JPH0214198Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は電子線露光装置の露光室内に被露光材
料を挿入するための材料供給装置に関する。

従来の電子線露光装置の材料供給装置は露光室
との間と、大気側との間に仕切弁を有する予備排
気室に材料を入れて760Torrから10^-3Torr程度ま
で排気してから、予備排気室と露光室との間の仕
切弁を開いて材料を露光室内に挿入する如き構成
であり、この予備排気時間に少くとも数分間要す
るため迅速な材料の供給ができなかつた。

本考案はこのような従来の装置の欠点を解決し
迅速に材料の供給が可能で構造簡単な電子線露光
装置の材料供給装置を提供することを目的として
なされたもので、以下図面に基づき本考案の一実
施例を詳述する。

第１図は本考案の一実施例の一部断面図であ
り、図中１は露光室であり、該露光室は排気系２
によつて10^-7Torr程度まで排気されている。３
は大気側から露光室側へ向つて水平に設けられた
案内筒であり、案内筒３は大気側から後述する材
料導入孔６の下部まで伸ばされている。該案内筒
３に沿つて移動部材４が挿脱自在に設けられてい
る。該移動部材４は第２図に拡大して示すように
その先端部に第１の弁体５が該部材４に対して上
下動可能に設けられている。６は露光室１に材料
を導入するための導入孔である。前記第１の弁体
５は露光室１の外側において材料導入孔６の周囲
壁に密着したり、離れたりするように駆動され
る。第１の弁体５は凹部７を有しており、該凹部
７の底部にはスペーサー８が配置されており、又
該スペーサー８の上部には材料９（或はそのカセ
ツト）が配置される。該材料９が入れられると、
余分な隙間が殆んど無くなるように、凹部７及び
スペーサー８のサイズが選ばれている。スペーサ
ー８の底部には後述する第２の軸１２が挿入され
る穴を有している。材料導入孔６の近傍は排気管
１０に接続された真空ポンプ（図示せず）によつ
て排気されており、従つて、該真空ポンプ（図示
せず）と大気側との間の案内筒３に沿つて真空度
の勾配（圧力の勾配）が形成される。即ち、前記
排気管１０内の真空ポンプ（図示せず）に最も近
い箇所から大気側の間における排気管内と移動部
材４が移動する案内筒内（材料導入孔６近傍を含
む）において、前記真空ポンプ（図示せず）から
遠ざかるに従つて圧力が徐々に高くなる様に真空
度（圧力）の勾配が形成される。この際、例え
ば、案内筒３の材料導入孔６近傍の真空度は
1Torr程度の真空度になつている。１１は図示外
の駆動機構によつて上下動する第１の軸である。
前記材料導入孔６を塞ぐ際には前記移動部材４の
底部の切欠を通して第１の移動軸１１を上昇せし
めて第１の弁体５の底部に当接させた後、該第１
の弁体５を第１図に示すように導入孔６の周囲壁
に密着せしめる。１２は第１の軸１１と同軸に設
けられた第２の軸であり、該第２の軸１２も上下
動し、上昇した際に前記第１の弁体５に設けられ
た孔を通つてスペーサー８の穴に挿入され、スペ
ーサー８ごと材料９を持ち上げる。１３は上下動
することによつて露光室１を内側から開閉するた
めの第２の弁体である。１４は真空を保持するた
めのベローズである。１５はアームであり、該ア
ームと同一高さまで持ち上げられた材料９は移動
して来た該アームによつて図面上左方に移送さ
れ、移動ステージ１６上に載置される。又１７，
１８等は真空シールのためのＯリングである。

上述した構成において、まず第２図に示すよう
に第１、第２の軸１１，１２を引き下げ第１の弁
体５をその上面が移動部材４の上面と同じ高さに
なるようにした後、第１の弁体５の凹部７が案内
筒３の外に出るまで移動部材４を右方へ移動させ
る。この時もちろん露光室１は第２の弁体１３に
よつて塞がれている。そこで露光済の材料９を凹
部７より取り出して新しい材料９を凹部７に収納
した後、移動部材４を案内筒３内に挿入し、材料
９が導入孔６と一致するまで左方に移動させる。
次に、第１の軸１１を上昇せしめて第１の弁体５
の底部に当接せしめると共に第２の軸１２も上昇
せしめてスペーサー８の穴に挿入する。更に第１
の軸１１と第２の軸１２とを一体的に上昇させ第
１図に示すように第１の弁体５を材料導入孔６の
周囲壁に密着させ該孔６を塞ぐ。そこで、第２の
弁体１３を上昇せしめて孔６を内側より開くと共
に、第２の軸１２を上昇せしめてスペーサーごと
材料９を露光室１内に挿入する。然かる後、アー
ム１５により材料９を左方に移送してステージ１
６上に載置する。最後に第２の軸１２を下降させ
た後、第２の弁体１３を下降させて材料導入孔６
を内側より閉じる。

上述した本案に基づく装置においては、第１の
弁体５により材料導入孔６を塞いだ後、第２の弁
体１３を開いて材料９を露光室１内に挿入する
が、材料９が凹部７に収納されている状態での凹
部の余分なスペースの体積は露光室の容積の1/10
０００程度の極めて小さなものであり、且つこの部
分の真空度は1Torr程度まで排気されているた
め、第２の弁体１３を開いても露光室内に入り込
むガス分子の量は微々たるものとなり、露光室内
の真空度を悪化させるものではない。従つて移動
部材４を案内筒３に挿入した後、予備排気等の手
間をかけず直ちに材料９を露光室内に挿入するこ
とができ、材料の供給を迅速に行うことができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の一部断面図であ
り、第２図は第１図の一部を拡大して示すための
図である。 １……露光室、３……案内筒、４……移動部
材、５……第１の弁体、６……材料導入孔、７…
…凹部、８……スペーサー、９……材料、１０…
…排気管、１１……第１の軸、１２……第２の
軸、１３……第２の弁体、１６……移動ステー
ジ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 露光室に材料を導入するための材料導入孔と、
   大気側から該材料導入孔の下部まで略水平方向に
   伸ばされた案内筒と、該案内筒に沿つて挿脱自在
   に備えられた移動部材と、該案内筒に沿つて大気
   側との間に圧力の勾配を形成する為の排気手段
   と、実質的に被露光材料と同じ大きさの凹部と該
   凹部の底部を貫通する孔とを有し前記移動部材の
   先端部に上下動可能に載置された第１の弁体と、
   前記凹部に位置する前記材料が前記導入孔の直下
   に位置するように前記移動部材が案内筒に挿入さ
   れた状態において前記第１の弁体を上昇せしめ該
   第１の弁体を前記導入孔の周囲壁に密着させるた
   めの第１の軸と、前記第１の軸と同軸に設けられ
   気密を保ちながら前記第１の弁体に設けられた孔
   を通つて移動し前記材料を前記材料導入孔を通し
   て露光室内に持ち上げるための第２の軸と、前記
   材料導入孔を露光室の内側から塞ぐための第２の
   弁体とを具備する事を特徴とする電子線露光装置
   の材料供給装置。