JPH0451483Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

この考案は洗浄用治具に関し、詳しくはフオト
マスクブランク用透明基板、フオトマスクブラン
ク、フオトマスク、ガラスウエハ、あるいは半導
体ウエハ等の洗浄に使用する取扱いに便利な洗浄
用治具に関するものである。

【従来の技術】

従来、上述のようなガラスウエハは半導体ウエ
ハを代表とする板状物は、各種の加工あるいは処
理に際しその前後には必ず表面状態の改善を図る
目的で純水等により洗浄している。洗浄に当たつ
ては各種サイズの板状物を収納するため、従来第
１図または第２図に示すような洗浄用治具が用い
られていた。 第１図のものはフツ素樹脂等の耐食性プラスチ
ツクを用いた射出成形による一体成形品である。
図中１は筒状本体で、対向する側壁の内面に所定
間隔で適当数Ｖ字形の溝２を形成してある。３は
開口底部に差し渡され、上面に上記溝２と対応す
る波形の溝４を形成された支持杆である。この例
では板状物１０は溝２間に嵌挿され支持杆３によ
つて支えられる。 また第２図は耐食性金属からなる洗浄用治具
で、筒状本体５は対向する側壁の上部に横長のス
ライド窓６を、下部に所定の間隔で縦長のスライ
ド窓６′をそれぞれ形成されている。７は各スラ
イド窓６，６′に両端を嵌挿し、ナツト９により
筒状本体５に着脱可能に固定した棒状をなす３本
の中桟である。この中桟７は横長のスライド窓６
の左右に一対と、下部の縦長のスライド窓６′の
適所に１本取り付けられている。なお中桟７には
側面の一方向にのみ波形の溝８が形成されてい
る。３本の中桟７はそれぞれスライド窓６，６′
内を摺動させ、板状物１０の両側および底部を押
さえて収納している。

【考案が解決しようとする問題点】

しかしながら前者においては、予め決まつた大
きさの板状物１０しか収納できないので、多品種
の板状物１０を洗浄する工程では板状物１０の大
きさごとに洗浄用治具が必要となり、コストアツ
プの要因となる。 後者においては、中桟７側面の一方向にのみ波
形の溝８が形成されているため、溝８が板状物１
０に向けることが必要であるし、板状物１０の大
きさに合わせて中桟７を移動しかつ固定するのに
手間がかかるという欠点があつた。

【問題点を解決するための手段】

そのためこの考案の洗浄用治具は、筒状本体
と、前記筒状本体の対向する一対の側壁の上端そ
れぞれに形成された切欠きと、該切欠きに着脱自
在に付設される、棒状をなす一対の中桟と、を備
え、 前記一対の中桟が、板状物の収納時において、
収納位置の基準となる基準中桟と、板状物の大き
さに適応して付設場所が可変する可変中桟とから
なり、 前記切欠きが、前記基準中桟を取り付ける一対
の基準中桟用切欠きと前記可変中桟を取り付ける
複数対の可変中桟用切欠きとからなり、かつ前記
切欠きは開口側部分と底部側部分とを有し、前記
切欠きの一対は、前記開口側部分から前記底部側
部分まで対向しており、 さらに、前記基準中桟用切欠き及び前記可変中
桟用切欠きのそれぞれの前記開口側部分は、前記
基準中桟用切欠き及び前記可変中桟用切欠きのそ
れぞれの前記底部側部分に対して、前記側壁の長
手方向内側に配設し、 前記基準中桟用切欠きに前記基準中桟を付設す
ると共に前記可変中桟用切欠きの一対に前記可変
中桟を付設し、前記基準中桟と前記可変中桟との
間に板状物をその主表面と直交するように収納し
て、前記板状物の幅方向の移動を規制することを
特徴とするものである。

【実施例】

以下この考案に係る洗浄用治具の一実施例を図
面に基いて説明する。 第３図および第４図においてまず、１１は矩形
断面の筒状本体である。筒状本体１１の一対の対
向する側壁１２，１３（本例：長さ方向）の上端
には、側壁１２，１３の長さ方向に２本の中桟１
４，１５をそれぞれ嵌挿・付設する各一対の切欠
き１６，１７，１８，１９がそれぞれ形成されて
いる。なお、切欠き１６，１７は、後記するよう
に複数対の切欠き群３５，３６の一部で、サイズ
の異なる板状物によつて前述した切欠き群３５，
３６から選択されるものでり、可変中桟１４が付
設されるものであることから可変中桟用切欠きで
ある。一方、切欠き１８，１９は板状物のサイズ
が異なつても常時板状物の収納時には用いられる
ものであり、基準中桟１５が付設されるものであ
ることから基準中桟用切欠きである。したがつ
て、基準中桟用切欠き１８，１９に付設される中
桟１５は基準中桟であり、一方可変中桟用切欠き
１６，１７に付設される中桟１４は可変中桟であ
る。また２０，２１は、上記筒状本体１１の対応
する各側壁１２，１３の各一対の可変中桟用切欠
き１６，１７及び基準中桟用切欠き１８，１９の
間にあつて、その下部に形成した一対の窓であつ
て、この一対の窓２０，２１に底部中桟２２を嵌
挿する。 ２本の中桟１４，１５を嵌挿・付設する各一対
の切欠き１６，１７，１８，１９は、開口側部分
２３，２４，２５，２６が、それぞれ下側に連な
る、中桟１４，１５を装着保持する底部側部分２
７，２８，２９，３０より内側に位置し、開口側
部分２３，２４と２５，２６の長さ方向の間隔が
底部側部分２７，２８と２９，３０の長さ方向の
間隔よりも狭くなるように設けられている。換言
すれば、基準中桟用切欠き１８，１９及び可変中
桟用切欠き１６，１７のそれぞれの開口側部分２
５，２６及び２３，２４は、基準中桟用切欠き１
８，１９及び可変中桟用切欠き１６，１７のそれ
ぞれの底部側部分２９，３０及び２７，２８に対
して、側壁１２，１３の長手方向内側に配設され
ている。特に本実施例において、各一対の切欠き
１６，１７，１８，１９は側壁１２，１３の上方
に向かつて互いに近付くように内傾して直線状に
設けられている。これに対し、一対の窓２０，２
１は中桟２２の外径より大きい大径部３１，３２
と中桟２２の外径より小さい小径部３３，３４と
により構成されている。このように形成した筒状
本体１１の一対の切欠き１６，１７，１８，１９
および一対の窓２０，２１へ中桟１４，１５，２
２が取付けられる。さらに、本実施例では１方の
一対の切欠き１６，１７を、互いに平行して形成
した複数対の切欠き群３５，３６としている。そ
れ故中桟１４の取付位置に変えることにより、サ
イズを異にする各種の板状物１０を収納すること
ができる。また中桟２２は側壁１２，１３の下部
に形成した一対の窓２０，２１を使用せずに、固
定してもよい。 上記中桟１４，１５，２２は棒状回転体からな
り、第７図に示すようにＶ字状断面の周溝３７を
軸方に複数並設したものである。この中桟１４，
１５，２２の両端外周近傍にはガイド溝３８，３
９が穿設されている。中桟１４，１５を筒状本体
１１へ取付ける際には、各一対の切欠き１６，１
７，１８，１９の開口側部分２３，２４，２５，
２６から中桟１４，１５を指し渡し、底部側部分
２７，２８，２９，３０へガイド溝３８，３９を
落とし込めばよい。また中桟２２については、一
対の窓２０，２１の大径部３１，３２内へ中桟２
２の両端を挿通し、小径部３３，３４へ中桟２２
のガイド溝３８，３９を落とし込めばよい。 この考案の洗浄用治具は以上のように構成した
ので、ワンタツチで筒状本体１１へ中桟１４，１
５を装着することができる。また、第７図に示す
とおり、中桟１４，１５，２２に対してその主表
面と直交するようにして、複数の板状物１０がそ
れぞれの周溝３７に嵌挿された状態では、板状物
１０の幅方向の両端面が各一対の切欠き１６，１
７，１８，１９の底部側部分２７，２８，２９，
３０に装着して差し渡された中桟１４，１５によ
つてそれぞれ保持され、しかも上記一対の切欠き
１６，１７，１８，１９の開口側部分２３，２
４，２５，２６が底部側部分２７，２８，２９，
３０と対比してそれぞれ他方の中桟１５，１４に
近づいている。このため板状物１０を洗浄する場
合等に洗浄用治具を上下方向に揺り動かしたとし
ても、開口部側分２３，２４，２５，２６から中
桟１４，１５が抜け出すこと、すなわち切欠き１
６，１７，１８，１９からの中桟１４，１５の抜
け出しを防止して、板状物１０を確実に保持する
ことができる。 また板状物１０を抜き出すとき、中桟１４，１
５が板状物１０に連れて底部側部分２７，２８，
２９，３０から抜け出ることもない。 さらに、底部側部分２７，２８，２９，３０内
にある中桟１４，１５は横方向（板状物１０の幅
方向）の移動を規制していることから、洗浄中に
中桟１４，１５間の間隔が広がることはなく、板
状物１０の落下してしまうこと、等の事故を確実
に防止することができる。

【変形例】

第５図はこの考案の洗浄用治具の他の実施例を
示すもので、相対向する側壁１２間の向かい合つ
て設けられた切欠き１６を、側壁１２の長さ方向
に二対形成してある。なお、３５は互いに平行し
て形成された複数の切欠き群、２０は上記各対の
切欠き１６に対応して左右とその中央に設けた窓
である。この例によれば、側壁１２の長さの範囲
内において２列の板状物１０を複数収納すること
ができる。 第６図はこの考案の洗浄用治具のさらに別の実
施例を示すものである。この例では筒状本体１１
の側壁１２の上端に垂直に切欠き４０，４１の開
口側部分４２，４３を形成し、この開口側部分４
２，４３の下方からほぼ直角に外方へ屈曲して、
中桟１４，１５を保持する底部側部分４４，４５
を形成している。これら第５図及び第６図の各実
施例でも、第３図および第４図に示した実施例と
同様な効果を奏する。

【考案の効果】

以上説明したように、この考案によれば筒状本
体の対向する側壁の上端に、一方の中桟を取付け
るための切欠きを開口側部分から底部側部分まで
対向して２以上の複数対形成しているため、一方
の中桟の取付け位置を極めて容易に変えて、複数
のサイズの板状物を収納することができる。ま
た、一対の切欠きの底部側部分に装着して差し渡
された前記一方の中桟が板状物の一端面を保持
し、かつ、切欠きの開口側部部分をその底部側部
分と対比して他方の中桟側に近づけているので、
洗浄中に洗浄用治具を上下方向に揺り動かした場
合や、洗浄終了後に板状物を取出す場合等におい
て、切欠き内から中桟が抜け出すことを防止する
ことができ、この結果板状物を確実保持すること
ができる上、その取扱いも極めて容易である。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図はそれぞれ従来の洗浄用治
具の例を示す斜視図、第３図はこの考案の洗浄用
治具の一実施例を示す斜視図、第４図は第３図に
示した実施例の側面図、第５図はこの考案の洗浄
用治具の他の実施例を示す側面図、第６図はさら
に別の実施例を示す側面図、並びに第７図は板状
物を中桟に嵌挿した状態を示す断面図である。 １０……板状物、１１……筒状本体、１２，１
３……側壁、１４……可変中桟、１５……基準中
桟、２２……底部中桟、１６，１７，４１……可
変中桟用切欠き、１８，１９，４０……基準中桟
用切欠き、２０，２１……窓、２３，２４，２
５，２６，４２，４３……開口側部分、２７，２
８，２９，３０，４４，４５……底部側部分。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 筒状本体と、前記筒状本体の対向する一対の
   側壁の上端それぞれに形成された切欠きと、該
   切欠きに着脱自在に付設される、棒状をなす一
   対の中桟と、前記一対の中桟と協働して板状物
   の底部を支持する底部中桟とを備え、 前記一対の中桟が板状物の収納時において、
   収納位置の基準となる基準中桟と、板状物の大
   きさに適応して付設場所が可変する可変中桟と
   からなり、 前記切欠きが、前記基準中桟を取り付ける一
   対の基準中桟用切欠きと前記可変中桟を取り付
   ける複数対の可変中桟用切欠きとからなり、か
   つ前記切欠きは開口側部分と底部側部分とを有
   し、前記切欠きの一対は、前記開口側部分から
   前記底部側部分まで対向しており、 さらに、前記基準中桟用切欠き及び前記可変
   中桟用切欠きのそれぞれの前記開口側部分は、
   前記基準中桟用切欠き及び前記可変中桟用切欠
   きのそれぞれの前記底部側部分に対して、前記
   側壁の長手方向内側に配設し、 前記基準中桟用切欠きに前記基準中桟を付設
   すると共に前記可変中桟用切欠きの一対に前記
   可変中桟を付設し、前記基準中桟と前記可変中
   桟との間に板状物をその主表面と直交するよう
   に収納して、前記板状物の幅方向の移動を規制
   することを特徴とする洗浄用治具。 ２ 基準中桟用及び／又は可変中桟用切欠きが、
   筒状本体の対向する側壁の開口側部分から底部
   側部分まで傾斜して設けられてなる実用新案登
   録請求の範囲第１項記載の洗浄用治具。 ３ 基準中桟用及び／又は可変中桟用切欠きが、
   筒状本体の対向する側壁の開口側部分から底部
   側部分までＬ字形に曲設されてなる実用新案登
   録請求の範囲第１項記載の洗浄用治具。