JPH0444615Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0444615Y2 JPH0444615Y2 JP1986133031U JP13303186U JPH0444615Y2 JP H0444615 Y2 JPH0444615 Y2 JP H0444615Y2 JP 1986133031 U JP1986133031 U JP 1986133031U JP 13303186 U JP13303186 U JP 13303186U JP H0444615 Y2 JPH0444615 Y2 JP H0444615Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etched
- parts
- hanger frame
- hook
- end side
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔概要〕
この考案は被エツチング部品を吊り下げて処理
液槽に浸漬させるためのハンガー枠とフツク部材
とからなる吊り下げ具において、処理後のハンガ
ー枠に付着した洗浄液やエツチング液等がフツク
部材を介して被エツチング部品へ垂れ下がるのを
防止するため、ハンガー枠に一端部を固定される
フツク部材をＷ字形状の線材で構成し、その自由
端側のＶ字部で前記被エツチング部品を引つ掛
け、固定端側のＶ字部で前記ハンガー枠に付着し
た洗浄液等を垂下させるようにしたものである。
液槽に浸漬させるためのハンガー枠とフツク部材
とからなる吊り下げ具において、処理後のハンガ
ー枠に付着した洗浄液やエツチング液等がフツク
部材を介して被エツチング部品へ垂れ下がるのを
防止するため、ハンガー枠に一端部を固定される
フツク部材をＷ字形状の線材で構成し、その自由
端側のＶ字部で前記被エツチング部品を引つ掛
け、固定端側のＶ字部で前記ハンガー枠に付着し
た洗浄液等を垂下させるようにしたものである。
〔産業上の利用分野〕
この考案は、被エツチング部品の吊り下げ具に
係り、さらに詳細には被エツチング部品へのハン
ガー枠に付着した洗浄液等の垂れ下がりを防止し
た吊り下げ具構造に関するものである。
係り、さらに詳細には被エツチング部品へのハン
ガー枠に付着した洗浄液等の垂れ下がりを防止し
た吊り下げ具構造に関するものである。
加工部品を大量にホトエツチングする場合、そ
の被エツチング部品を吊り下げ具に吊り下げ、こ
の吊り下げ具を輸送手段に取りつけて洗浄液槽、
乾燥室、レジスト液槽、乾燥室、エツチング液槽
等の各工程間に移動させる方法が採られている。
の被エツチング部品を吊り下げ具に吊り下げ、こ
の吊り下げ具を輸送手段に取りつけて洗浄液槽、
乾燥室、レジスト液槽、乾燥室、エツチング液槽
等の各工程間に移動させる方法が採られている。
従来の被エツチング部品吊り下げ具は、第３図
に示すように枠状のハンガー１１の上枠部にＵ字
形状のフツク金具１２を２個、下枠部にスプリン
グフツク１３を１個固定した構造である。
に示すように枠状のハンガー１１の上枠部にＵ字
形状のフツク金具１２を２個、下枠部にスプリン
グフツク１３を１個固定した構造である。
この吊り下げ具に例えばシート状の被エツチン
グ部品２１を吊り下げる際は、該部品の上端部と
下端部にそれぞれ孔を形成し上端部の孔には前記
フツク金具１２、下端部の孔には前記スプリング
フツク１３をそれぞれ引つ掛けて吊り下げる。そ
して部品吊り下げ後は、ハンガー１１の上枠部に
一体的に設けた引つ掛け腕部１４を輸送手段３１
に引つ掛けて洗浄液槽、乾燥室等の工程へ移動さ
せる。
グ部品２１を吊り下げる際は、該部品の上端部と
下端部にそれぞれ孔を形成し上端部の孔には前記
フツク金具１２、下端部の孔には前記スプリング
フツク１３をそれぞれ引つ掛けて吊り下げる。そ
して部品吊り下げ後は、ハンガー１１の上枠部に
一体的に設けた引つ掛け腕部１４を輸送手段３１
に引つ掛けて洗浄液槽、乾燥室等の工程へ移動さ
せる。
ところが前記従来の吊り下げ具では、洗浄液槽
やレジスト液槽等に被エツチング部品２１を浸し
た後の次の乾燥工程への移動過程において、ハン
ガー１１に付着した洗浄液等がフツク金具１２を
介して被エツチング部品２１に流れる現象があ
る。被エツチング部品の当該液垂れ部分Ａは、他
の部分と表面状態が異なる、つまりハンガー等に
付着した汚染物も流れていて汚染度が大きいため
にレジストの密着性を悪くするなどの問題を生じ
る。
やレジスト液槽等に被エツチング部品２１を浸し
た後の次の乾燥工程への移動過程において、ハン
ガー１１に付着した洗浄液等がフツク金具１２を
介して被エツチング部品２１に流れる現象があ
る。被エツチング部品の当該液垂れ部分Ａは、他
の部分と表面状態が異なる、つまりハンガー等に
付着した汚染物も流れていて汚染度が大きいため
にレジストの密着性を悪くするなどの問題を生じ
る。
この考案は、以上のような従来の状況から、被
エツチング部品にハンガー枠に付着した洗浄液等
が垂れ下がらない構造の吊り下げ具の提供を目的
とするものである。
エツチング部品にハンガー枠に付着した洗浄液等
が垂れ下がらない構造の吊り下げ具の提供を目的
とするものである。
上記目的を達成するためにこの考案は、第１図
に示すように被エツチング部品２１を吊り下げる
フツク部材４１をＷ字形状の線材で構成し、その
自由端側の一方のＶ字部４２を前記被エツチング
部品の引つ掛け部とし、ハンガー枠１１に固定さ
れる固定端側のＶ字部４３を該ハンガー枠に付着
した洗浄液等の液ダレ部にした構造を採つてい
る。
に示すように被エツチング部品２１を吊り下げる
フツク部材４１をＷ字形状の線材で構成し、その
自由端側の一方のＶ字部４２を前記被エツチング
部品の引つ掛け部とし、ハンガー枠１１に固定さ
れる固定端側のＶ字部４３を該ハンガー枠に付着
した洗浄液等の液ダレ部にした構造を採つてい
る。
前記Ｗ字形状のフツク部材４１では、ハンガー
枠１１に付着した洗浄液等の流れは固定端側のＶ
字部４３に留まりこの個所で垂下してしまう。し
たがつて、ハンガー枠に付着した洗浄液等は吊り
下げ具を介して被エツチング部品へ流れることは
ない。なお、自由端側のＶ字部４２にも洗浄液等
は付着するが、その量はハンガー枠１１の付着量
に比べてきわめて少ないので何ら支障ない。
枠１１に付着した洗浄液等の流れは固定端側のＶ
字部４３に留まりこの個所で垂下してしまう。し
たがつて、ハンガー枠に付着した洗浄液等は吊り
下げ具を介して被エツチング部品へ流れることは
ない。なお、自由端側のＶ字部４２にも洗浄液等
は付着するが、その量はハンガー枠１１の付着量
に比べてきわめて少ないので何ら支障ない。
〔実施例〕
以下この考案の一実施例について第２図の要部
斜視図を参照して説明する。
斜視図を参照して説明する。
第２図において、１１はステンレス
（SUS304）製のハンガー枠、２１は被エツチン
グ部品、４１はステンレス（SUS304）線材をＷ
字形状に成形した被エツチング部品のフツク部材
である。フツク部材４１の一端部はハンガー枠１
１の上枠部に溶接により固定されており、その固
定端側のＶ字部４３は洗浄液等が垂下し易いよう
に先細つた形状を有し、かつ自由端側のＶ字部４
２は各種の被エツチング部品を引つ掛けることが
できるようにＵ字に近い形状を有する。なお、ハ
ンガー枠１１は図では示されていないが、従来例
同様に上枠部に引つ掛け腕部、下枠部にスプリン
グフツクを備えている。
（SUS304）製のハンガー枠、２１は被エツチン
グ部品、４１はステンレス（SUS304）線材をＷ
字形状に成形した被エツチング部品のフツク部材
である。フツク部材４１の一端部はハンガー枠１
１の上枠部に溶接により固定されており、その固
定端側のＶ字部４３は洗浄液等が垂下し易いよう
に先細つた形状を有し、かつ自由端側のＶ字部４
２は各種の被エツチング部品を引つ掛けることが
できるようにＵ字に近い形状を有する。なお、ハ
ンガー枠１１は図では示されていないが、従来例
同様に上枠部に引つ掛け腕部、下枠部にスプリン
グフツクを備えている。
以上の説明から明らかなようにこの考案の吊り
下げ具によれば、ハンガー枠に付着した洗浄液等
を被エツチング部品に流化させないので、該エツ
チング部品に対するレジストの密着性を向上する
等の実用的効果を奏する。
下げ具によれば、ハンガー枠に付着した洗浄液等
を被エツチング部品に流化させないので、該エツ
チング部品に対するレジストの密着性を向上する
等の実用的効果を奏する。
第１図はこの考案の被エツチング部品の吊り下
げ具の基本構成を示す要部側面図、第２図はこの
考案の一実施例を示す要部斜視図、第３図は従来
の被エツチング部品吊り下げ具を示す斜視図であ
る。 第１図、第２図において、１１はハンガー枠、
２１は被エツチング部品、４１はフツク部材、４
２は自由端側のＶ字部、４３は固定端側のＶ字部
をそれぞれ示す。
げ具の基本構成を示す要部側面図、第２図はこの
考案の一実施例を示す要部斜視図、第３図は従来
の被エツチング部品吊り下げ具を示す斜視図であ
る。 第１図、第２図において、１１はハンガー枠、
２１は被エツチング部品、４１はフツク部材、４
２は自由端側のＶ字部、４３は固定端側のＶ字部
をそれぞれ示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 被エツチング部品を吊り下げて処理液槽間に浸
漬させる用具であつて、 前記被エツチング部品２１を吊り下げ可能なハ
ンガー枠１１と、 該ハンガー枠１１の上枠部にその一端部を固定
したＷ字形状の線材からなり、自由端側のＶ字部
４２を前記被エツチング部品２１の引つ掛け部に
し、固定端側のＶ字部４３を前記ハンガー枠１１
に付着した処理液を流下させる液ダレ部にしたフ
ツク部材４１と、 から構成されたことを特徴とする被エツチング部
品の吊り下げ具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986133031U JPH0444615Y2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986133031U JPH0444615Y2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6339169U JPS6339169U (ja) | 1988-03-14 |
| JPH0444615Y2 true JPH0444615Y2 (ja) | 1992-10-21 |
Family
ID=31032970
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986133031U Expired JPH0444615Y2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0444615Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4953132A (ja) * | 1972-09-27 | 1974-05-23 | ||
| JPS5636125Y2 (ja) * | 1973-01-24 | 1981-08-25 |
-
1986
- 1986-08-29 JP JP1986133031U patent/JPH0444615Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6339169U (ja) | 1988-03-14 |
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