JPH0453865A - 熱硬化性樹脂組成物 - Google Patents

熱硬化性樹脂組成物

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JPH0453865A
JPH0453865A JP16310190A JP16310190A JPH0453865A JP H0453865 A JPH0453865 A JP H0453865A JP 16310190 A JP16310190 A JP 16310190A JP 16310190 A JP16310190 A JP 16310190A JP H0453865 A JPH0453865 A JP H0453865A
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JP
Japan
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JP16310190A
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English (en)
Inventor
Shoichi Hirose
広瀬 正一
Iwao Bando
坂東 巌
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Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
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Publication date
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  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Epoxy Resins (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、熱硬化性樹脂組成物に関するものである。特
に本発明は、信頼性に優れたTAB用封止材料に関する
ものである。
最近、電子腕時計、カメラ、電卓、ICカード、ワープ
ロ、液晶テレビなどの電子機器か軽薄短小化、高機能化
の流れをたどるなかで、その製品の中枢部である半導体
素子の実装形態も変わりつつある。
フィルムギヤリヤ(TAB>実装方式は、半導体素子の
多端子化、実装の高密度化という流れに沿ったもので時
計、電卓、サーマルヘッド、液晶デイスプレーにおける
実装に使用されており、今後の拡大が期待されている。
種4ての用途でTAB実装方式の有用性か認められなか
ら、メモリー用途などへの本格的な背反が遅れている理
由の1つとして、トランスファーモールド用封止樹脂と
同レベルの高信頼・iを有するTAB用封止材料が現在
また市場に提供されていないということか挙げられる。
〈従来の技術〉 従来、TAB用封正材料どしては、エピビス型エポキシ
樹脂IJA−子中にメトキシ基を3個有する有機ケイ素
化合物、レゾール型フェノール樹脂硬化剤、有機顔f1
または無機顔料および有m溶剤を成分とする液状エポキ
シ樹脂が提案されている(特公平1−36984号公報
)。
〈]発明が解決しようとする課題〉 この先行技術をベースとする封止材で封止された半導体
素子は、トランスファーモールド用の封止樹脂で封止さ
れた半導体素子に比較すると信頼性の点では劣るものの
、電卓、液晶デイスプレーなどの信頼性に関する要求が
メモリー用途はど厳しくない民生用の分野ではすて゛に
実用化されている。
しかしなから、TAB用封n材がメモリー用途を含む産
業用分野でも広く使用されるなめには、より高度の信頼
性を有し、かつ大サイズチップにも適用可能な低応力タ
イプのTAB用封用材止材発が必要な状況になっている
く課題を解決するための手段〉 発明者らは、従来提案されているTAB用封油封止剤較
して信頼性の面でより改首されるとともに、低応力性が
付与された新規な”I” A B封止剤を得るために鋭
意検討を重ねた結果、次の発明に達した。
すなわち本発明は、 (AJ下記の一般式で表されるメチル置換ノボラック型
エポキシm脂100重量部、 (ただし、芳香環1個あたりメチル基の平均の数が1を
越え、3以下て゛あり、mはOまたは1以上20以下の
整数を表す) FB)一般式、 H)n      O (nは0または1以上10以下の整数を表す)のビスフ
ェノールAD型エポキシ樹脂1〜900重量部、 (C)1分子中に、ケイ素原子に直接結合した下記の構
造単位を含む有機ケイ素化合物 H3 (nは0または1以上10以下の整数を表す)のビスフ
ェノールA系エポキシ樹脂、および/または一般式、 (nは2または3:Rは同一または相異なる置換基であ
って、炭素数1〜20のアルキル基、アルコキシ基、置
換アルキル基を表す;mは0〜4の整数)1〜100重
量部 (D)下記の一般式で表されるフェノールノボラック樹
脂 <R′は同一または相異なる置換基であって、炭素数1
〜10のアルキル基、アルケニル基、ビニル基、アリル
基を表す。ただし、芳香環1個あたりのR′基の数の平
均値が0以上3以下であり、kは1以上18以下の整数
を表す)10〜900重量部 (E)1分子中にゲ・イ素原子に直結した2個以上のア
ルコキシ基および/または水酸基を有する有機ケイ素化
合物0.001〜100重量部を必須成分とする熱硬化
性樹脂組成物に関するものである。
以下、本発明について詳細に説明する。
本発明において使用されるメチル置換ノボラック型エポ
キシ樹脂は、下記の一般式を有するものである。芳香環
1個あたりのメチル基の平均の数1を越え、3以下であ
るのがよく、より望ましくは1.2以上、2.5以下で
あるのかよい。
本発明で使用されるメチル置換ノボラック型エポキシ樹
脂は、メチル置換ノボラック型フェノール樹脂とエピク
ロルヒドリンの反応による常法に従って合成できる。メ
チル置換ノボラック型フェノール樹脂は、次に例示する
ような反応によって合成される。
本発明におけるビスフェノールA系エポキシ樹脂として
は、一般式 %式%) 本発明で使用されるメチル置換ノボラック型エポキシ樹
脂は、半導体封止用グレードであることが望ましく、そ
の全塩素含有量(エポキシ樹脂協会による全塩素測定法
による。アルカリ成分:IN  KOH−プロピレング
リコール、溶剤ニブチルカルピトール、還流時間210
分)の値が2,000p111以下、より好ましくは1
.Oooppm以下であるものが使用される。
CH30 (nは0または1以上10以下の整数を表す)で表され
るものであり、重合度nか一定である単分散なものであ
ってもよいが、重合度nの異なる成分の混合物であって
もよい。
ビスフェノールA系エポキシ樹脂としては、より好まし
くは室温で流動性を有しているものがよく、そのエポキ
シ当量が170〜400(g/equiマ)の範囲にあ
るものがより望ましい。
本発明におけるビスフェノールAD型エポキシ樹脂は、
一般式 (nは0または1以上10以下の整数を表す)で表され
るものであり、重合度nが一定な単分散なものであって
もよいが、重合度nの異なる成分の混合物であってもよ
い。
ビスフェノールAD型エポキシ樹脂はより好ましくは室
温で流動性を有しているものがよく、より低粘度である
ほど液状コンパウンドのスクリーン印刷性などの塗布適
性、ディスペンス性の点で好ましい、そのエポキシ当量
は163〜400 (g/equiマ)の範囲にあるの
が望ましい。
同一の分子量においては、ビスフェノールA型エポキシ
樹脂よりもビスフェノールAD型エポキシ樹脂の方が低
粘度であるとともに、硬化物の機械的特性と耐熱性(ガ
ラス転移温度、長期耐熱性)がほぼ同等であることがら
、後者を単独で使用することが最も好ましいが、両者の
混合物ないし前者を単独で使用してもよい。
ビスフェノールA型エポキシ樹脂とビスフェノールAD
型エポキシ樹脂ともその全塩素含有量(エポキシ樹脂協
会による全塩素測定法による)か2.0OOapl以下
、より好ましくは1.Oo oppn以下であるものか
望ましく使用される。
本発明の熱硬化性樹脂組成物中における成分Bの配合量
については、100重量部の成分Aに対して、1〜90
0重量部の成分Bを配合するのがよい。
成分Bの配合量が1重量部未満のときには、硬化後の応
力の影響によるためか耐湿熱性と信頼性が不十分となり
、−力成分Bの成分量が900重量部を超えると、硬化
物のガラス転移温度が低下するために耐湿熱性と信頼性
が悪化する。
成分Bの配合量は、より好ましくは、成分A100重量
部に対し、て10〜500重量部である。
本発明においては、ケイ素原子に直結結合した下記のm
遣単位を1分子中に少なくとも1個以上含む含ケイ素エ
ポキシ化合物が低応力化のために使用される。
/Rm ボキシ化合物の配合量は、成分A100重量部、1重量
部以上100重量部以下であることが好ましい。
本発明の含ケイ素エポキシ化合物は、分子内にS i−
H基を有するポリオルカッシロキサンオリゴマーとアリ
ルまたはビニル基を含するフェニルグリシジルエーテル
誘導体との下記の反応によって容易に合成することがで
きる。
(nは2.3:Rは同一または相異なる置換基であって
、炭素数1〜20のアルキル基、アルコキシ基、置換ア
ルキル基を表す−mは0〜4の整数) この含ケイ素エポキシ化合物の配合量か100重量部を
越えると、本発明の熱硬化性樹脂組成物から得られた硬
化物のガラス転移温度がその配合量が100重量部以下
の場合に比較して著しく低下するために好ましくない。
本発明の熱硬化性樹脂組成物中の含ケイ素工H2PtC
ja触媒 (ここに、m=2.3、R= CH=CH2、 e H2 CH=CH2) 含ケイ素エポキシ化合物の具体的な例としては、下記の
化合物を挙げることができるが特にこれらに限られた訳
ではない。
e e H2PtCja触媒 e e CH3 CH3 これらの化合物の中でも特に好ましく使用されるのは下
記の化合物である。
本発明の熱硬化性樹脂組成物において硬化剤成分として
は、下記の一般式のフェノールノボラック樹脂が使用さ
れる。
(R′は同一または相異なる置換基であって、炭素数1
〜10のアルキル基、アルケニル基、ビニル基、アリル
基を表す。ただし、芳香環1個あたりのR′基の数の平
均値が0以上、3以下であり、kは1以上18以下の整
数を表す)その重合度(=に+2)については、3≦に
+2≦20の範囲にあることが望ましく、分子量の異な
る多種類の成分の混合物であってもよい。より好ましい
kの値は1≦に≦4である。
kが18を越えると本発明の熱硬化性樹脂組成物の粘度
が高くなるため、作業性(ディスペンス性、スクリーン
印刷性)が悪化し問題となる。
本発明のフェノールノボラック樹脂の代表的な例として
は、下記の構造のものが挙げられる。
CH2=CH3i (OC2H5)3 (1〈n≦3〉 本発明において使用される1分子中にケイ素原子に直接
結合したアルコキシ基または水酸基を2個以上有する有
機ケイ素化合物としては、次に例示するような化合物が
使用されるか、特にこれらに限られた訳ではない。
82N (CH2) 2N)((CH2) 3si (
OCH3) 3、H2N (CH2) 3si (OC
2H5) 3H2N (CH2) 2NH(CH2)3
si (CH3) (OCH3)2、C2H50CON
HC3H6Si (OCH3)3(CH30)3SiC
2H4Si (OCH3)3C4CH2CH2Si (
OCH3)3CF3CH2Si (OCH3)3 (R=−CH2CH2CH3、 N82     Nl2 (CH2>  3    (CH2)  3HO−31
−O−3i−OH OH0H Ca Hs ) (t−0,1,2,3以上の整数) CH3−5i−CH3 aHs OH3 OH 本発明の熱硬化性樹脂組成物には、公知の硬化促進剤を
必要に応じて添加することができる。
硬化促進剤の具体例としては、たとえば2−メチルイミ
ダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−
フェニル−4−メチルイミダゾール、2−フェニル−4
−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾールなどのイ
ミダゾール化合物またはこれらのヒドロキシ安息香酸ま
たはジヒドロキシ安息香酸などの酸付加塩、NN′−ジ
メチルピペラジン、2,4.6−)リス(ジメチルアミ
ノメチル)フェノール、1.8ジアザビシクロ(5,4
,0>ウンデセン7.4ジメチルアミノピリジンなどの
アミン化合物またはこれらのヒドロキシ安息香酸または
ジヒドロキシ安息香酸などの酸付加塩など、トリフェニ
ルホスフィン、トリシクロヘキシルホスフィン、ビス(
ジフェニルホスフィン)メタン、トリス(2,6−シメ
トキシフエニル)ホスフィン、トリフェニルホスフィン
−トリフェニルボラン、テトラフェニルホスホニウムテ
トラフェニルボレートなどのホスフィン化合物、トリエ
チルアンモニウム−テトラフェニルボレート、ピリジニ
ウム−テトラフェニルボレートなどの含ホウ素化合物、
アルミニウムアセチルアセトナート、コバルトアセチル
アセトナートなどの金属アセチルアセトナート類が挙げ
られる。
上記硬化促進剤を本発明の熱硬化性樹脂組成物に添加す
る場合には、通常、エポキシ基を含む化合物の総重量1
00重量部に対して0゜1へ。
100重量部添加される。
本発明の熱硬化性樹脂組成物には、他のエポキシ樹脂を
添加してもよい。その添加量は、成分A、B、Cの総重
量100重量部に対して100重量部以下であることが
好ましい。
他のエポキシ樹脂としては1分子あたり1個以上のエポ
キシ基を有する化合物であれば特に制限はなく、たとえ
ば、ビスフェノールFジグリシジルエーテル、フェノー
ルノホラックボリグリシジルエーテル、クレゾールノボ
ラックポリグリシジルエーテル、レゾルシンジグリシジ
ルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、ptert
−ブチルグリシジルエーテル、ビニルシクロヘキセンオ
キシドなどが挙げられる。
本発明の組成物には、必要に応じて希釈剤を添加するこ
とかできる。その例としては、メチルセロソルブ、エチ
ルセロソルブ、プチルセロソルブアセテートエチル力ル
ビトール、ブチルカルピトール、エチル力ルヒトールア
セテート、γ−ブチロラクトン、4−バレロラクトン、
炭酸プロピレン、キシレン、トルエン、酢酸エチル、メ
チルエチルケトン、メチルイソブチルケトンなどが挙げ
られる。
本発明の組成物には必要に応じて、無機充填剤、顔料、
染料、離型剤、酸化防止剤、難燃剤、ゴムなどの各種可
視性付与剤などを添加してもよい。無機充填剤の例とし
ては、結晶性シリカ、被結晶性シリカなどの天然シリカ
、合成高純度シリカ、合成球状シリカ、タルク、マイカ
、炭酸カルシウム、窒化ケイ素、ボロンナイトライド、
アルミナなどから1!lまたは2種以上を適宜使用する
ことができる。
本発明の組成物の混合方法としては、必要に応じて高温
において溶融させる方法あるいは室温ないし150℃以
下の温度でニーター、プラネタリ−ミキサー 3本ロー
ル、1軸または2軸の押出機などを使用して混練する方
法が適用される。
く作用〉 本発明においては、特定の構造の3官能エポキシ樹脂、
2官能性エポキシ樹脂、含ケイ素エポキシ化合物、フェ
ノールノボラック樹脂と有機ゲイ素化合物を使用するこ
とによって、従来技術に優る信頼性と低応力を有するT
AB封止材が提供される。
く特性の評価方法〉 なお、本発明における特性の評価方法は次のとおりであ
る。
1、ガラス転移温度 試験片(5am X 5 Im X 10 rm )を
作成し、熱機械的分析装置(セイコー電子工業■TMA
10型)を用いて、30〜330℃まで10℃/分で昇
温しなときの変位−温度曲線における変曲点を測定して
ガラス転移温度とした。
2、吸水率 成形板(50關φ×3再厚)をプレッシャー・クツカー
テスト装fi(PCT)を用いて121°C1関係温度
100%、100時間吸水させた後の重量増加を測定し
て、吸水率を算出した。
3、絶縁抵抗 アルミナ基板上に、銅膜厚30μmのクシ型$極(IP
C−3M−840B形)を作成し、ワニスを塗布、硬化
させた後、極超絶縁計(東亜電波工業■SM〜IOE型
)を用い、直流100Vの電圧を印加し、1分後の抵抗
値を測定して絶縁抵抗値とした。
4、シリコン板の反り シリコン板(10miX40mX0.3m厚)に、硬化
後50四の厚さとなるようにフェスを塗布し、80℃で
50分、110℃で20分、150℃で3時間加熱硬化
させた後、表面粗さ計(東京精密■)を用いて、中央部
30面間のシリコン板の反りを測定した。
〈実施例〉 実施例1 下記構造式のメチル置換ノボラック型エポキシ樹脂(日
本化薬■製、EOCN5200)(nの平均値が1.6
であり、m=2を主成分とする) 60重量部、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(旭化成
■製、X−2317>20重量部、下記構造式の含ケイ
素エポキシ化合物 20重量部、フェノールノホラ・ンク樹脂(明相化成■
製、H−1)51重量部、トリフェニルホスフィン(北
興化学■製)1.5重量部、下記の推定構造式のγ−グ
リシドキシプロピルトリメトキシシランの加水分解縮合
物(チ・ソソ■製、YA−2) 1.5重量部、下記構造式で示されるシラノール基を含
む有機ゲイ累化合物(東し・タウコーニング・シリコー
ン■製、5H6018)R RO−3i −0−3i −OR \ /l   l  \ / Si    OOSi / \ l    l/  \ HOO−5i −0−3i −00H R (R=−CH2CH2CH3、−CeHs)15重量部
を計量混合し、100℃に加熱したミキシングロールで
15分間溶溶融練を行い、冷却後粉砕を行って粉末状の
熱硬化性樹脂組成物を得た。
この組成物を100℃に数分間加熱して溶融させた後、
真空脱気して金型に流し込み120℃で1時間、150
℃で3時間加熱して硬化させ、物性試験用の試験片を得
た。
TMA法によるガラス転移温度は160℃であり、PC
T試験(121℃、関係湿度100%、100時間)後
には142℃に低下した。
吸水率は220重量%であった。
上記の粉末状の熱硬化性樹脂組成物40重量部に溶媒(
キシレン/n−ブタノール/メチルイソブチルケトン混
合溶媒、重量比15:20:65)60重量部を加え、
均一に溶解した。このワニスをクシ型電極上に塗布しく
硬化後の膜厚:1001.II+)、PCT試験(12
1°C1関係湿度100%、100時間)前後の線間の
絶縁抵抗を評価した。
PCT試験前の絶縁抵抗は5. I X 10 ”Ω、
PCT試験後の絶縁抵抗は3.5x1013Ωであった
このワニスを、片面タイプのフィルムキャリア(Kap
tonの膜厚50um、接着剤厚2〇四、銅箔厚35u
m)にインナーリードボンディングされた模擬素子(線
幅、線間81JIl、パッシベーション膜なし、ビン数
−20本)に塗布し、80℃で50分、110℃で20
分、150℃で3時間加熱し硬化させた。
PCT試験(121℃、関係湿度100%)後の断線不
良率を1..000時間まで追跡し、その結果をW c
: i b +プロットで整理したところ、10%不良
発生時間は370時間、50%不良発生時間は670時
間であった。
このワニスをシリコン板に塗布し、硬化後シリコン板の
反りを測定したところ26μ■であった。
実施例2 メチル置換ノボラック型エポキシ樹脂(EOCN520
0)60重量部、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂(
三井石油化学工業■製、R1710)20重量部を使用
、実施例1において使用した含ケイ素エポキシ化合物2
0重量部、フェノールノボラック樹脂(H−1)531
量部、トリフェニルホスフィン1.5重量部、γグリシ
ドキシプロピルトリメトキシシランの加水分解縮合物(
YA−2>1.5重量部、シラノールを含む有機ケイ素
化合物(SH6018)1.5重量部を計量混合し、実
施例1と同様の手順で粉末状の熱硬化性樹脂組成物を得
た。
この組成物を100℃に数分間加熱して溶融させた後、
真空脱気して金型に流し込み、120℃で1時間、15
0°Cで3時間加熱して硬化させ、物性試験用の試験片
を得た。
TMA法によるカラス転移温度は158℃であり、PC
T試験(121°C1関係湿度100%、100時間)
後には140°Cに低下した。
吸水率は221重量%であった。
上記の粉末状の熱硬化性樹脂組成物40重量部に溶媒(
キシレン/n−ブタノール/メチルイソブチルケトン混
合溶媒、重量比15:20:65)60重量部を加え、
均一に溶解した。このワニスをクシ型電極上に塗布しく
硬化後の膜厚:100四)、PCT試験(121’C1
関係湿度100%、100時間)前後の線間の絶縁抵抗
を評価した。
PCT試験前の絶縁抵抗は5.3X10”Ω、PCT試
験後の絶縁抵抗は4.0 x 1013Ωであった。
このワニスを、片面タイプのフィルムキャリア(Kap
tonの膜厚50u+n、接着剤厚20四、銅箔厚35
μ町)にインナーリードボンディングされた模擬素子(
線幅、線間8更、パッシベーション膜なし、ビン数−2
0本)に塗布し、80’Cで50分、110℃で20分
、150℃で3時間加熱し硬化させた。
PCT試験(121℃、関係湿度100%)後の断線不
良率を1,000時間まで追跡し、その結果をWeib
lプロットで整理したところ、10%不良発生時間は3
50時間、50%不良発生時間は660時間であった。
このワニスをシリコン板に塗布し、硬化後シリコン板の
反りを測定したところ26nであった。
実施例3 メチル置換ノボラック型エポキシ樹脂(EOCN520
0)60重量部、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(X
−2317)35重量部、実施例1において使用した含
ケイ素エポキシ化合物5重量部、フェノールノボラック
樹脂(Hl)55重量部、トリフェニルホスフィン15
重量部、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン
の加水分解縮合物(YA−2)1.5重量部、シラノー
ル基を含む有機ケイ素化合物(SH6018)1.5重
量部を計量混合し、実線例1と同様の手順で粉末状の熱
硬化性樹脂組成物を得た。
この組成物を100°Cに数分間加熱して溶融させた後
、真空脱気して金型に流し込み、120°Cにて1時間
、150°Cで3時間加熱して硬化させ物性試験用の試
験片を得た。
TMA法によるガラス転移温度は150°Cであり、P
CT試験(121℃、関係湿度100%、100時間)
後には120℃に低下した。
吸水率は235重量%であった。
上記の粉末状の熱硬化性樹脂組成物40重量部に溶媒(
キシレン/n−ブタノール/メチルイソブチルケトン混
合溶媒、重量比15:20:65)60重量部を加え均
一に溶解した。このワニスをクシ型電極上に塗布しく硬
化後の膜厚:100uw+)、PCT試験(121”C
1関係湿度100%、100時間)前後の線間の絶縁抵
抗を評価した。
PCT試験前の絶縁抵抗は5.5X10”Ω、PCT試
@後の絶縁抵抗は3.7 X I Q +3Ωであった
このワニスを 片面タイプのフィルムキャリア(K a
 p t o nの膜厚5〇四、接着剤厚2〇四、銅箔
厚351Jl)にインナーリードボンディングされた模
擬素子(線幅、線間8四、パッシベーション膜なし、ビ
ン数−20本)に塗布し、80°Cで50分、110℃
で20分、150℃で3時間加熱し硬化させた。
PCT試験(121℃、関係湿度100%)後の断線不
良率を1,000時間まで追跡し、その結果をWeib
lプロットで整理したところ、10%不良発生時間は3
10時間、50%不良発生時間は620時間であった。
このワニスをシリコン板に塗布、硬化後シリコン板を反
りを測定したところ31μmであった。
実施例4 実施例1において使用したγ−グリシドキシプロピルト
リメトキシシランの加水分解縮合物(YA−2)1.5
重量部、シラノール基を含む有機ケイ素化合物(SH6
018)1゜5重量部の代りに、γ−グリシドキシプロ
ピルトリメトキシシラン(東し−タウコーニングシリコ
ーン■製、5H6040)3.0重量部を使用し、その
他は実施例1と同様に計量混合し、実施例1と同様の手
順で粉末状の熱硬化性樹脂組成物を得た。
この組成物を100℃に数分間加熱して溶融させた後、
真空脱気して金型に流し込み、120°Cで1時間、1
50℃で3時間加熱して硬化させ物性試験用の試験片を
得た。
TMA法によるガラス転移温度は161℃であり、P 
C,T試験(121℃、関係湿度100%、100時間
)後には141℃に低下した。
吸水率は2.19重量%であった。
上記の粉末状の熱硬化性樹脂組成物40重量部に溶媒(
−1rシレン/n−ブタノール/メチルイソブチルケト
ン混合溶媒、重量比15:20:65)60重量部を加
え、均一に溶解した。このワニスをクジ型@極上に塗布
しく硬化後の膜厚: 100ua) 、PCT試験(1
21℃、関係湿度100%、100時間)前後の線間の
絶縁抵抗を評価した。
PCT試験前の絶縁抵抗は4.8X1.OにΩ、PCT
試験後の絶縁抵抗は1.5X113Ωであった。
このワニスを、片面タイプのフィルムキャリア(Kap
tonの膜厚50μ釦、接着剤厚20μ如、銅箔厚35
μ幻)にインナーリードボンディングされた模擬素子(
線幅、線間8四、パッシベーション膜なし、ピン数−2
0本)に塗布し、80℃で50分、110℃で20分、
150℃で3時間加熱し硬化させた。
PCT試験(121℃、関係湿度100%)後の断線不
良率を1,000時間まで追跡し、その結果をWeib
lプロットで整理したところ、10%不良発生時間は3
40時間、50%不良発生時間は630時間であった。
このワニスをシリコン板に塗布、硬化後シリコン板の反
りを測定したところ28μmであった。
比較例1 ビスフェノールA型エポキシ樹脂(X−2317)10
0重量部、フェノールノボラック樹脂(H−1)56重
量部、トリフェニルホスフィン15重量部、γ−グリシ
ドAジプロピルトリメトキシシランの加水分解線金物(
YA−2)1.5重量部、シラノール基を含む有機ケイ
素化合物(SH6018) 1.5重量部を計量混合し
、100℃で15分間溶溶融金して熱硬化性樹脂組成物
を得な。
この組成物を100℃に数分間加熱して溶融させた後、
真空脱気して金型に流し込み、120℃で1時間、15
0℃で3時間加熱して硬化させ物性試験用の試験片を得
た。
TMA法によるガラス転移温度は131℃であり、PC
T試験(121℃、関係湿度100%、100時間)後
には105℃に低下した。
吸水率は265重量%であった。
上記の熱硬化性樹脂組成物40重量部に溶媒(キシレン
/n−ブタノール/メチルイソブチルケトン混合溶媒、
重量比15:20:65)603℃量部を加え、均一に
溶解した。このワニスをクシ型電極上に塗布しく硬化後
の膜厚:10〇四)、PCT試験(121°C2関係湿
度100%、100時間)前後の線間の絶縁抵抗を評価
した。 PCT試験前の絶縁抵抗は4.0×10”Ω、
PCT試験後の絶縁抵抗は45×1013Ωであった。
このワニスを、片面タイプのフィルムキャリア(Kap
 t o nの膜厚50um、接着剤層20μ蜀、銅箔
厚35−)にインナーリードボンディングされた模擬素
子(線幅、線間8IJI+、パッシベーション膜なし、
ピン数−20本)に塗布し、80℃で50分、110℃
で20分、150℃で3時間加熱し硬化させた。
PCT試験(121℃、関係湿度100%)後の断線不
良率を1,000時間まで追跡し、その結果をWeib
lプロットで整理したところ、10%不良発生時間は2
40時間、50%不良発生時間は520時間であった。
このワニスをシリコン板に塗布、硬化後シリコン板の反
りを測定したところ27−1であった。
比較例2 メチル置換ノボラック型エポキシ樹脂(EOCN520
0)100重量部、フェノールノボラック樹脂(H−1
)55重量部、トリフェニルホスフィン15重量部、γ
−グリシドキシプロピルトリメトキシシランの加水分解
締金物(YA−2)1.5重量部、シラノール基を含む
有機ケイ素化合物(SH6018)1.5重量部を計量
混合し、実施例1と同様の手順で粉末状の熱硬化性樹脂
組成物を得た。
この組成物を100℃に数分間加熱して溶融させた後、
真空脱気して金型に流し込み、120℃で1時間、15
0℃で3時間加熱して硬化させ物性試験用の試験片を得
た。
TMA法によるガラス転移温度は178℃であり、PC
T試験(121°C5関係湿度100%、100時間)
後には155℃に低下した。
吸水率は2.28重量%であった6 上記の粉末状の熱硬化性樹脂組成物40重量部に溶媒(
キシレン/n−ブタノール/メチルイソブチルケトン混
合溶媒、重量比15:20:65)60重量部を加え、
均一に溶解した。このワニスをクシ型電極上に塗布しく
硬化後の膜厚:100μ和)、PCT試験(121℃、
関係湿度100%、100時間)前後の線間の絶縁抵抗
を評価した。
PCT試験前の絶縁抵抗は4.8X10”Ω、PCT試
験後の絶縁抵抗は8.2 X I Q +2Ωであった
このワニスを、片面タイプのフィルムキャリア(Kap
tonの膜厚5〇四、接着剤層2〇四、銅箔厚35四)
にインナーリードボンディングされた模擬素子(線幅、
線間8四、パッシベーション膜なし、ピン数=20本)
に塗布し、80℃で50分、110℃で20分、150
°Cで3時間加熱し硬化させた。
PCT試験(121°C1関係湿度100%)後の断線
不良率を1,000時間まで追跡し、その結果をWei
b+プロットで整理したところ、10%不良発生時間は
310時間、50%不良発生時間は610時間であった
このワニスをシリコン板に塗布、硬化後シリコン板の反
りを測定したところ40u罰であった。
比較例3 比較例2において使用したγ−グリシドキシプロビルト
リメトキシシランの加水分解締金物(YA−2)1.5
重量部、シラノール基を含む有機ケイ素化合物(SH6
018)1.5重量部の代りに、γ−グリシドキシ10
ピルトリメトキシシラン(SH6040)を使用し、そ
の他は比較例2と同様に計量混合し、実施例1と同様の
手順で粉末状の熱硬化性樹脂組成物を得た。
この組成物を100°Cに数分間加熱して溶融させた後
、真空脱気して金型に流し込み、120°Cで1時間、
150°Cで3時間加熱して硬化させ物性試験用の試験
片を得た。
T” M A法によるカラス転移混用は178°Cであ
り、PCT試験(121°C1関係湿度100%、]、
 O0時間)後には154°Cに低下した。
吸水率は229重量%であった。
上記の粉末状め熱硬化性樹脂組成物40重量部に溶媒(
キシレン/n−ブタノール、/メチルイソブチルケトン
混合温媒、重量比15:20:65)60重量部を加え
、均一に溶解した。このワニスをクシ型電極上に塗布し
く硬化後の膜厚:100μtI)、PCT試験(121
°C1関係湿度100%、100時間)前後の線間の絶
縁抵抗を評価した。
PCT試験前の絶縁抵抗は5.3X10”Ω、PCT試
験後の絶縁抵抗は5.0x10nΩであったに のワニスを、片面タイプのフィルムキャリア(Kapt
onの膜厚50un、接着剤厚20μ額、銅箔厚35μ
fI)にインナーリードボンディングされた模擬素子(
線幅、線間8μm、パッシベーション膜なし、ピン数−
20本)に塗布し、80°Cで50分、110℃で20
分、150°Cで3時間加熱し硬化させた。
PCT試験(121℃、関係湿度100%)後の断線不
良率を1,000時間まで追跡し、その結果をWeib
lプロットで整理したところ、10%不良発生時間は3
00時間、50%不良発生時間は600時間であった。
このワニスをシリコン板に塗布、硬化後シリコン板の反
りを測定したところ41μmであった。
〈発明の効果〉 本発明の熱硬化性樹脂組成物から得られる硬化物は、耐
湿熱性に優れているとともに、低応力性を保持している
ことから、TAB方式によって実装されたデバイスを本
発明の熱硬化性樹脂組成物によって封止することによっ
て高い信頼性が達成される。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (A)下記の一般式で表されるメチル置換ノボラック型
    エポキシ樹脂100重量部、 ▲数式、化学式、表等があります▼ (ただし、芳香環1個あたりメチル基の平均の数が1を
    越え、3以下であり、mは0または1以上20以下の整
    数を表す) (B)一般式、 ▲数式、化学式、表等があります▼ (nは0または1以上10以下の整数を表す)のビスフ
    ェノールA系エポキシ樹脂、および/または一般式、 ▲数式、化学式、表等があります▼ (nは0または1以上10以下の整数を表す)のビスフ
    ェノールAD型エポキシ樹脂1〜900重量部、 (C)1分子中に、ケイ素原子に直接結合した下記の構
    造単位を含む有機ケイ素化合物 ▲数式、化学式、表等があります▼ (nは2または3:Rは同一または相異なる置換基であ
    って、炭素数1〜20のアルキル基、アルコキシ基、置
    換アルキル基を表す;mは0〜4の整数)1〜100重
    量部 (D)下記の一般式で表されるフェノールノボラック樹
    脂 ▲数式、化学式、表等があります▼ (R’は同一または相異なる置換基であって、炭素数1
    〜10のアルキル基、アルケニル基、ビニル基、アリル
    基を表す、ただし、芳香環1個あたりのR’基の数の平
    均値が0以上、3以下であり、kは1以上18以下の整
    数を表す)10〜900重量部 (E)1分子中にケイ素原子に直結した2個以上のアル
    コキシ基および/または水酸基を有する有機ケイ素化合
    物0.001〜100重量部を必須成分とする熱硬化性
    樹脂組成物。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011125624A1 (ja) * 2010-03-31 2011-10-13 日立化成工業株式会社 封止用エポキシ樹脂成形材料及び電子部品装置
JP2013224400A (ja) * 2012-03-22 2013-10-31 Hitachi Chemical Co Ltd 半導体封止用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた半導体装置

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