必要である。この調
節手段としては、真空計側で行うか流路の途中に
減圧弁を設けて行なわれる。

（考案が解決しようとする問題点） 前記した真空圧の調節を真空計側で行う場合に
は、真空ピンセツトの近傍で調節できないので操
作上不便であり、また減圧弁による場合には、小
形で且つ安価に使用できるものがない等の問題点
があつた。

そこで本考案は、これらの問題点を解決しうる
真空チヤツク用減圧弁の提供を目的とするもので
あり、被吸着体としては前記した半導体ウエハー
等の薄板に限らず、それより微小な真空圧を必要
とする例えば植物種等のような微粒物の吸着保持
にも使用できる減圧弁である。

（問題点を解決するための手段） 本考案は、流路の上流側と下流側との管路に
各々連結される接続部を両端側に有する筒状体
と、当該筒状体の一方側の外周には軸線方向に沿
つて延在する排気孔が穿設されると共に、他方側
の外周には外ネジが設けられた減圧弁本体と、筒
状体で前記外ネジに螺合すう内ネジが一方側の内
周に設けられると共に、他方側の内周には少なく
とも前記排気孔が延在する軸線方向の巾より間隔
を置いて二本の環状溝が設けられたキヤツプと、
前記外ネジに内ネジを螺合してキヤツプを減圧弁
本体に対して前進又は後退させた際に、当該減圧
弁本体の外周に摺接するように前記した各環状溝
に装着させた環状シール材とで構成され、前記キ
ヤツプの前進又は後退によつて排気溝の開口率を
可変せしめたことを要旨とする真空チヤツク用減
圧弁である。

（実施例） 以下に本考案の実施例を図面に基づいて説明す
る。減圧弁１１は第１図で示すように、減圧弁本
体１２とキヤツプ１３および環状シール材１４，
１５とで構成されている。減圧弁本体１２は第２
図で示すように、外周面には滑り止め用のローレ
ツト１６が、内周面には流路の上流側又は下流側
（実施例では上流側）の管路に連結させる接合ネ
ジ１７が各に設けられた大径の摘み筒部１８と、
外周が平滑な摺動面１９を形成し、当該摺動面の
一部には軸線方向に沿つてスリツト状の排気口２
０が穿設された前記摘み筒部１８より小径の摺動
筒部２１と、外周面に前記キヤツプ１３と螺合す
る外ネジ２２が、内周面には流路の上流側又は下
流側（実施例では下流が）の管路に連結させる接
合ネジ２３が各々設けられた前記摺動筒部２１と
ほぼ同径のネジ筒部２４とで一体に形成されてい
る。キヤツプ１３は第３図で示すように、内周面
に前記減圧本体１１の外ネジ２２と螺合する内ネ
ジ２５設けた小径筒部２６と、外周面に滑り止め
用のローレツト２７が、内周面の一部に所定間隔
で二本の環状溝２８，２９が各々設けられた大径
の摘み筒部３０とで一体に形成されている。尚、
前記環状溝２８，２９の間隔は、前記減圧弁本体
１２にキヤツプ１３を螺合状態で被着させて摘み
筒部１８と摘み筒部３０とが当接するまで前進さ
せた際に、少くとも前記排気孔２０の両側に位置
するように設けられている。前記環状シール材１
４，１５は、例えばＯリング等によつて形成され
ている。そして、前記環状シール材１４，１５を
環状溝２８，２９内に各々挿着したキヤツプ１３
は、第１図で示すように内ネジ２５を外ネジ２２
に螺合させて減圧弁本体１２の外周に被着し、摺
動面１９に沿つて前進又は後退可能に組着された
一体の減圧弁１１を構成する。

前記構成の減圧弁１１には、減圧弁本体１２の
両端部に形成された接合ネジ１７および２３に対
して連結用コネクタ３１，３２が各々着脱可能に
螺着され、当該減圧弁１１は、第４図で示すよう
に上流側が連結用コネクタ３１に嵌合する中継用
コネクタ３３と、中継用コネクタ３４および中継
用コネクタ３５を介して、前記した真空ピンセツ
ト２と同様の構成による真空チヤツク３６に接続
されると共に、下流側は連結用コネクタ３２に嵌
合する中継用コネクタ３７および中継用パイプ３
８を介して、前記した従来例と同様の吸気源装置
に接続される。尚、第４図では真空チヤツク３６
の先端にシヤープペンや注射針の如き吸着ノズル
９を取着させ、植物種のような微粒物を吸着保持
又は離脱できる構成としたが、半導体ウエハーの
ような薄板用には前記した従来例の吸着板３と同
様のものが使用される。

減圧弁１１の使用に際しては、一方の手を用い
て減圧弁本体１２の摘み筒部１８を保持し、他方
の手を用いてキヤツプ１３の摘み筒部３０を回動
操作させて摺動筒部２１に沿つてキヤツプ１３を
前進又は後退させると、排気孔２０の開口率が変
化して吸引される真空圧の調節を行うことができ
る。すなわち、キヤツプ１３が最も前進された位
置にすると、前記環状シール材１４，１５によつ
て排気孔２０が全閉して、吸気源装置の真空ポン
プで設定された真空圧で吸引され、この位置より
順次後退させると、排気孔２０の開口率が次第に
増大して流路の途中が大気と連通するので真空圧
は次第に低下し、最も後退された位置では排気孔
２０が全開して真空圧はほぼ零となる。従つて、
吸着する対象物に応じて所望の真空圧に減圧調節
することが可能である。

次に第５図は、本考案の他の使用状態を示す実
施例であり、この実施例は開閉弁機構を備えた前
記真空チヤツク３６に減圧弁１１を一体に装着さ
せた構造である。すなわち、真空チヤツク３６の
出力側と減圧弁１１の入力側とをネジ手段によつ
て直接に接続させ、中継部分を省略することによ
つて操作性の向上およびコストの低減を計つたも
のである。尚、前記した実施例における排気孔
は、笛の構造のように間隔を置いて多数の円孔を
配列させるようにしても良く、またこれらの排気
孔の近傍に減圧比を表示する目盛を付すこともで
きる。

（考案の効果） 前記した実施例では明らかなとおり、本考案に
よる減圧弁は小形で真空チヤツクに近接した流路
中に装着させることができると共に、キヤツプを
回動させるだけで減圧を行うことができるので、
操作する上で極めて便利であり、且つ構成が簡単
で安価に提供しうるものである。また、吸着する
対象物に適合するように規定の真空圧から微小な
真空圧迄減圧調節が可能な為に、半導体ウエハー
等の薄板から植物種等の微粒物まで巾広い範囲の
対象物に対して傷付けることなく安全に取扱うこ
とができ等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例による減圧弁を下半分
は断面で示す全体正面図、第２図は同要部となる
減圧弁本体を下半分は断面で示す全体正面図、第
３図は同キヤツプの全体正面図、第４図は同減圧
弁の使用態様を示す分解斜視図、第５図は同減圧
弁の他の使用態様を示す斜視図、第６図は従来の
半導体ウエハー用真空ピンセツトの使用状態説明
図である。 符号の説明、１１……減圧弁、１２……減圧弁
本体、１３……キヤツプ、１４，１５……環状シ
ール材、１８，３０……摘み筒部、２０……排気
孔、２１……摺動筒部、２２……外ネジ、２４…
…ネジ筒部、２５……内ネジ、２６……小径筒
部、２８，２９……環状溝、３１，３２……連結
用コネクタ、３３，３５，３７……中継用コネク
タ、３４，３８……中継用パイプ、３６……真空
チヤツク、３９……吸着ノズル。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 流路の上流側と下流側との管路に各々連結され
   る接続部を両端側に有する筒状体で、当該筒状体
   の一方側の外周には軸線方向に沿つて延在する排
   気孔が穿設されると共に、他方側の外周には外ネ
   ジが設けられた減圧弁本体と、筒状体で前記外ネ
   ジに螺合する内ネジが一方側の内周に設けられる
   と共に、他方側の内周に少くとも前記排気孔が延
   在する軸線方向の巾より間隔を置いて二本の環状
   溝が設けられたキヤツプと、前記外ネジに内ネジ
   を螺合してキヤツプを減圧弁本体に対して前進又
   は後退させた際に、当該減圧弁本体の外周に摺接
   するように前記した各環状溝に装着させた環状シ
   ール材とで構成され、前記キヤツプの前進又は後
   退によつて排気孔の開口率を可変せしめたことを
   特徴とする真空チヤツク用減圧弁。