JPH0444928B2 - - Google Patents
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- JPH0444928B2 JPH0444928B2 JP58214143A JP21414383A JPH0444928B2 JP H0444928 B2 JPH0444928 B2 JP H0444928B2 JP 58214143 A JP58214143 A JP 58214143A JP 21414383 A JP21414383 A JP 21414383A JP H0444928 B2 JPH0444928 B2 JP H0444928B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- straightness
- measured
- guide surface
- measurement
- value
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/30—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring roughness or irregularity of surfaces
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、測定対象物の真直度と移動案内面の
真直度及び移動時の縦ゆれ量（ピツチング）とを
同時に測定しうる実用化に供し得る方法に関す
る。
真直度及び移動時の縦ゆれ量（ピツチング）とを
同時に測定しうる実用化に供し得る方法に関す
る。
近年、工作機械に対する高精度化への要求が高
まりつつある中で、案内面（摺動面）の真直度管
理は重要な課題の一つとなつており、その測定の
容易化が望まれている。従来から行なわれている
真直度の測定方法としては、ストレートエツジ等
の基準バーやピアノ線を基準直線としたり、ある
いはオートコリメータを利用する方法が知られて
おり、最近ではレーザ光による独立光学座標系を
用いた方法も開発されている。
まりつつある中で、案内面（摺動面）の真直度管
理は重要な課題の一つとなつており、その測定の
容易化が望まれている。従来から行なわれている
真直度の測定方法としては、ストレートエツジ等
の基準バーやピアノ線を基準直線としたり、ある
いはオートコリメータを利用する方法が知られて
おり、最近ではレーザ光による独立光学座標系を
用いた方法も開発されている。
ところが、これらの方法ではいずれも、測定作
業に相当な準備と熟練度が要求され、しかも能率
が悪い上に種々の雑音による悪影響を受け易い欠
点があり、現場での実用化という点で多くの問題
点を残している。
業に相当な準備と熟練度が要求され、しかも能率
が悪い上に種々の雑音による悪影響を受け易い欠
点があり、現場での実用化という点で多くの問題
点を残している。
これらの問題を解決しうる真直度の新しい測定
方法として、３台の変位検出器を測定対象物に沿
つて移動させ、これら変位検出器による測定値か
ら、逐次測定対象物の真直度と変位検出器の移動
案内面の真直度とを同時に測定する方法が本発明
者等により報告されている、（特願昭57−167561
「真直度測定方法」）この先に出願した「真直度測
定方法」（特願昭57−167561）はその原理を表わ
す第１図に示すように、測定対象物１に沿つて設
けられた案内面２に沿つて移動する検出器取付台
３を設け、この検出器取付台３に測定対象物１と
の距離を測定する３個の変位検出器Ａ，Ｂ，Ｃを
検出器取付台３の移動方向に等間隔ｌで設置す
る。そして、検出器取付台３を図中矢印方向に移
動させながら変位検出器Ａ，Ｂ，Ｃの間隔ｌと等
しい移動距離ｌ毎に測定対象物１表面との隔りを
測定し、その値をそれぞれDKA，DKB，DKC（Ｋ＝
０，１，２，…）とする。この時の距離ｌ毎の代
表点を用いて測定対象物１の真直度、案内面２の
真直度および検出器取付台３のピツチングがそれ
ぞれYK，XK，θK（Ｋ＝０，１，２，…）で表わさ
れているとする。
方法として、３台の変位検出器を測定対象物に沿
つて移動させ、これら変位検出器による測定値か
ら、逐次測定対象物の真直度と変位検出器の移動
案内面の真直度とを同時に測定する方法が本発明
者等により報告されている、（特願昭57−167561
「真直度測定方法」）この先に出願した「真直度測
定方法」（特願昭57−167561）はその原理を表わ
す第１図に示すように、測定対象物１に沿つて設
けられた案内面２に沿つて移動する検出器取付台
３を設け、この検出器取付台３に測定対象物１と
の距離を測定する３個の変位検出器Ａ，Ｂ，Ｃを
検出器取付台３の移動方向に等間隔ｌで設置す
る。そして、検出器取付台３を図中矢印方向に移
動させながら変位検出器Ａ，Ｂ，Ｃの間隔ｌと等
しい移動距離ｌ毎に測定対象物１表面との隔りを
測定し、その値をそれぞれDKA，DKB，DKC（Ｋ＝
０，１，２，…）とする。この時の距離ｌ毎の代
表点を用いて測定対象物１の真直度、案内面２の
真直度および検出器取付台３のピツチングがそれ
ぞれYK，XK，θK（Ｋ＝０，１，２，…）で表わさ
れているとする。
尚、検出器取付台３のピツチングは変位検出器
Ａを基準として考える。
Ａを基準として考える。
ここで、第１図に示すように、測定開始位置に
おける案内面２の真直度誤差をX0、１番目の位
置のそれをX1、１番目の位置における測定対象
物１の真直度誤差をY1、２番目の位置のそれぞ
れをY2とし、測定開始位置における各変位検出
器Ａ，Ｂ，Ｃの測定値をD0A，D0B，D0Cとすると
共にＫ番目の測定位置における測定値をDKA，
DKB，DKC，Ｋ＋ｉ番目の位置での測定値をDK+iA，
DK+iB，DK+iCとすると、同図から、次式(1)(2)(3)が
成立する。
おける案内面２の真直度誤差をX0、１番目の位
置のそれをX1、１番目の位置における測定対象
物１の真直度誤差をY1、２番目の位置のそれぞ
れをY2とし、測定開始位置における各変位検出
器Ａ，Ｂ，Ｃの測定値をD0A，D0B，D0Cとすると
共にＫ番目の測定位置における測定値をDKA，
DKB，DKC，Ｋ＋ｉ番目の位置での測定値をDK+iA，
DK+iB，DK+iCとすると、同図から、次式(1)(2)(3)が
成立する。
DKA−YK−XK＝D0A ……(1)
DKB−YK+1−XK−ｌ・θK
＝D0B−Y1−X0 ……(2)
DKC−YK+2−XK−2l・θK
＝D0C−Y2−X0 ……(3)
また、(2)式および(3)式を変形すると次式(4)が得
られる。
られる。
2DKB−２・D0B−DKC＋D0C＝XK＋2YK+1−YK+2−
2Y1＋Y2−X0……(4) また、(1)式において、Ｋ→Ｋ＋１、Ｋ→Ｋ＋２
とすることによつて得たYK+1、YK+2を(4)式に代
入すると次式(5)が得られる。
2Y1＋Y2−X0……(4) また、(1)式において、Ｋ→Ｋ＋１、Ｋ→Ｋ＋２
とすることによつて得たYK+1、YK+2を(4)式に代
入すると次式(5)が得られる。
XK+2＝２・XK+1−XK−2DK+1A＋DK+2A＋2DKB−DKC＋
D0A−２・D0B＋D0C＋X0＋2Y1−Y2……(5) さらに、(2)式、(5)式および(1)式から求めた
YK+2を用いて次式(6)、(7)が得られる。
D0A−２・D0B＋D0C＋X0＋2Y1−Y2……(5) さらに、(2)式、(5)式および(1)式から求めた
YK+2を用いて次式(6)、(7)が得られる。
YK+2＝−XK+2＋DK+2A−D0A ……(6)
θK+2＝−XK+2−YK+3＋DK+2B−D0B＋Y1＋X0／
ｌ……(7) すなわち、Ｋ＝０，１，２，…の位置での変位
検出器Ａ，Ｂ，Ｃの測定値DKA，DKB，DKCを用い
て、上記(5)式、(6)式および(7)式から逐次、測定対
象物１の真直度曲線Ｙ、案内面２の真直度曲線Ｘ
および検出器取付台３のピツチングθを算出する
ことができるのである。
ｌ……(7) すなわち、Ｋ＝０，１，２，…の位置での変位
検出器Ａ，Ｂ，Ｃの測定値DKA，DKB，DKCを用い
て、上記(5)式、(6)式および(7)式から逐次、測定対
象物１の真直度曲線Ｙ、案内面２の真直度曲線Ｘ
および検出器取付台３のピツチングθを算出する
ことができるのである。
このように本方法によれば、検出器取付台３が
案内面に沿つて移動して行く場合の検出器取付台
３の浮き沈み（真直度変化）のみならず、前後方
向の縦ゆれ（ピツチング）の影響をも考慮した高
精度の測定が可能となるのである。
案内面に沿つて移動して行く場合の検出器取付台
３の浮き沈み（真直度変化）のみならず、前後方
向の縦ゆれ（ピツチング）の影響をも考慮した高
精度の測定が可能となるのである。
尚、本例では測定対象物１が静止し、検出器取
付台３が移動する場合について説明したが、逆に
検出器取付台３が静止し、測定対象物１が移動す
る場合にも上記(5)式、(6)式および(7)式を適用する
ことができる。
付台３が移動する場合について説明したが、逆に
検出器取付台３が静止し、測定対象物１が移動す
る場合にも上記(5)式、(6)式および(7)式を適用する
ことができる。
次に、具体的な計算法について説明する、上記
(5)式、(6)式および(7)式からわかるように、(5)式か
ら求めたXK（Ｋ＝２，３，４，…）を用いてYK
が算出されそれらの値からピツチングθKが求めら
れる。そこで、この(5)式の具体的適用法について
説明する。
(5)式、(6)式および(7)式からわかるように、(5)式か
ら求めたXK（Ｋ＝２，３，４，…）を用いてYK
が算出されそれらの値からピツチングθKが求めら
れる。そこで、この(5)式の具体的適用法について
説明する。
(5)式において、X0は測定開始位置での真直度
誤差であり、D0A，D0B，D0Cはいずれも測定開始
位置での変位量測定値である。したがつて、各変
位検出器Ａ，Ｂ，Ｃの初期設定値を０とすれば
X0＝D0A＝D0B＝D0C＝０と仮定することができ
る。
誤差であり、D0A，D0B，D0Cはいずれも測定開始
位置での変位量測定値である。したがつて、各変
位検出器Ａ，Ｂ，Ｃの初期設定値を０とすれば
X0＝D0A＝D0B＝D0C＝０と仮定することができ
る。
この仮定のもとで、Ｋ＝０，１，２，…，ｎに
対してXK+2は次のようになる。
対してXK+2は次のようになる。
X2＝2X1−０−２・D1A＋D2A＋０−０＋2Y1−
Y2 X3＝2X2−X1−２・D2A＋D3A＋２・D1B−D1C
＋2Y1−Y2 〓 〓 Xo+2＝2Xo+1−Xo−２・Do+1A＋Do+2A＋２・D
oB−DoC＋2Y1−Y2 しかし、X1，Y1，Y2は(5)式および(6)式の漸化
式からは求めることはできない値であり、真直度
曲線Ｘを求めるためには、何んらかの方法で、こ
れらの値を推定するか、または、その影響分を除
去する必要がある。
Y2 X3＝2X2−X1−２・D2A＋D3A＋２・D1B−D1C
＋2Y1−Y2 〓 〓 Xo+2＝2Xo+1−Xo−２・Do+1A＋Do+2A＋２・D
oB−DoC＋2Y1−Y2 しかし、X1，Y1，Y2は(5)式および(6)式の漸化
式からは求めることはできない値であり、真直度
曲線Ｘを求めるためには、何んらかの方法で、こ
れらの値を推定するか、または、その影響分を除
去する必要がある。
そこで、(5)式において、X1＝α、2Y1−Y2＝
βとおくと、次式(8)が成立する。
βとおくと、次式(8)が成立する。
XK＝Ｋ・α＋Ｋ（Ｋ−１）／２・β
＋CK（Ｋ＝２，３，…） ……(8)
XK：Ｋ番目の位置での真直度誤差（真の値）
CK：Ｋ番目の位置での真直度誤差（計算値）
また、このCKはα＝β＝０と仮定して(5)式に
よつて測定値DKA，DKB，DKCから求めた値であ
る。
よつて測定値DKA，DKB，DKCから求めた値であ
る。
ここで、真直度誤差を『各測定点での誤差の二
乗平均値が最小になるような仮想直線からのへだ
たり』としてとらえることとすれば上記(8)式を用
いて真直度誤差を次の手順で求めることができ
る。
乗平均値が最小になるような仮想直線からのへだ
たり』としてとらえることとすれば上記(8)式を用
いて真直度誤差を次の手順で求めることができ
る。
() Ｋ＝２，３，４，…，ｎに対してCKを求め
ておく。
ておく。
() (8)式で示されたXKの二乗平均値を最小とす
るα，βを求める。
るα，βを求める。
このα，βは最小２乗法によつて比較的簡単
に次式(9)(10)で求めることができる。
に次式(9)(10)で求めることができる。
α＝δ1（γ4−2γ3＋γ2）−（δ2−δ1）
（γ3−γ2）／（γ3−γ2）2−γ2（γ4−2γ3＋γ2）
……(9) β＝２・（δ2−δ1）・γ2−2δ1（γ3−γ2）
／（γ3−γ2）2−γ2（γ4−2γ3＋γ2）……(10) 但し γ2＝o 〓K=2 K2，γ3＝o 〓K=2 K3，γ4＝o 〓K=2 K4， δ1＝o 〓K=2 （Ｋ・CK），δ2＝o 〓K=2 （K2・CK） () (9)式および(10)式で求めたα，βおよび
（）で求めたCKから(8)式によつてXKを求め
る。
（γ3−γ2）／（γ3−γ2）2−γ2（γ4−2γ3＋γ2）
……(9) β＝２・（δ2−δ1）・γ2−2δ1（γ3−γ2）
／（γ3−γ2）2−γ2（γ4−2γ3＋γ2）……(10) 但し γ2＝o 〓K=2 K2，γ3＝o 〓K=2 K3，γ4＝o 〓K=2 K4， δ1＝o 〓K=2 （Ｋ・CK），δ2＝o 〓K=2 （K2・CK） () (9)式および(10)式で求めたα，βおよび
（）で求めたCKから(8)式によつてXKを求め
る。
このXKが各測定での誤差の二乗平均値が最
小となるような仮想直線からのへだたりとして
の真直度誤差となる。
小となるような仮想直線からのへだたりとして
の真直度誤差となる。
一方、測定対象物１の真直度曲線はXKを(6)式
に代入することによつて求まり、検出器取付台３
のピツチングはYK，XK(7)を式に代入して求める
ことができる。
に代入することによつて求まり、検出器取付台３
のピツチングはYK，XK(7)を式に代入して求める
ことができる。
以上の説明からわかるように、第１図を基に説
明した方法は、測定対象物１の真直度形状と案内
面２の真直度形状を同時に測定できる有益な方法
であるが、その測定、演算方式の制約から、距離
ｌ毎のとびとびの点での値（真直度誤差）しか把
握できないという欠点がある。すなわち、測定対
象物１あるいは案内面２の詳細な真直度形状を把
握する為には、３台の変位検出器Ａ，Ｂ，Ｃの取
付間隔ｌを小さくし、細かいステツプで測定、演
算を行う必要がある。しかし、取付間隔ｌを小さ
くするには、検出器の寸法、検出器取付台３の寸
法等からの制約があり、ｌを十分小さくすること
は困難である。
明した方法は、測定対象物１の真直度形状と案内
面２の真直度形状を同時に測定できる有益な方法
であるが、その測定、演算方式の制約から、距離
ｌ毎のとびとびの点での値（真直度誤差）しか把
握できないという欠点がある。すなわち、測定対
象物１あるいは案内面２の詳細な真直度形状を把
握する為には、３台の変位検出器Ａ，Ｂ，Ｃの取
付間隔ｌを小さくし、細かいステツプで測定、演
算を行う必要がある。しかし、取付間隔ｌを小さ
くするには、検出器の寸法、検出器取付台３の寸
法等からの制約があり、ｌを十分小さくすること
は困難である。
本発明は、前述の欠点を解消し、詳細な真直度
把握を可能とする真直度測定方法を提供すること
を目的とする。かかる目的を達成する本発明の構
成は、検出器取付台と測定対象物とのいずれか一
方が案内面に沿つて移動する該検出器取付台に前
記測定対象物との距離を測定する３個の検出器を
前記移動方向に等間隔ｌで設置し、測定開始位置
に於ける前記３個の検出器の測定値をそれぞれ
D0A，D0B，D0Cとし、前記検出器取付台もしくは
測定対象物を前記間隔ｌ毎に移動してその都度前
記検出器の測定値を得、Ｋ番目の測定位置におけ
る前記測定値とD0A，D0B，DOCとの偏差をそれぞ
れDKA，DKB，DKCとし、測定開始位置での案内面
真直度誤差をX0、１番目の位置のそれをX1、１
番目の位置での測定対象物の真直度誤差をY1、
２番目の位置でのそれをY2とし、測定開始位置
の案内面真直度誤差X0を基準としたＫ＋２番目
の位置での前記案内面の真直度誤差XK+2を XK+2＝２・K+1−XK-2・DK+1A＋DK+2A＋２・DKB−DK
C＋２・Y1−Y2 によつて算出し、Ｋ＝０，１，２，…について算
出したXK+2の値を、真直度誤差の二乗平均値が
最小となるように演算して求めたX1及びY1，Y2
に関係する数値によつて補正して前記案内面の真
直度を推定・算出し、この位置に於ける前記測定
対象物の真直度XK+2（Ｋ＝０，１，２…）YK+2及
び移動による前後方向の縦ゆれ量θK+2をそれぞれ YK+2＝−XK+2＋DK+2A θK+2＝−XK+2−YK+3＋DK+2B／ｌ によつて算出する真直度の測定方法において、前
記検出器取付台もしくは測定対象物の移動距離
ｌ／Ｎ毎に前記検出器の測定値を得、これによつ
てDKA，DKB，DKC（Ｋ＝０，１，２…）からなる
Ｎ組のデータ群を得、それぞれのデータ群にか
ら、Ｎ組の案内面真直度XK及び測定対象物の真
直度YKを求め、これらのＮ組の真直度形状XK，
YKから全体の詳細な真直度形状を把握すること
を特徴とする。
把握を可能とする真直度測定方法を提供すること
を目的とする。かかる目的を達成する本発明の構
成は、検出器取付台と測定対象物とのいずれか一
方が案内面に沿つて移動する該検出器取付台に前
記測定対象物との距離を測定する３個の検出器を
前記移動方向に等間隔ｌで設置し、測定開始位置
に於ける前記３個の検出器の測定値をそれぞれ
D0A，D0B，D0Cとし、前記検出器取付台もしくは
測定対象物を前記間隔ｌ毎に移動してその都度前
記検出器の測定値を得、Ｋ番目の測定位置におけ
る前記測定値とD0A，D0B，DOCとの偏差をそれぞ
れDKA，DKB，DKCとし、測定開始位置での案内面
真直度誤差をX0、１番目の位置のそれをX1、１
番目の位置での測定対象物の真直度誤差をY1、
２番目の位置でのそれをY2とし、測定開始位置
の案内面真直度誤差X0を基準としたＫ＋２番目
の位置での前記案内面の真直度誤差XK+2を XK+2＝２・K+1−XK-2・DK+1A＋DK+2A＋２・DKB−DK
C＋２・Y1−Y2 によつて算出し、Ｋ＝０，１，２，…について算
出したXK+2の値を、真直度誤差の二乗平均値が
最小となるように演算して求めたX1及びY1，Y2
に関係する数値によつて補正して前記案内面の真
直度を推定・算出し、この位置に於ける前記測定
対象物の真直度XK+2（Ｋ＝０，１，２…）YK+2及
び移動による前後方向の縦ゆれ量θK+2をそれぞれ YK+2＝−XK+2＋DK+2A θK+2＝−XK+2−YK+3＋DK+2B／ｌ によつて算出する真直度の測定方法において、前
記検出器取付台もしくは測定対象物の移動距離
ｌ／Ｎ毎に前記検出器の測定値を得、これによつ
てDKA，DKB，DKC（Ｋ＝０，１，２…）からなる
Ｎ組のデータ群を得、それぞれのデータ群にか
ら、Ｎ組の案内面真直度XK及び測定対象物の真
直度YKを求め、これらのＮ組の真直度形状XK，
YKから全体の詳細な真直度形状を把握すること
を特徴とする。
以下本発明の実施例に係る真直度測定方法を第
２図によつて説明する。第２図ａは本発明での測
定方法を示す図であり第１図と同一記号を付した
ものは同一のものであることを示している。なお
簡単の為、案内面２は省略した。第２図ａに於
て、ai（ｉ＝０，１，２，…）は測定対象物１上
の１組の測定対象点列であり、等間隔ｌで設定さ
れている。bi（ｉ＝０，１，２，…）は別の１組
の測定対象点列であり、同様に等間隔ｌで設定さ
れている。aiとbiのへだたりは、図に示したよう
にｌ／２に設定してある。
２図によつて説明する。第２図ａは本発明での測
定方法を示す図であり第１図と同一記号を付した
ものは同一のものであることを示している。なお
簡単の為、案内面２は省略した。第２図ａに於
て、ai（ｉ＝０，１，２，…）は測定対象物１上
の１組の測定対象点列であり、等間隔ｌで設定さ
れている。bi（ｉ＝０，１，２，…）は別の１組
の測定対象点列であり、同様に等間隔ｌで設定さ
れている。aiとbiのへだたりは、図に示したよう
にｌ／２に設定してある。
図のように検出器取付台３上に３ケの変位検出
器Ａ，Ｂ，Ｃを配置し、図中の矢印方向に移動さ
せながら移動距離ｌ／２毎に測定値を得る。測定
対象点列ai（ｉ＝０，１，２…）に対する１組の
測定データ群に対して、特願昭57−167561の方法
を適用することによつて、測定対象点ai（ｉ＝２，
３，４，…）での真直度誤差を求めることができ
る。同様に測定対象点列bi（ｉ＝０，１，２，…）
に対する１組の測定データ群から、測定対象点bi
（ｉ＝２，３，４…）での真直度誤差を求めるこ
とができる。
器Ａ，Ｂ，Ｃを配置し、図中の矢印方向に移動さ
せながら移動距離ｌ／２毎に測定値を得る。測定
対象点列ai（ｉ＝０，１，２…）に対する１組の
測定データ群に対して、特願昭57−167561の方法
を適用することによつて、測定対象点ai（ｉ＝２，
３，４，…）での真直度誤差を求めることができ
る。同様に測定対象点列bi（ｉ＝０，１，２，…）
に対する１組の測定データ群から、測定対象点bi
（ｉ＝２，３，４…）での真直度誤差を求めるこ
とができる。
かくて第２図ｂに示したように、これら２組の
測定対象点での真直度誤差から、測定対象物１の
詳細な真直度形状を把握することができる。２組
の測定対象点での真直度誤差の合成方法として
は、例えば、測定対象点aiでの真直度誤差から、
測定対象点biの始点と終点（真直度誤差が算出さ
れている最初の点と最後の点、例えばb2とbo）に
対応する位置での真直度誤差を内そうし、biの始
点と終点での真直度誤差がその内そう値になるう
ように換算してbi点の真直度誤差を求める方法が
考えられる。また、第２図ａに於ては、２組の測
定対象点列ai，biの場合について説明したが、
ｌ／Ｎのへだたりで設定されたＮ組の測定対象点
列ai，bi，ci，…についても同様な測定・演算処
理が可能である。もちろんこの場合には移動距離
ｌ／Ｎ毎にＮ組の測定データ群を得、Ｎ組のデー
タ群に対して特願昭57−167561の方法を適用すれ
ばよい。
測定対象点での真直度誤差から、測定対象物１の
詳細な真直度形状を把握することができる。２組
の測定対象点での真直度誤差の合成方法として
は、例えば、測定対象点aiでの真直度誤差から、
測定対象点biの始点と終点（真直度誤差が算出さ
れている最初の点と最後の点、例えばb2とbo）に
対応する位置での真直度誤差を内そうし、biの始
点と終点での真直度誤差がその内そう値になるう
ように換算してbi点の真直度誤差を求める方法が
考えられる。また、第２図ａに於ては、２組の測
定対象点列ai，biの場合について説明したが、
ｌ／Ｎのへだたりで設定されたＮ組の測定対象点
列ai，bi，ci，…についても同様な測定・演算処
理が可能である。もちろんこの場合には移動距離
ｌ／Ｎ毎にＮ組の測定データ群を得、Ｎ組のデー
タ群に対して特願昭57−167561の方法を適用すれ
ばよい。
以上説明したように、本発明によれば、測定対
象物１の真直度形状を細かいピツチで詳細に把握
することが可能となる。
象物１の真直度形状を細かいピツチで詳細に把握
することが可能となる。
第１図は従来の技術を説明するための説明図、
第２図ａ，ｂは本発明の実施例を説明するための
説明図である。 図面中、１は測定対象物、２は案内面、３は検
出器取付台、Ａ，Ｂ，Ｃは変位検出器である。
第２図ａ，ｂは本発明の実施例を説明するための
説明図である。 図面中、１は測定対象物、２は案内面、３は検
出器取付台、Ａ，Ｂ，Ｃは変位検出器である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 検出器取付台と測定対象物とのいずれか一方
が案内面に沿つて移動する該検出器取付台に前記
測定対象物との距離を測定する３個の検出器を前
記移動方向に等間隔ｌで設置し、測定開始位置に
於ける前記３個の検出器の測定値をそれぞれ
D0A，D0B，D0Cとし、前記検出器取付台もしくは
測定対象物を前記間隔ｌ毎に移動してその都度前
記検出器の測定値を得、Ｋ番目の測定位置におけ
る前記測定値とD0A，D0B，D0Cとの偏差をそれぞ
れDKA，DKB，DKCとし、測定開始位置での案内面
真直度誤差をX0、１番目の位置のそれをX1、１
番目の位置での測定対象物の真直度誤差をY1、
２番目の位置でのそれをY2とし、測定開始位置
の案内面真直度誤差X0を基準としたＫ＋２番目
の位置での前記案内面の真直度誤差XK+2を XK+2＝２・XK+1−XK−２・DK+1A＋DK+2A ＋２・DKB−DKC＋２・Y1−Y2 によつて算出し、Ｋ＝０，１，２，…について算
出したXK+2の値を、真直度誤差の二乗平均値が
最小となるように演算して求めたX1及びY1，Y2
に関係する数値によつて補正して前記案内面の真
直度XK+2（Ｋ＝０，１，２，…）を推定・算出
し、この位置に於ける前記測定対象物の真直度
YK+2及び移動による前後方向の縦ゆれ量θK+2をそ
れぞれ YK+2＝−XK+2＋DK+2A θK+2＝−XK+2−YK+3＋DK+2B／ｌ によつて算出する真直度の測定方法において、前
記検出器取付台もしくは測定対象物の移動距離
ｌ／Ｎ毎に前記検出器の測定値を得、これによつ
てDKA，DKB，DKC（Ｋ＝０，１，２，…）からな
るＮ組のデータ群を得、それぞれのデータ群か
ら、Ｎ組の案内面真直度XK及び測定対象物の真
直度YKを求め、これらＮ組の真直度形状XK，YK
から全体の詳細な真直度形状を把握することを特
徴とする真直度測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21414383A JPS60107511A (ja) | 1983-11-16 | 1983-11-16 | 真直度測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21414383A JPS60107511A (ja) | 1983-11-16 | 1983-11-16 | 真直度測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60107511A JPS60107511A (ja) | 1985-06-13 |
| JPH0444928B2 true JPH0444928B2 (ja) | 1992-07-23 |
Family
ID=16650935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21414383A Granted JPS60107511A (ja) | 1983-11-16 | 1983-11-16 | 真直度測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60107511A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4935289B2 (ja) * | 2006-10-12 | 2012-05-23 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 曲がり形状測定方法および装置 |
| CN105737731A (zh) * | 2016-03-03 | 2016-07-06 | 安徽理工大学 | 一种手持式角位移测头 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53109660A (en) * | 1977-03-04 | 1978-09-25 | Osaka Kiko Co Ltd | Measuring method of straightness in three points |
| JPS57156512A (en) * | 1981-03-20 | 1982-09-27 | Tokyo Daigaku | Detector for turning angle of inspection table |
-
1983
- 1983-11-16 JP JP21414383A patent/JPS60107511A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60107511A (ja) | 1985-06-13 |
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