JPH0449044B2

JPH0449044B2 -

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Publication number: JPH0449044B2
Application number: JP61119766A
Authority: JP
Inventors: Kyozo Yasui
Original assignee: DAKKU ENG KK
Current assignee: DAKKU ENG KK
Priority date: 1986-05-23
Filing date: 1986-05-23
Publication date: 1992-08-10
Also published as: JPS62274209A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は製品に施された形状、模様の検査、特
にICパツケージ表面に施された捺印の良否を検
査する際に必要となるパターン移動装置に関す
る。

〔従来の技術〕

従来、CRT等を使用して、製品に施された形
状等を検査するには、基準品を設定し、この基準
品に施された形状等をビデオカメラで撮像し、こ
の映像信号を２値化して基準パターン（以下２値
化したものを基準パターンと称す）を得、この基
準パターンのビツト数の総和を基準パターンの面
積として予め記憶しておき、他方、ビデオカメラ
で撮像した被検査品の映像信号を２値化して被検
体パターン（以下、２値化したものを被検体パタ
ーンとする。）を得るとともにビツト数の総和を
算出することで被検体パターンの面積を算出し、
この面積を予め記憶された基準パターンの面積と
比較し、両面積が合致すれば良品と判断すること
が行われていた。

しかしながらこの方法では、基準パターンの面
積と被検体パターンの面積を比較しているのみで
あるから、被検体パターンの形状そのものに凹部
と凸部が存在して面積増減が相殺されている場
合、形状が不一致であるにもかかわらず同一パタ
ーンであると判断してしまうという問題点があ
る。

このような問題をなくすためには、基準パター
ンと被検体パターンの形状的な一致性を調べるこ
とが是非とも必要であり、このためには被検体パ
ターンと基準パターンを重ね合わせる必要があ
る。従来、このパターン相互を一致させる手段と
しては、予め記憶された基準パターンと被検体パ
ターン相互の関係をマイクロコンピユターが比較
演算して、被検体パターンの基準パターンに対す
るずれ量（ビツト数）を、水平方向、垂直方向お
よび回転方向のそれぞれについて算出したうえ
で、ずれた量を補正する指令をし、この指令に基
づきＸ−Ｙステージをサーボモータを移動させ
て、被検体パターンを所定の位置にセツトするこ
とが行われていた。

〔発明が解決しようとする課題〕しかしながら、マイクロコンピユーターの指令
信号に基づいて被検体のセツテイング位置をサー
ボ機構で移動させるのは速度が遅く大量に流れる
製品を処理することはできない。また、サーボ機
構等の機械的手段を用いることなく、半導体メモ
リー上で基準パターン若しくは被検体パターンの
一方を他方に一致させるべくソフト処理により移
動させる方法もあるものの、この種の検査に用い
られるCRTは512×512程度の膨大な画素数を有
することから、それぞれの画素に対応するメモリ
ーのそれぞれについて調べることは多大の時間を
有し、この方法も大量の製品を検査処理するには
適さなかつた。本発明はかかる現況に鑑みてなさ
れたものであり、パターン検査の際に必要となる
パターン移動をソフト的な手法に依存せず、ハー
ド的な方法により行うことによつて、検査速度の
高速化をはからんとするものである。

〔課題を解決するための手段〕

上記課題を解決するために、本発明者は次の手
順により本発明を完成させた。

先ず本発明の基本的な考え方を添付した概念図
を用いて説明する。本発明は第１図に示す如く左
側に図示した基準パターンを右側に図示した被検
体パターンに重ね合わせることによつて、被検体
パターンの良否を判定することが最終目的であ
る。被検体パターンの不良としては、例えば欠損
ａやはみ出し汚れｂがあり、これら欠損ａおよび
汚れｂを検出する装置を提供せんとするものであ
る。

基準パターンおよび被検体パターンはそれぞれ
別々に半導体メモリー上に格納され、基準パター
ンの被検体パターンへの重ね合わせは装置内部の
半導体メモリー上で行われる。このときそれぞれ
のメモリーにおける基準パターンの配置位置と被
検体パターンの配置位置が一致していればそのま
ま重ね合わて比較すればよいば、ほとんどの場
合、両パターンのメモリー上における配置位置は
一致しておらず、第２図に示す如く、被検体パタ
ーンは基準パターンに対して、回転方向および水
平、垂直方向のそれぞれについてずれている。し
たがつて、図例の基準パターンを被検体パターン
に重ね合わせようとすれば第３図イに示すよう
に、先ず基準パターンを表示画面左上Ｐを中心と
して時計方向にθだけ回転させてパターンの傾き
を被検体パターンの傾きに一致させたのち、第３
図ロに示すように水平方向にＸ、垂直方向にＹだ
け移動させる必要がある。勿論、図示しないが、
最初に基準パターンの水平方向および垂直方向の
移動を行つたのち、回転させてもよい。本発明は
この回転方向、水平方向および垂直方向の移動を
ハード的処理により行うことが要旨である。

尚、基準パターンが被検体パターンに対して回
転方向、水平方向、垂直方向のそれぞれについ
て、どれだけずれているかの検知方法は、公知の
手法が採用可能であり、本発明は、この公知の手
法により求められた回転方向のずれ角度θ、水平
方向のずれＸ、垂直方向のずれＹを用いて、メモ
リー上における基準パターンの存在位置をハード
的に移動させて被検体パターンに重ね合わせるこ
とが特徴である。

ところでパターンの移動において特に面倒なの
は回転移動である。本発明は回転方向への移動を
簡略化できる方法について鋭意検討した結果、回
転移動を基準パターンを構成する各ドツトの水平
移動および垂直移動に置き換えて理解し、これら
水平移動および垂直移動した後の各ドツトの集合
体を元の基準パターンを回転したものであると近
似的に理解することとすれば、各ドツトのアドレ
スに水平方向移動量および垂直方向移動量を加算
するだけで、あたかもパターン全体を回転したの
と同じ結果が得られことに着目した。以下、この
手法の概念を図により簡単に説明する。

例えば、水平方向14ドツト、垂直方向14ドツト
の表示画面上に存在するＬ字パターンを回転移動
させる場合を考えると、回転移動前のパターンの
状態は第４図で示されるように表示画面を構成す
る各画素（ドツト）の点滅の集合体によつて表現
され、したがつて回転移動後のパターンも第４図
ロに示されようなドツトの集合体で表現されるこ
とになる。そこで、これら第４図イ，ロのパター
ンを比較してみると、パターン全体としては回転
した状態となつているが、パターンを構成する各
ドツト単位でみると、ドツトは水平移動および垂
直移動を行つていると見なすことができる。そし
て、各ドツトの移動は回転中心Ｐからの距離に依
存し、例えば水平移動は第５図に示すように垂直
方向にαドツト進んだ位置で１ドツト移動してお
り、tanθ＝１／αの関係が成立する。この関係か
ら垂直方向にｎ×αドツト進んだところでは水平
方向にｎドツト移動することが容易に理解され
る。また同様に、垂直移動については水平方向に
βドツト進んだ位置で１ドツト移動し、tanθ＝
１／βの関係が成立する。通常はα＝βである。
このような考え方に基づけば第４図イで示される
パターンの回転移動は、第４図ロに示すように、
回転中心Ｐから垂直方向にαドツト進むごとに水
平方向に１ドツトずつ移動させ、また、回転中心
Ｐから水平方向にβドツト進むごとに垂直方向に
１ドツトずつ移動させることによつて可能である
ことがわかる。尚、このような手法による回転移
動には当然、誤差が含まれるが、画面を構成する
ドツト数が充分多く、且つ回転移動させる角度が
小さい場合にはこの誤差は実質上無視できる。特
に本発明が適応対象として意識する半導体パツケ
ージ表面の捺印検査の場合、文字や数字パターン
の回転ずれは極めて少ないから全く問題はない。

ところで上記手法による回転移動を行う際に問
題となるのは、パターンを構成する各ドツトの回
転中心Ｐからの距離をどのようにして計数するか
である。本発明ではこの計数手段として表示画面
作成用信号である水平同期信号と水平ドツトクロ
ツクを用いた。

例えば512×512ドツトの表示領域を有する
CRTを対象とした場合、CRTに供給される同期
信号は第６図に示す如く、画面切替え信号である
垂直同期信号ｃに続いて、次段の走査線への切替
え信号である水平同期信号ｄが512個続き、そし
て、ある水平同期信号ｄが検出されたのち、次の
水平同期信号ｄが検出されるまでの間には512個
の水平ドツトクロツクｅが発振されるように構成
されており、これら水平同期信号ｄおよび水平ド
ツトクロツクｅとCRT画面との対応関係は第７
図で示されるような関係を有している。したがつ
て、垂直方向へαドツト進んだ位置の検出は水平
同期信号ｄをα個計数することで行うことがで
き、また水平方向へβドツト進んだ位置の検出は
水平ドツトクロツクｅをβ個計数することで行う
ことができる。このように本発明では回転中心Ｐ
からの距離を水平同期信号ｄおよび水平ドツトク
ロツクｅの数を計数することで検出することにし
た。

以上のような原理によりパターンの回転移動は
完了するが、回転移動を完了したパターンは第４
図ハに示す如く水平方向にＸドツト、垂直方向に
Ｙドツト平行移動させることによつて全ての移動
動作を終了させることができる。

以上のような考え方に基づいてなされた本発明
は、基準パターンを予め記憶しておく基準パターン
記憶手段Ａと、該基準パターン記憶手段Ａに記憶された基準パ
ターンと被検体パターンを比較し、基準パターン
の被検体パターンに対する回転方向、水平および
垂直方向のずれに応じて、基準パターンを被検体
パターンに重畳させるための回転方向への移動指
令と、水平方向および垂直方向への平行移動を指
令する信号を発する機能を有し、前記回転方向へ
の指令信号は、表示画面左上を回転中心となすと
ともにその回転動作を基準パターンを構成する各
ドツトの水平方向および垂直方向移動の集合に置
き換えて近似させた際に得られるところの定数の
形式で与えられ、その定数の内容は、水平方向に
１ドツト移動させるのに必要な垂直方向のドツト
数αと、垂直方向に１ドツト移動させるのに必要
な水平方向のドツト数βであり、他方、水平方向
および垂直方向に平行移動させるための指令信号
は水平方向移動ドツト数Ｘ、垂直方向移動ドツト
数Ｙで与えられてなる演算処理手段Ｂと、前記演算処理手段Ｂの指令信号に応じて、α個
の水平同期信号を計数する毎に繰り返して信号を
出力する水平方向への回転信号作成手段Ｃ、並び
にβ個の水平ドツトクロツクを計数する毎に繰り
返して信号を出力する垂直方向への回転信号作成
手段C′と、前記水平方向への回転信号作成手段Ｃより信号
が出力される毎に前記演算処理手段Ｂより指令さ
れた水平方向移動ドツト数Ｘをカウントアツプま
たはカウントダウンする水平方向の平行移動信号
作成手段Ｄ、並びに前記垂直方向への回転信号作
成手段C′より信号が出力される毎に前記演算処理
手段Ｂより指令された垂直方向移動ドツト数Ｙを
カウントアツプまたはカウントダウンする垂直方
向の平行移動信号作成手段D′と、前記水平方向の平行移動信号作成手段Ｄから出
力されるカウントアツプまたはカウントダウンし
た水平方向への平行移動指令信号を基準パターン
の水平アドレスに加算し、この加算された水平ア
ドレスを前記基準パターン記憶手段Ａに供給する
加算手段Ｅ、並びに前記垂直方向の平行移動信号
作成手段D′から出力されるカウントアツプまた
はカウントダウンした垂直方向への平行移動指令
信号を基準パターンの垂直アドレスに加算し、こ
の加算された垂直アドレスを前記基準パターン記
憶手段Ａに供給する加算手段E′と、よりなり基準パターン記憶手段Ａのアドレスを加
減算して被検体パターンと重畳すべく基準パター
ンを移動させることを特徴としている。

〔作用〕

上記パターン移動装置の動作を第８図のブロツ
ク図に基づき説明する。

予め記憶されている基準パターンとアドレスを
指定して一時記憶した被検体パターンを演算処理
手段Ｂが公知の手法により比較演算し、被検体パ
ターンに対する基準パターンの回転ずれを補正す
る指令信号と、水平および垂直方向のずれを補正
する指令信号を作成して、回転ずれを補正する指
令信号を回転信号作成手段Ｃ，C′に供給し、また
水平および垂直方向のずれを補正する指令信号を
平行移動信号作成手段Ｄ，D′に供給する。

回転ずれを補正する指令信号の内容は、水平方
向に１ドツト移送させるのに必要な垂直方向のド
ツト数αと、垂直方向に１ドツト移動させるのに
必要な水平方向のドツト数βで与えられ、αは水
平方向の回転信号作成手段Ｃに供給され、βは垂
直方向の回転信号作成手段C′に供給される。

また、水平および垂直方向のずれは水平方向移
動ドツト数Ｘおよび垂直方向移動ドツト数Ｙの形
式で与えられ、水平方向移動ドツト数Ｘが水平方
向の平行移動信号作成手段Ｄに与えられ、垂直方
向移動ドツト数Ｙが垂直方向の平行移動信号作成
手段D′に供給される。

そして、回転信号作成手段Ｃ，C′からの出力も
それぞれ平行移動信号作成手段Ｄ，D′に供給さ
れて、回転信号作成手段Ｃ，C′から信号が出力さ
れる毎に、水平方向移動ドツト数Ｘおよび垂直方
向移動ドツト数Ｙに、回転移動に伴うドツト増加
分をカウントアツプ、又はドツト減少分をカウン
トダウンし、回転ずれと水平、垂直ずれを同時に
補正するために必要な水平および垂直方向への移
動ドツト数の合計値を算出して後続の加算手段
Ｅ，E′にそれぞれ供給するものである。

回転ずれを補正するための水平および垂直移動
量の算出過程およびこの算出結果に基づくパター
ンの回転移動動作と、元々の水平、垂直ずれを補
正するために必要な水平および垂直移動量の算出
過程およびこの算出結果に基づくパターンの回転
移動動作とをそれぞれ別々に説明すると次の如く
である。ここでは、水平、垂直方向へのずれを補
正するための平行移動動作を述べた後、回転ずれ
を補正するための動作を述べるが、実際のこれら
処理は同時並行的に行われる。

先ず水平、垂直ずれを補正するために水平また
は垂直方向に平行移動させるには次のようにす
る。即ち、演算処理手段Ｂから供給される水平方
向への移動指令信号である水平方向移動ドツト数
Ｘが平行移動信号作成手段Ｄを介して加算手段Ｅ
に供給され、加算手段Ｅはパターンを構成する各
ドツトの元の水平アドレスに水平方向移動ドツト
数Ｘを加算し、この加算した水平アドレスを基準
パターン記憶手段Ａに供給する。一方、垂直方向
についても同様の処理が行われ、垂直方向への移
動指令信号である垂直方向移動ドツト数Ｙが平行
移動信号作成手段D′に入力される。

回転ずれの補正がない場合は、平行移動信号作
成手段Ｄ，D′に入力された水平、垂直方向への
移動指令信号はそのまま加算手段Ｅ，E′に供給さ
れ、加算手段Ｅ，E′は元の垂直アドレスに垂直方
向への平行移動すべき信号を加算し、この加算し
た水平、垂直アドレスを基準パターン記憶手段Ａ
に供給する。このようにすることで基準パターン
記憶手段Ａのアドレス内に格納している内容をア
ドレスとともに移送したことになる。

また回転移動させるには、演算処理手段Ｂから
供給される水平方向へ１ビツト進みまたは遅れに
対して、画面作成に使用される水平同期信号をα
個計数せよとの指令信号が回転信号作成手段Ｃに
対し与えられ、また、同様にして垂直方向へ１ビ
ツト進みまたは遅れに対して、画面作成に使用さ
れる水平ドツトクロツクをβ個計数せよとの指令
信号が回転信号作成手段C′に対して与えられる。

回転信号作成手段Ｃ，C′は当該指令に基づきそ
れぞれ水平同期信号および水平ドツトクロツクを
計数し、水平同期信号がα個計数される毎あるい
は水平ドツトクロツクがβ個計数される毎に次段
の平行移動信号作成手段Ｄ，D′に対しそれぞれ
信号を発し、平行移動信号作成手段Ｄ，D′はこ
の信号を受ける度に演算処理手段Ｂより供給され
た前記水平および垂直方向への移動指令信号であ
る水平方向移動ドツト数Ｘおよび垂直方向移動ド
ツト数Ｙをその回転方向に応じてカウントアツプ
またはカウントダウンする。そして、このカウン
トアツプまたはカウントダウンして得られた合算
された水平および垂直方向の平行移動信号を加算
手段Ｅ，E′により、パターンを構成する各ドツト
の元の水平アドレス、垂直アドレスに加算し、加
算されたアドレスを基準パターン記憶手段に供給
して、基準パターンのアドレスを移動させること
により、アドレス内の２値化信号を実質上移動さ
せるものである。

以上のようにしてパターンを移動した後は、移
動した基準パターンと被検体パターンの信号を単
に論理演算等することによりパターン検査を行う
ものである。

〔実施例〕

本発明に係るパターン移動装置の詳細を図示し
た実施例に基づき説明する。

第９図はパターン移動装置の全体ブロツク図を
示し、第１０図はアドレスを移動する部分を示す
ブロツク図を示す。

図中、１は２値化回路で、ビデオカメラがIC、
プリント基板等の形状、模様やICパツケージ表
面の捺印を撮像したビデオ信号をアンプ等を介し
て２値化するものであり、この２値化回路１が２
値化した信号を窓回路２で作成した窓内に制限し
てCRTに表示する。この窓を作成するのは、周
知の如く、画面アドレス作成回路３が画像作成の
基準となる水平ドツトクロツクを分周等して、画
面上の各位置を設定する水平および垂直方向のア
ドレス信号を作成し、走査映像の外周を決定する
窓を形成する。

以上の回路で、予めビデオカメラで基準品の模
様、形状等を撮像して、基準パターンの２値化信
号を作成し、このデータを一時記憶回路４に一時
記憶させる。一時記憶回路４は、集積回路でな
り、前記窓内に制限された２値化信号（以下単に
２値化信号という）と画面アドレス作成回路３で
作成されたアドレス信号を入力とし、指定された
アドレスに２値化信号を一時記憶するものであ
り、後述する基準パターン記憶手段に２値化信号
を移送した後は記憶は空になる。次に、この空に
なつた一時記憶回路４に被検体パターンを一時記
憶する。

Ａ，A′は集積回路よりなる基準パターン記憶
手段で、前記一時記憶回路４との間にゲート回路
５，６，７を介して接続され、一時記憶回路４に
記憶されている内容を記憶するためのものであ
る。この基準パターン記憶手段Ａに一時記憶回路
４の記憶内容を移送するには、ゲート回路５が後
述の演算処理手段の指令信号により開放されたと
きに一時記憶回路４内の２値化信号を通過させ、
基準パターン記憶手段Ａの入力端子に接続されて
いるゲート回路６がCPUの指令信号により開放
されるとともに２値化信号を適宜数ビツト縮小し
た信号を出力し、基準パターンＡはこの縮小され
た２値化信号を記憶し、これを基準パターン(1)と
する。他方の基準パターン記憶手段A′に基準パ
ターンを記憶するには、ゲート回路７により２値
化信号を適宜数ビツト拡大された基準パターンを
記憶させ、これを基準パターン(2)とする。上記記
憶手段Ａ，A′は集積回路よりなる記憶素子であ
るが、フロツピーデイスクやデータテープを使用
して記憶容量を増加してもよい。

Ｂは演算処理手段で、前記のゲート回路５，
６，７を開閉する指令をするとともに、前記基準
パターン(1)(2)と一時記憶された被検体パターンを
比較して、水平、垂直および回転の各方向におけ
るずれを算出し、モニタープログラムよりずれに
応じた各方向への移動する定数を呼び出し、この
定数をデータバスラインに乗せる。ここにいう定
数には、水平、垂直方向ずれを補正するために必
要な定数と、回転ずれを補正するために必要な定
数とがあり、水平、垂直方向ずれを補正するため
に必要な定数とは具体的には、垂直方向にＸビツ
ト平行移動する指令信号、垂直方向にＹビツト平
行移動する指令信号であり、また回転ずれを補正
するために必要な定数とは、第１１図イおよびロ
に例示するように、水平方向に１ビツト進みに対
し水平同期信号をα個計数する指令および垂直方
向に１ビツト進みに対し水平ドツトクロツク信号
をβ個計数する指令がその内容である。尚、ここ
でいう進み、遅れという意味は表示画面左上を回
転中心とした時計回り方向への移動を進みとし、
その逆方向への移動を遅れとしている。

Ｃは、水平方向に対する回転信号作成手段で、
ラツチ回路８の出力と同期カウンタ９の出力がコ
ンパレータ１０の入力端子に接続され、コンパレ
ータ１０の出力端子が同期カウンタ９のリセツト
端子に帰還して接続されるとともに次段のアツプ
ダウンカウンタ１１に接続されている。この回転
信号作成手段Ｃは演算処理手段Ｂより供給される
前記計数指令信号（水平同期信号をα個計数）を
ラツチ回路８が一画像が完成するまで出力し続け
ており、ラツチ回路８の計数指令信号αと同期カ
ウンタ９が計数している水平同期信号数が一致す
るとコンパレータ１０が１パルス出力し、この出
力パルスは同期カウンタ９のリセツト端子に戻さ
れ、上記と同様な動作を繰り返して、コンパレー
タ１０は一画像作成完了まで繰り返しパルスを出
力する。

Ｄは水平方向に対する平行移動信号作成手段
で、前記コンパレータ１０の出力をアツプダウン
カウンタ１１のクロツク入力端子に接続し、ラツ
チ回路１２の出力端子をアツプダウンカウンタ１
１のデータ入力端子に接続してあり、前記演算処
理手段Ｂより供給された水平方向へ移動すべき指
令信号（Ｘドツト移動指令）をラツチ回路１２が
出力し続け、このラツチ回路１２の指令信号をベ
ース値として、前記コンパレータ１０からパルス
が出力される度に前記ベース値として指令信号
（Ｘドツト移動指令）にカウントアツプまたはカ
ウントダウンして水平方向への移動信号を作成
し、この移動信号を加算手段Ｅに供給する。

加算手段Ｅは、集積回路でなるいわゆるアダー
を使用し、水平アドレス信号（H0，H1，H2…
…）と、前記アツプダウンカウンタ１１の出力信
号つまり全体をＸドツト平行移動する信号を水平
同期信号α個毎に１ドツトづつ水平移動した信号
（Ｘ＋１，Ｘ＋２，Ｘ＋３……）を入力とし、水
平アドレス信号（H0，H1，H2……）に水平移
動する信号（Ｘ＋１，Ｘ＋２，Ｘ＋３，……）を
加算するもので、この加算手段Ｅにより変更され
た水平アドレス信号（H0，H1＋Ｘ＋１，H2＋
Ｘ＋２，……）を基準パターン記憶手段Ａ，
A′はアドレスにするのである。第１１図で示し
たものは説明を簡略化するために水平方向ずれが
ない（Ｘ＝０）と仮定した場合である。

以上述べたものは水平方向への移動についての
ものであるが、垂直方向への移動は、水平に移動
させたときと同様に、回転信号作成手段C′、平行
移動信号作成手段D′および加算手段E′を使用し、
全体をＹドツト平行移動する信号を水平ドツトク
ロツクをβ個計数する毎に１ドツトづつ垂直移動
した信号（Ｙ＋１，Ｙ＋２，Ｙ＋３，……）を作
成し、この信号を加算手段E′に入力することで垂
直アドレス（V0，V1，V2，Ｖ……）に垂直移動
すべき信号（Ｙ＋１，Ｙ＋２，Ｙ＋３，……）を
加算し、加算後の垂直アドレス信号（V0，VI＋
Ｙ＋１，V2＋Ｙ＋２，……）を基準パターン記
憶手段Ａ，A′に供給して、基準パターンの新ア
ドレスとするものである。

基準パターン記憶手段Ａには前記したように縮
小パターンである基準パターン(1)が格納され、他
方、基準パターン記憶手段A′には拡大パターン
である基準パターン(2)が格納されている。本実施
例において（縮小）基準パターン(1)と（拡大）基
準パターン(2)に両方を作成するのは次の理由によ
る。

本発明のパターン移動装置の最終目的は移動さ
せた基準パターンを被検体パターンに重ね合わせ
て、被検体の良否の判定を行うことにあるが、こ
の際、注意しなければいけないのは、基準パター
ンと完全一致する被検体パターンを有するものが
良品であることは当然であるが、仮に完全一致し
ない場合でもその誤差が許容できる範囲内であれ
ば、その製品は良品として判断する必要があるこ
とである。即ち良品ワークの中でも多少の形状変
動があり、この形状変動は許容する必要があると
いうことであり、例えば欠損については第１２図
に示されるように実線で示されるパターン上に存
在する欠け部分のうち実線パターン内側に示した
二点鎖線パターンよりも内側に食い込む欠け部分
のみが不良検出の対象であり、また汚れについて
は第１３図に示すように実線で示されるパターン
上に存在するはみ出し汚れのうち実線パターン外
側に存在する二点鎖線パターンよりも外側にはみ
出す部分のみが不良検出の対象となることであ
る。そして、このような一定の許容範囲を与える
意味で本実施例では第１４図に示すように、（縮
小）基準パターン(1)と（拡大）基準パターン(2)を
用意したのである。

（縮小）基準パターン(1)および（拡大）基準パ
ターン(2)は、上述の手法によりアドレス移動する
ことによつてアドレス内の記憶内容を実質上移動
させ、被検体パターンに重畳させてその不良を検
出するが、例えば欠損検出に際しては、第９図、
第１５図に示すようにインバータ１３で反転させ
た基準パターン(1)の反転パターンと被検体パター
ンをANDゲート１４に入力することにより行わ
れ、このときANDゲート１４からパルス信号が
出力されると被検体パターンに欠損があると判断
するものであり、また汚れ検出に際しては、第９
図、第１６図に示すように、基準パターン(2)とイ
ンバータ１５により反転せられた被検体パターン
の反転パターンをANDゲート１６で論理演算し、
この結果、パルス信号が出力されると被検体パタ
ーンに汚れがあると判断するものである。この論
理演算した結果は電気的に信号処理をしたもので
あり、極めて正確なものであるため、半導体の捺
印のような人間の視覚を考慮した判断をしなけれ
ばならないものは、フイルタ１７を通してある程
度幅をもたしている。このフイルタ１７を通つた
信号をカウンタ１８が計数することによつて不良
品の数が分かるのである。また、出力アンプ１９
はビデオ信号、２値化信号、一時記憶信号、基準
パターン(1)(2)およびフイルタ１７の出力信号と接
続され、これらの信号を選択して、CRT２０に
供給するものである。

以上のように演算処理手段Ｂからの指令信号
を、半導体素子で構成された移動手段が電気信号
のみで処理するため、ソフトで構成したのと比し
て処理速度が速くなり、半導体等に施された捺印
等のパターン検査を大量且つ高速に行うことがで
きるとともに、縮小した基準パターン(1)と拡大し
た基準パターン(2)を被検体パターンと比較するこ
とにより欠損像および汚れの検出判断が可能にな
るのである。

〔発明の効果〕

本発明に係るパターン移動装置は、演算処理手
段から発せられた基準パターンを被検体パターン
と重畳させる指令を、信号の流れで処理するた
め、従来のサーボ機構による被検体の機械的移動
による方法や、メモリー上に展開したパターン相
互を全ドツトにわたつてプログラムソフトウエア
によつて逐一比較照合する方法に比べて高速に処
理することが可能となる。また本発明装置はパタ
ーン同士を正確に重ね合わせてパターンの形状比
較をするものであるから従来広く行われている面
積比較による不良品検出装置に比べて検査精度も
格段に優れている。

【図面の簡単な説明】

第１図は基準パターンと不良箇所を有する被検
体パターンを示す説明図、第２図は基準パターン
と位置のずれた被検体パターンを示す説明図、第
３図イはパターンの回転移動方向を示す説明図、
第３図ロはパターンの平行移動方向を示す説明
図、第４図イ，ロ，ハおよび第５図は本発明にお
けるパターン移動の考え方を示す説明図、第６図
は画面作成用の同期信号の説明図、第７図は表示
画面と水平同期信号および水平ドツトクロツクと
の関係を示す説明図、第８図は本発明に係るパタ
ーン移動装置のブロツク図、第９図および第１０
図は本発明に係るパターン移動装置の実施例を示
すブロツク図、第１１図イ，ロは回転移動の説明
図、第１２図は縮小基準パターンを作成する意味
を示す説明図、第１３図は拡大基準パターンを作
成する意味を示す説明図、第１４図は基準パター
ンを元にして縮小基準パターンと拡大基準パター
ンを作成する様子を示す説明図、第１５図は欠損
検査の方法を示す説明図、第１６図は汚れ検査の
方法を示す説明図である。Ａ，A′……基準パターン記憶手段、Ｂ……演
算処理手段、Ｃ，C′……回転信号作成手段、Ｄ，
D′……水平方向移動手段、Ｅ，E′……加算手段、
１……２値化回路、３……画面アドレス作成回
路、４……一時記憶回路、８……ラツチ回路、９
……コンパレータ、１０……同期カウンタ、１１
……アツプダウンカウンタ、１２……ラツチ回
路。

Claims

【特許請求の範囲】１基準パターンを予め記憶しておく基準パター
ン記憶手段Ａと、該基準パターン記憶手段Ａに記憶された基準パ
ターンと被検体パターンを比較し、基準パターン
の被検体パターンに対する回転方向、水平および
垂直方向のずれに応じて、基準パターンを被検体
パターンに重畳させるための回転方向への移動指
令と、水平方向および垂直方向への平行移動を指
令する信号を発する機能を有し、前記回転方向へ
の指令信号は、表示画面左上を回転中心となすと
ともにその回転動作を基準パターンを構成する各
ドツトの水平方向および垂直方向移動の集合に置
き換えて近似させた際に得られるところの定数の
形式で与えられ、その定数の内容は、水平方向に
１ドツト移動させるのに必要な垂直方向のドツト
数αと、垂直方向に１ドツト移動させるのに必要
な水平方向のドツト数βであり、他方、水平方向
および垂直方向に平行移動させるための指令信号
は水平方向移動ドツト数Ｘ、垂直方向移動ドツト
数Ｙで与えられてなる演算処理手段Ｂと、前記演算処理手段Ｂの指令信号に応じて、α個
の水平同期信号を計数する毎に繰り返して信号を
出力する水平方向への回転信号作成手段Ｃ、並び
にβ個の水平ドツトクロツクを計数する毎に繰り
返して信号を出力する垂直方向への回転信号作成
手段C′と、前記水平方向への回転信号作成手段Ｃより信号
が出力される毎に前記演算処理手段Ｂより指令さ
れた水平方向移動ドツト数Ｘをカウントアツプま
たはカウントダウンする水平方向の平行移動信号
作成手段Ｄ、並びに前記垂直方向への回転信号作
成手段C′より信号が出力される毎に前記演算処理
手段Ｂより指令された垂直方向移動ドツト数Ｙを
カウントアツプまたはカウントダウンする垂直方
向の平行移動信号作成手段D′と、前記水平方向の平行移動信号作成手段Ｄから出
力されるカウントアツプまたはカウントダウンし
た水平方向への平行移動指令信号を基準パターン
の水平アドレスに加算し、この加算された水平ア
ドレスを前記基準パターン記憶手段Ａに供給する
加算手段Ｅ、並びに前記垂直方向の平行移動信号
作成手段D′から出力されるカウントアツプまた
はカウントダウンした垂直方向への平行移動指令
信号を基準パターンの垂直アドレスに加算し、こ
の加算された垂直アドレスを前記基準パターン記
憶手段Ａに供給する加算手段E′と、よりなり基準パターン記憶手段Ａのアドレスを加
減算して被検体パターンと重畳すべく基準パター
ンを移動させることを特徴とするパターン移動装
置。