JPH0443486U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0443486U JPH0443486U JP1990085919U JP8591990U JPH0443486U JP H0443486 U JPH0443486 U JP H0443486U JP 1990085919 U JP1990085919 U JP 1990085919U JP 8591990 U JP8591990 U JP 8591990U JP H0443486 U JPH0443486 U JP H0443486U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- galvanometer
- temperature
- unit
- processing
- laser
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 3
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例のレーザ加工装置の
側面図、第２図ａは第１図に示す加工物のガルバ
ノ温度補正前の上面図、第２図ｂは第１図に示す
加工物のガルバノ温度補正後の上面図、第３図は
従来例のレーザ加工装置の側面図である。 １……レーザ発振部、２……レーザビーム、３
ａ……ガルバノメータ（Ｘ軸用）、３ｂ……ガル
バノメータ（Ｙ軸用）、４……ガルバノコントロ
ール部、５……温度トリガー部、６……画像処理
部、７……フラツシユランプ、８……レーザロツ
ド、９……ＴＶカメラ、１０……可視光、１１…
…ダイクロイツクミラー、１２……被加工物、１
３……加工目標点、１４……補正前ビーム加工点
、１５……補正後ビーム加工点、１６……ガルバ
ノ温度ドリフト（Ｘｄ，Ｙｄ）。
側面図、第２図ａは第１図に示す加工物のガルバ
ノ温度補正前の上面図、第２図ｂは第１図に示す
加工物のガルバノ温度補正後の上面図、第３図は
従来例のレーザ加工装置の側面図である。 １……レーザ発振部、２……レーザビーム、３
ａ……ガルバノメータ（Ｘ軸用）、３ｂ……ガル
バノメータ（Ｙ軸用）、４……ガルバノコントロ
ール部、５……温度トリガー部、６……画像処理
部、７……フラツシユランプ、８……レーザロツ
ド、９……ＴＶカメラ、１０……可視光、１１…
…ダイクロイツクミラー、１２……被加工物、１
３……加工目標点、１４……補正前ビーム加工点
、１５……補正後ビーム加工点、１６……ガルバ
ノ温度ドリフト（Ｘｄ，Ｙｄ）。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 レーザ発振部と、 前記レーザ発振部から発せられるレーザビーム
の進行方向を変化させるガルバノメータと、 加工目標点の位置データを記憶し、前記加工目
標点の位置データにより前記ガルバノメータを制
御するガルバノコントロール部と、 前記ガルバノメータの温度を測定し、ある一定
の変動幅を越えたときにトリガー信号を発する温
度トリガー部と、 前記温度トリガー部より発せられた前記トリガ
ー信号を受け、加工点の画像認識を行い、加工目
標とのずれを検出し、前記ガルバノコントロール
部の位置データに補正を与える画像処理部とを有
することを特徴とするガルバノ温度ドリフト自己
補正機能付きレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990085919U JPH0443486U (ja) | 1990-08-15 | 1990-08-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990085919U JPH0443486U (ja) | 1990-08-15 | 1990-08-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0443486U true JPH0443486U (ja) | 1992-04-13 |
Family
ID=31635290
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990085919U Pending JPH0443486U (ja) | 1990-08-15 | 1990-08-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0443486U (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003290944A (ja) * | 2002-04-04 | 2003-10-14 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工装置 |
| JP2007021507A (ja) * | 2005-07-12 | 2007-02-01 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工装置 |
| JP2014054671A (ja) * | 2007-06-25 | 2014-03-27 | Electro Scientific Industries Inc | レーザベースのウェハ加工の間にスループットを高めるようにパラメータを適応化するシステム及び方法 |
| JP2018161676A (ja) * | 2017-03-27 | 2018-10-18 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | レーザ加工装置 |
-
1990
- 1990-08-15 JP JP1990085919U patent/JPH0443486U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003290944A (ja) * | 2002-04-04 | 2003-10-14 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工装置 |
| JP2007021507A (ja) * | 2005-07-12 | 2007-02-01 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工装置 |
| JP2014054671A (ja) * | 2007-06-25 | 2014-03-27 | Electro Scientific Industries Inc | レーザベースのウェハ加工の間にスループットを高めるようにパラメータを適応化するシステム及び方法 |
| JP2018161676A (ja) * | 2017-03-27 | 2018-10-18 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | レーザ加工装置 |