JPH0447717Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の技術分野〕 本考案は、半導体製造に使用されるマスクの収
納ケースの構造に関する。

〔考案の背景〕

半導体製造において、半導体基板（以下「ウエ
ハ」と称する。）上にフオトマスクまたはレチク
ル（以下総称して「マスク」とする。）を用いて
回路パターンを複写する場合、マスク上の極めて
微細な異物でも回路パターンの欠陥となり、半導
体製造上の歩留り向上の大きな障害になることは
よく知られている。そこで、このような障害を除
くために、予め清浄化されたマスクをマスクケー
ス内に収納し、以後の焼付け露光位置までの搬送
を異物付着の原因となる人の手の操作によること
無く、自動的に行うように構成したオートマスク
ローダーが既に開発されている。このオートマス
クローダーには、さらに回路パターンの欠陥とな
るマスク表面の微細な異物の付着を検査する機能
が付加されており、これにより、焼付け露光が行
われる前に、予め使用マスクが清浄か否かを判断
できるように構成されている。

しかしながら、マスクを清浄にしても、マスク
ケースの内部が汚れていたり、露光装置や搬送装
置の内部から塵などが発生すると、マスクケース
にマスクを保管中や焼付け露光位置までマスクを
搬送する間に、異物が付着する可能性がある。特
に、複数のマスクの夫々をほぼ密閉可能なマスク
ケースに１枚ずつ収納保管する場合には、そのマ
スクケースの清浄作業に多大な費用と時間とを要
していた。

〔考案の目的〕

本考案は、上記の実情に鑑み、少なくともマス
クの保管中は、そのマスクに付着する疑いのある
異物の飛散を防止できる半導体素子製造用マスク
の防塵ケースを提供することを目的とする。

〔考案の概要〕

上記の目的を達成するために本考案は、板状の
マスクを収納するマスクケースの少なくとも底面
または、その底面と対向する上蓋の内面に、自己
粘着性を有し且つ剥離可能な粘着シートを貼布
し、その底面と上蓋の内面との中間にマスクを支
持させるように構成することを技術的要点とする
ものである。

〔実施例〕

以下、本考案の実施例を添付の図面に基づいて
詳しく説明する。

第１図は、本考案の一実施例を示す防塵マスク
ケースの上蓋を開いた状態を示す斜視図で、その
防塵マスクケースは、本体１と、その本体１の上
部を覆う上蓋２と、本体１の前側を覆う開閉扉３
とから成り、本体１の底面１ａと上蓋２の内面２
ａとにはほぼ全面に、着脱自在の自己粘着性を有
する粘着シート４Ａ，４Ｂがそれぞれ貼布されて
いる。本体１には、開口端面１ｂを除き、その周
囲を第１図に示すように下段部５ａと上段部５ｂ
を有する側壁で囲まれ、下段部５ａには、マスク
６が載置される。上蓋２は、本体１の開口端面１
ｂとは反対側の両側面に植設されたヒンジ７によ
つて、第１図中で矢印Ａで示すように開閉自在に
支持され、本体１の上段部５ｂと係合して、本体
１の上部を覆うように構成されている。さらに、
上蓋２の自由端側には、開閉扉３がヒンジ８を介
して、第１図中で矢印Ｂに示すように上蓋２に対
して回動可能に取り付けられ、上蓋２が上段部５
ｂと係合し、さらに開閉扉３が回転して本体１の
開口端面１ｂと係合すると、マスクケースはほぼ
密閉状態となるように構成されている。

第２図は、第１図の実施例に示すマスクケース
の上蓋２を閉じた状態を示す部分断面図である。
本体１の上段部５ｂには、所定の位置に複数個の
磁石９が第２図に示す如く埋設され、上蓋２のこ
れに対向する位置には磁性体１０が埋設されてい
る。これにより、上蓋２は上段部５ｂと係合する
と、磁力により吸引されるので不用意に開かれる
ことが無くなる。なお、本体１の開口端面１ｂに
も第１図に示すように磁石１１が埋設され、開閉
扉３は磁力によつて開口端面１ｂに吸着されるよ
うに構成されている。もちろん磁力以外の力（バ
ネの付勢力）を利用して開閉扉３を閉状態に付勢
してもよい。また、本体１の底面１ａに貼着され
た粘着シート４Ａの上面から下段部上面５ａまで
高さh₁は、下段部上面５ａに載置されたマスク６
の下面と粘着シート４Ａとの間に形成される空間
に図示されないマスク搬送要アームの先端部分を
挿入するに十分な高さとし、また、下段部上面５
ａから上蓋２の内面２ａに貼布された粘着シート
４Ｂまでの間隔h₂は、その下段部上面５ａと粘着
シート４Ｂとの双方にマスクが触れること無く、
マスク搬送用アームによつてマスクの取出し、挿
入が可能な程度の寸法に形成されている。

第１図の実施例に示す防塵マスクケースは上記
のように構成されているので、開閉扉３と共に上
蓋２を開ければ、本体１の底面１ａと上蓋２の内
面２ａとは、完全に露出するので、自己粘着性を
有する粘着シート４Ａ，４Ｂを、その底面１ａと
内面２ａの形状に合わせて載断して極めて容易に
貼布できる。この粘着シート４Ａ，４Ｂの貼布に
より、本体１の底面１ａと上蓋２の内面２ａとは
粘着シート４Ａ，４Ｂによつて覆われる。そのた
め、その底面１ａおよび上蓋内面２ａに付着して
いる異物はこれによつて押えられ、また、貼着後
に発生した異物も、この粘着シート４Ａ，４Ｂに
一旦付着すると、再び離散してマスク６上に付着
することは無い。従つて、防塵マスクケース自体
の清浄度が多少低下しても、粘着シート４Ａ，４
Ｂは異物を捕捉し続けるので、ケース内の清浄な
雰囲気は永く保持される。

また、防塵マスクケースの洗浄の際には、開閉
扉３と共に上蓋２も全開できるので、粘着シート
４Ａ，４Ｂを適宜はがしてケース内部と粘着シー
ト４Ａおよび４Ｂをそれぞれ容易に洗浄でき、し
かも粘着シート４Ａ，４Ｂの再貼布や交換貼布も
極めて容易に行うことが可能となる。

なお、この粘着シートは貼布場所の形状に合わ
せて載断でき、しかも、粘着性を失うこと無く、
そのまま剥離することができるので、マスクの搬
送通路の天井壁面等にも貼布することが望まし
い。これにより異物のマスクへの付着の機会は減
少され、洗浄検査後のマスクや使用後のマスクを
防塵マスクケース内に収納保管する際に、マスク
と共に塵埃をケース内に持ち込ませないようにす
ることができる。

〔考案の効果〕

以上の如く本考案によれば、ケースの上蓋内面
と底面とに自己粘着性を有し且つ剥離可能な粘着
シートを貼布したから、その粘着シートに付着し
たケース内部の異物は再び飛散することが無いの
で、内部雰囲気は清浄に保たれ、マスクを長期保
管しても異物の付着が無く、永く清浄な状態に維
持できる。また、上蓋を開くと粘着シートが広く
露出するので、ケース自体の洗浄は勿論、粘着シ
ートの剥離洗浄あるいは交換が容易となる利点が
有る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例を示す斜視図で、第２
図は、第１図の実施例において上蓋を閉じた状態
の一部を示す部分断面図である。 主要部分の符号の説明、１……本体、１ａ……
底面、２……上蓋、２ａ……内面、３……開閉
扉、４Ａ，４Ｂ……粘着シート、５ａ……下段
部、６……マスク、７……ヒンジ、９……磁石。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 板状のマスクをほぼ密閉して収容するマスクケ
   ースにおいて、少なくとも前記マスクケースの底
   面または該底面に対向する上蓋の内面に、自己粘
   着性を有し且つ剥離可能な粘着シートを貼布し、
   前記底面と前記上蓋の内面との中間に前記マスク
   を支持させる如く構成したことを特徴とする半導
   体素子製造用マスクの防塵ケース。