JPH0443850U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0443850U JPH0443850U JP8691690U JP8691690U JPH0443850U JP H0443850 U JPH0443850 U JP H0443850U JP 8691690 U JP8691690 U JP 8691690U JP 8691690 U JP8691690 U JP 8691690U JP H0443850 U JPH0443850 U JP H0443850U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- gas introduction
- gas
- sample holder
- chamber
- Prior art date
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- Pending
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Description
第１図は本考案の一実施例装置の構成を示した
図、第２図は第１図に使用されているガス導入試
料ホルダを示す図、第３図は第２図のＡＡ断面図
、第４図は動作を説明するための図、第５図は従
来例を説明するための図である。 １７……ガス導入試料ブロツク、１８……保持
台、１９……試料ホルダ、２０……ガス導入ケー
ス、２１……試料台、２２……調整ねじ、２３…
…自在継手、２４……モータ、２５……ガス導入
室、２６……ガス導入管、２７……流量制御器、
２８ａ，２８ｂ，２８ｃ，２８ｄ……ガス通路、
２９，３０，３１，３２……Ｏリング。
図、第２図は第１図に使用されているガス導入試
料ホルダを示す図、第３図は第２図のＡＡ断面図
、第４図は動作を説明するための図、第５図は従
来例を説明するための図である。 １７……ガス導入試料ブロツク、１８……保持
台、１９……試料ホルダ、２０……ガス導入ケー
ス、２１……試料台、２２……調整ねじ、２３…
…自在継手、２４……モータ、２５……ガス導入
室、２６……ガス導入管、２７……流量制御器、
２８ａ，２８ｂ，２８ｃ，２８ｄ……ガス通路、
２９，３０，３１，３２……Ｏリング。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 試料室内に置かれた移動台と、該移動台に
装着される筒状の試料ホルダと、該試料ホルダ内
に設置された試料を保持するための試料台と、前
記試料ホルダの上部に包囲するように形成された
ガス導入室と、該ガス導入室内に外部からガスを
導入するためのガス導入手段と、前記ガス導入室
内のガスを前記試料ホルダ内の試料に向け噴射さ
せるため、該試料ホルダ側壁に形成されたガス通
路とからなる走査電子顕微鏡等におけるガス導入
試料装置。 (2) 前記試料ホルダ内に置かれ、試料台を上下
に移動させるための移動機構を設けたことを特徴
とする請求項第１記載の走査電子顕微鏡における
ガス導入試料装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8691690U JPH0443850U (ja) | 1990-08-20 | 1990-08-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8691690U JPH0443850U (ja) | 1990-08-20 | 1990-08-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0443850U true JPH0443850U (ja) | 1992-04-14 |
Family
ID=31636556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8691690U Pending JPH0443850U (ja) | 1990-08-20 | 1990-08-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0443850U (ja) |
-
1990
- 1990-08-20 JP JP8691690U patent/JPH0443850U/ja active Pending
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