JPH0467647A - ウエハカセット内の半導体ウエハの配列検出機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体製造工程における半導体ウェハ移Ｍ
’Ａｆｌｌに係り、特にウェハカセット内の半導体ウニ
への配列検出機構に関するものである。

〔従来の技術〕

第３図は一般に用いられる半導体ウェハの配列検出機構
を示す斜視略図であり、この図において、１はウエハカ
セッ１−１２はこのウェハカセット１内の半導体ウェハ
、３ａは投光センサ、３ｂは受光センサであり、これら
両センサ３ａ、３ｂにより半導体ウェハ２の有無の検出
を行う。６はパルスモータであり、両センサ３ａ、３ｂ
が半導体ウェハ２を検出するところまで移動する。１ａ
は前記ウエハカセッ１−１に形成されたカセッｌ−第１
　溝、１ｂは同じくカセッ■・第２溝である。これらカ
セット溝は第１．第２だけでなく、同一ピッチで多数形
成されている。

第４図は従来の半導体ウェハの配列検出機構のハードウ
ェアを示すブロック図であり、この図において、４は前
記投光セッサ３ａ、受光センサ３ｂのセンサアンプであ
り、これらでウェハ検出手段５が構成される。７はソフ
トウェア制御を行うためのＣＰＵ、８はパルスを出力す
るパルス発振蕾、９はパルスモータ６を動作させるため
のパルスドライバである。

次に、動作について説明する。

カセ＝ｙ　ｌ−搬送設備（図示せず）がウエハカセツ１
−１を搬送すると、ＣＰＵ７の指令によりパルス発振器
８にパルス出力の起動がかかり、パルスドライバ９によ
りパルスモータ６が移動し投光センサ３ａ、受光センサ
３ｂがカセット第１溝１ａにある半導体ウェハ２の有無
を検出できる位置シこ一停止する。ここで、ＣＰＵ７が
センサアンプ４のブタをＣＰＵ７のソフトウェア処理に
より格納しておく。同様にパルスモータ６をカセット第
２溝１ｂに移動させ、停止後半導体ウェハ２の有無を検
出する。

以後、同様の動作を繰り返し、ＣＰＵ７のソフトウェア
処理にて半導体ウェハ２の配列を検出する。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来のウェハカセット１内の半導体ウェハ２の配列検出
は、以上のようにパルスモータ６が停止後、半導体ウェ
ハ２の有無を検出していたため、処理時間が長くなる問
題点があった。

この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、ウエハカセット内の半導体ウニへの配列を
高速に検出できるウェハカセット内の半導体ウェハの配
列検出機構を得ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係るウニバカ七スト内の半導体ウェハの配列
検出機構は、ＣＰＵと、このＣＰＵの指令によりウェハ
カセット内の半導体ウェハの有無を検出するウェハ検出
手段を連続的に移動せしめるパルスモータと、このパル
スモータを駆動するパルス発振器と、このパルス発振器
のパルスのカウントを行い、ウェハ検出手段の出力を検
出するタイミングを作るとともに、このカウントが所定
数になった時、ＣＰＵにエンド信号を送るカウンタ部と
、ウェハ検出手段の出力を順次格納するシフトレジスタ
とで構成したものである。

〔作用〕

この発明においては、パルスモータがパルス発振器のパ
ルスによって連続的に移動しながら半導体ウェハの有無
がウェハ検出手段で検出され、そノ結果カパルス発振器
のパルスでシフトするシフトＩ７じスフに格納され、ウ
ェハカセット内の半導体ウェハの配列が高速に検出され
る。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図面について説明する。

第１図はこの発明の一実施例を示すブロック図で、第４
図と同一符号は同じものを示し、１０はカウンタ部て、
１０ａのセンサ情報を検出するタイミングを作るカウン
タと、１０ｂのウエハカセット−１内に、例えば２５枚
分の半導体ウェハ２の検出完了をＣＰＵ７に渡すための
カウンタとからなる。１１ばウェハ検出手段５の出力を
格納しておくシフｌ−レジスフ、１２はＡＮＤ回路であ
る。

次に、動作について第２図のタイミング図および第３図
を参照して説明する。

第１図〜第３図において、まず、カセット搬送設備（図
示せず）がウェハカセット１を搬送する。

ＣＰＵ７の指令により５ＴＡＲＴ信号を送り、その後、
パルス発振器８に起動をかけ、パルスドライバ９により
パルスモークロを動作させろ。カウンタ１０ａがパルス
発振器８のカウントを行いカウントアツプした場合にカ
ウンタ１０ｂがカウントを＋１する。同時にンフトレジ
スタ１１が現在のセンサアップ４のデータをシフＩ−１
，、格納する。そして、カウンタ１０ａのクリアを行う
。これで、ウェハカセット１内のカセット第１溝１ａ内
の半導体ウェハ２の検出が終了する。

以下、同様の動作を行い　カウンタ１０ｂが２５になっ
た時にＣＰＵ７にＥＮＤ信号を送り、シフトレジスタ１
１にウェハカセット１内の２５枚の半導体ウェハ２のデ
ータが格納されたことをＣＰＵ７に報告する。

ＣＰＵ７はシフトレジスタ１１のデータを読み、半導体
ウェハ２の配列検出を終了する。

なお、上記実施例ではウェハカセット１を縦向きにして
いるが、横向きにしてもよい。また、つエバ検出手段５
は必ずしも光にならなくともよく、他のセンサを用いて
もよい。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明は、ＣＰＵと、とのＣＰ
Ｕの指令によりウェハカセット内の半導体ウニへの有無
を検出するウェハ検出手段を連続的に移動せしめるパル
スモータと、乙のパルスモータを駆動するパルス発振器
と、このパルス発振器のパルスのカウントを行い、ウェ
ハ検出手段の出力を検出するタイミングを作るとともに
、とのカランｌ−が所定数になった時、ＣＰＵにエンド
信号を送るカウンタ部と、ウェハ検出手段の出力を順次
格納するシフトレジスタとで構成したので、ウェハカセ
ット内の半導体ウェハの配列を高速に検出できるととも
に、ソフトウェアの負荷が少な（なる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す半導体ウェハの配列
検出機構のブロック図、第２図はそのときのタイミング
図、第３図は半導体ウェハ移替におけるウェハカセット
内の半導体ウェハの配列検出機構の斜視略図、第４図は
従来の半導体ウエノ、の配列検出機構のブロック図であ
る。 図において、１はウェハカセット、２は半導体ウェハ、
３ａは投光センサ、３ｂは受光センサ、４はセッサアン
プ、５はウェハ検出手段、６はパルスモータ、７はＣＰ
Ｕ、　８はパルス発振器、９はパルスドライバ、１０は
カウンタ部、１０ａ。 １０ｂはカウンタ、１１はシフ１−レジスタである。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人　大　岩　増　雄　　　（外２名）第 図 パルズモータ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　ＣＰＵと、このＣＰＵの指令によりウエハカセット内
   の半導体ウェハの有無を検出するウェハ検出手段を連続
   的に移動せしめるパルスモータと、このパルスモータを
   駆動するパルス発振器と、このパルス発振器のパルスの
   カウントを行い、前記ウェハ検出手段の出力を検出する
   タイミングを作るとともに、このカウントが所定数にな
   った時、前記ＣＰＵにエンド信号を送るカウンタ部と、
   前記ウェハ検出手段の出力を順次格納するシフトレジス
   タとで構成したことを特徴とするウェハカセット内の半
   導体ウェハの配列検出機構。