JPH0453865A - 熱硬化性樹脂組成物 - Google Patents
熱硬化性樹脂組成物Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
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Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、熱硬化性樹脂組成物に関するものである。特
に本発明は、信頼性に優れたTAB用封止材料に関する
ものである。
に本発明は、信頼性に優れたTAB用封止材料に関する
ものである。
最近、電子腕時計、カメラ、電卓、ICカード、ワープ
ロ、液晶テレビなどの電子機器か軽薄短小化、高機能化
の流れをたどるなかで、その製品の中枢部である半導体
素子の実装形態も変わりつつある。
ロ、液晶テレビなどの電子機器か軽薄短小化、高機能化
の流れをたどるなかで、その製品の中枢部である半導体
素子の実装形態も変わりつつある。
フィルムギヤリヤ(TAB>実装方式は、半導体素子の
多端子化、実装の高密度化という流れに沿ったもので時
計、電卓、サーマルヘッド、液晶デイスプレーにおける
実装に使用されており、今後の拡大が期待されている。
多端子化、実装の高密度化という流れに沿ったもので時
計、電卓、サーマルヘッド、液晶デイスプレーにおける
実装に使用されており、今後の拡大が期待されている。
種4ての用途でTAB実装方式の有用性か認められなか
ら、メモリー用途などへの本格的な背反が遅れている理
由の1つとして、トランスファーモールド用封止樹脂と
同レベルの高信頼・iを有するTAB用封止材料が現在
また市場に提供されていないということか挙げられる。
ら、メモリー用途などへの本格的な背反が遅れている理
由の1つとして、トランスファーモールド用封止樹脂と
同レベルの高信頼・iを有するTAB用封止材料が現在
また市場に提供されていないということか挙げられる。
〈従来の技術〉
従来、TAB用封正材料どしては、エピビス型エポキシ
樹脂IJA−子中にメトキシ基を3個有する有機ケイ素
化合物、レゾール型フェノール樹脂硬化剤、有機顔f1
または無機顔料および有m溶剤を成分とする液状エポキ
シ樹脂が提案されている(特公平1−36984号公報
)。
樹脂IJA−子中にメトキシ基を3個有する有機ケイ素
化合物、レゾール型フェノール樹脂硬化剤、有機顔f1
または無機顔料および有m溶剤を成分とする液状エポキ
シ樹脂が提案されている(特公平1−36984号公報
)。
〈]発明が解決しようとする課題〉
この先行技術をベースとする封止材で封止された半導体
素子は、トランスファーモールド用の封止樹脂で封止さ
れた半導体素子に比較すると信頼性の点では劣るものの
、電卓、液晶デイスプレーなどの信頼性に関する要求が
メモリー用途はど厳しくない民生用の分野ではすて゛に
実用化されている。
素子は、トランスファーモールド用の封止樹脂で封止さ
れた半導体素子に比較すると信頼性の点では劣るものの
、電卓、液晶デイスプレーなどの信頼性に関する要求が
メモリー用途はど厳しくない民生用の分野ではすて゛に
実用化されている。
しかしなから、TAB用封n材がメモリー用途を含む産
業用分野でも広く使用されるなめには、より高度の信頼
性を有し、かつ大サイズチップにも適用可能な低応力タ
イプのTAB用封用材止材発が必要な状況になっている
。
業用分野でも広く使用されるなめには、より高度の信頼
性を有し、かつ大サイズチップにも適用可能な低応力タ
イプのTAB用封用材止材発が必要な状況になっている
。
く課題を解決するための手段〉
発明者らは、従来提案されているTAB用封油封止剤較
して信頼性の面でより改首されるとともに、低応力性が
付与された新規な”I” A B封止剤を得るために鋭
意検討を重ねた結果、次の発明に達した。
して信頼性の面でより改首されるとともに、低応力性が
付与された新規な”I” A B封止剤を得るために鋭
意検討を重ねた結果、次の発明に達した。
すなわち本発明は、
(AJ下記の一般式で表されるメチル置換ノボラック型
エポキシm脂100重量部、 (ただし、芳香環1個あたりメチル基の平均の数が1を
越え、3以下て゛あり、mはOまたは1以上20以下の
整数を表す) FB)一般式、 H)n O (nは0または1以上10以下の整数を表す)のビスフ
ェノールAD型エポキシ樹脂1〜900重量部、 (C)1分子中に、ケイ素原子に直接結合した下記の構
造単位を含む有機ケイ素化合物 H3 (nは0または1以上10以下の整数を表す)のビスフ
ェノールA系エポキシ樹脂、および/または一般式、 (nは2または3:Rは同一または相異なる置換基であ
って、炭素数1〜20のアルキル基、アルコキシ基、置
換アルキル基を表す;mは0〜4の整数)1〜100重
量部 (D)下記の一般式で表されるフェノールノボラック樹
脂 <R′は同一または相異なる置換基であって、炭素数1
〜10のアルキル基、アルケニル基、ビニル基、アリル
基を表す。ただし、芳香環1個あたりのR′基の数の平
均値が0以上3以下であり、kは1以上18以下の整数
を表す)10〜900重量部 (E)1分子中にゲ・イ素原子に直結した2個以上のア
ルコキシ基および/または水酸基を有する有機ケイ素化
合物0.001〜100重量部を必須成分とする熱硬化
性樹脂組成物に関するものである。
エポキシm脂100重量部、 (ただし、芳香環1個あたりメチル基の平均の数が1を
越え、3以下て゛あり、mはOまたは1以上20以下の
整数を表す) FB)一般式、 H)n O (nは0または1以上10以下の整数を表す)のビスフ
ェノールAD型エポキシ樹脂1〜900重量部、 (C)1分子中に、ケイ素原子に直接結合した下記の構
造単位を含む有機ケイ素化合物 H3 (nは0または1以上10以下の整数を表す)のビスフ
ェノールA系エポキシ樹脂、および/または一般式、 (nは2または3:Rは同一または相異なる置換基であ
って、炭素数1〜20のアルキル基、アルコキシ基、置
換アルキル基を表す;mは0〜4の整数)1〜100重
量部 (D)下記の一般式で表されるフェノールノボラック樹
脂 <R′は同一または相異なる置換基であって、炭素数1
〜10のアルキル基、アルケニル基、ビニル基、アリル
基を表す。ただし、芳香環1個あたりのR′基の数の平
均値が0以上3以下であり、kは1以上18以下の整数
を表す)10〜900重量部 (E)1分子中にゲ・イ素原子に直結した2個以上のア
ルコキシ基および/または水酸基を有する有機ケイ素化
合物0.001〜100重量部を必須成分とする熱硬化
性樹脂組成物に関するものである。
以下、本発明について詳細に説明する。
本発明において使用されるメチル置換ノボラック型エポ
キシ樹脂は、下記の一般式を有するものである。芳香環
1個あたりのメチル基の平均の数1を越え、3以下であ
るのがよく、より望ましくは1.2以上、2.5以下で
あるのかよい。
キシ樹脂は、下記の一般式を有するものである。芳香環
1個あたりのメチル基の平均の数1を越え、3以下であ
るのがよく、より望ましくは1.2以上、2.5以下で
あるのかよい。
本発明で使用されるメチル置換ノボラック型エポキシ樹
脂は、メチル置換ノボラック型フェノール樹脂とエピク
ロルヒドリンの反応による常法に従って合成できる。メ
チル置換ノボラック型フェノール樹脂は、次に例示する
ような反応によって合成される。
脂は、メチル置換ノボラック型フェノール樹脂とエピク
ロルヒドリンの反応による常法に従って合成できる。メ
チル置換ノボラック型フェノール樹脂は、次に例示する
ような反応によって合成される。
本発明におけるビスフェノールA系エポキシ樹脂として
は、一般式 %式%) 本発明で使用されるメチル置換ノボラック型エポキシ樹
脂は、半導体封止用グレードであることが望ましく、そ
の全塩素含有量(エポキシ樹脂協会による全塩素測定法
による。アルカリ成分:IN KOH−プロピレング
リコール、溶剤ニブチルカルピトール、還流時間210
分)の値が2,000p111以下、より好ましくは1
.Oooppm以下であるものが使用される。
は、一般式 %式%) 本発明で使用されるメチル置換ノボラック型エポキシ樹
脂は、半導体封止用グレードであることが望ましく、そ
の全塩素含有量(エポキシ樹脂協会による全塩素測定法
による。アルカリ成分:IN KOH−プロピレング
リコール、溶剤ニブチルカルピトール、還流時間210
分)の値が2,000p111以下、より好ましくは1
.Oooppm以下であるものが使用される。
CH30
(nは0または1以上10以下の整数を表す)で表され
るものであり、重合度nか一定である単分散なものであ
ってもよいが、重合度nの異なる成分の混合物であって
もよい。
るものであり、重合度nか一定である単分散なものであ
ってもよいが、重合度nの異なる成分の混合物であって
もよい。
ビスフェノールA系エポキシ樹脂としては、より好まし
くは室温で流動性を有しているものがよく、そのエポキ
シ当量が170〜400(g/equiマ)の範囲にあ
るものがより望ましい。
くは室温で流動性を有しているものがよく、そのエポキ
シ当量が170〜400(g/equiマ)の範囲にあ
るものがより望ましい。
本発明におけるビスフェノールAD型エポキシ樹脂は、
一般式 (nは0または1以上10以下の整数を表す)で表され
るものであり、重合度nが一定な単分散なものであって
もよいが、重合度nの異なる成分の混合物であってもよ
い。
一般式 (nは0または1以上10以下の整数を表す)で表され
るものであり、重合度nが一定な単分散なものであって
もよいが、重合度nの異なる成分の混合物であってもよ
い。
ビスフェノールAD型エポキシ樹脂はより好ましくは室
温で流動性を有しているものがよく、より低粘度である
ほど液状コンパウンドのスクリーン印刷性などの塗布適
性、ディスペンス性の点で好ましい、そのエポキシ当量
は163〜400 (g/equiマ)の範囲にあるの
が望ましい。
温で流動性を有しているものがよく、より低粘度である
ほど液状コンパウンドのスクリーン印刷性などの塗布適
性、ディスペンス性の点で好ましい、そのエポキシ当量
は163〜400 (g/equiマ)の範囲にあるの
が望ましい。
同一の分子量においては、ビスフェノールA型エポキシ
樹脂よりもビスフェノールAD型エポキシ樹脂の方が低
粘度であるとともに、硬化物の機械的特性と耐熱性(ガ
ラス転移温度、長期耐熱性)がほぼ同等であることがら
、後者を単独で使用することが最も好ましいが、両者の
混合物ないし前者を単独で使用してもよい。
樹脂よりもビスフェノールAD型エポキシ樹脂の方が低
粘度であるとともに、硬化物の機械的特性と耐熱性(ガ
ラス転移温度、長期耐熱性)がほぼ同等であることがら
、後者を単独で使用することが最も好ましいが、両者の
混合物ないし前者を単独で使用してもよい。
ビスフェノールA型エポキシ樹脂とビスフェノールAD
型エポキシ樹脂ともその全塩素含有量(エポキシ樹脂協
会による全塩素測定法による)か2.0OOapl以下
、より好ましくは1.Oo oppn以下であるものか
望ましく使用される。
型エポキシ樹脂ともその全塩素含有量(エポキシ樹脂協
会による全塩素測定法による)か2.0OOapl以下
、より好ましくは1.Oo oppn以下であるものか
望ましく使用される。
本発明の熱硬化性樹脂組成物中における成分Bの配合量
については、100重量部の成分Aに対して、1〜90
0重量部の成分Bを配合するのがよい。
については、100重量部の成分Aに対して、1〜90
0重量部の成分Bを配合するのがよい。
成分Bの配合量が1重量部未満のときには、硬化後の応
力の影響によるためか耐湿熱性と信頼性が不十分となり
、−力成分Bの成分量が900重量部を超えると、硬化
物のガラス転移温度が低下するために耐湿熱性と信頼性
が悪化する。
力の影響によるためか耐湿熱性と信頼性が不十分となり
、−力成分Bの成分量が900重量部を超えると、硬化
物のガラス転移温度が低下するために耐湿熱性と信頼性
が悪化する。
成分Bの配合量は、より好ましくは、成分A100重量
部に対し、て10〜500重量部である。
部に対し、て10〜500重量部である。
本発明においては、ケイ素原子に直結結合した下記のm
遣単位を1分子中に少なくとも1個以上含む含ケイ素エ
ポキシ化合物が低応力化のために使用される。
遣単位を1分子中に少なくとも1個以上含む含ケイ素エ
ポキシ化合物が低応力化のために使用される。
/Rm
ボキシ化合物の配合量は、成分A100重量部、1重量
部以上100重量部以下であることが好ましい。
部以上100重量部以下であることが好ましい。
本発明の含ケイ素エポキシ化合物は、分子内にS i−
H基を有するポリオルカッシロキサンオリゴマーとアリ
ルまたはビニル基を含するフェニルグリシジルエーテル
誘導体との下記の反応によって容易に合成することがで
きる。
H基を有するポリオルカッシロキサンオリゴマーとアリ
ルまたはビニル基を含するフェニルグリシジルエーテル
誘導体との下記の反応によって容易に合成することがで
きる。
(nは2.3:Rは同一または相異なる置換基であって
、炭素数1〜20のアルキル基、アルコキシ基、置換ア
ルキル基を表す−mは0〜4の整数) この含ケイ素エポキシ化合物の配合量か100重量部を
越えると、本発明の熱硬化性樹脂組成物から得られた硬
化物のガラス転移温度がその配合量が100重量部以下
の場合に比較して著しく低下するために好ましくない。
、炭素数1〜20のアルキル基、アルコキシ基、置換ア
ルキル基を表す−mは0〜4の整数) この含ケイ素エポキシ化合物の配合量か100重量部を
越えると、本発明の熱硬化性樹脂組成物から得られた硬
化物のガラス転移温度がその配合量が100重量部以下
の場合に比較して著しく低下するために好ましくない。
本発明の熱硬化性樹脂組成物中の含ケイ素工H2PtC
ja触媒 (ここに、m=2.3、R= CH=CH2、 e H2 CH=CH2) 含ケイ素エポキシ化合物の具体的な例としては、下記の
化合物を挙げることができるが特にこれらに限られた訳
ではない。
ja触媒 (ここに、m=2.3、R= CH=CH2、 e H2 CH=CH2) 含ケイ素エポキシ化合物の具体的な例としては、下記の
化合物を挙げることができるが特にこれらに限られた訳
ではない。
e
e
H2PtCja触媒
e
e
CH3
CH3
これらの化合物の中でも特に好ましく使用されるのは下
記の化合物である。
記の化合物である。
本発明の熱硬化性樹脂組成物において硬化剤成分として
は、下記の一般式のフェノールノボラック樹脂が使用さ
れる。
は、下記の一般式のフェノールノボラック樹脂が使用さ
れる。
(R′は同一または相異なる置換基であって、炭素数1
〜10のアルキル基、アルケニル基、ビニル基、アリル
基を表す。ただし、芳香環1個あたりのR′基の数の平
均値が0以上、3以下であり、kは1以上18以下の整
数を表す)その重合度(=に+2)については、3≦に
+2≦20の範囲にあることが望ましく、分子量の異な
る多種類の成分の混合物であってもよい。より好ましい
kの値は1≦に≦4である。
〜10のアルキル基、アルケニル基、ビニル基、アリル
基を表す。ただし、芳香環1個あたりのR′基の数の平
均値が0以上、3以下であり、kは1以上18以下の整
数を表す)その重合度(=に+2)については、3≦に
+2≦20の範囲にあることが望ましく、分子量の異な
る多種類の成分の混合物であってもよい。より好ましい
kの値は1≦に≦4である。
kが18を越えると本発明の熱硬化性樹脂組成物の粘度
が高くなるため、作業性(ディスペンス性、スクリーン
印刷性)が悪化し問題となる。
が高くなるため、作業性(ディスペンス性、スクリーン
印刷性)が悪化し問題となる。
本発明のフェノールノボラック樹脂の代表的な例として
は、下記の構造のものが挙げられる。
は、下記の構造のものが挙げられる。
CH2=CH3i (OC2H5)3
(1〈n≦3〉
本発明において使用される1分子中にケイ素原子に直接
結合したアルコキシ基または水酸基を2個以上有する有
機ケイ素化合物としては、次に例示するような化合物が
使用されるか、特にこれらに限られた訳ではない。
結合したアルコキシ基または水酸基を2個以上有する有
機ケイ素化合物としては、次に例示するような化合物が
使用されるか、特にこれらに限られた訳ではない。
82N (CH2) 2N)((CH2) 3si (
OCH3) 3、H2N (CH2) 3si (OC
2H5) 3H2N (CH2) 2NH(CH2)3
si (CH3) (OCH3)2、C2H50CON
HC3H6Si (OCH3)3(CH30)3SiC
2H4Si (OCH3)3C4CH2CH2Si (
OCH3)3CF3CH2Si (OCH3)3 (R=−CH2CH2CH3、 N82 Nl2 (CH2> 3 (CH2) 3HO−31
−O−3i−OH OH0H Ca Hs ) (t−0,1,2,3以上の整数) CH3−5i−CH3 aHs OH3 OH 本発明の熱硬化性樹脂組成物には、公知の硬化促進剤を
必要に応じて添加することができる。
OCH3) 3、H2N (CH2) 3si (OC
2H5) 3H2N (CH2) 2NH(CH2)3
si (CH3) (OCH3)2、C2H50CON
HC3H6Si (OCH3)3(CH30)3SiC
2H4Si (OCH3)3C4CH2CH2Si (
OCH3)3CF3CH2Si (OCH3)3 (R=−CH2CH2CH3、 N82 Nl2 (CH2> 3 (CH2) 3HO−31
−O−3i−OH OH0H Ca Hs ) (t−0,1,2,3以上の整数) CH3−5i−CH3 aHs OH3 OH 本発明の熱硬化性樹脂組成物には、公知の硬化促進剤を
必要に応じて添加することができる。
硬化促進剤の具体例としては、たとえば2−メチルイミ
ダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−
フェニル−4−メチルイミダゾール、2−フェニル−4
−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾールなどのイ
ミダゾール化合物またはこれらのヒドロキシ安息香酸ま
たはジヒドロキシ安息香酸などの酸付加塩、NN′−ジ
メチルピペラジン、2,4.6−)リス(ジメチルアミ
ノメチル)フェノール、1.8ジアザビシクロ(5,4
,0>ウンデセン7.4ジメチルアミノピリジンなどの
アミン化合物またはこれらのヒドロキシ安息香酸または
ジヒドロキシ安息香酸などの酸付加塩など、トリフェニ
ルホスフィン、トリシクロヘキシルホスフィン、ビス(
ジフェニルホスフィン)メタン、トリス(2,6−シメ
トキシフエニル)ホスフィン、トリフェニルホスフィン
−トリフェニルボラン、テトラフェニルホスホニウムテ
トラフェニルボレートなどのホスフィン化合物、トリエ
チルアンモニウム−テトラフェニルボレート、ピリジニ
ウム−テトラフェニルボレートなどの含ホウ素化合物、
アルミニウムアセチルアセトナート、コバルトアセチル
アセトナートなどの金属アセチルアセトナート類が挙げ
られる。
ダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−
フェニル−4−メチルイミダゾール、2−フェニル−4
−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾールなどのイ
ミダゾール化合物またはこれらのヒドロキシ安息香酸ま
たはジヒドロキシ安息香酸などの酸付加塩、NN′−ジ
メチルピペラジン、2,4.6−)リス(ジメチルアミ
ノメチル)フェノール、1.8ジアザビシクロ(5,4
,0>ウンデセン7.4ジメチルアミノピリジンなどの
アミン化合物またはこれらのヒドロキシ安息香酸または
ジヒドロキシ安息香酸などの酸付加塩など、トリフェニ
ルホスフィン、トリシクロヘキシルホスフィン、ビス(
ジフェニルホスフィン)メタン、トリス(2,6−シメ
トキシフエニル)ホスフィン、トリフェニルホスフィン
−トリフェニルボラン、テトラフェニルホスホニウムテ
トラフェニルボレートなどのホスフィン化合物、トリエ
チルアンモニウム−テトラフェニルボレート、ピリジニ
ウム−テトラフェニルボレートなどの含ホウ素化合物、
アルミニウムアセチルアセトナート、コバルトアセチル
アセトナートなどの金属アセチルアセトナート類が挙げ
られる。
上記硬化促進剤を本発明の熱硬化性樹脂組成物に添加す
る場合には、通常、エポキシ基を含む化合物の総重量1
00重量部に対して0゜1へ。
る場合には、通常、エポキシ基を含む化合物の総重量1
00重量部に対して0゜1へ。
100重量部添加される。
本発明の熱硬化性樹脂組成物には、他のエポキシ樹脂を
添加してもよい。その添加量は、成分A、B、Cの総重
量100重量部に対して100重量部以下であることが
好ましい。
添加してもよい。その添加量は、成分A、B、Cの総重
量100重量部に対して100重量部以下であることが
好ましい。
他のエポキシ樹脂としては1分子あたり1個以上のエポ
キシ基を有する化合物であれば特に制限はなく、たとえ
ば、ビスフェノールFジグリシジルエーテル、フェノー
ルノホラックボリグリシジルエーテル、クレゾールノボ
ラックポリグリシジルエーテル、レゾルシンジグリシジ
ルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、ptert
−ブチルグリシジルエーテル、ビニルシクロヘキセンオ
キシドなどが挙げられる。
キシ基を有する化合物であれば特に制限はなく、たとえ
ば、ビスフェノールFジグリシジルエーテル、フェノー
ルノホラックボリグリシジルエーテル、クレゾールノボ
ラックポリグリシジルエーテル、レゾルシンジグリシジ
ルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、ptert
−ブチルグリシジルエーテル、ビニルシクロヘキセンオ
キシドなどが挙げられる。
本発明の組成物には、必要に応じて希釈剤を添加するこ
とかできる。その例としては、メチルセロソルブ、エチ
ルセロソルブ、プチルセロソルブアセテートエチル力ル
ビトール、ブチルカルピトール、エチル力ルヒトールア
セテート、γ−ブチロラクトン、4−バレロラクトン、
炭酸プロピレン、キシレン、トルエン、酢酸エチル、メ
チルエチルケトン、メチルイソブチルケトンなどが挙げ
られる。
とかできる。その例としては、メチルセロソルブ、エチ
ルセロソルブ、プチルセロソルブアセテートエチル力ル
ビトール、ブチルカルピトール、エチル力ルヒトールア
セテート、γ−ブチロラクトン、4−バレロラクトン、
炭酸プロピレン、キシレン、トルエン、酢酸エチル、メ
チルエチルケトン、メチルイソブチルケトンなどが挙げ
られる。
本発明の組成物には必要に応じて、無機充填剤、顔料、
染料、離型剤、酸化防止剤、難燃剤、ゴムなどの各種可
視性付与剤などを添加してもよい。無機充填剤の例とし
ては、結晶性シリカ、被結晶性シリカなどの天然シリカ
、合成高純度シリカ、合成球状シリカ、タルク、マイカ
、炭酸カルシウム、窒化ケイ素、ボロンナイトライド、
アルミナなどから1!lまたは2種以上を適宜使用する
ことができる。
染料、離型剤、酸化防止剤、難燃剤、ゴムなどの各種可
視性付与剤などを添加してもよい。無機充填剤の例とし
ては、結晶性シリカ、被結晶性シリカなどの天然シリカ
、合成高純度シリカ、合成球状シリカ、タルク、マイカ
、炭酸カルシウム、窒化ケイ素、ボロンナイトライド、
アルミナなどから1!lまたは2種以上を適宜使用する
ことができる。
本発明の組成物の混合方法としては、必要に応じて高温
において溶融させる方法あるいは室温ないし150℃以
下の温度でニーター、プラネタリ−ミキサー 3本ロー
ル、1軸または2軸の押出機などを使用して混練する方
法が適用される。
において溶融させる方法あるいは室温ないし150℃以
下の温度でニーター、プラネタリ−ミキサー 3本ロー
ル、1軸または2軸の押出機などを使用して混練する方
法が適用される。
く作用〉
本発明においては、特定の構造の3官能エポキシ樹脂、
2官能性エポキシ樹脂、含ケイ素エポキシ化合物、フェ
ノールノボラック樹脂と有機ゲイ素化合物を使用するこ
とによって、従来技術に優る信頼性と低応力を有するT
AB封止材が提供される。
2官能性エポキシ樹脂、含ケイ素エポキシ化合物、フェ
ノールノボラック樹脂と有機ゲイ素化合物を使用するこ
とによって、従来技術に優る信頼性と低応力を有するT
AB封止材が提供される。
く特性の評価方法〉
なお、本発明における特性の評価方法は次のとおりであ
る。
る。
1、ガラス転移温度
試験片(5am X 5 Im X 10 rm )を
作成し、熱機械的分析装置(セイコー電子工業■TMA
10型)を用いて、30〜330℃まで10℃/分で昇
温しなときの変位−温度曲線における変曲点を測定して
ガラス転移温度とした。
作成し、熱機械的分析装置(セイコー電子工業■TMA
10型)を用いて、30〜330℃まで10℃/分で昇
温しなときの変位−温度曲線における変曲点を測定して
ガラス転移温度とした。
2、吸水率
成形板(50關φ×3再厚)をプレッシャー・クツカー
テスト装fi(PCT)を用いて121°C1関係温度
100%、100時間吸水させた後の重量増加を測定し
て、吸水率を算出した。
テスト装fi(PCT)を用いて121°C1関係温度
100%、100時間吸水させた後の重量増加を測定し
て、吸水率を算出した。
3、絶縁抵抗
アルミナ基板上に、銅膜厚30μmのクシ型$極(IP
C−3M−840B形)を作成し、ワニスを塗布、硬化
させた後、極超絶縁計(東亜電波工業■SM〜IOE型
)を用い、直流100Vの電圧を印加し、1分後の抵抗
値を測定して絶縁抵抗値とした。
C−3M−840B形)を作成し、ワニスを塗布、硬化
させた後、極超絶縁計(東亜電波工業■SM〜IOE型
)を用い、直流100Vの電圧を印加し、1分後の抵抗
値を測定して絶縁抵抗値とした。
4、シリコン板の反り
シリコン板(10miX40mX0.3m厚)に、硬化
後50四の厚さとなるようにフェスを塗布し、80℃で
50分、110℃で20分、150℃で3時間加熱硬化
させた後、表面粗さ計(東京精密■)を用いて、中央部
30面間のシリコン板の反りを測定した。
後50四の厚さとなるようにフェスを塗布し、80℃で
50分、110℃で20分、150℃で3時間加熱硬化
させた後、表面粗さ計(東京精密■)を用いて、中央部
30面間のシリコン板の反りを測定した。
〈実施例〉
実施例1
下記構造式のメチル置換ノボラック型エポキシ樹脂(日
本化薬■製、EOCN5200)(nの平均値が1.6
であり、m=2を主成分とする) 60重量部、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(旭化成
■製、X−2317>20重量部、下記構造式の含ケイ
素エポキシ化合物 20重量部、フェノールノホラ・ンク樹脂(明相化成■
製、H−1)51重量部、トリフェニルホスフィン(北
興化学■製)1.5重量部、下記の推定構造式のγ−グ
リシドキシプロピルトリメトキシシランの加水分解縮合
物(チ・ソソ■製、YA−2) 1.5重量部、下記構造式で示されるシラノール基を含
む有機ゲイ累化合物(東し・タウコーニング・シリコー
ン■製、5H6018)R RO−3i −0−3i −OR \ /l l \ / Si OOSi / \ l l/ \ HOO−5i −0−3i −00H R (R=−CH2CH2CH3、−CeHs)15重量部
を計量混合し、100℃に加熱したミキシングロールで
15分間溶溶融練を行い、冷却後粉砕を行って粉末状の
熱硬化性樹脂組成物を得た。
本化薬■製、EOCN5200)(nの平均値が1.6
であり、m=2を主成分とする) 60重量部、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(旭化成
■製、X−2317>20重量部、下記構造式の含ケイ
素エポキシ化合物 20重量部、フェノールノホラ・ンク樹脂(明相化成■
製、H−1)51重量部、トリフェニルホスフィン(北
興化学■製)1.5重量部、下記の推定構造式のγ−グ
リシドキシプロピルトリメトキシシランの加水分解縮合
物(チ・ソソ■製、YA−2) 1.5重量部、下記構造式で示されるシラノール基を含
む有機ゲイ累化合物(東し・タウコーニング・シリコー
ン■製、5H6018)R RO−3i −0−3i −OR \ /l l \ / Si OOSi / \ l l/ \ HOO−5i −0−3i −00H R (R=−CH2CH2CH3、−CeHs)15重量部
を計量混合し、100℃に加熱したミキシングロールで
15分間溶溶融練を行い、冷却後粉砕を行って粉末状の
熱硬化性樹脂組成物を得た。
この組成物を100℃に数分間加熱して溶融させた後、
真空脱気して金型に流し込み120℃で1時間、150
℃で3時間加熱して硬化させ、物性試験用の試験片を得
た。
真空脱気して金型に流し込み120℃で1時間、150
℃で3時間加熱して硬化させ、物性試験用の試験片を得
た。
TMA法によるガラス転移温度は160℃であり、PC
T試験(121℃、関係湿度100%、100時間)後
には142℃に低下した。
T試験(121℃、関係湿度100%、100時間)後
には142℃に低下した。
吸水率は220重量%であった。
上記の粉末状の熱硬化性樹脂組成物40重量部に溶媒(
キシレン/n−ブタノール/メチルイソブチルケトン混
合溶媒、重量比15:20:65)60重量部を加え、
均一に溶解した。このワニスをクシ型電極上に塗布しく
硬化後の膜厚:1001.II+)、PCT試験(12
1°C1関係湿度100%、100時間)前後の線間の
絶縁抵抗を評価した。
キシレン/n−ブタノール/メチルイソブチルケトン混
合溶媒、重量比15:20:65)60重量部を加え、
均一に溶解した。このワニスをクシ型電極上に塗布しく
硬化後の膜厚:1001.II+)、PCT試験(12
1°C1関係湿度100%、100時間)前後の線間の
絶縁抵抗を評価した。
PCT試験前の絶縁抵抗は5. I X 10 ”Ω、
PCT試験後の絶縁抵抗は3.5x1013Ωであった
。
PCT試験後の絶縁抵抗は3.5x1013Ωであった
。
このワニスを、片面タイプのフィルムキャリア(Kap
tonの膜厚50um、接着剤厚2〇四、銅箔厚35u
m)にインナーリードボンディングされた模擬素子(線
幅、線間81JIl、パッシベーション膜なし、ビン数
−20本)に塗布し、80℃で50分、110℃で20
分、150℃で3時間加熱し硬化させた。
tonの膜厚50um、接着剤厚2〇四、銅箔厚35u
m)にインナーリードボンディングされた模擬素子(線
幅、線間81JIl、パッシベーション膜なし、ビン数
−20本)に塗布し、80℃で50分、110℃で20
分、150℃で3時間加熱し硬化させた。
PCT試験(121℃、関係湿度100%)後の断線不
良率を1..000時間まで追跡し、その結果をW c
: i b +プロットで整理したところ、10%不良
発生時間は370時間、50%不良発生時間は670時
間であった。
良率を1..000時間まで追跡し、その結果をW c
: i b +プロットで整理したところ、10%不良
発生時間は370時間、50%不良発生時間は670時
間であった。
このワニスをシリコン板に塗布し、硬化後シリコン板の
反りを測定したところ26μ■であった。
反りを測定したところ26μ■であった。
実施例2
メチル置換ノボラック型エポキシ樹脂(EOCN520
0)60重量部、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂(
三井石油化学工業■製、R1710)20重量部を使用
、実施例1において使用した含ケイ素エポキシ化合物2
0重量部、フェノールノボラック樹脂(H−1)531
量部、トリフェニルホスフィン1.5重量部、γグリシ
ドキシプロピルトリメトキシシランの加水分解縮合物(
YA−2>1.5重量部、シラノールを含む有機ケイ素
化合物(SH6018)1.5重量部を計量混合し、実
施例1と同様の手順で粉末状の熱硬化性樹脂組成物を得
た。
0)60重量部、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂(
三井石油化学工業■製、R1710)20重量部を使用
、実施例1において使用した含ケイ素エポキシ化合物2
0重量部、フェノールノボラック樹脂(H−1)531
量部、トリフェニルホスフィン1.5重量部、γグリシ
ドキシプロピルトリメトキシシランの加水分解縮合物(
YA−2>1.5重量部、シラノールを含む有機ケイ素
化合物(SH6018)1.5重量部を計量混合し、実
施例1と同様の手順で粉末状の熱硬化性樹脂組成物を得
た。
この組成物を100℃に数分間加熱して溶融させた後、
真空脱気して金型に流し込み、120℃で1時間、15
0°Cで3時間加熱して硬化させ、物性試験用の試験片
を得た。
真空脱気して金型に流し込み、120℃で1時間、15
0°Cで3時間加熱して硬化させ、物性試験用の試験片
を得た。
TMA法によるカラス転移温度は158℃であり、PC
T試験(121°C1関係湿度100%、100時間)
後には140°Cに低下した。
T試験(121°C1関係湿度100%、100時間)
後には140°Cに低下した。
吸水率は221重量%であった。
上記の粉末状の熱硬化性樹脂組成物40重量部に溶媒(
キシレン/n−ブタノール/メチルイソブチルケトン混
合溶媒、重量比15:20:65)60重量部を加え、
均一に溶解した。このワニスをクシ型電極上に塗布しく
硬化後の膜厚:100四)、PCT試験(121’C1
関係湿度100%、100時間)前後の線間の絶縁抵抗
を評価した。
キシレン/n−ブタノール/メチルイソブチルケトン混
合溶媒、重量比15:20:65)60重量部を加え、
均一に溶解した。このワニスをクシ型電極上に塗布しく
硬化後の膜厚:100四)、PCT試験(121’C1
関係湿度100%、100時間)前後の線間の絶縁抵抗
を評価した。
PCT試験前の絶縁抵抗は5.3X10”Ω、PCT試
験後の絶縁抵抗は4.0 x 1013Ωであった。
験後の絶縁抵抗は4.0 x 1013Ωであった。
このワニスを、片面タイプのフィルムキャリア(Kap
tonの膜厚50u+n、接着剤厚20四、銅箔厚35
μ町)にインナーリードボンディングされた模擬素子(
線幅、線間8更、パッシベーション膜なし、ビン数−2
0本)に塗布し、80’Cで50分、110℃で20分
、150℃で3時間加熱し硬化させた。
tonの膜厚50u+n、接着剤厚20四、銅箔厚35
μ町)にインナーリードボンディングされた模擬素子(
線幅、線間8更、パッシベーション膜なし、ビン数−2
0本)に塗布し、80’Cで50分、110℃で20分
、150℃で3時間加熱し硬化させた。
PCT試験(121℃、関係湿度100%)後の断線不
良率を1,000時間まで追跡し、その結果をWeib
lプロットで整理したところ、10%不良発生時間は3
50時間、50%不良発生時間は660時間であった。
良率を1,000時間まで追跡し、その結果をWeib
lプロットで整理したところ、10%不良発生時間は3
50時間、50%不良発生時間は660時間であった。
このワニスをシリコン板に塗布し、硬化後シリコン板の
反りを測定したところ26nであった。
反りを測定したところ26nであった。
実施例3
メチル置換ノボラック型エポキシ樹脂(EOCN520
0)60重量部、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(X
−2317)35重量部、実施例1において使用した含
ケイ素エポキシ化合物5重量部、フェノールノボラック
樹脂(Hl)55重量部、トリフェニルホスフィン15
重量部、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン
の加水分解縮合物(YA−2)1.5重量部、シラノー
ル基を含む有機ケイ素化合物(SH6018)1.5重
量部を計量混合し、実線例1と同様の手順で粉末状の熱
硬化性樹脂組成物を得た。
0)60重量部、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(X
−2317)35重量部、実施例1において使用した含
ケイ素エポキシ化合物5重量部、フェノールノボラック
樹脂(Hl)55重量部、トリフェニルホスフィン15
重量部、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン
の加水分解縮合物(YA−2)1.5重量部、シラノー
ル基を含む有機ケイ素化合物(SH6018)1.5重
量部を計量混合し、実線例1と同様の手順で粉末状の熱
硬化性樹脂組成物を得た。
この組成物を100°Cに数分間加熱して溶融させた後
、真空脱気して金型に流し込み、120°Cにて1時間
、150°Cで3時間加熱して硬化させ物性試験用の試
験片を得た。
、真空脱気して金型に流し込み、120°Cにて1時間
、150°Cで3時間加熱して硬化させ物性試験用の試
験片を得た。
TMA法によるガラス転移温度は150°Cであり、P
CT試験(121℃、関係湿度100%、100時間)
後には120℃に低下した。
CT試験(121℃、関係湿度100%、100時間)
後には120℃に低下した。
吸水率は235重量%であった。
上記の粉末状の熱硬化性樹脂組成物40重量部に溶媒(
キシレン/n−ブタノール/メチルイソブチルケトン混
合溶媒、重量比15:20:65)60重量部を加え均
一に溶解した。このワニスをクシ型電極上に塗布しく硬
化後の膜厚:100uw+)、PCT試験(121”C
1関係湿度100%、100時間)前後の線間の絶縁抵
抗を評価した。
キシレン/n−ブタノール/メチルイソブチルケトン混
合溶媒、重量比15:20:65)60重量部を加え均
一に溶解した。このワニスをクシ型電極上に塗布しく硬
化後の膜厚:100uw+)、PCT試験(121”C
1関係湿度100%、100時間)前後の線間の絶縁抵
抗を評価した。
PCT試験前の絶縁抵抗は5.5X10”Ω、PCT試
@後の絶縁抵抗は3.7 X I Q +3Ωであった
。
@後の絶縁抵抗は3.7 X I Q +3Ωであった
。
このワニスを 片面タイプのフィルムキャリア(K a
p t o nの膜厚5〇四、接着剤厚2〇四、銅箔
厚351Jl)にインナーリードボンディングされた模
擬素子(線幅、線間8四、パッシベーション膜なし、ビ
ン数−20本)に塗布し、80°Cで50分、110℃
で20分、150℃で3時間加熱し硬化させた。
p t o nの膜厚5〇四、接着剤厚2〇四、銅箔
厚351Jl)にインナーリードボンディングされた模
擬素子(線幅、線間8四、パッシベーション膜なし、ビ
ン数−20本)に塗布し、80°Cで50分、110℃
で20分、150℃で3時間加熱し硬化させた。
PCT試験(121℃、関係湿度100%)後の断線不
良率を1,000時間まで追跡し、その結果をWeib
lプロットで整理したところ、10%不良発生時間は3
10時間、50%不良発生時間は620時間であった。
良率を1,000時間まで追跡し、その結果をWeib
lプロットで整理したところ、10%不良発生時間は3
10時間、50%不良発生時間は620時間であった。
このワニスをシリコン板に塗布、硬化後シリコン板を反
りを測定したところ31μmであった。
りを測定したところ31μmであった。
実施例4
実施例1において使用したγ−グリシドキシプロピルト
リメトキシシランの加水分解縮合物(YA−2)1.5
重量部、シラノール基を含む有機ケイ素化合物(SH6
018)1゜5重量部の代りに、γ−グリシドキシプロ
ピルトリメトキシシラン(東し−タウコーニングシリコ
ーン■製、5H6040)3.0重量部を使用し、その
他は実施例1と同様に計量混合し、実施例1と同様の手
順で粉末状の熱硬化性樹脂組成物を得た。
リメトキシシランの加水分解縮合物(YA−2)1.5
重量部、シラノール基を含む有機ケイ素化合物(SH6
018)1゜5重量部の代りに、γ−グリシドキシプロ
ピルトリメトキシシラン(東し−タウコーニングシリコ
ーン■製、5H6040)3.0重量部を使用し、その
他は実施例1と同様に計量混合し、実施例1と同様の手
順で粉末状の熱硬化性樹脂組成物を得た。
この組成物を100℃に数分間加熱して溶融させた後、
真空脱気して金型に流し込み、120°Cで1時間、1
50℃で3時間加熱して硬化させ物性試験用の試験片を
得た。
真空脱気して金型に流し込み、120°Cで1時間、1
50℃で3時間加熱して硬化させ物性試験用の試験片を
得た。
TMA法によるガラス転移温度は161℃であり、P
C,T試験(121℃、関係湿度100%、100時間
)後には141℃に低下した。
C,T試験(121℃、関係湿度100%、100時間
)後には141℃に低下した。
吸水率は2.19重量%であった。
上記の粉末状の熱硬化性樹脂組成物40重量部に溶媒(
−1rシレン/n−ブタノール/メチルイソブチルケト
ン混合溶媒、重量比15:20:65)60重量部を加
え、均一に溶解した。このワニスをクジ型@極上に塗布
しく硬化後の膜厚: 100ua) 、PCT試験(1
21℃、関係湿度100%、100時間)前後の線間の
絶縁抵抗を評価した。
−1rシレン/n−ブタノール/メチルイソブチルケト
ン混合溶媒、重量比15:20:65)60重量部を加
え、均一に溶解した。このワニスをクジ型@極上に塗布
しく硬化後の膜厚: 100ua) 、PCT試験(1
21℃、関係湿度100%、100時間)前後の線間の
絶縁抵抗を評価した。
PCT試験前の絶縁抵抗は4.8X1.OにΩ、PCT
試験後の絶縁抵抗は1.5X113Ωであった。
試験後の絶縁抵抗は1.5X113Ωであった。
このワニスを、片面タイプのフィルムキャリア(Kap
tonの膜厚50μ釦、接着剤厚20μ如、銅箔厚35
μ幻)にインナーリードボンディングされた模擬素子(
線幅、線間8四、パッシベーション膜なし、ピン数−2
0本)に塗布し、80℃で50分、110℃で20分、
150℃で3時間加熱し硬化させた。
tonの膜厚50μ釦、接着剤厚20μ如、銅箔厚35
μ幻)にインナーリードボンディングされた模擬素子(
線幅、線間8四、パッシベーション膜なし、ピン数−2
0本)に塗布し、80℃で50分、110℃で20分、
150℃で3時間加熱し硬化させた。
PCT試験(121℃、関係湿度100%)後の断線不
良率を1,000時間まで追跡し、その結果をWeib
lプロットで整理したところ、10%不良発生時間は3
40時間、50%不良発生時間は630時間であった。
良率を1,000時間まで追跡し、その結果をWeib
lプロットで整理したところ、10%不良発生時間は3
40時間、50%不良発生時間は630時間であった。
このワニスをシリコン板に塗布、硬化後シリコン板の反
りを測定したところ28μmであった。
りを測定したところ28μmであった。
比較例1
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(X−2317)10
0重量部、フェノールノボラック樹脂(H−1)56重
量部、トリフェニルホスフィン15重量部、γ−グリシ
ドAジプロピルトリメトキシシランの加水分解線金物(
YA−2)1.5重量部、シラノール基を含む有機ケイ
素化合物(SH6018) 1.5重量部を計量混合し
、100℃で15分間溶溶融金して熱硬化性樹脂組成物
を得な。
0重量部、フェノールノボラック樹脂(H−1)56重
量部、トリフェニルホスフィン15重量部、γ−グリシ
ドAジプロピルトリメトキシシランの加水分解線金物(
YA−2)1.5重量部、シラノール基を含む有機ケイ
素化合物(SH6018) 1.5重量部を計量混合し
、100℃で15分間溶溶融金して熱硬化性樹脂組成物
を得な。
この組成物を100℃に数分間加熱して溶融させた後、
真空脱気して金型に流し込み、120℃で1時間、15
0℃で3時間加熱して硬化させ物性試験用の試験片を得
た。
真空脱気して金型に流し込み、120℃で1時間、15
0℃で3時間加熱して硬化させ物性試験用の試験片を得
た。
TMA法によるガラス転移温度は131℃であり、PC
T試験(121℃、関係湿度100%、100時間)後
には105℃に低下した。
T試験(121℃、関係湿度100%、100時間)後
には105℃に低下した。
吸水率は265重量%であった。
上記の熱硬化性樹脂組成物40重量部に溶媒(キシレン
/n−ブタノール/メチルイソブチルケトン混合溶媒、
重量比15:20:65)603℃量部を加え、均一に
溶解した。このワニスをクシ型電極上に塗布しく硬化後
の膜厚:10〇四)、PCT試験(121°C2関係湿
度100%、100時間)前後の線間の絶縁抵抗を評価
した。 PCT試験前の絶縁抵抗は4.0×10”Ω、
PCT試験後の絶縁抵抗は45×1013Ωであった。
/n−ブタノール/メチルイソブチルケトン混合溶媒、
重量比15:20:65)603℃量部を加え、均一に
溶解した。このワニスをクシ型電極上に塗布しく硬化後
の膜厚:10〇四)、PCT試験(121°C2関係湿
度100%、100時間)前後の線間の絶縁抵抗を評価
した。 PCT試験前の絶縁抵抗は4.0×10”Ω、
PCT試験後の絶縁抵抗は45×1013Ωであった。
このワニスを、片面タイプのフィルムキャリア(Kap
t o nの膜厚50um、接着剤層20μ蜀、銅箔
厚35−)にインナーリードボンディングされた模擬素
子(線幅、線間8IJI+、パッシベーション膜なし、
ピン数−20本)に塗布し、80℃で50分、110℃
で20分、150℃で3時間加熱し硬化させた。
t o nの膜厚50um、接着剤層20μ蜀、銅箔
厚35−)にインナーリードボンディングされた模擬素
子(線幅、線間8IJI+、パッシベーション膜なし、
ピン数−20本)に塗布し、80℃で50分、110℃
で20分、150℃で3時間加熱し硬化させた。
PCT試験(121℃、関係湿度100%)後の断線不
良率を1,000時間まで追跡し、その結果をWeib
lプロットで整理したところ、10%不良発生時間は2
40時間、50%不良発生時間は520時間であった。
良率を1,000時間まで追跡し、その結果をWeib
lプロットで整理したところ、10%不良発生時間は2
40時間、50%不良発生時間は520時間であった。
このワニスをシリコン板に塗布、硬化後シリコン板の反
りを測定したところ27−1であった。
りを測定したところ27−1であった。
比較例2
メチル置換ノボラック型エポキシ樹脂(EOCN520
0)100重量部、フェノールノボラック樹脂(H−1
)55重量部、トリフェニルホスフィン15重量部、γ
−グリシドキシプロピルトリメトキシシランの加水分解
締金物(YA−2)1.5重量部、シラノール基を含む
有機ケイ素化合物(SH6018)1.5重量部を計量
混合し、実施例1と同様の手順で粉末状の熱硬化性樹脂
組成物を得た。
0)100重量部、フェノールノボラック樹脂(H−1
)55重量部、トリフェニルホスフィン15重量部、γ
−グリシドキシプロピルトリメトキシシランの加水分解
締金物(YA−2)1.5重量部、シラノール基を含む
有機ケイ素化合物(SH6018)1.5重量部を計量
混合し、実施例1と同様の手順で粉末状の熱硬化性樹脂
組成物を得た。
この組成物を100℃に数分間加熱して溶融させた後、
真空脱気して金型に流し込み、120℃で1時間、15
0℃で3時間加熱して硬化させ物性試験用の試験片を得
た。
真空脱気して金型に流し込み、120℃で1時間、15
0℃で3時間加熱して硬化させ物性試験用の試験片を得
た。
TMA法によるガラス転移温度は178℃であり、PC
T試験(121°C5関係湿度100%、100時間)
後には155℃に低下した。
T試験(121°C5関係湿度100%、100時間)
後には155℃に低下した。
吸水率は2.28重量%であった6
上記の粉末状の熱硬化性樹脂組成物40重量部に溶媒(
キシレン/n−ブタノール/メチルイソブチルケトン混
合溶媒、重量比15:20:65)60重量部を加え、
均一に溶解した。このワニスをクシ型電極上に塗布しく
硬化後の膜厚:100μ和)、PCT試験(121℃、
関係湿度100%、100時間)前後の線間の絶縁抵抗
を評価した。
キシレン/n−ブタノール/メチルイソブチルケトン混
合溶媒、重量比15:20:65)60重量部を加え、
均一に溶解した。このワニスをクシ型電極上に塗布しく
硬化後の膜厚:100μ和)、PCT試験(121℃、
関係湿度100%、100時間)前後の線間の絶縁抵抗
を評価した。
PCT試験前の絶縁抵抗は4.8X10”Ω、PCT試
験後の絶縁抵抗は8.2 X I Q +2Ωであった
。
験後の絶縁抵抗は8.2 X I Q +2Ωであった
。
このワニスを、片面タイプのフィルムキャリア(Kap
tonの膜厚5〇四、接着剤層2〇四、銅箔厚35四)
にインナーリードボンディングされた模擬素子(線幅、
線間8四、パッシベーション膜なし、ピン数=20本)
に塗布し、80℃で50分、110℃で20分、150
°Cで3時間加熱し硬化させた。
tonの膜厚5〇四、接着剤層2〇四、銅箔厚35四)
にインナーリードボンディングされた模擬素子(線幅、
線間8四、パッシベーション膜なし、ピン数=20本)
に塗布し、80℃で50分、110℃で20分、150
°Cで3時間加熱し硬化させた。
PCT試験(121°C1関係湿度100%)後の断線
不良率を1,000時間まで追跡し、その結果をWei
b+プロットで整理したところ、10%不良発生時間は
310時間、50%不良発生時間は610時間であった
。
不良率を1,000時間まで追跡し、その結果をWei
b+プロットで整理したところ、10%不良発生時間は
310時間、50%不良発生時間は610時間であった
。
このワニスをシリコン板に塗布、硬化後シリコン板の反
りを測定したところ40u罰であった。
りを測定したところ40u罰であった。
比較例3
比較例2において使用したγ−グリシドキシプロビルト
リメトキシシランの加水分解締金物(YA−2)1.5
重量部、シラノール基を含む有機ケイ素化合物(SH6
018)1.5重量部の代りに、γ−グリシドキシ10
ピルトリメトキシシラン(SH6040)を使用し、そ
の他は比較例2と同様に計量混合し、実施例1と同様の
手順で粉末状の熱硬化性樹脂組成物を得た。
リメトキシシランの加水分解締金物(YA−2)1.5
重量部、シラノール基を含む有機ケイ素化合物(SH6
018)1.5重量部の代りに、γ−グリシドキシ10
ピルトリメトキシシラン(SH6040)を使用し、そ
の他は比較例2と同様に計量混合し、実施例1と同様の
手順で粉末状の熱硬化性樹脂組成物を得た。
この組成物を100°Cに数分間加熱して溶融させた後
、真空脱気して金型に流し込み、120°Cで1時間、
150°Cで3時間加熱して硬化させ物性試験用の試験
片を得た。
、真空脱気して金型に流し込み、120°Cで1時間、
150°Cで3時間加熱して硬化させ物性試験用の試験
片を得た。
T” M A法によるカラス転移混用は178°Cであ
り、PCT試験(121°C1関係湿度100%、]、
O0時間)後には154°Cに低下した。
り、PCT試験(121°C1関係湿度100%、]、
O0時間)後には154°Cに低下した。
吸水率は229重量%であった。
上記の粉末状め熱硬化性樹脂組成物40重量部に溶媒(
キシレン/n−ブタノール、/メチルイソブチルケトン
混合温媒、重量比15:20:65)60重量部を加え
、均一に溶解した。このワニスをクシ型電極上に塗布し
く硬化後の膜厚:100μtI)、PCT試験(121
°C1関係湿度100%、100時間)前後の線間の絶
縁抵抗を評価した。
キシレン/n−ブタノール、/メチルイソブチルケトン
混合温媒、重量比15:20:65)60重量部を加え
、均一に溶解した。このワニスをクシ型電極上に塗布し
く硬化後の膜厚:100μtI)、PCT試験(121
°C1関係湿度100%、100時間)前後の線間の絶
縁抵抗を評価した。
PCT試験前の絶縁抵抗は5.3X10”Ω、PCT試
験後の絶縁抵抗は5.0x10nΩであったに のワニスを、片面タイプのフィルムキャリア(Kapt
onの膜厚50un、接着剤厚20μ額、銅箔厚35μ
fI)にインナーリードボンディングされた模擬素子(
線幅、線間8μm、パッシベーション膜なし、ピン数−
20本)に塗布し、80°Cで50分、110℃で20
分、150°Cで3時間加熱し硬化させた。
験後の絶縁抵抗は5.0x10nΩであったに のワニスを、片面タイプのフィルムキャリア(Kapt
onの膜厚50un、接着剤厚20μ額、銅箔厚35μ
fI)にインナーリードボンディングされた模擬素子(
線幅、線間8μm、パッシベーション膜なし、ピン数−
20本)に塗布し、80°Cで50分、110℃で20
分、150°Cで3時間加熱し硬化させた。
PCT試験(121℃、関係湿度100%)後の断線不
良率を1,000時間まで追跡し、その結果をWeib
lプロットで整理したところ、10%不良発生時間は3
00時間、50%不良発生時間は600時間であった。
良率を1,000時間まで追跡し、その結果をWeib
lプロットで整理したところ、10%不良発生時間は3
00時間、50%不良発生時間は600時間であった。
このワニスをシリコン板に塗布、硬化後シリコン板の反
りを測定したところ41μmであった。
りを測定したところ41μmであった。
〈発明の効果〉
本発明の熱硬化性樹脂組成物から得られる硬化物は、耐
湿熱性に優れているとともに、低応力性を保持している
ことから、TAB方式によって実装されたデバイスを本
発明の熱硬化性樹脂組成物によって封止することによっ
て高い信頼性が達成される。
湿熱性に優れているとともに、低応力性を保持している
ことから、TAB方式によって実装されたデバイスを本
発明の熱硬化性樹脂組成物によって封止することによっ
て高い信頼性が達成される。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (A)下記の一般式で表されるメチル置換ノボラック型
エポキシ樹脂100重量部、 ▲数式、化学式、表等があります▼ (ただし、芳香環1個あたりメチル基の平均の数が1を
越え、3以下であり、mは0または1以上20以下の整
数を表す) (B)一般式、 ▲数式、化学式、表等があります▼ (nは0または1以上10以下の整数を表す)のビスフ
ェノールA系エポキシ樹脂、および/または一般式、 ▲数式、化学式、表等があります▼ (nは0または1以上10以下の整数を表す)のビスフ
ェノールAD型エポキシ樹脂1〜900重量部、 (C)1分子中に、ケイ素原子に直接結合した下記の構
造単位を含む有機ケイ素化合物 ▲数式、化学式、表等があります▼ (nは2または3:Rは同一または相異なる置換基であ
って、炭素数1〜20のアルキル基、アルコキシ基、置
換アルキル基を表す;mは0〜4の整数)1〜100重
量部 (D)下記の一般式で表されるフェノールノボラック樹
脂 ▲数式、化学式、表等があります▼ (R’は同一または相異なる置換基であって、炭素数1
〜10のアルキル基、アルケニル基、ビニル基、アリル
基を表す、ただし、芳香環1個あたりのR’基の数の平
均値が0以上、3以下であり、kは1以上18以下の整
数を表す)10〜900重量部 (E)1分子中にケイ素原子に直結した2個以上のアル
コキシ基および/または水酸基を有する有機ケイ素化合
物0.001〜100重量部を必須成分とする熱硬化性
樹脂組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16310190A JPH0453865A (ja) | 1990-06-21 | 1990-06-21 | 熱硬化性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16310190A JPH0453865A (ja) | 1990-06-21 | 1990-06-21 | 熱硬化性樹脂組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0453865A true JPH0453865A (ja) | 1992-02-21 |
Family
ID=15767194
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16310190A Pending JPH0453865A (ja) | 1990-06-21 | 1990-06-21 | 熱硬化性樹脂組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0453865A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011125624A1 (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-13 | 日立化成工業株式会社 | 封止用エポキシ樹脂成形材料及び電子部品装置 |
| JP2013224400A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-10-31 | Hitachi Chemical Co Ltd | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた半導体装置 |
-
1990
- 1990-06-21 JP JP16310190A patent/JPH0453865A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011125624A1 (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-13 | 日立化成工業株式会社 | 封止用エポキシ樹脂成形材料及び電子部品装置 |
| JPWO2011125624A1 (ja) * | 2010-03-31 | 2013-07-08 | 日立化成株式会社 | 封止用エポキシ樹脂成形材料及び電子部品装置 |
| JP2016166373A (ja) * | 2010-03-31 | 2016-09-15 | 日立化成株式会社 | 封止用エポキシ樹脂成形材料及び電子部品装置 |
| JP2013224400A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-10-31 | Hitachi Chemical Co Ltd | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた半導体装置 |
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