JPH046094B2 - - Google Patents
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- JPH046094B2 JPH046094B2 JP59111071A JP11107184A JPH046094B2 JP H046094 B2 JPH046094 B2 JP H046094B2 JP 59111071 A JP59111071 A JP 59111071A JP 11107184 A JP11107184 A JP 11107184A JP H046094 B2 JPH046094 B2 JP H046094B2
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- H10W44/601—Capacitive arrangements
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10W76/10—Containers or parts thereof
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- H10W76/15—Containers comprising an insulating or insulated base
- H10W76/157—Containers comprising an insulating or insulated base having interconnections parallel to the insulating or insulated base
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
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- H10W90/754—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL
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- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10S257/916—Narrow band gap semiconductor material, <<1ev
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- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
- Casings For Electric Apparatus (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、電子素子用のケーシングに関し、該
ケーシングは輻射、特にイオン化輻射に対し強化
された、すなわち収容した電子素子をこれらの輻
射から防護するケーシングに関する。
ケーシングは輻射、特にイオン化輻射に対し強化
された、すなわち収容した電子素子をこれらの輻
射から防護するケーシングに関する。
以下の記述において、簡単のために「電子素
子」は、ケーシング内に埋込み可能な、ハイブリ
ツド回路または集積回路を形成する個々の構成部
品やその組立体を指すものとする。
子」は、ケーシング内に埋込み可能な、ハイブリ
ツド回路または集積回路を形成する個々の構成部
品やその組立体を指すものとする。
高い効率の電子装置の構造は、搭載コンピユー
タのように処理速度のみならず能力またはまとま
りの良さに関して、LSI(大規模集積回路)また
はVLSI(超大規模集積回路)型式の高度に集積さ
れた複雑かつ高速度回路を必要とする。しかし、
これらの回路は、輻射、特にイオン化の際に生ず
る輻射の影響を受け易い。
タのように処理速度のみならず能力またはまとま
りの良さに関して、LSI(大規模集積回路)また
はVLSI(超大規模集積回路)型式の高度に集積さ
れた複雑かつ高速度回路を必要とする。しかし、
これらの回路は、輻射、特にイオン化の際に生ず
る輻射の影響を受け易い。
これらの影響を制限するために、通常、2つの
保護または強化技術が用いられている。その1つ
は、例えば適切に選択された金属シートによつて
装置全体の外側を包囲することである。この方法
の欠点は、基本的に重量と場所を必要とし、特に
搭載装置用としては厄介である。第2の方法は、
装置の構成に対し、電子素子及び/または回路が
輻射に耐えるように選択され、このような電子素
子及び回路は、現在、僅かではあるが存在し、そ
の強化は設計方針(特に輻射によつて受ける諸因
子の変動及び損傷を十分に考慮して)及び選択さ
れた技術によつて得られる。しかし、これらの回
路は或る使用目的に対しては十分な成果が得られ
ず、特に得られる集積の程度に対して不十分であ
り、さらに強化技法によるそれらの構成には、し
ばしば、極めて長時間を要し、ひいてはその価格
が高くなる。
保護または強化技術が用いられている。その1つ
は、例えば適切に選択された金属シートによつて
装置全体の外側を包囲することである。この方法
の欠点は、基本的に重量と場所を必要とし、特に
搭載装置用としては厄介である。第2の方法は、
装置の構成に対し、電子素子及び/または回路が
輻射に耐えるように選択され、このような電子素
子及び回路は、現在、僅かではあるが存在し、そ
の強化は設計方針(特に輻射によつて受ける諸因
子の変動及び損傷を十分に考慮して)及び選択さ
れた技術によつて得られる。しかし、これらの回
路は或る使用目的に対しては十分な成果が得られ
ず、特に得られる集積の程度に対して不十分であ
り、さらに強化技法によるそれらの構成には、し
ばしば、極めて長時間を要し、ひいてはその価格
が高くなる。
本発明の目的は、保護される装置に用いられる
電子素子及び回路のケーシングの段階において強
化することにより上記の不利点を避ける構造体を
提供するにある。
電子素子及び回路のケーシングの段階において強
化することにより上記の不利点を避ける構造体を
提供するにある。
本発明によれば、一つの電子素子に対して輻射
保護性強化ケーシングを提供し、該ケーシング
は、3つの要素、すなわち電子素子を収容する基
部と、側部と、前記側部によつて基部に固定され
たカバーを含み、少くとも1つの前記要素が少く
とも2つの異なる材料の層を含み、層の一方は他
方よりも当該電子素子に接近して配置され、前記
近い方の材料の原子荷電数は、他方のものより原
子荷電数が低いように構成される。
保護性強化ケーシングを提供し、該ケーシング
は、3つの要素、すなわち電子素子を収容する基
部と、側部と、前記側部によつて基部に固定され
たカバーを含み、少くとも1つの前記要素が少く
とも2つの異なる材料の層を含み、層の一方は他
方よりも当該電子素子に接近して配置され、前記
近い方の材料の原子荷電数は、他方のものより原
子荷電数が低いように構成される。
本発明の他の目的、態様及び成果は図面を参照
しての本発明についての以下の説明から明らかに
なるであろう。
しての本発明についての以下の説明から明らかに
なるであろう。
図において、明瞭化を計るため、示される尺度
は実際とは異なる。さらに各図において同一構成
要素には同一の参照数字を付してある。
は実際とは異なる。さらに各図において同一構成
要素には同一の参照数字を付してある。
第1図の概略断面図において、一つの電子素子
または集積またはハイブリツド回路用のケーシン
グは、電子素子が形成された例えば半導体片4が
固定された基部3と、側部2によつて基部3に固
定されるカバー1を含む。
または集積またはハイブリツド回路用のケーシン
グは、電子素子が形成された例えば半導体片4が
固定された基部3と、側部2によつて基部3に固
定されるカバー1を含む。
ケーシング(CIL、CeRdip、「チツプ台」な
ど、かつ平坦またはレベルを含むなど)の形式に
より、側部2は基部3またはカバー1と一体に形
成される。
ど、かつ平坦またはレベルを含むなど)の形式に
より、側部2は基部3またはカバー1と一体に形
成される。
電子素子4は、例えば不図示の金属層への半田
付けなどによつて基部3の上面に固定される。そ
の結合点は導電性トラツク(図示せず)に接続さ
れ、該トラツクは、例えばピン31のような、ケ
ーシングの外側への電気的接続装置を末端とす
る。
付けなどによつて基部3の上面に固定される。そ
の結合点は導電性トラツク(図示せず)に接続さ
れ、該トラツクは、例えばピン31のような、ケ
ーシングの外側への電気的接続装置を末端とす
る。
第2図は、本発明によるケーシングの一実施例
を示し、このケーシングにおいて、輻射保護性強
化は、カバー1のレベルで達成される。
を示し、このケーシングにおいて、輻射保護性強
化は、カバー1のレベルで達成される。
このカバーは、少くとも2つの異種材料11及
び12〜13を含み、それぞれは、少くとも一つ
の層をもつて配置される。材料のうちの一つは他
の材料12〜13の原子荷電数Z2に対して高い原
子荷電数Z1をもつ。
び12〜13を含み、それぞれは、少くとも一つ
の層をもつて配置される。材料のうちの一つは他
の材料12〜13の原子荷電数Z2に対して高い原
子荷電数Z1をもつ。
一般に知られているように、高い原子荷電数を
もつ材料は、X線及びγ線のようなイオン化輻射
を大いに弱める。しかし、この弱化は、できる限
り弱めることが望ましい電子流を発生させる。こ
のためには、原子荷電数の低い材料を用いること
が好適で、エネルギについての観点から十分であ
り、また軽量であつて上記の重量規準に適合し、
また、電子の出射も弱い。本発明によれば、この
ような材料は、カバーの内面に用いられ、すなわ
ち電子素子に向つて配設される。
もつ材料は、X線及びγ線のようなイオン化輻射
を大いに弱める。しかし、この弱化は、できる限
り弱めることが望ましい電子流を発生させる。こ
のためには、原子荷電数の低い材料を用いること
が好適で、エネルギについての観点から十分であ
り、また軽量であつて上記の重量規準に適合し、
また、電子の出射も弱い。本発明によれば、この
ような材料は、カバーの内面に用いられ、すなわ
ち電子素子に向つて配設される。
本文において、高原子荷電数とは、少くとも35
に等しく、また低原子荷電数とは、多くても20に
等しい値をいう。
に等しく、また低原子荷電数とは、多くても20に
等しい値をいう。
第2図に示す実施例において、装置の効率を向
上するために各材料の複数層が形成されている。
上するために各材料の複数層が形成されている。
さらに、これらの材料は選択されて、コンデン
サを形成するように複数層に配列され、すなわち
高原子荷電数Z1をもつ、絶縁材料である第1材料
11、さらに低原子荷電数Z2をもつ第2材料から
成る層を少くとも2層、それぞれ12及び13を
配列して絶縁材料11を包囲して、コンデンサ板
を形成する。第2図の実施例において多層コンデ
ンサが、外側導体15及び16によつて合体結合
された6つの板をもつて形成されている。このよ
うなコンデンサは、一般にこの種のケーシング用
として要求されている減結合コンデンサを好適に
形成する。
サを形成するように複数層に配列され、すなわち
高原子荷電数Z1をもつ、絶縁材料である第1材料
11、さらに低原子荷電数Z2をもつ第2材料から
成る層を少くとも2層、それぞれ12及び13を
配列して絶縁材料11を包囲して、コンデンサ板
を形成する。第2図の実施例において多層コンデ
ンサが、外側導体15及び16によつて合体結合
された6つの板をもつて形成されている。このよ
うなコンデンサは、一般にこの種のケーシング用
として要求されている減結合コンデンサを好適に
形成する。
最後に、第2図に示すように、カバー1の内面
に別の層14を付設することができ、この層は原
子荷電数Z3が低い材料で造られる。この変形実施
例によれば、材料12,13と11の選択に際し
て大きい融通性が得られ、結果として平均的に高
い原子荷電数の材料を用いることができる。
に別の層14を付設することができ、この層は原
子荷電数Z3が低い材料で造られる。この変形実施
例によれば、材料12,13と11の選択に際し
て大きい融通性が得られ、結果として平均的に高
い原子荷電数の材料を用いることができる。
材料の選択に関しては、低原子荷電数の材料は
次の物質、すなわち炭素、アルミニウム、シリコ
ン、アルミナ及びシリカの中の一つ、また高原子
荷電数の材料としては、絶縁セラミツク、例えば
変成チタン酸バリウム(高原子荷電数)またはチ
タン酸ネオダイン(同じく変成された)のような
チタン酸塩族から、或は例えば酸化チタニウム
(変成された)または複合鉛基セラミツクのよう
な酸化物族から選ばれる。
次の物質、すなわち炭素、アルミニウム、シリコ
ン、アルミナ及びシリカの中の一つ、また高原子
荷電数の材料としては、絶縁セラミツク、例えば
変成チタン酸バリウム(高原子荷電数)またはチ
タン酸ネオダイン(同じく変成された)のような
チタン酸塩族から、或は例えば酸化チタニウム
(変成された)または複合鉛基セラミツクのよう
な酸化物族から選ばれる。
例えば、材料11としてチタン酸バリウム
(BaTiO3)あるいは酸化ネオダインを用い、ア
ルミナ(Al2O3)のような低原子荷電数Z3を持つ
材料で造られた付加層14を設けた場合、板12
および13としては、その原子荷電数Z2が前記材
料11の原子荷電数Z1より低い範囲内で、比較的
高い原子荷電数Z2を持つ、銀およびパラジウムか
らなる金属あるいは合金のような材料を用いるこ
とができる。
(BaTiO3)あるいは酸化ネオダインを用い、ア
ルミナ(Al2O3)のような低原子荷電数Z3を持つ
材料で造られた付加層14を設けた場合、板12
および13としては、その原子荷電数Z2が前記材
料11の原子荷電数Z1より低い範囲内で、比較的
高い原子荷電数Z2を持つ、銀およびパラジウムか
らなる金属あるいは合金のような材料を用いるこ
とができる。
第3図は、第2図の装置の変形例を示し、この
装置は技術上の可能性を向上するために、層14
と同一の材料から造ることが好適な付加層19を
含む。
装置は技術上の可能性を向上するために、層14
と同一の材料から造ることが好適な付加層19を
含む。
実際の場合、同一の熱膨張係数をもつ異なる材
料を得ることは困難である。もしその熱膨張係数
が著しく相違し、カバーの製造が可成り高い温度
(1000℃以上)を含む場合には、平坦でない一つ
の要素が得られ、層14と同一の熱特性(例えば
同一材料)をもつ層19によつて構造を対称化す
ることによりこの欠点を修正する。
料を得ることは困難である。もしその熱膨張係数
が著しく相違し、カバーの製造が可成り高い温度
(1000℃以上)を含む場合には、平坦でない一つ
の要素が得られ、層14と同一の熱特性(例えば
同一材料)をもつ層19によつて構造を対称化す
ることによりこの欠点を修正する。
第4図は、別の実施例を示し、ここにおいて、
カバー1及び側部2は、カバー5を形成するため
に一体に形成され装置全体が輻射保護性を強化さ
れる。
カバー1及び側部2は、カバー5を形成するため
に一体に形成され装置全体が輻射保護性を強化さ
れる。
前例と同様な変形実施例がカバー5の部分1と
して設けられている。
して設けられている。
側部2は、高原子荷電数Z1をもつ材料11によ
つて形成され、その内面を低原子荷電数Z3をもつ
材料の層14をもつて被覆される。
つて形成され、その内面を低原子荷電数Z3をもつ
材料の層14をもつて被覆される。
側部2は、このようにして、強化の有無、コン
デンサ形態をもつか否かに拘らずカバーの部分1
とは独立に強化される。
デンサ形態をもつか否かに拘らずカバーの部分1
とは独立に強化される。
第5図は、本発明によるケーシングの他の実施
例を示し、この場合、強化はその側部2のレベル
で実施される。
例を示し、この場合、強化はその側部2のレベル
で実施される。
この装置は、第2図の部分1と同様にコンデン
サを含み、その絶縁部21とその板部22及び2
3を有し、これらは要求に従つて(多層コンデン
サ)合体結合され、かつ結合要素25及び26に
よつて外側に接触され、要素21,22,23,
25,26は第2図の要素11,12,13,1
5,16と同様である。
サを含み、その絶縁部21とその板部22及び2
3を有し、これらは要求に従つて(多層コンデン
サ)合体結合され、かつ結合要素25及び26に
よつて外側に接触され、要素21,22,23,
25,26は第2図の要素11,12,13,1
5,16と同様である。
層21,22,23は、弱めるべき輻射と電子
素子4との間に大きい面を介在させるために、図
のようにカバー1と基部3とに平行に、或は直角
に形成される。
素子4との間に大きい面を介在させるために、図
のようにカバー1と基部3とに平行に、或は直角
に形成される。
この実施例において、カバー1は、コンデンサ
を形成するかしないかによつて前述の変形実施例
の一つにより強化されずまたは強化される。
を形成するかしないかによつて前述の変形実施例
の一つにより強化されずまたは強化される。
第6図は、本発明の別の実施例を示し、ケーシ
ングの基部3は、強化されている。
ングの基部3は、強化されている。
例として、ケーシングは、「チツプ台」型で、
接続ピンを具備しないことを特徴とし、ピンは基
部3の下部に設けられた単一の金属性化された部
分32によつて置換されている。さらに例とし
て、このケーシングの基部は平坦である。
接続ピンを具備しないことを特徴とし、ピンは基
部3の下部に設けられた単一の金属性化された部
分32によつて置換されている。さらに例とし
て、このケーシングの基部は平坦である。
カバー5は、例えば強化されかつ第4図のカバ
ーと同一である。コンデンサの板部材を合体結合
する接続部材15及び16は、例えばチツプ台の
基部に対して通常実施されるように半孔17及び
18それぞれに形成される。カバー5は基部3に
対しシール手段36によつて密封される。
ーと同一である。コンデンサの板部材を合体結合
する接続部材15及び16は、例えばチツプ台の
基部に対して通常実施されるように半孔17及び
18それぞれに形成される。カバー5は基部3に
対しシール手段36によつて密封される。
基部3は、金属層34に固定された電子素子4
を支持する。電子素子は金属性化された部分32
まで、基部3に配置されかつ半孔38を通つて延
びるトラツク37に普通の手段、(導線41)を
用いて接続される。
を支持する。電子素子は金属性化された部分32
まで、基部3に配置されかつ半孔38を通つて延
びるトラツク37に普通の手段、(導線41)を
用いて接続される。
本発明によれば、基部3はまた、強化のため
に、高原子荷電数及び低原子荷電数をもつ材料を
交互に配置し、これらの材料は、それらが通常ケ
ーシングの基部に与えられる要求事項、すなわち
基部3の熱膨張係数が半導体4の熱膨張係数と基
本的に適合し、かつこの電子素子によつて出射さ
れる勢力を除去するために良好な熱伝導性をもつ
というような要求事項を満足するように選択され
かつ配置される。このために、基部3は、例えば
アルミニウムのような低原子荷電数をもつ材料3
9で造られ、かつ金属性化された部分32間にお
いて、その外側(下)面にタングステンのような
高原子荷電数をもつ材料の層33を含む。
に、高原子荷電数及び低原子荷電数をもつ材料を
交互に配置し、これらの材料は、それらが通常ケ
ーシングの基部に与えられる要求事項、すなわち
基部3の熱膨張係数が半導体4の熱膨張係数と基
本的に適合し、かつこの電子素子によつて出射さ
れる勢力を除去するために良好な熱伝導性をもつ
というような要求事項を満足するように選択され
かつ配置される。このために、基部3は、例えば
アルミニウムのような低原子荷電数をもつ材料3
9で造られ、かつ金属性化された部分32間にお
いて、その外側(下)面にタングステンのような
高原子荷電数をもつ材料の層33を含む。
好ましくは、電子素子が固定される層34はま
た、低原子荷電数をもつ材料で造られる。
た、低原子荷電数をもつ材料で造られる。
第6図に示す変形実施例において、基部3の中
でその2つの大きい面に、熱伝導性にすぐれかつ
高原子荷電数をもつ材料で造られた包有体35を
含む。その材料はタングステンが好適である。
でその2つの大きい面に、熱伝導性にすぐれかつ
高原子荷電数をもつ材料で造られた包有体35を
含む。その材料はタングステンが好適である。
それぞれの既述した実施例において、高原子荷
電数と低原子荷電数をもつ材料間の突然の遷移を
避けることが望ましい。これは輻射が強い場合に
材料間の界面に熱衝撃が起るのを防止することで
ある。突然の遷移現象を避けるためには、両者の
中間の原子荷電数Zをもつ別の材料によつて実現
させる。また両方の材料を含む合金或は化合物に
よつて実現することもできる。
電数と低原子荷電数をもつ材料間の突然の遷移を
避けることが望ましい。これは輻射が強い場合に
材料間の界面に熱衝撃が起るのを防止することで
ある。突然の遷移現象を避けるためには、両者の
中間の原子荷電数Zをもつ別の材料によつて実現
させる。また両方の材料を含む合金或は化合物に
よつて実現することもできる。
上述の発明は、単なる説明例について記述し
た。従つて、例えば、カバーに形成されたコンデ
ンサは低原子荷電数をもつ材料から形成され、さ
らに高原子荷電数をもつ材料で造られた層をカバ
ーの外側面に配置することもできる。
た。従つて、例えば、カバーに形成されたコンデ
ンサは低原子荷電数をもつ材料から形成され、さ
らに高原子荷電数をもつ材料で造られた層をカバ
ーの外側面に配置することもできる。
第1図は、電子素子用ケーシングの概略図、第
2図は、本発明による装置の第1実施例の構成を
示す断面図、第3図は、第2図に示す装置の変形
実施例、第4図は、本発明による装置の第2実施
例の構成を示す断面図、第5図は、本発明による
装置の第3実施例、第6図は、本発明による装置
の第4実施例である。 1……カバー、2……側部、3……基部、4…
…電子素子、5……カバー、11……第1材料、
12……層、13……層、14……層、15……
導体、16……導体、17……半孔、18……半
孔、19……層、21……絶縁材、22……板部
材、23……板部材、25……接続部材、26…
…接続部材、31……ピン、32……金属性化部
分、33……層、34……層、35……包有体、
36……シール部、37……トラツク、38……
半孔、39……材料、41……導体。
2図は、本発明による装置の第1実施例の構成を
示す断面図、第3図は、第2図に示す装置の変形
実施例、第4図は、本発明による装置の第2実施
例の構成を示す断面図、第5図は、本発明による
装置の第3実施例、第6図は、本発明による装置
の第4実施例である。 1……カバー、2……側部、3……基部、4…
…電子素子、5……カバー、11……第1材料、
12……層、13……層、14……層、15……
導体、16……導体、17……半孔、18……半
孔、19……層、21……絶縁材、22……板部
材、23……板部材、25……接続部材、26…
…接続部材、31……ピン、32……金属性化部
分、33……層、34……層、35……包有体、
36……シール部、37……トラツク、38……
半孔、39……材料、41……導体。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 3つの要素、すなわち電子素子を受ける基部
と側部と前記側部によつて基部に固定されたカバ
ーを含み、少くとも1つの前記要素が少くとも2
つの異なる材料の層を含み、前記材料の一方が他
方の材料よりも前記電子素子に近く配置され、前
記一方の材料の原子荷電数が他方の材料の原子荷
電数よりも低い電子素子用輻射保護性強化ケーシ
ング。 2 前記電子素子に近い方の材料が低原子荷電数
をもち、他方の材料が高原子荷電数をもつ特許請
求の範囲第1項記載の電子素子用輻射保護性強化
ケーシング。 3 前記要素が前記カバーである特許請求の範囲
第1項記載の電子素子用輻射保護性強化ケーシン
グ。 4 前記材料のうちの第1の材料が絶縁材であ
り、前記第2の材料が電気導体からなり、前記第
1の材料の各側において少くとも2つの層をもつ
て配置され、これにより形成された組立体がコン
デンサを形成する特許請求の範囲第1項記載の電
子素子用輻射保護性強化ケーシング。 5 前記材料が複数の交互に配置され、これによ
り多層コンデンサを形成する特許請求の範囲第4
項記載の電子素子用輻射保護性強化ケーシング。 6 前記要素がその内側面に配置されかつその原
子荷電数が低い材料の別の第1層を含む特許請求
の範囲第1項記載の電子素子用輻射保護性強化ケ
ーシング。 7 前記要素がその外側面に配置されかつ前記別
の第1層と同一の熱特性をもつ材料から造られた
別の第2層を含む特許請求の範囲第6項記載の電
子素子用輻射保護性強化ケーシング。 8 前記要素がその外側面に配置されかつ高い原
子荷電数をもつ材料の層を含む特許請求の範囲第
1項記載の電子素子用輻射保護性強化ケーシン
グ。 9 前記側部が高原子荷電数をもつ材料で造ら
れ、かつ前記側部の高原子荷電数をもつ材料より
も低い原子荷電数をもちその界面に配置された層
を含む特許請求の範囲第3項記載の電子素子用輻
射保護性強化ケーシング。 10 前記基部が低原子荷電数をもつ材料で造ら
れかつその外面に配置されかつ前記原子荷電数よ
りも高い原子荷電数をもつ層を含む特許請求の範
囲第3項記載の電子素子用輻射保護性強化ケーシ
ング。 11 前記基部がその内面に配置された低原子荷
電数をもつ金属層を含み、前記電子素子が前記金
属層に固定される特許請求の範囲第8項記載の電
子素子用輻射保護性強化ケーシング。 12 前記基部が、低原子荷電数をもつ前記材料
内に形成されその内面及び外面に設けられた包有
物を含み、前記包有物が良好な熱伝導性と高い原
子荷電数をもつ材料で造られる特許請求の範囲第
10項記載の電子素子用輻射保護性強化ケーシン
グ。 13 異なる原子荷電数をもつ材料間の遷移が中
間材料によつて実現される特許請求の範囲第1項
記載の電子素子用輻射保護性強化ケーシング。 14 低原子荷電数をもつ材料が多くても20に等
しい原子荷電数をもつ特許請求の範囲第1項記載
の電子素子用輻射保護性強化ケーシング。 15 低原子荷電数をもつ材料が、炭素、アルミ
ニウム、シリコン、アルミナ、シリカを含む群か
ら選ばれる特許請求の範囲第1項記載の電子素子
用輻射保護性強化ケーシング。 16 高原子荷電数をもつ材料が少くとも35に等
しい原子荷電数をもつ特許請求の範囲第1項記載
の電子素子用輻射保護性強化ケーシング。 17 高原子荷電数をもつ材料がチタン酸塩族か
ら、酸化物族からまたは複合塩基性セラミツクか
ら選択される絶縁性セラミツクである特許請求の
範囲第1項記載の電子素子用輻射保護性強化ケー
シング。
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