JPS62274209A - パタ−ン移動装置 - Google Patents
パタ−ン移動装置Info
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- JPS62274209A JPS62274209A JP11976686A JP11976686A JPS62274209A JP S62274209 A JPS62274209 A JP S62274209A JP 11976686 A JP11976686 A JP 11976686A JP 11976686 A JP11976686 A JP 11976686A JP S62274209 A JPS62274209 A JP S62274209A
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- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 claims description 7
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
本発明は製品に施された形状、模様の検査、特に集積回
路やプリン）！板の捺印、プリント配線等に施された形
状、模様の良否を検査するパターン移動装置に関する。
路やプリン）！板の捺印、プリント配線等に施された形
状、模様の良否を検査するパターン移動装置に関する。
従来、ＣＲＴ等を使用して、製品に施された形状等を検
査するには、基準品を設定し、この基準品に施された形
状等をビデオカメラで１最像し、このビデオ信号を２値
化して基準パターン（以下２値化したものを基準パター
ンとする。）と基準パターンの面積を予め記憶しておき
、ビデオカメラで撮像した被検査品の映像信号を２値化
した被検体パターン（以下、２値化したものを被検体パ
ターンとする。）のビット数の和を算出し、この算出さ
れた結果と予め記憶された基準面積とを比較し、両面積
が合致すれば良品としてカウントしていた。
査するには、基準品を設定し、この基準品に施された形
状等をビデオカメラで１最像し、このビデオ信号を２値
化して基準パターン（以下２値化したものを基準パター
ンとする。）と基準パターンの面積を予め記憶しておき
、ビデオカメラで撮像した被検査品の映像信号を２値化
した被検体パターン（以下、２値化したものを被検体パ
ターンとする。）のビット数の和を算出し、この算出さ
れた結果と予め記憶された基準面積とを比較し、両面積
が合致すれば良品としてカウントしていた。
また、被検体パターンが検出枠からはみ出した場合は予
め記憶された基準パターンと前記２値化信号のパターン
信号をマイクロコンピュタ−が比較し、両パターンが水
平方向、垂直方向及び回転方向にずれた量（ビット数）
を補正する指令をし、この指令に基づきＸ−Ｙステージ
でサーボモータを駆動して、被検体パターンを所定の位
置にセットしていた。
め記憶された基準パターンと前記２値化信号のパターン
信号をマイクロコンピュタ−が比較し、両パターンが水
平方向、垂直方向及び回転方向にずれた量（ビット数）
を補正する指令をし、この指令に基づきＸ−Ｙステージ
でサーボモータを駆動して、被検体パターンを所定の位
置にセットしていた。
上記のパターン検査装置は、基準パターンの面積と被検
体パターンの面積を比較しており、この方式を採用する
と、被検体パターンの形状そのものに凹部と凸部が存し
ている場合でも、パターンの面積さえ一致すれば、基準
パターンと同一パターンであると判断してしまうという
問題点がある。
体パターンの面積を比較しており、この方式を採用する
と、被検体パターンの形状そのものに凹部と凸部が存し
ている場合でも、パターンの面積さえ一致すれば、基準
パターンと同一パターンであると判断してしまうという
問題点がある。
この面積比較で検査を行うという理由は、被検体が枠外
にはみ出した場合に、被検体を移動させる手段が、サー
ボ機構であるため、１０ ’ ｎｍのオーダーで被検体
を所定位置にセットすることが不可能に近いためである
。また、マイクロコンピュータ−の指令信号に基づいて
サーボ機構で移動させるのは速度が遅く大量に流れる製
品を処理するには問題点が残る。そこで、本発明は予め
ｔ最像して記憶した基準パターンを次に撮像した被検査
パターンの位置に移動させ、デジタル処理を行うことに
よって、形状比較を行うことを可能にするとともに検査
速度を高速で行うことを可能にすることを目的とする。
にはみ出した場合に、被検体を移動させる手段が、サー
ボ機構であるため、１０ ’ ｎｍのオーダーで被検体
を所定位置にセットすることが不可能に近いためである
。また、マイクロコンピュータ−の指令信号に基づいて
サーボ機構で移動させるのは速度が遅く大量に流れる製
品を処理するには問題点が残る。そこで、本発明は予め
ｔ最像して記憶した基準パターンを次に撮像した被検査
パターンの位置に移動させ、デジタル処理を行うことに
よって、形状比較を行うことを可能にするとともに検査
速度を高速で行うことを可能にすることを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明に係るパターン移書
力装置は、 基準パターンを予め記憶しておく基準パターン記憶手段
Ａと、 該基準パターン記憶手段Ａに記憶された基準パターンと
被検体パターンを比較し、両パターンの水平、垂直およ
び回転方向のずれに応じて、基準パターンを被検体パタ
ーンに重畳すべく水平方向および垂直方向に平行移動す
る指令信号と回転移動する指令信号を発する演算処理手
段Ｂと、該演算処理手段Ｂの指令信号に応じて、所定数
の水平同期信号及び水平ドントクロックを計数する毎に
繰り返して信号を出力する回転信号作成手段Ｃと、 該回転信号作成手段Ｃより出力された信号で前記演算処
理手段Ｂより指令された水平および垂直方向への平行移
動指令信号をカウントアツプまたはカウントダウンする
平行移動信号作成手段りと、該平行移動信号作成手段り
がカウントアツプまたはカウントダウンした平行移動指
令信号を水平アドレスおよび垂直アドレスに加算し、該
加算された水平アドレスおよび垂直アドレスを前記基準
パターン記憶手段Ａに供給する加算手段Ｅと、よりなり
基準パターン記憶手段Ａのアドレスを加減算して被検体
パターンと重畳すべく移動させることを特徴とする
゛ °゛ −。
力装置は、 基準パターンを予め記憶しておく基準パターン記憶手段
Ａと、 該基準パターン記憶手段Ａに記憶された基準パターンと
被検体パターンを比較し、両パターンの水平、垂直およ
び回転方向のずれに応じて、基準パターンを被検体パタ
ーンに重畳すべく水平方向および垂直方向に平行移動す
る指令信号と回転移動する指令信号を発する演算処理手
段Ｂと、該演算処理手段Ｂの指令信号に応じて、所定数
の水平同期信号及び水平ドントクロックを計数する毎に
繰り返して信号を出力する回転信号作成手段Ｃと、 該回転信号作成手段Ｃより出力された信号で前記演算処
理手段Ｂより指令された水平および垂直方向への平行移
動指令信号をカウントアツプまたはカウントダウンする
平行移動信号作成手段りと、該平行移動信号作成手段り
がカウントアツプまたはカウントダウンした平行移動指
令信号を水平アドレスおよび垂直アドレスに加算し、該
加算された水平アドレスおよび垂直アドレスを前記基準
パターン記憶手段Ａに供給する加算手段Ｅと、よりなり
基準パターン記憶手段Ａのアドレスを加減算して被検体
パターンと重畳すべく移動させることを特徴とする
゛ °゛ −。
上記パターン移動装置の動作を第１図のブロック図に基
づき説明する。
づき説明する。
予め記憶されている基準パターンとアドレスを指定して
一時記憶した被検体パターンを演算処理手段Ｂが比較演
算するとともに、被検体パターンと基準パターンの水平
、垂直および回転ずれを補正する指令信号を回転信号作
成手段Ｃと平行移動信号作成手段りに供給する。水平ま
たは垂直方向に平行移動させるには、演算処理手段Ｂか
ら供給される水平方向への移動指令信号を平行移動信号
作成手段りが加算手段已に供給し、加算手段Ｅは水平ア
ドレスおよび垂直アドレスに水平または垂直に平行移動
すべき信号を加算し、この加算した水平アドレスおよび
垂直アドレスを基準パターン記憶手段Ａに供給し、基準
パターン記憶手段Ａのアドレス内に格納している内容を
アドレスとともに移送したことになる。
一時記憶した被検体パターンを演算処理手段Ｂが比較演
算するとともに、被検体パターンと基準パターンの水平
、垂直および回転ずれを補正する指令信号を回転信号作
成手段Ｃと平行移動信号作成手段りに供給する。水平ま
たは垂直方向に平行移動させるには、演算処理手段Ｂか
ら供給される水平方向への移動指令信号を平行移動信号
作成手段りが加算手段已に供給し、加算手段Ｅは水平ア
ドレスおよび垂直アドレスに水平または垂直に平行移動
すべき信号を加算し、この加算した水平アドレスおよび
垂直アドレスを基準パターン記憶手段Ａに供給し、基準
パターン記憶手段Ａのアドレス内に格納している内容を
アドレスとともに移送したことになる。
次に、回転移動させるには、演算処理手段Ｂから供給さ
れる水平方向へ所定ビット数進みまたは遅れに対して、
画面作成に使用される水平同期信号および水平ドントク
ロックを所定数計数せよとの指令信号に応じて、回転信
号作成手段Ｃが所定数の同期信号をカウントする毎に信
号を発し、この信号で平行移動信号作成手段が演算処理
手段Ｂより供給される水平方向の移動指令信号をカウン
トアンプまたはカウントダウンし、このカウントアンプ
またはカウントダウンした信号を加算手段がアドレスに
加算し、この加算されたアドレスを基準パターン記憶手
段に供給して、基準パターンのアドレスを移動させるこ
とにより、アドレス内の２値化信号が移動したことにな
る。
れる水平方向へ所定ビット数進みまたは遅れに対して、
画面作成に使用される水平同期信号および水平ドントク
ロックを所定数計数せよとの指令信号に応じて、回転信
号作成手段Ｃが所定数の同期信号をカウントする毎に信
号を発し、この信号で平行移動信号作成手段が演算処理
手段Ｂより供給される水平方向の移動指令信号をカウン
トアンプまたはカウントダウンし、このカウントアンプ
またはカウントダウンした信号を加算手段がアドレスに
加算し、この加算されたアドレスを基準パターン記憶手
段に供給して、基準パターンのアドレスを移動させるこ
とにより、アドレス内の２値化信号が移動したことにな
る。
以上のようにして移動した基準パターンと被検体パター
ンの信号を単に論理演算等することにより簡単にパター
ン検査ができる。
ンの信号を単に論理演算等することにより簡単にパター
ン検査ができる。
（実施例〕
本発明に係るパターン移動装置の詳細を図示した実施例
に基づき説明する。
に基づき説明する。
第２図はパターン移動装置の全体ブロック図を示し、第
３図はアドレスを移動する部分を示すブロック図を示す
。
３図はアドレスを移動する部分を示すブロック図を示す
。
図中、ｌは２値化回路で、ビデオカメラ力月Ｃ、プリン
ト基板等の形状、模様を撮像したビデオ信号をアンプ等
を介して２値化するものであり、この２値化回路１が２
値化した信号を窓回路２で作成した窓内に制限してＣＲ
Ｔに表示する。この窓を作成するのは、周知の如（、画
面アドレス作成手段３が画像作成の基準となる水平ドッ
トクロックを分周等して、画面上の各位置を設定する水
平および垂直方向のアドレス信号を作成し、走査映像の
外周を決定する窓を形成する。以上の回路で、予めビデ
オカメラで基準品の模様、形状等を盪像して、基準パタ
ーンの２値化信号を作成して、一時記憶回路４に一時記
憶させる。一時記憶回路４は、集積回路でなり、前記窓
内に制限された２値化信号（以下単に２値化信号という
）と画面アドレス作成回路３で作成されたアドレス信号
を入力とし、指定されたアドレスに２値化信号を一時記
憶するものであり、後述する基準パターン記憶手段に２
値化信号を移送後は記憶は空になる０次に、この空にな
った一時記憶回路４に被検体パターンを一時記憶する。
ト基板等の形状、模様を撮像したビデオ信号をアンプ等
を介して２値化するものであり、この２値化回路１が２
値化した信号を窓回路２で作成した窓内に制限してＣＲ
Ｔに表示する。この窓を作成するのは、周知の如（、画
面アドレス作成手段３が画像作成の基準となる水平ドッ
トクロックを分周等して、画面上の各位置を設定する水
平および垂直方向のアドレス信号を作成し、走査映像の
外周を決定する窓を形成する。以上の回路で、予めビデ
オカメラで基準品の模様、形状等を盪像して、基準パタ
ーンの２値化信号を作成して、一時記憶回路４に一時記
憶させる。一時記憶回路４は、集積回路でなり、前記窓
内に制限された２値化信号（以下単に２値化信号という
）と画面アドレス作成回路３で作成されたアドレス信号
を入力とし、指定されたアドレスに２値化信号を一時記
憶するものであり、後述する基準パターン記憶手段に２
値化信号を移送後は記憶は空になる０次に、この空にな
った一時記憶回路４に被検体パターンを一時記憶する。
Ａ、Ａ’ は集積回路よりなる基準パターン記憶手段で
、前記一時記憶回路４との間にゲート回路５．６．７を
介して接続され、一時記憶回路４に記憶されている内容
を記憶するためのものである。
、前記一時記憶回路４との間にゲート回路５．６．７を
介して接続され、一時記憶回路４に記憶されている内容
を記憶するためのものである。
この基準パターン記憶手段Ａに一時記憶回路４の記憶内
容を移送するには、ゲート回路５が後述の演算処理手段
の指令信号により開放されたときに一時記憶回路４内の
２値化信号を通過させ、基準パターン記憶手段Ａの入力
端子に接続されているゲート回路６がＣＰＵの指令信号
により開放されるとともに２値化信号を適宜数ビット縮
小した信号を出力し、基準パターンＡはこの縮小された
２値化信号を記憶し、これを基準パターン（１）とする
。
容を移送するには、ゲート回路５が後述の演算処理手段
の指令信号により開放されたときに一時記憶回路４内の
２値化信号を通過させ、基準パターン記憶手段Ａの入力
端子に接続されているゲート回路６がＣＰＵの指令信号
により開放されるとともに２値化信号を適宜数ビット縮
小した信号を出力し、基準パターンＡはこの縮小された
２値化信号を記憶し、これを基準パターン（１）とする
。
他方の基準パターン記憶手段Ａ“に基準パターンを記憶
するには、ゲート回路７により２値化信号を適宜数ビッ
ト拡大された基準パターンを記憶させ、これを基準パタ
ーン（２）とする。上記記憶手段Ａ、Ａ’ は集積回路
よりなる記憶素子であるが、フロッピーディスクやデー
タテープを使用して記憶容量を増加してもよい。
するには、ゲート回路７により２値化信号を適宜数ビッ
ト拡大された基準パターンを記憶させ、これを基準パタ
ーン（２）とする。上記記憶手段Ａ、Ａ’ は集積回路
よりなる記憶素子であるが、フロッピーディスクやデー
タテープを使用して記憶容量を増加してもよい。
Ｂは演算処理装置で、前記のゲート回路５，６゜７を開
閉する指令をするとともに、前記基準パターン（１）
（２）と一時記憶された被検査パターンを比較して、水
平、垂直および回転の各方向におけるずれを算出し、モ
ニタープログラムよりずれに応じた各方向への移動する
定数を呼び出し、この定数をデータバスラインに乗せる
。ここにいう定数は、水平方向および垂直方向に所定ビ
ット数進むか遅れる指令を発するもので、水平方向にＸ
ビット平行に移動する指令信号、垂直方向にＹビット平
行移動する指令信号、回転方向においては、第４図（イ
）及び（ロ）に例示すように、水平方向に１ピット進み
に対し水平同期信号をα個計数する指令及び垂直方向に
１ビット進みに対し水平ドア）クロック信号を８個計数
する指令をするものである。
閉する指令をするとともに、前記基準パターン（１）
（２）と一時記憶された被検査パターンを比較して、水
平、垂直および回転の各方向におけるずれを算出し、モ
ニタープログラムよりずれに応じた各方向への移動する
定数を呼び出し、この定数をデータバスラインに乗せる
。ここにいう定数は、水平方向および垂直方向に所定ビ
ット数進むか遅れる指令を発するもので、水平方向にＸ
ビット平行に移動する指令信号、垂直方向にＹビット平
行移動する指令信号、回転方向においては、第４図（イ
）及び（ロ）に例示すように、水平方向に１ピット進み
に対し水平同期信号をα個計数する指令及び垂直方向に
１ビット進みに対し水平ドア）クロック信号を８個計数
する指令をするものである。
Ｃは、水平方向に対する回転信号作成手段で、ラッチ回
路８の出力と同期カウンタ９の出力がコンパレータ１０
の入力端子に接続され、コンパレータ１０の出力端子が
同期カウンタ９のリセット端子に帰還して接続されると
ともに次段のアップダウンカウンタ１１に接続されてい
る。この回転信号作成手段Ｃは演算処理装置Ｂより供給
される前記計数指令信号（水平同期信号を７個計数）を
う・７チ回路８が一画像が完成するまで出力し続けてお
り、ランチ回路８の計数指令信号αと同期カウンタ９が
計数している水平同期信号数が一致するとコンパレータ
１０が１パルス出力し、この出力パルスは同期カウンタ
９のリセット端子に戻され、上記と同様な動作を繰り返
して、コンパレータ１０は一画像作成完了まで繰り返し
パルスを出力する。
路８の出力と同期カウンタ９の出力がコンパレータ１０
の入力端子に接続され、コンパレータ１０の出力端子が
同期カウンタ９のリセット端子に帰還して接続されると
ともに次段のアップダウンカウンタ１１に接続されてい
る。この回転信号作成手段Ｃは演算処理装置Ｂより供給
される前記計数指令信号（水平同期信号を７個計数）を
う・７チ回路８が一画像が完成するまで出力し続けてお
り、ランチ回路８の計数指令信号αと同期カウンタ９が
計数している水平同期信号数が一致するとコンパレータ
１０が１パルス出力し、この出力パルスは同期カウンタ
９のリセット端子に戻され、上記と同様な動作を繰り返
して、コンパレータ１０は一画像作成完了まで繰り返し
パルスを出力する。
Ｄは平行移動信号作成手段で、前記コンパレータｌＯの
出力をアップダウンカウンタ１１のクロック入力端子に
接続し、ラッチ回路１２の出力端子をアップダウンカウ
ンタ１１のデータ入力端子に接続してあり、前記演算処
理手段Ｂより供給された水平方向へ移動すべき指令信号
（Ｘドツト移動指令）をラッチ回路１２が出力し続け、
このラッチ回路１２の指令信号に対して前記コンパレー
タ１０がら出力される繰り返しパルスを所定数（α）の
水平同期信号毎にカウントアツプまたはカウントダウン
して水平方向に１ドツトづつ移動する信号を加算手段已
に供給する。
出力をアップダウンカウンタ１１のクロック入力端子に
接続し、ラッチ回路１２の出力端子をアップダウンカウ
ンタ１１のデータ入力端子に接続してあり、前記演算処
理手段Ｂより供給された水平方向へ移動すべき指令信号
（Ｘドツト移動指令）をラッチ回路１２が出力し続け、
このラッチ回路１２の指令信号に対して前記コンパレー
タ１０がら出力される繰り返しパルスを所定数（α）の
水平同期信号毎にカウントアツプまたはカウントダウン
して水平方向に１ドツトづつ移動する信号を加算手段已
に供給する。
加算手段Ｅは、集積回路でなるいわゆるアダーを使用し
、水平アドレス信号（ＨＯ，Ｈｌ 、 １１２・・・）
と前記アップダウンカウンタ１１の出力信号つまり全体
をＸドツト平行移動する信号を水平クロックα個毎に１
ドツトづつ水平移動する信号（Ｘ＋１、ｌ ＋２ 、Ｘ
＋３＋・・・）を入力とし、水平アドレス信号に（Ｈ
Ｏ，ＩＩＩ 、 Ｈ２・・・）に水平に移動する信号（
Ｘ＋１ 、Ｘ ＋２ 、Ｘ ＋３．・−・”）を加算す
るもので、この加算手段已により変更された水平アドレ
ス信号（ＨＯ、Ｈｌ ＋Ｘ ＋１．８２ ＋Ｘ ＋２．
・・・）を基準パターン記憶手段Ａ、Ａ’ はアドレス
にするのである。第４図はＸドツト平行移動後回転する
例を示したものである。
、水平アドレス信号（ＨＯ，Ｈｌ 、 １１２・・・）
と前記アップダウンカウンタ１１の出力信号つまり全体
をＸドツト平行移動する信号を水平クロックα個毎に１
ドツトづつ水平移動する信号（Ｘ＋１、ｌ ＋２ 、Ｘ
＋３＋・・・）を入力とし、水平アドレス信号に（Ｈ
Ｏ，ＩＩＩ 、 Ｈ２・・・）に水平に移動する信号（
Ｘ＋１ 、Ｘ ＋２ 、Ｘ ＋３．・−・”）を加算す
るもので、この加算手段已により変更された水平アドレ
ス信号（ＨＯ、Ｈｌ ＋Ｘ ＋１．８２ ＋Ｘ ＋２．
・・・）を基準パターン記憶手段Ａ、Ａ’ はアドレス
にするのである。第４図はＸドツト平行移動後回転する
例を示したものである。
垂直方向への移動は、水平に移動させたときと同様に、
回転信号作成手段Ｃ′、平行移動信号作成手段Ｄ“及び
加算手段Ｅ°を使用し、第４図（ロ）平行移動後におけ
る回転例示を示し、垂直方向の回転移動定数は、垂直方
向へ１ドツト平行移動に対し画面作成に使用した垂直方
向のクロック信号を３個計数するもので、垂直アドレス
（ＶＯ。
回転信号作成手段Ｃ′、平行移動信号作成手段Ｄ“及び
加算手段Ｅ°を使用し、第４図（ロ）平行移動後におけ
る回転例示を示し、垂直方向の回転移動定数は、垂直方
向へ１ドツト平行移動に対し画面作成に使用した垂直方
向のクロック信号を３個計数するもので、垂直アドレス
（ＶＯ。
ＶＬＶ２．Ｖ・・・）に水平ドツトクロックを３個計数
毎に１ドツトづつ加算し、垂直アドレス（ＶＯ，Ｖｌ、
Ｖ２．Ｖ３ ・・）を（ＶＯ，Ｖｌ ＋１ 、Ｖ２ ＋
２ 、Ｖ３ ＋ ３・・）に変更したものを基準アド
レスの垂直アドレスとする。
毎に１ドツトづつ加算し、垂直アドレス（ＶＯ，Ｖｌ、
Ｖ２．Ｖ３ ・・）を（ＶＯ，Ｖｌ ＋１ 、Ｖ２ ＋
２ 、Ｖ３ ＋ ３・・）に変更したものを基準アド
レスの垂直アドレスとする。
上記の如くアドレスを移動することによって、アドレス
内の記憶内容を移動させることによって被検体のパター
ンと重畳甘さだ基準パターン（１）をインバータ１３で
反転させ、この反転したパターンと被検査パターンをＡ
ＮＤゲート１４に入力することにより、ＡＮＤゲート１
４からパルス信号が出力されると被検査パターンに欠撰
があることを意味し、基準パターン（２）とインバータ
１５により反転せられた被検査パターンをＡＮＤゲート
１６で論理演算した結果、パルス信号が出力されると被
検査パターンに汚れがあると判断される。この論理演算
した結果は電気的に信号処理をしたものであり、極めて
正確なものであるため、半導体の捺印のような人間の視
覚に対して判断をしなければならないものは、フィルタ
１７を通しである程度幅をもたしている。このフィルタ
１７を通った信号をカウンタ１８が計数することによっ
て不良品の数が分かるのである。また、出力アンプ１９
はビデオ信号、２値化信号、一時記憶信号、基準パター
ン（１１（２）およびフィルタ１７の出力信号と接続さ
れ、これらの信号を選択して、ＣＲＴ２０に供給するも
のである。
内の記憶内容を移動させることによって被検体のパター
ンと重畳甘さだ基準パターン（１）をインバータ１３で
反転させ、この反転したパターンと被検査パターンをＡ
ＮＤゲート１４に入力することにより、ＡＮＤゲート１
４からパルス信号が出力されると被検査パターンに欠撰
があることを意味し、基準パターン（２）とインバータ
１５により反転せられた被検査パターンをＡＮＤゲート
１６で論理演算した結果、パルス信号が出力されると被
検査パターンに汚れがあると判断される。この論理演算
した結果は電気的に信号処理をしたものであり、極めて
正確なものであるため、半導体の捺印のような人間の視
覚に対して判断をしなければならないものは、フィルタ
１７を通しである程度幅をもたしている。このフィルタ
１７を通った信号をカウンタ１８が計数することによっ
て不良品の数が分かるのである。また、出力アンプ１９
はビデオ信号、２値化信号、一時記憶信号、基準パター
ン（１１（２）およびフィルタ１７の出力信号と接続さ
れ、これらの信号を選択して、ＣＲＴ２０に供給するも
のである。
以上のように演算処理手段Ｂからの指令信号を、半導体
素子で構成された移動手段が電気信号のみで処理するた
め、ソフトで構成したのと比して処理速度が速くなり、
半導体等に施されたパターン検査を大量且つ高速に良否
を判別できるとともに、縮小した基準パターン（１）と
拡大した基準パターン（２）を被検査パターンと比較す
ることにより欠損像および汚れ等の検出判断が可能にな
ったのである。
素子で構成された移動手段が電気信号のみで処理するた
め、ソフトで構成したのと比して処理速度が速くなり、
半導体等に施されたパターン検査を大量且つ高速に良否
を判別できるとともに、縮小した基準パターン（１）と
拡大した基準パターン（２）を被検査パターンと比較す
ることにより欠損像および汚れ等の検出判断が可能にな
ったのである。
以上でなる本発明に係るパターン移動装置は、演算処理
手段から発せられた基準パターンを被検査パターンと重
畳させる指令を、信号の流れで、処理するため、従来の
サーボ機構の機械的移動と比して、高速に処理すること
を可能にするうえに、正確にパターン同士を重ねること
ができるので、パターンの形状比較を可能にし、極めて
正確にパターンの良否が検査可能になったのである。
手段から発せられた基準パターンを被検査パターンと重
畳させる指令を、信号の流れで、処理するため、従来の
サーボ機構の機械的移動と比して、高速に処理すること
を可能にするうえに、正確にパターン同士を重ねること
ができるので、パターンの形状比較を可能にし、極めて
正確にパターンの良否が検査可能になったのである。
第１図は本発明に係るパターン移動装置のブロック図１
、第２図及び第３図は本発明に係るパターン移動装置の
実施例、第４図（イ） （ロ）はアドレス回転例を示す
図である。 Ａ、Ａ’ ：基準パターン記憶手段、Ｂ：演算処理手
段、Ｃ：回転移動信号作成手段、Ｄ：水平方向移動手段
、Ｅ：加算手段、１：２値化回路、３：画面アドレス作
成回路、４ニ一時記憶回路、８：ランチ回路、 ９：コンパレータ、ｒｏ：同期カウンタ、１１ニアツブ
ダウンカウンタ、１２：ランチ回路。 特許出願人 ダフクエンジニアリング １４ 図 （イ） ヒβＨ
、第２図及び第３図は本発明に係るパターン移動装置の
実施例、第４図（イ） （ロ）はアドレス回転例を示す
図である。 Ａ、Ａ’ ：基準パターン記憶手段、Ｂ：演算処理手
段、Ｃ：回転移動信号作成手段、Ｄ：水平方向移動手段
、Ｅ：加算手段、１：２値化回路、３：画面アドレス作
成回路、４ニ一時記憶回路、８：ランチ回路、 ９：コンパレータ、ｒｏ：同期カウンタ、１１ニアツブ
ダウンカウンタ、１２：ランチ回路。 特許出願人 ダフクエンジニアリング １４ 図 （イ） ヒβＨ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）基準パターンを予め記憶しておく基準パターン記憶
手段Ａと、 該基準パターン記憶手段Ａに記憶された基準パターンと
被検体パターンを比較し、両パターンの水平、垂直およ
び回転方向のずれに応じて、基準パターンを被検体パタ
ーンに重畳すべく水平方向および垂直方向に平行移動す
る指令信号と回転移動する指令信号を発する演算処理手
段Ｂと、該演算処理手段Ｂの指令信号に応じて、所定数
の水平同期信号及び水平ドットクロックを計数する毎に
繰り返して信号を出力する回転信号作成手段Ｃと、 該回転信号作成手段Ｃより出力された信号で前記演算処
理手段Ｂより指令された水平および垂直方向への平行移
動指令信号をカウントアップまたはカウントダウンする
平行移動信号作成手段Ｄと、該平行移動信号作成手段Ｄ
がカウントアップまたはカウントダウンした平行移動指
令信号を水平アドレスおよび垂直アドレスに加算し、該
加算された水平アドレスおよび垂直アドレスを前記基準
パターン記憶手段Ａに供給する加算手段Ｅと、よりなり
基準パターン記憶手段Ａのアドレスを加減算して被検体
パターンと重畳すべく移動させることを特徴とするパタ
ーン移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11976686A JPS62274209A (ja) | 1986-05-23 | 1986-05-23 | パタ−ン移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11976686A JPS62274209A (ja) | 1986-05-23 | 1986-05-23 | パタ−ン移動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62274209A true JPS62274209A (ja) | 1987-11-28 |
| JPH0449044B2 JPH0449044B2 (ja) | 1992-08-10 |
Family
ID=14769657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11976686A Granted JPS62274209A (ja) | 1986-05-23 | 1986-05-23 | パタ−ン移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62274209A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01269035A (ja) * | 1988-04-21 | 1989-10-26 | Ibiden Co Ltd | プリント回路基板の検査装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5835408A (ja) * | 1981-08-28 | 1983-03-02 | Dainippon Printing Co Ltd | パタ−ン欠陥検査用信号処理装置 |
-
1986
- 1986-05-23 JP JP11976686A patent/JPS62274209A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5835408A (ja) * | 1981-08-28 | 1983-03-02 | Dainippon Printing Co Ltd | パタ−ン欠陥検査用信号処理装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01269035A (ja) * | 1988-04-21 | 1989-10-26 | Ibiden Co Ltd | プリント回路基板の検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0449044B2 (ja) | 1992-08-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |