JPH0438509U - - Google Patents

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JPH0438509U
JPH0438509U JP8054490U JP8054490U JPH0438509U JP H0438509 U JPH0438509 U JP H0438509U JP 8054490 U JP8054490 U JP 8054490U JP 8054490 U JP8054490 U JP 8054490U JP H0438509 U JPH0438509 U JP H0438509U
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JP
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light
isotropic material
half mirror
linearly polarized
measurement
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JP8054490U
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の等方性物質の厚さ測定装置の
具体的実施例を示す図、第2図乃至第3図は第1
図の説明に供する図、第4図は従来の装置の構成
を示すブロツク線図である。 1……光源、3……コリメートレンズ、15…
…コンデンサ、16……絞り、17……ケスター
プリズム、18……#1偏光子、19……ハーフ
ミラー(HR)、20,21,25,26……λ
/4板、23……#2偏光子、24……検出器、
C……被測定フイルム、S……サンプル。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 光源の光を等方性物質に照射してこの照射光に
    係わる透過・吸収から前記等方性物質の厚さを測
    定する装置において、前記光源から出た光を少な
    くとも測定光と参照光に分割する光分割手段、前
    記測定光と前記参照光を直線偏光する#1偏光子
    、ハーフミラー、該ハーフミラー通過後の前記測
    定光と前記参照光の両光路に夫々一対設けられて
    入射する光の直線偏光の振動面に対しλ/4の光
    軸と45°傾けて入射する直線偏光について一対
    のその中間に夫々挿入される前記等方性物質及び
    サンプルの表裏の反射とこの等方性物質及びサン
    プル中を透過し且つ吸収を受けた光とを分離する
    λ/4板、及び該λ/4板からの戻り直線偏光の
    前記ハーフミラーでの反射光の等方性物質で吸収
    された光のみを検出器に通す#2偏光子、を具備
    したことを特徴とする等方性物質の厚さ測定装置
JP8054490U 1990-07-27 1990-07-27 Pending JPH0438509U (ja)

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JP8054490U JPH0438509U (ja) 1990-07-27 1990-07-27

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JPH0438509U true JPH0438509U (ja) 1992-03-31

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ID=31625706

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JP8054490U Pending JPH0438509U (ja) 1990-07-27 1990-07-27

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JP (1) JPH0438509U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006126192A (ja) * 2004-10-26 2006-05-18 Mitsutoyo Corp モノリシック直交位相検出器

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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