JPH0467814A - 寝台 - Google Patents

寝台

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JPH0467814A
JPH0467814A JP17779890A JP17779890A JPH0467814A JP H0467814 A JPH0467814 A JP H0467814A JP 17779890 A JP17779890 A JP 17779890A JP 17779890 A JP17779890 A JP 17779890A JP H0467814 A JPH0467814 A JP H0467814A
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Atsutoshi Takahashi
高橋 篤敏
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GIJUTSU KENKYU KUMIAI IRYO FUKUSHI KIKI KENKYUSHO
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GIJUTSU KENKYU KUMIAI IRYO FUKUSHI KIKI KENKYUSHO
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は寝台、特に床支持枠上に支持した背部床板、腰
部床板及び足部床板を起伏させて、床板上の使用者の姿
勢を、ギャッチ姿勢、リクライニング姿勢または椅子状
姿勢とし得る機能及び、以上の状態に於いて腰部床板を
必要に応じて持ち上げて、寝台からの使用者の立上りの
補助を行える機能、そして更に床支持枠を基台に対して
昇降並びに幅方向の両側に傾斜させる機能等の多様な機
能を一体化した寝台に関するものである。
(従来の技術) 従来の寝台には、床支持枠上に支持した背部床板、腰部
床板及び足部床板を起伏させて、床板上の使用者の姿勢
を、ギャッチ姿勢、リクライニング姿勢または椅子状姿
勢とし得るようにした寝台や、以上の状態に於いて腰部
床板を必要に応じて持ち上げて、寝台からの使用者の立
上りの補助を行える機能を有する寝台または、床支持枠
を基台に対して昇降並びに幅方向の両側に傾斜させる機
能を有する寝台がある。
(発明が解決しようとする課題) しかしながら、従来はこのような多様な機能を一体化し
た寝台がなく、これらの機能の一部を一体化したもので
も、夫々の機能毎に電動機等の駆動源を設けているので
、駆動系が多くなり、所要空間が大きくなってしまうと
共に、重量が嵩み、また価格も上昇してしまうというよ
うな課題がある。
本発明は以上の課題を解決することを目的とするもので
ある。
(課題を解決するための手段及び実施例)上述した課題
を解決するための手段を実施例と共に説明する。
第1図(a)、(b)、(c)は本発明の寝台を長平方
向として構成及び動作を概略的に表したものである。ま
た第2図、第3図は本発明の寝台を、夫々基台枠、床板
を除いて斜視図として構成を表したものである。また第
4図(a)、(b)、(c)は本発明の一方の要部の構
成並びに動作を長平方向として表したもの、第5図(a
)、(b)(c)、(d)、(e)は本発明の他方の要
部の構成並びに動作を幅方向として表したものである。
これらの図に於いて、符号lは基台枠、2は床支持枠、
3a、3b及び3Cは夫々背部床板、腰部床板及び足部
床板を示すものである。床支持枠2は後述する昇降傾斜
機構により、水平状態での昇降並びに幅方向の両側への
傾斜が可能に支持されている。
しかして、背部床板3aは一側を前記床支持枠2に回動
自在に支持すると共に、腰部床板3bと足部床板3Cは
屈曲自在に連結し、この連結位置の近傍で、腰部床板3
b側に第一の支持腕4、足部床板3C側に第二の支持腕
5を設けた構成とする。背部床板3aは、後記支持レー
ル6の一端と同一の個所に於いて支持部材7により支持
している。また腰部床板3bの背部側下方には、床支持
枠2の適所への当接支持部材8を設けている。この当接
支持部材8はローラーで構成しており、このローラーは
、後記の支持レール6上に当接する構成としている。ま
た足部床板3cは、端側の一部3dを、上方にのみ回動
自在に連結支持している。即ち、この一部3dは他の部
と屈曲自在に連結されていると共に、下側に設けた支持
部材9a。
9b間に支持リンク10を連結しており、この支持リン
クlOには長溝11を設けることにより、前述した通り
一部3dを、上方にのみ回動自在に連結支持している 前記床支持枠2には、背部側の幅方向に駆動軸12、足
部側の幅方向に第一及び第二の作動軸13.14を回動
自在に支持しており、前記駆動軸12には第一の押上腕
15と、第一、第二及び第三の駆動腕+6.17.18
を突設し、該第一の押上腕15の先端部を押上リンク1
9を介して背部床板3aに連結すると共に、前記第一の
作動軸13には第一の連動腕20と第一の作動腕21を
突設し、該第一の連動腕20と前記第一の駆動腕16を
第一の駆動リンク22で連結している。そして、前記第
二の作動軸14には第二の連動腕23と第二の押上腕2
4を突設している。この第二の押上腕24の端部には腰
部床板3bへの当接部25を設けており、この当接部2
5はローラーで構成している。前記第二の連動腕23と
前記第二の駆動腕17間に構成する第二の駆動リンク2
6は、第二の連動腕23に回動自在に連結すると共に、
第二の駆動腕17側には係合溝27を設けて、第二の駆
動腕17に設けた駆動突起28に係脱自在に構成してい
る。そして、その係脱手段Aを床支持枠2に設けている
前記床支持枠2には、背部側上方から足部側下方に、長
溝29を形成した支持レール6を設け、前記第一の支持
腕4に一端を回動自在に連結した第一の支持リンク30
の他端側を該長溝29に移動自在に支持すると共に、前
記第一の作動腕21の先端部を該第一の支持リンク30
の中間部に回動自在に支持すると共に、前記第二の支持
腕5に一端を連結した第二の支持リンク31の他端を、
床支持枠2に設けた支持部材32に回動自在に支持して
いる。そして、前記第三の駆動腕18と床支持枠2の支
持部材間に伸縮駆動手段33を設けている。
しかして、基台枠lには、寝台の長平方向に延びる左右
側の第一及び第二の作動軸34a、34bと、中央側の
駆動軸35を回転自在に設けると共に、幅方向の支持レ
ール36を設ける。そして、前記駆動軸35には第一、
第二、第三及び第四の駆動腕37a、37b、37c、
37d、37eを突設すると共に、前記第一及び第二の
作動軸34a、34bには夫々連動腕38a、38bと
作動腕39a、39bを突設する。第一の作動軸34a
の第一の作動腕39aの先端部は、第一の押上リンク4
0aの一端部を屈曲自在に連結すると共に、該第一の押
上リンク40aの他端部を、前記法支持枠2に於いて前
記第一の作動軸34aと同一側に回動自在に連結する。
また、該床支持枠2に於いて、前記第二の作動軸34b
と同一側に一端部を回動自在に連結した第二の押上リン
ク4obの他端部を前記支持レール36に沿って移動自
在に支持すると共に、前記第二の作動軸34bの第二の
作動腕39bの先端部を該第二の押上リンク40bの中
間部に回動自在に連結する。なお、前記支持レール6は
案内溝41を形成した構成とし、この案内溝41に第二
の押上リンク40bの他端部に設けた支持突起を係合し
て、移動自在に構成している。そして第一の作動腕39
aと第一の押上リンク40aの連結位置又はその近傍に
当接支持ローラー42を設けており、この当接支持ロー
ラー42は前記第二の押上リンク40bと支持レール3
6の上側に当接する構成としている。
また、夫々前記第一、第二の駆動腕37a、37bと第
一、第二の連動腕38a、38b間に、第一、第二の駆
動リンク43a、43bを連結する構成とし、これらの
駆動リンク43a、43bは、一端側を前記連動腕38
a、38bに回動自在に連結し、他端側に駆動溝44a
、44bを形成すると共に、前記駆動腕37a、37b
には該駆動溝44a、44bに係合する駆動突起45a
45bを設け、これらの駆動溝44a、44bは、前記
第一、第二の作動腕39a、39bを回動上昇する方向
に前記駆動突起45a、45bに係合する構成としてい
る。図示例では、第一の連動腕38aは、第一の作動腕
39aの下方に構成して、第一の駆動腕37aにより第
一の駆動リンク43aを介して第一の連動腕38aを引
き動かす方向が、前記第一の作動腕39aを回動上昇す
る方向としており、また第二の連動腕38bは第二の作
動腕39bよりも上方に構成して、第二の駆動腕37b
により第二の駆動リンク43bを介して第二の連動腕3
8bを押し動かす方向が第二の作動腕39bを回動上昇
する構成としている。従って、夫々の駆動腕37a、3
7bの駆動突起45a。
45bは、駆動溝44a、44bを夫々引き動かす方向
、押し動かす方向に駆動溝44a、44bに係合する構
成としている。そして、前記夫々の駆動リンク43a、
43bに対応して、夫々の駆動溝44a、44bを前記
駆動突起45a、45bに係脱自在とする係脱手段A′
を基台枠1に設けている。そして前記第三の駆動腕40
bと基台枠lの支持部材間に伸縮駆動手段33′を設け
ている。
上述した係脱手段A、A’ は、直線的駆動機構により
各駆動リンクを移動、即ち図示例に於いて図中上下方向
に移動して、その係合溝を、各駆動腕の係合突起と係合
する状態と係合しない状態に移行する構成としている。
かかる直線的駆動機構は、ソレノイドを駆動源として直
線的変位を行わせる構成としたり、小型モーター駆動の
ねじシャフト式伸縮駆動機構により構成したり、または
コントロールケーブル機構により構成することができる
。尚、図では小型モーター駆動のねじシャフト式伸縮駆
動機構を表している。この実施例や、コントロールケー
ブル機構を用いた構成では、ソレノイドを用いた機構と
比較して動作音が静粛であるという利点がある。また上
記伸縮駆動手段33.33やは、前述したモータ駆動の
ねじシャフト式伸縮駆動杆とする他、油圧シリンダや空
気圧シリンダを適用することができる。また、前記第四
の駆動腕37dと基台枠1間に、駆動軸35を床支持枠
2の上昇方向に付勢するばね、引っ張りコイルばね46
を設けている。
(作用及び実施例) 以上の構成に於いて、まず、床支持枠2が基台枠l上に
適宜の位置に水平に支持されている状態に於いて、夫々
の床板が第1図(a)、第4図(a)に示すように平面
上に支持されている状態に於いて、係脱手段Aを動作さ
せて第二の駆動リンク26を上方に移動させると、その
係合溝27は第二の駆動腕17の係合突起28と係合し
ない状態となる。この状態で伸縮駆動手段33を動作さ
誉て第三の駆動腕18を介して駆動軸12を図中時計方
向に回動すると、この駆動軸12の回動により第一の押
上腕15が回動上昇し、押上リンク19を介して背部床
板3aを回動上昇する。上記駆動軸12の回動により、
第一の駆動腕16、第一の駆動リンク22、第一の連動
腕20を介して第一の作動軸13のみが連動して回動す
るので、第一の作動腕21、支持レール6及び第一の支
持リンク30の相互作用により、第一の支持腕4、即ち
腰部床板3bの足側か、図中右上方に移動する。腰部床
板3bの背側はフリー状態であるので、当接支持部材8
としてのローラーが支持レール6の上側に当接して支持
され、従って腰部床板3bは足側か上方、背側か下方と
して傾斜する。一方、上述したように腰部床板3bの足
側か、図中右上方に移動することにより、この腰部床板
3bと屈曲自在に連結している足部床板3Cも同様に上
昇するので、足部床板3Cは第二の支持リンク31の作
用により、前記連結位置を支点として時計方向に回動下
降した状態で支持される。
このようにして、第1図(b)、第4図(b)に示すよ
うに背部床板3aが回動上昇すると同時に、腰部床板3
bが足側を上部として回動下降し、そして足部床板3c
が端部側を下方として回動下降することによ番ハ床板上
の使用者をギャッチ姿勢、リクライニング姿勢または椅
子状姿勢とすることができる。上述した通り、背部床板
3aの回動上昇につれて腰部床板3bが回動下降する際
、この腰部床板3bは足側方向に移動するので、使用者
の腹部を圧迫しない。
次に、夫々の床板が第1図(a)、第4図(a)に示す
ように平面上に支持されている状態に於いて、係脱手段
Aを動作させて第二の駆動リンク26を下方に移動させ
、その係合溝27が第二の駆動腕17の係合突起28と
係合する状態とし、この状態で伸縮駆動手段33を動作
させて第三の駆動腕18を介して駆動軸12を回動する
。今度は第二の駆動リンク26の係合溝27と第二の駆
動腕17の係合突起28が係合するので、前述した第一
の作動軸13と共に、第二の駆動腕17、第二の駆動リ
ンク26並びに第二の連動腕23を介して第二の作動軸
14も連動して回動する。従って前述した通り、背部床
板3aが回動上昇し、腰部床板3bの足側が、図中右上
方に移動すると同時に第1図(C)、第4図(c)に示
すように第二の押上腕が回動上昇して腰部床板3bを押
し上げ、この腰部床板3bを、足部床板3Cとの連結位
置を支点として回動上昇する。
従って、床部上の使用者は、腰部床板3bにより前方側
に腰を持ち上げられ、寝台からの立上りを補助される。
このようにして足部床板3Cが次第に下降する際、その
端側の一部3dの先端部が部屋等の床面に接すると、こ
の一部3dは自動的に相対的に上方に屈曲するので、実
質的に足部床板3Cの長さが短くなるので、使用者の足
を確実に床面に届かせることができる。また、以上の動
作においては、後述する昇降傾斜機構を同時に適宜に動
作させることができる。
次に、床支持枠2上の床板が水平に支持されている状態
または、適宜に起伏している状態で、第5図(a)に示
すように、床支持枠2が水平状態で最も下方に位置する
状態に於いて、係脱手段A′を動作させて、第一、第二
の駆動リンク43a。
43bを移動させてそれらの係合溝44a、44bを、
第一、第二の駆動腕37a、37bの係合突起45a、
45bと係合する状態とし、この状態で伸縮駆動手段3
3′ を動作させて第三の駆動腕37cを介して駆動軸
35を回動すると、第一第二の駆動リンク43a、43
bにより、第一第三の作動軸34a、34bが同時に逆
回りに回動し、第一、第二の作動腕39a、39bが同
時に回動上昇する。
かかる作動腕39a、39bの回動上昇によ番ハ第一の
押上リンク40aの一端部と、第二の押上リンク40b
の中間部が、夫々の作動腕39a。
39bの回動軌跡に沿って、夫々外側上方に移動すると
共に、第二の押上リンク40bの他端部は支持レール3
6に沿って移動するので、床支持枠2は第5図(b)か
ら(c)のように、第一、第二の押上リンク40a、4
0bにより平行に上昇する。また、伸縮駆動手段33′
 を逆側に動作させて、駆動軸35を上記と逆回りに回
動すると、上述と逆の動作により、床支持枠2は平行に
下降する。そして、第二の押上リンク40bの他端部が
、支持レール36に沿った移動の終点に至ると。
この第二の押上リンク40bは、第二の作動腕39bと
により所定位置に保持され、また第一の押上腕40bは
、当接支持ローラー42が、前記第二の押上リンク40
bに当接して所定の位置に保持され、こうして床支持枠
2は、第5図(a)に示す、平行な昇降状態に於ける最
低位置に至る。
次に、この位置に於いて、いずれか一方何の係脱手段A
′のみを動作させ、例えば図中左側の第一の駆動リンク
43aの係合溝44aのみを対応する第一の駆動腕37
aの係合突起45aと係合する状態とし、この状態で前
述と同様に伸縮駆動手段33′ を動作させて第三の駆
動腕37cを介して駆動軸35を回動すると、第一の駆
動リンク43aにより、第一の作動軸34aのみが回動
して第一の作動腕39aが回動上昇して、第一の押上リ
ンク40aも前述と同様に作動される。一方、第二の押
上リンク40bは、前述したように最低位置に保持され
ているので、床支持枠2は図中左側のみが前記第一の押
上リンク40aにより駆動されて上昇し、図中右側が下
方として傾斜する。
次に前述した第5図(a)に示す状態に於いて、他方側
の係脱手段A″のみを動作させて、図中右側の第二の駆
動リンク43bの係合溝44bのみを対応する第二の駆
動腕37bの係合突起45bと係合する状態とし、この
状態で前述と同様に伸縮駆動手段33′を動作させて第
三の駆動腕37Cを介して駆動軸35を回動すると、第
二の駆動リンク43bにより、第二の作動軸34bのみ
が回動して第二の作動腕39bが回動上昇して、第二の
押上リンク40bも前述と同様に作動され、その他端側
が次第に支持レール36に沿って図中右側に移動する。
一方、第一の駆動リンク43aは、第一の駆動腕37a
に対してフリーの状態となるので、第一の連動腕38a
を介して作動軸34aを保持することはなく、従って当
接支持ローラー42は、第二の押上リンク40bの図中
右側の移動につれて、次第にこの第二の押上リンク40
bに沿って下降し、終には基台枠1の適所、支持レール
36の上側に当接して、最低位置とじて支持される。こ
のような動作により、床支持枠2は図中右側のみが前記
第二の押上リンク40bにより駆動されて上昇し、図中
左側が下方として傾斜する。
以上の動作に於いて、駆動軸35には第四の駆動腕37
dを設けて、これにより床支持枠2の上昇方向に付勢す
るばね46を設けているので、該床支持枠2の上昇に際
しての駆動源の能力を低減することができると共に、下
降の際の衝撃防止作用を付加することができる 尚、上述したように、本発明に於いては、前述の係脱手
段に、電動機等の駆動源を用いるのであるが、この駆動
源は、単に前述した第一、第二の駆動リンクを移動させ
れば良く、大きな荷重に抗する必要がないので、小能力
のもので良く、従って機構の所要空間や重量並びに価格
等の上昇には余り影響がない。
(発明の効果) 本発明は以上の通り、床支持枠上に支持した背部床板、
腰部床板及び足部床板を起伏させて、床板上の使用者の
姿勢を、ギャッチ姿勢、リクライニング姿勢または椅子
状姿勢とし得る機能と、腰部床板を必要に応じて持ち上
げて、寝台からの使用者の立上りの補助を行える機能と
共に、床の水平昇降機能と、幅方向の両側方向への傾斜
、即ちローリングの機能という数々の機能を一体化して
いるので、長期間仰臥しなければならない使用者用の寝
台として最適であると共に、これらの駆動源は2つとし
、駆動系を最小限として構成しているので、所要空間が
小さく、重量も軽くなり、価格も低下することができる
という効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)、(b)、(c)は本発明の寝台を長手方
向として構成及び動作を概略的に表した側面図、また第
2図、第3図は本発明の寝台を夫々基台枠、床板を除い
て構成を表した説明的斜視図である。また第4図(a)
、(b)、(c)は本発明の一方の要部の構成並びに動
作を長手方向として表した側面図、第5図(a)、(b
)、(c)、(d)、(e)は本発明の他方の要部の構
成並びに動作を幅方向として表した正面図である。また
第6図は係脱手段の一例を表した説明的斜視図である。 符号1・・・基台、2・・・床支持枠、3a・・・背部
床板、3b・・・腰部床板、3c・・足部床板、3d・
・・一部、4・・・第一の支持腕、5・・第二の支持腕
、6・・・支持レール、7・・支持部材、8・・・当接
支持部材、9a。 9b・・・支持部材、10・・・支持リンク、11・・
・長溝、12・・・駆動軸、13・・・第一の作動軸、
14・・・第二の作動軸、15・・・第一の押上腕、1
6・・第一の駆動腕、17・・・第二の駆動腕、18・
・・第三の駆動腕、19・・・押上リンク、20・・・
第一の連動腕、21・・・第一の作動腕、22・・・第
一の駆動リンク、23・・・第二の連動腕、24・・・
第二の押上腕、25・・・当接部、26・・・第二の駆
動リンク、27・・・係合溝、28・・・駆動突起、2
9・・・長溝、30・・・第一の支持リンク、31・・
・第二の支持リンク、32・・・支持部材、33・・・
伸縮駆動手段、A・・・係脱手段。 第5図(企) @5図(b) 2゜ 第5図(e) ア1□、E′lb

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)基台枠と、床支持枠と、該床支持枠上に支持する
    背部床板、腰部床板及び足部床板とから構成し、該背部
    床板は一側を前記床支持枠に回動自在に支持すると共に
    、腰部床板と足部床板は屈曲自在に連結し、この連結位
    置の近傍で、腰部床板側に第一の支持腕、足部床板側に
    第二の支持腕を設けた構成とすると共に、前記床支持枠
    には、背部側の幅方向に駆動軸、足部側の幅方向に第一
    及び第二の作動軸を回動自在に支持し、前記駆動軸には
    第一の押上腕と、第一、第二及び第三の駆動腕を突設し
    、該第一の押上腕の先端部を押上リンクを介して背部床
    板に連結すると共に、前記第一の作動軸には第一の連動
    腕と第一の作動腕を突設し、該第一の連動腕と前記第一
    の駆動腕を第一の駆動リンクで連結すると共に、前記第
    二の作動軸には第二の連動腕と第二の押上腕を突設し、
    該第二の連動腕間と前記第二の駆動腕間に構成する第二
    の駆動リンクは、第二の連動腕に回動自在の連結すると
    共に、第二の駆動腕側には係合溝を設けて、第二の駆動
    腕に設けた駆動突起に係脱自在に構成し、その係脱手段
    を床支持枠に設けると共に、前記第二の押上腕の端部に
    は腰部床板への当接部を設け、前記床支持枠には、背部
    側上方から足部側下方に、長溝を形成した支持レールを
    設け、前記第一の支持腕に一端を回動自在に連結した第
    一の支持リンクの他端側を該長溝に移動自在に支持する
    と共に、前記第一の作動腕の先端部を該第一の支持リン
    クの中間部に回動自在に支持すると共に、前記第二の支
    持腕に一端を連結した第二の支持リンクの他端を、床支
    持枠に設けた支持部材に回動自在に支持し、前記第三の
    駆動腕と床支持枠の支持部材間に伸縮駆動手段を設け、
    該床支持枠は、基台上に昇降傾斜機構を介して支持した
    ことを特徴とする寝台
  2. (2)請求項1の昇降傾斜機構は、基台の長手方向に延
    びる左右側の第一及び第二の作動軸と、中央側の駆動軸
    を回転自在に設けると共に、幅方向の長溝を有する支持
    レールを設け、前記駆動軸には第一、第二及び第三の駆
    動腕を突設すると共に、前記第一及び第二の作動軸には
    夫々連動腕と作動腕を突設し、第一の作動軸の第一の作
    動腕の先端部は、第一の押上リンクの一端部を屈曲自在
    に連結すると共に、該第一の押上リンクの他端部を、前
    記床支持枠に於いて前記第一の作動軸と同一側に回動自
    在に連結すると共に、該床支持枠に於いて、前記第二の
    作動軸と同一側に一端部を回動自在に連結した第二の押
    上リンクの他端部を前記支持レールの長溝に沿って移動
    自在に支持すると共に、前記第二の作動軸の第二の作動
    腕の先端部を該第二の押上リンクの中間部に回動自在に
    連結し、夫々前記第一、第二の駆動腕と第一、第二の連
    動腕間に、第一、第二の駆動リンクを連結する構成とし
    、これらの駆動リンクは、一端側を前記連動腕に回動自
    在に連結し、他端側に駆動溝を形成すると共に、前記駆
    動腕には該駆動溝に係合する駆動突起を設け、これらの
    駆動溝は、前記第一、第二の作動腕を回動上昇する方向
    に前記駆動突起に係合する構成とし、夫々の駆動リンク
    に対応して、夫々の駆動溝を前記駆動突起に係脱自在と
    する係脱手段を基台に設け、前記第三の駆動腕と基台の
    支持部材間に伸縮駆動手段を設けたことを特徴とする寝
  3. (3)請求項1または2の係脱手段は、直線的駆動機構
    により第二の駆動リンクを移動させて、その係合溝を、
    第二の駆動腕の係合突起と係合する状態と係合しない状
    態に移行する構成としたことを特徴とする寝台
  4. (4)請求項3の直線的駆動機構は、ソレノイドを駆動
    源として直線的変位を行わせる構成としたことを特徴と
    する寝台
  5. (5)請求項3の直線的駆動機構は、小型モーター駆動
    のねじシャフト式伸縮駆動機構により構成したことを特
    徴とする寝台
  6. (6)請求項3の直線的駆動機構は、コントロールケー
    ブル機構により構成したことを特徴とする寝台
  7. (7)請求項1または2の伸縮駆動手段は、モーター駆
    動のねじシャフト式伸縮駆動杆としたことを特徴とする
    寝台
  8. (8)請求項1の足部床板は、端側の一部を、上方にの
    み回動自在に連結支持していることを特徴とする寝台
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5929553A (en) * 1996-03-26 1999-07-27 Nec Corporation Piezoelectric transformer
KR100808740B1 (ko) * 2000-03-14 2008-02-29 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 챔버 세정 장치

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KR100808740B1 (ko) * 2000-03-14 2008-02-29 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 챔버 세정 장치

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