JPH0454381U - - Google Patents

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JPH0454381U
JPH0454381U JP9644990U JP9644990U JPH0454381U JP H0454381 U JPH0454381 U JP H0454381U JP 9644990 U JP9644990 U JP 9644990U JP 9644990 U JP9644990 U JP 9644990U JP H0454381 U JPH0454381 U JP H0454381U
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JP
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valve
child
master
stop
common
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JP9644990U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の第１の実施例を示す止弁の断
面図、第２図は同例の要部を示す拡大部分図、第
３図および第４図は本考案の第２の実施例を示す
それぞれ止弁の要部の異なる作動状態の拡大部分
図、第５図は従来例を示す配置図である。 ３……流入路、４……流出路、５……親弁、７
……主弁体、１２……子弁、１４……副弁体、１
５……弁軸、２０……ばね部材、２２……ベロー
ズ、２４，２５……駆動部、２７……ピストン、
３７……ダイアフラム、４５……金属ダイアフラ
ム。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 排気流路に設けられる大容量の親弁および
    小容量の子弁を有する真空装置用止弁において、
    上記親弁および子弁を開閉する共通弁軸を有する
    とともに、この共通弁軸を上記親弁に対応する広
    範囲と上記子弁に対応する狭範囲との２段階に制
    御可能な手段を具備することを特徴とする真空装
    置用止弁。 (2) 上記親弁は排気流路に設けた弁座に離接し
    てこれを開閉するとともに、子弁はこの親弁に設
    けた小孔を開閉するようにし、この子弁と上記親
    弁をガイド機構によりこれらが所定のストローク
    接離可能に連結し、この子弁を前記共通弁軸に連
    結し、これら親弁と子弁をスプリングにより互い
    に離れる方向に付勢し、上記ガイド機構およびス
    プリングを金属ダイアフラムにより流体から隔離
    したことを特徴とする第１の請求項に記載の真空
    装置用止弁。
JP9644990U 1990-09-17 1990-09-17 Pending JPH0454381U (ja)

Priority Applications (2)

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JP9644990U JPH0454381U (ja) 1990-09-17 1990-09-17
US07/758,666 US5172722A (en) 1990-09-17 1991-09-12 Stop valve for a vacuum apparatus

Applications Claiming Priority (1)

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JP9644990U JPH0454381U (ja) 1990-09-17 1990-09-17

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JPH0454381U true JPH0454381U (ja) 1992-05-11

Family

ID=31836000

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JP (1) JPH0454381U (ja)

Cited By (5)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003247657A (ja) * 2002-02-22 2003-09-05 Mitsubishi Motors Corp 流体制御バルブ及びそれを利用した離型剤供給システム
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JP2014020457A (ja) * 2012-07-18 2014-02-03 Rinnai Corp 電動式流量調節弁
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