JPH0439732B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0439732B2 JPH0439732B2 JP60205555A JP20555585A JPH0439732B2 JP H0439732 B2 JPH0439732 B2 JP H0439732B2 JP 60205555 A JP60205555 A JP 60205555A JP 20555585 A JP20555585 A JP 20555585A JP H0439732 B2 JPH0439732 B2 JP H0439732B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- wafer
- wafers
- gap
- groove
- Prior art date
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Description
【発明の詳細な説明】
(イ) 産業上の利用分野
本発明はVTR等に使用される磁気ヘツドの製
造方法に関する。
造方法に関する。
(ロ) 従来の技術
第２図において、イの磁性材料ウエハ１にロの
如く平面加工を施し、その上にハの如くギヤツプ
用のSiO2膜２を蒸着又はスパツタリングにより
成膜する。続いてニの如く巻線溝３と溶着溝４、
トラツク幅規制溝５等の溝加工を施す。この溝加
工を施したウエハは第２図ハのウエハと合体、接
合されてギヤツプが形成さされる。
如く平面加工を施し、その上にハの如くギヤツプ
用のSiO2膜２を蒸着又はスパツタリングにより
成膜する。続いてニの如く巻線溝３と溶着溝４、
トラツク幅規制溝５等の溝加工を施す。この溝加
工を施したウエハは第２図ハのウエハと合体、接
合されてギヤツプが形成さされる。
一般に磁気ヘツドのギヤツプ形成工程では、そ
の間隙（ギヤツプ）を一定にすることが、そのヘ
ツドの性能を決める重要な要素となるため最高度
の加工精度が要求される。
の間隙（ギヤツプ）を一定にすることが、そのヘ
ツドの性能を決める重要な要素となるため最高度
の加工精度が要求される。
第３図は、そのようなギヤツプ形成工程（一対
のウエハの接合工程）の従来例を示す。第３図は
第２図ニに示すウエハ１ｂと第２図ハに示すウエ
ハ１ａを対接せしめると共に、これらをプレート
６ａ，６ｂ間に挟圧保持した状態を示している。
プレート６ａ，６ｂはそれぞれ押圧棒７ａ，７ｂ
と一体になつている。この状態で溶着溝４に接合
手段（例えばガラス棒）を挿通し、温度を上げて
このガラス棒を溶融する。その他、従来例として
特開昭59−82618号公報に示されるものである。
のウエハの接合工程）の従来例を示す。第３図は
第２図ニに示すウエハ１ｂと第２図ハに示すウエ
ハ１ａを対接せしめると共に、これらをプレート
６ａ，６ｂ間に挟圧保持した状態を示している。
プレート６ａ，６ｂはそれぞれ押圧棒７ａ，７ｂ
と一体になつている。この状態で溶着溝４に接合
手段（例えばガラス棒）を挿通し、温度を上げて
このガラス棒を溶融する。その他、従来例として
特開昭59−82618号公報に示されるものである。
(ハ) 発明が解決しようとする問題点
ウエハの平面度は必ずしも理想的になつておら
ず、例えば第３図に示すように中央部分の肉厚が
大きく、周辺部の肉厚が小さく凸レンズのような
形状になつている部分もある。このような場合、
周辺部にはプレート６ａ，６ｂによる押圧力は働
らかないのでガラス棒の溶融したものが対向面に
充填しギヤツプ長を所定の値よりも大きくする。
このようにして形成されたものは、後工程で単位
ごとにスライスされ磁気ヘツドの原型をなすが、
ギヤツプ長が規格から脱れたものであり、明らか
に不良品である。また、第３図のような凸レンズ
形状をしていないウエハの場合であつても、ギヤ
ツプ部がゴミを咬む状態が生じた場合にはその影
響が、そのギヤツプ部だけでなく隣接するチツプ
単位のギヤツプ部にまで及びヘツドを不合格なも
のになす。VTR用ヘツドの場合、ギヤツプ長は
0.2〜0.4μmという極めて小さいものであり、ゴミ
によつても上記のような問題は生じる。
ず、例えば第３図に示すように中央部分の肉厚が
大きく、周辺部の肉厚が小さく凸レンズのような
形状になつている部分もある。このような場合、
周辺部にはプレート６ａ，６ｂによる押圧力は働
らかないのでガラス棒の溶融したものが対向面に
充填しギヤツプ長を所定の値よりも大きくする。
このようにして形成されたものは、後工程で単位
ごとにスライスされ磁気ヘツドの原型をなすが、
ギヤツプ長が規格から脱れたものであり、明らか
に不良品である。また、第３図のような凸レンズ
形状をしていないウエハの場合であつても、ギヤ
ツプ部がゴミを咬む状態が生じた場合にはその影
響が、そのギヤツプ部だけでなく隣接するチツプ
単位のギヤツプ部にまで及びヘツドを不合格なも
のになす。VTR用ヘツドの場合、ギヤツプ長は
0.2〜0.4μmという極めて小さいものであり、ゴミ
によつても上記のような問題は生じる。
次に特開昭59−82618号公報のように、ウエハ
の「そり」による圧力の不均一性を解消し良好な
ギヤツプを形成するためにウエハとプレートとが
密着していない部分に加圧材をプレート側へスパ
ツタしたものが提案されているが、この方法では
各ウエハごとに、面の「そり」具合を検査し、そ
の後加圧材のスパツタ位置や厚みを決定したりし
なければならず生産性が非常に悪いものであつ
た。
の「そり」による圧力の不均一性を解消し良好な
ギヤツプを形成するためにウエハとプレートとが
密着していない部分に加圧材をプレート側へスパ
ツタしたものが提案されているが、この方法では
各ウエハごとに、面の「そり」具合を検査し、そ
の後加圧材のスパツタ位置や厚みを決定したりし
なければならず生産性が非常に悪いものであつ
た。
(ニ) 問題点を解決するための手段
少くとも一方に巻線溝および／若しくは溶着溝
を設けた一対の磁性体ウエハを両側からプレート
で挟圧保持し、前記溶着溝に挿入された接合手段
を溶融して前記一対の磁性体ウエハを接合する磁
気ヘツドの製造方法において、前記磁性体ウエハ
とプレート間に前記接合手段の溶融温度において
もクツシヨン性を有するシートを介在せしめる。
を設けた一対の磁性体ウエハを両側からプレート
で挟圧保持し、前記溶着溝に挿入された接合手段
を溶融して前記一対の磁性体ウエハを接合する磁
気ヘツドの製造方法において、前記磁性体ウエハ
とプレート間に前記接合手段の溶融温度において
もクツシヨン性を有するシートを介在せしめる。
(ホ) 作用
プレートの押圧力はクツシヨン性シートを介し
て磁性体ウエハに伝達され一対の磁性体ウエハ間
のギヤツプを均一にするように働く。接合手段の
溶着温度では磁性体ウエハは容易に曲がるので、
クツション性シートを介してプレートから押圧力
が加わると、それに応じて両ウエハの対接間に力
が加わる。
て磁性体ウエハに伝達され一対の磁性体ウエハ間
のギヤツプを均一にするように働く。接合手段の
溶着温度では磁性体ウエハは容易に曲がるので、
クツション性シートを介してプレートから押圧力
が加わると、それに応じて両ウエハの対接間に力
が加わる。
(ヘ) 実施例
第３図と同一部分には同一の符号を付して示す
第１図において、８ａ，８ｂはプレート６ａ，６
ｂと磁性体ウエハ１ａ，１ｂ間に介在されたクツ
シヨン性のシートであつて、このシートは接合手
段（例えばガラス棒）の溶融温度においてもクツ
シヨン性を失なわないものとする。尚、ガラス棒
の溶融温度はウエハ１ａ，１ｂがフエライト材で
ある場合には700℃程度であり、センダスト材の
場合はそれより低い。前記シートとして、例えば
カーボンクロスなどが適当である。尚、前記シー
ト８ａ，８ｂの一方を省略してもよい。
第１図において、８ａ，８ｂはプレート６ａ，６
ｂと磁性体ウエハ１ａ，１ｂ間に介在されたクツ
シヨン性のシートであつて、このシートは接合手
段（例えばガラス棒）の溶融温度においてもクツ
シヨン性を失なわないものとする。尚、ガラス棒
の溶融温度はウエハ１ａ，１ｂがフエライト材で
ある場合には700℃程度であり、センダスト材の
場合はそれより低い。前記シートとして、例えば
カーボンクロスなどが適当である。尚、前記シー
ト８ａ，８ｂの一方を省略してもよい。
このように、ウエハにカーボンクロスのように
高温度においても弾性を有するシート８ａ，８ｂ
を介して圧着することによりガラスの溶着温度で
は曲げ応力が小さくなつたウエハ全面に圧力がか
かり２枚の磁性体ウエハ１ａ，１ｂ間の不所望な
間隙がなくなり目標とするSiO2膜間が密着し全
面にわたり均一したギヤツプを得ることができ
た。
高温度においても弾性を有するシート８ａ，８ｂ
を介して圧着することによりガラスの溶着温度で
は曲げ応力が小さくなつたウエハ全面に圧力がか
かり２枚の磁性体ウエハ１ａ，１ｂ間の不所望な
間隙がなくなり目標とするSiO2膜間が密着し全
面にわたり均一したギヤツプを得ることができ
た。
尚、好ましい実施例として、ギヤツプ部材は
0.4μmのSiO2膜、溶着ガラス材は鉛系ガラス、磁
性体ウエハ１ａ，１ｂはMn−Znフエライト、溶
着温度は750℃、保持時間は20分、プレート６ａ，
６ｂ間に加わる圧力は２Kg／cm2、クツシヨン性シ
ートはカーボンクロスを推奨する。
0.4μmのSiO2膜、溶着ガラス材は鉛系ガラス、磁
性体ウエハ１ａ，１ｂはMn−Znフエライト、溶
着温度は750℃、保持時間は20分、プレート６ａ，
６ｂ間に加わる圧力は２Kg／cm2、クツシヨン性シ
ートはカーボンクロスを推奨する。
第３図の従来方法では、ギヤツプ長の目標が
0.4μmの場合、標準偏差が0.02μm、であるのに対
し、本発明における上記の好ましい実施例では標
準偏差が0.012μmに改善された。
0.4μmの場合、標準偏差が0.02μm、であるのに対
し、本発明における上記の好ましい実施例では標
準偏差が0.012μmに改善された。
(ト) 発明の効果
本発明によればウエハの平行度が多少凹又は凸
面であつても、介在したシートの効果により、所
望温度において２枚のウエハの接合部に均一な圧
力がかかり、均一に密着する。従つて、不良品の
発生を可及的に回避できる。
面であつても、介在したシートの効果により、所
望温度において２枚のウエハの接合部に均一な圧
力がかかり、均一に密着する。従つて、不良品の
発生を可及的に回避できる。
第１図は本発明を説明するための図である。第
２図は磁気ヘツドの一般的な製造方法の一部の工
程を示す図である。第３図は従来の方法を示す図
である。 １ａ，１ｂ……磁性体ウエハ、３……巻線溝、
４……溶着溝、６ａ，６ｂ……プレート、８ａ，
８ｂ……シート。
２図は磁気ヘツドの一般的な製造方法の一部の工
程を示す図である。第３図は従来の方法を示す図
である。 １ａ，１ｂ……磁性体ウエハ、３……巻線溝、
４……溶着溝、６ａ，６ｂ……プレート、８ａ，
８ｂ……シート。
Claims (1)
- １ 少くとも一方に巻線溝および／若しくは溶着
溝を設けた一対の磁性体ウエハを両側からプレー
トで挟圧保持し、前記巻線溝および／若しくは前
記溶着溝に挿入された接合手段を溶融して前記一
対の磁性体ウエハを接合する磁気ヘツドの製造方
法において、前記磁性体ウエハとプレート間に前
記接合手段の溶融温度においてもクツシヨン性を
有するシートを介在せしめたことを特徴とする磁
気ヘツドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20555585A JPS6265217A (ja) | 1985-09-18 | 1985-09-18 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20555585A JPS6265217A (ja) | 1985-09-18 | 1985-09-18 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6265217A JPS6265217A (ja) | 1987-03-24 |
| JPH0439732B2 true JPH0439732B2 (ja) | 1992-06-30 |
Family
ID=16508828
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20555585A Granted JPS6265217A (ja) | 1985-09-18 | 1985-09-18 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6265217A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0537174U (ja) * | 1991-10-29 | 1993-05-21 | 伸生 田中 | 吊り具 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5562525A (en) * | 1978-11-06 | 1980-05-12 | Hitachi Ltd | Glass bonding method of magnetic head |
-
1985
- 1985-09-18 JP JP20555585A patent/JPS6265217A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6265217A (ja) | 1987-03-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |