JPH05189741A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH05189741A JPH05189741A JP1951292A JP1951292A JPH05189741A JP H05189741 A JPH05189741 A JP H05189741A JP 1951292 A JP1951292 A JP 1951292A JP 1951292 A JP1951292 A JP 1951292A JP H05189741 A JPH05189741 A JP H05189741A
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- JP
- Japan
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- magnetic
- recording medium
- magnetic recording
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 CoCrPtNiB系磁性膜を設けた磁気記
録媒体において、その保磁力を向上し、ノイズを低減
し、さらに飽和磁化を好ましいものにした。 【構成】 磁気記録媒体の磁性膜を、原子%でNi5〜
15%、Cr1〜15%、Pt1〜12%、B0.1〜
5%、残部Coからなる合金によって形成した。また前
記磁性膜合金にRuやTiを添加してもよい。
録媒体において、その保磁力を向上し、ノイズを低減
し、さらに飽和磁化を好ましいものにした。 【構成】 磁気記録媒体の磁性膜を、原子%でNi5〜
15%、Cr1〜15%、Pt1〜12%、B0.1〜
5%、残部Coからなる合金によって形成した。また前
記磁性膜合金にRuやTiを添加してもよい。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば磁気ヘッドとの
間において情報の記録および再生を行なうための磁気記
録媒体に関し、特にノイズを低減し、かつ保磁力を向上
したものである。
間において情報の記録および再生を行なうための磁気記
録媒体に関し、特にノイズを低減し、かつ保磁力を向上
したものである。
【0002】
【従来の技術】磁気ディスク装置では、磁気記録媒体に
微小間隔で磁気ヘッドを対向させ、磁気記録媒体に記録
された磁気情報を磁気ヘッドが読みとったり、磁気ヘッ
ドから磁気記録媒体に磁気的に記録するようになってい
る。磁気記録媒体は、基板材料にCo−Ni−Cr、C
o−Cr−Ta、Co−Cr−Pt等の合金からなる磁
性膜を被着して形成されており、最近では磁気記録媒体
を高記録密度にするため、磁性膜の保磁力を大きくする
ことが種々提案されている。
微小間隔で磁気ヘッドを対向させ、磁気記録媒体に記録
された磁気情報を磁気ヘッドが読みとったり、磁気ヘッ
ドから磁気記録媒体に磁気的に記録するようになってい
る。磁気記録媒体は、基板材料にCo−Ni−Cr、C
o−Cr−Ta、Co−Cr−Pt等の合金からなる磁
性膜を被着して形成されており、最近では磁気記録媒体
を高記録密度にするため、磁性膜の保磁力を大きくする
ことが種々提案されている。
【0003】例えば特開平1−256017号公報に
は、磁性膜をCo−Cr−Ta−Ptの四元系合金で作
成した磁気記録媒体が開示されている。そしてPt添加
量1〜15at%で保磁力が約1200Oeより大き
く、また角形比が0.8以上になるとしている。また外
国専門誌Magnetism and Magnetic Materials. 86 (199
0) 159-168.には、Co−Cr−Pt磁性膜においてP
tの含有量により磁気特性がどのような影響を受けるか
を記載している。そして図1(b)に示すようにPt1
2at%で保磁力が1000Oe以上になり、角形比は
Pt6〜18%で0.7〜0.9になり、また残留磁化
及び飽和磁化についても図1(a)に示す傾向があると
している。
は、磁性膜をCo−Cr−Ta−Ptの四元系合金で作
成した磁気記録媒体が開示されている。そしてPt添加
量1〜15at%で保磁力が約1200Oeより大き
く、また角形比が0.8以上になるとしている。また外
国専門誌Magnetism and Magnetic Materials. 86 (199
0) 159-168.には、Co−Cr−Pt磁性膜においてP
tの含有量により磁気特性がどのような影響を受けるか
を記載している。そして図1(b)に示すようにPt1
2at%で保磁力が1000Oe以上になり、角形比は
Pt6〜18%で0.7〜0.9になり、また残留磁化
及び飽和磁化についても図1(a)に示す傾向があると
している。
【0004】さらに特開平1−232522号公報に
は、磁気記録媒体の磁性膜として、Niの添加量が30
%以下のCoNi系合金で作成したものが開示されてい
る。そしてNiの添加量を30%以下にしたのは、それ
以上に添加すると磁性膜の残留磁化が大幅に低下し、電
磁変換特性が劣化するためであると記載している。また
CoNi系合金で作成した磁性膜は、保磁力が700〜
1500Oeとなり、飽和磁化が8000〜13900
ガウスになるとしており、さらに耐食性が向上すると記
載している。
は、磁気記録媒体の磁性膜として、Niの添加量が30
%以下のCoNi系合金で作成したものが開示されてい
る。そしてNiの添加量を30%以下にしたのは、それ
以上に添加すると磁性膜の残留磁化が大幅に低下し、電
磁変換特性が劣化するためであると記載している。また
CoNi系合金で作成した磁性膜は、保磁力が700〜
1500Oeとなり、飽和磁化が8000〜13900
ガウスになるとしており、さらに耐食性が向上すると記
載している。
【0005】また第14回日本応用磁気学会(1990
年)では、CoCrTaおよびCoCrPtに対しBを
添加することにより保磁力が影響を受けることが発表さ
れている。そしてCoCrTaへのB添加量を増すと保
磁力が単調に減少し、CoCrPtの場合はBの添加量
を増すと保磁力は増加するとしている。またCoCrP
tにBを3〜7at%添加することにより約3000O
eの高保磁力が得られるとしている。
年)では、CoCrTaおよびCoCrPtに対しBを
添加することにより保磁力が影響を受けることが発表さ
れている。そしてCoCrTaへのB添加量を増すと保
磁力が単調に減少し、CoCrPtの場合はBの添加量
を増すと保磁力は増加するとしている。またCoCrP
tにBを3〜7at%添加することにより約3000O
eの高保磁力が得られるとしている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術に記載し
たように、Co系合金を使用した磁性膜が種々作成され
ているが、保磁力、残留磁化、S/N比の全てが十分に
好ましいものは得られていない。またCo系合金にNi
を添加した材料により作成した磁性膜は、保磁力と飽和
磁化の点において満足できるが、S/N比が小さくノイ
ズを十分に低減できないものがあった。これは、Niを
30%以下の添加量としていて、S/N比の向上を考慮
していないためである。またCoCrPtにBを添加し
た合金で作成した磁性膜は、前記のように保磁力が向上
することが知られている。しかしCoCrPtにBを5
〜7%添加した合金により磁性膜を形成したところ、保
磁力は向上したがS/N比が低下してノイズが大きくな
ることがあった。そこで本発明は、磁気記録媒体の保磁
力を向上するとともに、ノイズを低減しさらに飽和磁化
を好ましいものにすることを目的とする。
たように、Co系合金を使用した磁性膜が種々作成され
ているが、保磁力、残留磁化、S/N比の全てが十分に
好ましいものは得られていない。またCo系合金にNi
を添加した材料により作成した磁性膜は、保磁力と飽和
磁化の点において満足できるが、S/N比が小さくノイ
ズを十分に低減できないものがあった。これは、Niを
30%以下の添加量としていて、S/N比の向上を考慮
していないためである。またCoCrPtにBを添加し
た合金で作成した磁性膜は、前記のように保磁力が向上
することが知られている。しかしCoCrPtにBを5
〜7%添加した合金により磁性膜を形成したところ、保
磁力は向上したがS/N比が低下してノイズが大きくな
ることがあった。そこで本発明は、磁気記録媒体の保磁
力を向上するとともに、ノイズを低減しさらに飽和磁化
を好ましいものにすることを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、CoCr
PtNiにBを種々の割合で添加した合金により磁性膜
を作成し、保磁力、S/N比、飽和磁化の全てにおいて
望ましい磁性膜を完成した。すなわち本発明の磁気記録
媒体は、その磁性膜を、原子%でNi5〜15%、Cr
1〜15%、Pt1〜12%、B0.1〜5%、残部C
oからなる合金によって作成した。また本発明は、磁性
膜を前記組成に対してRuを0.1〜5%添加して作成
したり、あるいはさらにTiを0.1〜5%添加して作
成したものを含む。上記においてNiを5〜15%と
し、Crを1〜15%とし、Ptを1〜12%としたの
は、それら範囲外ではS/N比が劣るためである。Bを
0.1〜5%とにしたのは、その範囲外では保磁力とS
/N比の点で劣るからである。RuとTiの添加量を前
記範囲にしたのは、その範囲外では耐食性が劣るからで
ある。
PtNiにBを種々の割合で添加した合金により磁性膜
を作成し、保磁力、S/N比、飽和磁化の全てにおいて
望ましい磁性膜を完成した。すなわち本発明の磁気記録
媒体は、その磁性膜を、原子%でNi5〜15%、Cr
1〜15%、Pt1〜12%、B0.1〜5%、残部C
oからなる合金によって作成した。また本発明は、磁性
膜を前記組成に対してRuを0.1〜5%添加して作成
したり、あるいはさらにTiを0.1〜5%添加して作
成したものを含む。上記においてNiを5〜15%と
し、Crを1〜15%とし、Ptを1〜12%としたの
は、それら範囲外ではS/N比が劣るためである。Bを
0.1〜5%とにしたのは、その範囲外では保磁力とS
/N比の点で劣るからである。RuとTiの添加量を前
記範囲にしたのは、その範囲外では耐食性が劣るからで
ある。
【0008】
【作用】上記の磁気記録媒体は、磁性膜がCoNiCr
PtBの五元系元素からなり、Niは5〜15原子%含
有するようにしたので、保磁力が1200Oe以上と大
きく、S/N比は30以上となってノイズの低減を図る
ことができ、さらに飽和磁化が10Kガウス以上になる
ので電磁変換特性を好ましいものにすることができる。
PtBの五元系元素からなり、Niは5〜15原子%含
有するようにしたので、保磁力が1200Oe以上と大
きく、S/N比は30以上となってノイズの低減を図る
ことができ、さらに飽和磁化が10Kガウス以上になる
ので電磁変換特性を好ましいものにすることができる。
【0009】
【実施例】3.5インチ径のアルミニウム合金基板(外
径95mm、内径25mm、厚さ1.27mm)の表面
にNiP無電解メッキ膜を5〜15μmの厚さに形成
し、表面を鏡面加工してディスクを作成した。このディ
スクを洗浄後、表面にテクスチャー加工をし、表面の面
粗さをRa7nmとした。再びディスクを洗浄後、DC
マグネトロンスパッター装置を用い、スパッタ室内を1
×1−-5Torr以下に排気後、Arガスを導入し、室
内の圧力を5mmTorrに保持し、投入圧力2000
W、成膜速度40nm/分の条件で下地Cr層を50n
mの厚さに成膜した。この時、ディスクの温度は200
℃であった。さらにこの下地膜の上に磁性膜を成膜し
た。なお磁性膜はCoNiCrPtB合金(表1に示
す)と、それにRuを添加した合金(表2に示す)、さ
らにTiを添加した合金(表2に示す)で作成した。磁
性膜のスパッタ時の投入電力は200W、成膜速度10
0nm/分で膜厚を50nmとした。この全工程中ディ
スク温度はほぼ200℃に保った。さらに磁性膜上に保
護膜としてカーボン膜を成膜し、その成膜条件は投入電
力1000W、成膜速度8nm/分で厚さを30nmと
した。
径95mm、内径25mm、厚さ1.27mm)の表面
にNiP無電解メッキ膜を5〜15μmの厚さに形成
し、表面を鏡面加工してディスクを作成した。このディ
スクを洗浄後、表面にテクスチャー加工をし、表面の面
粗さをRa7nmとした。再びディスクを洗浄後、DC
マグネトロンスパッター装置を用い、スパッタ室内を1
×1−-5Torr以下に排気後、Arガスを導入し、室
内の圧力を5mmTorrに保持し、投入圧力2000
W、成膜速度40nm/分の条件で下地Cr層を50n
mの厚さに成膜した。この時、ディスクの温度は200
℃であった。さらにこの下地膜の上に磁性膜を成膜し
た。なお磁性膜はCoNiCrPtB合金(表1に示
す)と、それにRuを添加した合金(表2に示す)、さ
らにTiを添加した合金(表2に示す)で作成した。磁
性膜のスパッタ時の投入電力は200W、成膜速度10
0nm/分で膜厚を50nmとした。この全工程中ディ
スク温度はほぼ200℃に保った。さらに磁性膜上に保
護膜としてカーボン膜を成膜し、その成膜条件は投入電
力1000W、成膜速度8nm/分で厚さを30nmと
した。
【0010】上記のようにして作成した磁気記録媒体に
ついて、保磁力Hc、飽和磁化4πMsおよび残留磁化
4πMrをVSMを用い印加磁場10Kガウスで測定し
た。測定に使用した磁気ヘッドは、CaTiO3 をスラ
イダー材とし、MnZnフェライトにセンダストの薄膜
をスパッターで成膜したMIGヘッドを用いた。また磁
気ヘッドのトラック幅は13μm、スライダー幅は60
0μm、ジンバルバネ圧9.5gで、ディスクの半径は
24mmの位置でディスク回転数3600rpmの条件
で測定した。
ついて、保磁力Hc、飽和磁化4πMsおよび残留磁化
4πMrをVSMを用い印加磁場10Kガウスで測定し
た。測定に使用した磁気ヘッドは、CaTiO3 をスラ
イダー材とし、MnZnフェライトにセンダストの薄膜
をスパッターで成膜したMIGヘッドを用いた。また磁
気ヘッドのトラック幅は13μm、スライダー幅は60
0μm、ジンバルバネ圧9.5gで、ディスクの半径は
24mmの位置でディスク回転数3600rpmの条件
で測定した。
【0011】まずディスクに線記録密度30KFclで
書き込み、0〜20MHzの帯材でノイズを含まない再
生信号をスペクトロアナライザーにより測定する。次に
使用した測定機器の磁気ヘッドを含むノイズを同一条件
で測定し、さらにrms電圧側を使用してノイズ電力を
測定し、更生用データとする。媒体ノイズは、再生時の
ノイズより測定機器ノイズを差し引いた値を、rms値
更生用データと比較参照し、算出した。このような方法
で前記作成した磁気記録媒体のS/N比を用いた。そし
て得られた測定結果を下記の表1と表2に示した。
書き込み、0〜20MHzの帯材でノイズを含まない再
生信号をスペクトロアナライザーにより測定する。次に
使用した測定機器の磁気ヘッドを含むノイズを同一条件
で測定し、さらにrms電圧側を使用してノイズ電力を
測定し、更生用データとする。媒体ノイズは、再生時の
ノイズより測定機器ノイズを差し引いた値を、rms値
更生用データと比較参照し、算出した。このような方法
で前記作成した磁気記録媒体のS/N比を用いた。そし
て得られた測定結果を下記の表1と表2に示した。
【0012】
【表1】
【0013】表1よりPt含有量が1%未満および15
%より大きいとS/N比が劣る。またCrは含有させな
い場合、および18%以上ではS/N比が劣り、Niは
3%未満、および18%以上ではS/N比が劣り、Bは
1%未満および6%以上でS/N比が劣ることがわか
る。また表1より飽和磁化に関しては、Pt含有量が1
5%と多くなると劣り、残留磁化に関しては、Cr添加
量が16%と多くなると劣っている。さらに保磁力に関
しては、Ptの添加量が0になると劣っている。以上よ
り磁性膜を、原子%でNi5〜15%、Cr1〜15
%、Pt1〜12%、B0.1〜5%、残部Coからな
る合金によって作成するのが望ましい。
%より大きいとS/N比が劣る。またCrは含有させな
い場合、および18%以上ではS/N比が劣り、Niは
3%未満、および18%以上ではS/N比が劣り、Bは
1%未満および6%以上でS/N比が劣ることがわか
る。また表1より飽和磁化に関しては、Pt含有量が1
5%と多くなると劣り、残留磁化に関しては、Cr添加
量が16%と多くなると劣っている。さらに保磁力に関
しては、Ptの添加量が0になると劣っている。以上よ
り磁性膜を、原子%でNi5〜15%、Cr1〜15
%、Pt1〜12%、B0.1〜5%、残部Coからな
る合金によって作成するのが望ましい。
【0014】
【表2】
【0015】表2よりRu添加量は0.1〜5%にし、
Ti添加量は0.1〜5%にするのが、HcおよびS/
N比の点で望ましい。
Ti添加量は0.1〜5%にするのが、HcおよびS/
N比の点で望ましい。
【0016】
【発明の効果】本発明の磁気記録媒体は、CoNiCr
PtBの五元系元素であってNiを5〜15%にし、ま
たBを0.1〜5%にした合金で磁性膜を作成している
ので、S/N比が大きくなってノイズが低減され、しか
も残留磁化がある程度大きいために電磁変換特性が向上
し、さらに保磁力も向上したものとなる。
PtBの五元系元素であってNiを5〜15%にし、ま
たBを0.1〜5%にした合金で磁性膜を作成している
ので、S/N比が大きくなってノイズが低減され、しか
も残留磁化がある程度大きいために電磁変換特性が向上
し、さらに保磁力も向上したものとなる。
【図1】従来例の磁性膜の残留磁化と飽和磁化とを示す
図(a)と、保磁力と角形比を示す図(b)である。
図(a)と、保磁力と角形比を示す図(b)である。
Claims (3)
- 【請求項1】 非磁性材料からなる基板の表面に、非磁
性材料からなる下地膜を介して磁性材料からなる磁性膜
を設けてなる磁気記録媒体において、磁性膜を原子%で
Ni5〜15%、Cr1〜15%、Pt1〜12%、B
0.1〜5%、残部Coからなる合金によって形成した
ことを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項2】 非磁性材料からなる基板の表面に、非磁
性材料からなる下地膜を介して磁性材料からなる磁性膜
を設けてなる磁気記録媒体において、磁性膜を原子%で
Ni5〜15%、Cr1〜15%、Pt1〜12%、B
0.1〜5%、Ru0.1〜5%、残部Coからなる合
金によって形成したことを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項3】 請求項2の磁気記録媒体において、磁性
膜を形成する合金にさらにTiを原子%で0.1〜5%
添加させた磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1951292A JPH05189741A (ja) | 1992-01-08 | 1992-01-08 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1951292A JPH05189741A (ja) | 1992-01-08 | 1992-01-08 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05189741A true JPH05189741A (ja) | 1993-07-30 |
Family
ID=12001421
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1951292A Pending JPH05189741A (ja) | 1992-01-08 | 1992-01-08 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05189741A (ja) |
-
1992
- 1992-01-08 JP JP1951292A patent/JPH05189741A/ja active Pending
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