JPH0447954Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、気相生長装置などに用いるウエハー
のホルダに関する。

従来、連続的に気相生長させるには、次の手順
を行なう必要がある。すなわち、まずロード部に
ウエハーカセツトを設置し、このウエハーカセツ
トに収納してある未反応のウエハーをウエハーホ
ルダがロードし、そのロードしたウエハーを反応
容器に運び込み、反応が終了した後に、アンロー
ド部に設置された別のウエハーカセツトに反応終
了したウエハーをアンロードする。そして、これ
らの動作を繰り返す。

ところで、上記従来の装置において、ウエハー
は水平にロードされており、このために、塵芥が
そのウエハーに付着する機会が多いので、特性劣
化等の不具合が生じるという問題がある。

また、ウエハーをロードするためには、ウエハ
ーホルダの構造が複雑になり、しかもそのローダ
を設置するには大きなスペースが必要になるとい
う問題がある。すなわち、ウエハーをロードする
目的は反応容器に入れるためであり、この反応容
器は真空状態が保たれている。真空であれば、ウ
エハーホルダを構成する金属の表面に付着してい
た油膜が消失し、金属同志が直接接触し、その摩
擦係数が非常に大きくなる。したがつて、ウエハ
ーをロードまたはアンロードする場合に、ウエハ
ーホルダを開閉するための力を大きくする必要が
ある。このために、ウエハーホルダの構造が複雑
になり、また大きなスペースが必要になるという
問題がある。

本考案は、上記問題点に着目してなされたもの
で、気相生長装置において、ウエハーホルダに塵
芥が付着する機会を極力減少させることができ、
しかもウエハーホルダの構造を簡単にし、また真
空にする必要があるスペースを少なくすることの
できる気相生長装置におけるウエハーホルダを提
供することを目的とするものである。

又、他の目的はウエハを搬送中にウエハがガタ
つかない様にすることである。

本考案は、円弧状の基部把持片と、円弧状の可
動把持片とを有し、前記基部把持片に対して前記
可動把持片を一点で枢支し、前記基部把持片に対
して前記可動把持片が自重で接近し得る構造にし
た気相生長装置におけるウエハーホルダであつ
て、該両把持片の内面に、同一円上に位置するウ
エハ溝をその円周方向の全長にわたつて、それぞ
れ設け、該両把持片の対向端面は可動把持片のス
トツパ部となつており、又、該可動把持片の対向
端面側に連杆を接続したことを特徴とする気相生
長装置におけるウエハーホルダ、により前記目的
を達成しようとするものである。

以下、添附図面に示す実施例に基づいて本考案
を詳述する。

第１図は、本考案ウエハーホルダを使用した気
相生長装置を示す斜視図である。この気相生長装
置は、ウエハーＷをロードするロード部Ａと、反
応容器Ｂと、ウエハーＷをアンロードするアンロ
ード部Ｃと、ウエハーＷを搬送する搬送部Ｄとか
ら成る。

ロード部Ａには、未反応のウエハーＷを収納す
るウエハーカセツトＡ１が設けられ、反応容器Ｂ
には、ガス供給部Ｂ１が接続され、アンロード部
には、反応終了したウエハーＷを収納するウエハ
ーカセツトＣ１が設けられている。

搬送部Ｄは、ウエハーホルダ１０と、このウエ
ハーホルダ１０を指示する基部２０と、基部２０
を移送する移送手段２１と、ウエハーホルダ１０
に設けられたホルダ開閉用のリンク２２を開閉す
る連杆２３とで構成されている。

第２図はウエハーホルダ１０の正面図であり、
第３図は第２図の平面図であり、第４図は第２図
の右側面図である。このウエハーホルダ１０は、
大きく分けて次の２つの部分から成つている。

つまり、円弧状の基部把持片１１と、円弧状の
可動把持片１２とから成つている。そして、基部
把持片１１に対して可動把持片１２を一点で枢支
し、基部把持片１１に対して可動把持片１２が自
重で接近し得るようになつている。

基部把持片１１は、基部２０に接続され、その
円弧状の内面には、第１図，第２図から明らかな
ようにその円周方向の全長にわたつて、ウエハＷ
を収容するウエハ溝１１ａが設けられている。ま
た、基部把持片１１には、図中、水平方向に溝１
１ｂが設けられている。

可動把持片１２の図中、上部には、ほぼＬ字状
の突起１３が固着され、その突起１３の上部に孔
１３ａ，１３ｂが設けられている。また、突起１
３の図中左下部１３ｃにおいて、基部把持片１１
の上端部１１ｃと枢支されている。また、可動把
持片１２の円弧状の内面には第１図，第２図から
明らかなようにその円周方向の全長にわたつて、
ウエハＷを収容するウエハ溝に１２ａが設けられ
ている。このウエハ溝１２ａと前記ウエハ溝１１
ａはストツパ部をなす両把持片１１，１２の対向
端面Ｓ１，Ｓ２が当接すると同一円Ｃ上に位置す
る様に形成されている。そして、可動把持片１２
には、図中、水平方向に溝１２ｂが設けられてい
る。

すなわち、可動把持片１２は、突起１３を介し
て、基部把持片１１に枢支されている。そして、
この枢支は、ピボツト軸受によつて一点で支持す
る構造になつている。勿論、この場合、ピボツト
軸受以外の軸受によつて、一点で支持するように
してもよい。

次に、上記実施例の作用について説明する。

まず、ローダ部Ａにおいて、ウエハーホルダ１
０が、ウエハーＷをロードしていないとする。ウ
エーハＷをロードするには、ウエハーハンドラー
２４がウエハーＷを持つて垂直に上昇してくるた
めにウエハーＷの中心点に基部把持片１１がある
と、エツジ部１１ｃにウエハーＷがぶつかつてし
まうので、基部２０はエツジ部１１ｃにウエハー
Ｗがあたらないように反応容器と反対側に逃がし
連杆２３を第１図中、左に引張る。これによつ
て、基部把持片１１は不動のまま、可動把持片１
２がその軸を中心に半時計方向に回動し、ウエハ
ーホルダ１０が開いた状態になる。この状態でウ
エハーハンドラー２４がウエハーＷを持つて上昇
しウエハーホルダ１０がウエハーＷをロードでき
る位置までくると、ウエハーハンドラー２４を停
止させ基部２０を反応容器側にウエハーＷの中心
点まで移動させ連杆２３の張力を解放し、ウエハ
ーハンドラー２４を下降させてウエハーホルダ１
０へのロードは終了する。その時、可動把持片１
２の対向端面Ｓ２は基部把持片１１の対向端面Ｓ
１に当接するので、それ以上自重による回動はで
きなくなるとともにウエハ溝１１ａ，１２ａは、
同一円Ｃ上に位置し、ウエハＷを包み込む様にし
ながら保持する。そのためウエハＷは、可動把持
片１２の重量を受けることなく保持されるととも
に、水平方向の移動をウエハ溝１１ａ，１２ａの
壁部により規制されるので、搬送中にガタツクこ
とがない。そのウエハＷを反応容器Ｂに運び込
み、反応終了後は、ロード部Ａと同じ物がアンロ
ード部Ｃにありロード時と反対の動きをしてウエ
ハーＷをアンロードする。

上記のように、ウエハーＷをロードしている
間、可動把持片１２は、自重で基部把持片１１に
接近し、その力で両片１１，１２が閉じるので、
ウエハーＷがロード状態を維持できる。つまり、
可動把持片１２の自重以外に、他の力を必要とせ
ずにウエハーＷをロードできるので、ウエハーＷ
をロードするための複雑な機構が必要なく、その
機構を設けるためのスペースも必要がない。

このように、可動把持片１２の自重のみによつ
てウエハーＷをロードできるのは、基部把持片１
１と可動把持片１２とが一点で枢支されているた
めである。すなわち、もし、両片１１，１２が他
の軸受を使用していれば、真空中において、両片
１１，１２を構成する金属同志の摩擦抵抗が非常
に大きくなるために、可動把持片１２の自重のみ
では、ウエハーＷをロードするに充分な力が生じ
ないことになる。

また、第１図，第２図示すように、ウエハーＷ
は垂直にロードされるために、ウエハーＷがロー
ドされている間、およびロードされて移動する間
に、そのウエハーＷに塵芥が付着する機会が非常
に少なく、このために、特性不均一等の不具合が
生じ難いという利点を有する。

上記のように、本考案は、気相生長装置におい
て、ウエハーホルダに塵芥が付着する機会を極力
減少させることができ、しかもウエハーホルダの
構造を簡単にし、また真空にする必要のあるスペ
ースを少なくすることができるという効果を有す
る。両把持片の内面に、同一円上に位置するウエ
ハ溝をその円周方向の全長にわたつて、それぞれ
設けたので、ウエハ溝に収納されたウエハは上部
側から下部側にわたり、壁部により水平方向の移
動を規制されるため、搬送中のガタつきが原因で
生ずるシツピングが発生しない。

従つて、ウエハの歩留まりを良くすることがで
きる。

又、両把持片の対向端面は可動把持片のストツ
パ部となつているので、両把持片のウエハ溝が同
一円周上に位置すると、可動把持片の回動は阻止
される。そのため、ウエハ溝内のウエハは包み込
まれる様にしながら保持されるので、可動把持片
の重量を受けることがない。

更に、可動把持片の対向端面側に、連杆を接続
したので該連杆を摺動させることにより可動把持
片を簡単に回動させることができるとともにその
操作も容易となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案ウエハーホルダを使用した気相
成長装置の一例を示す斜視図、第２図は本考案ウ
エハーホルダの一例を示す正面図、第３図は第２
図の平面図、第４図は第２図の右側面図である。 Ａ……ロード部、Ｂ……反応容器、Ｃ……アン
ロード部、Ｄ……搬送部、１０……ウエハーホル
ダ、２０……基部、１１……基部把持片、１２…
…可動把持片。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 円弧状の基部把持片と、円弧状の可動把持片と
   を有し、前記基部把持片に対して前記可動把持片
   を一点で枢支し、前記基部把持片に対して前記可
   動把持片が自重で接近し得る構造にした気相生長
   装置におけるウエハーホルダであつて、該両把持
   片の内面に、同一円上に位置するウエハ溝をその
   円周方向の全長にわたつて、それぞれ設け、該両
   把持片の対向端面は可動把持片のストツパ部とな
   つており、又、該可動把持片の対向端面側に連杆
   を接続したことを特徴とする気相生長装置におけ
   るウエハーホルダ。