JPH0468552A - 半導体装置の方向判別装置 - Google Patents
半導体装置の方向判別装置Info
- Publication number
- JPH0468552A JPH0468552A JP2183757A JP18375790A JPH0468552A JP H0468552 A JPH0468552 A JP H0468552A JP 2183757 A JP2183757 A JP 2183757A JP 18375790 A JP18375790 A JP 18375790A JP H0468552 A JPH0468552 A JP H0468552A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- brightness
- ejector pin
- lightness
- inspection
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- Pending
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は半導体装置の方向判別装置に関するものであ
る。
る。
第８図は従来の半導体装置の方向判別装置の構成を示す
ブロック図で、図において（１）は光電変換装置、Ｏｅ
は映像信号を２ （ｆｉ化するための映像信号しきい値
決定部、０ηは２値化画像決定部、（２ａ）（２ｂ）は
半導体装置のイジェクタピン跡部とモールド部の位置を
記憶する検査範囲設定部（１８ａ） （１８ｂ）は検査
範囲設定部（２）で指定された範囲の白点数をカウント
する白点数カウント部、（至）は複数の白点数を比較す
る使途点数比較部、（５）は検査の判定基準である検査
判定値設定部、（６）は白点数比較部（至）の出力と検
査判定値設定部（５）の値を比較する検査結果判定部で
ある。第９図において（７）はイジエクタビン跡、（８
）はモールド部、叩は正常な方向の半導体装置である。
ブロック図で、図において（１）は光電変換装置、Ｏｅ
は映像信号を２ （ｆｉ化するための映像信号しきい値
決定部、０ηは２値化画像決定部、（２ａ）（２ｂ）は
半導体装置のイジェクタピン跡部とモールド部の位置を
記憶する検査範囲設定部（１８ａ） （１８ｂ）は検査
範囲設定部（２）で指定された範囲の白点数をカウント
する白点数カウント部、（至）は複数の白点数を比較す
る使途点数比較部、（５）は検査の判定基準である検査
判定値設定部、（６）は白点数比較部（至）の出力と検
査判定値設定部（５）の値を比較する検査結果判定部で
ある。第９図において（７）はイジエクタビン跡、（８
）はモールド部、叩は正常な方向の半導体装置である。
第１０図において、（９）は照明が明るい場合の映像信
号、Ｑｌは照明が暗い場合の映像信号、Ｑｌは検査判定
値設定部（５）で設定された映像信号しきい値である。
号、Ｑｌは照明が暗い場合の映像信号、Ｑｌは検査判定
値設定部（５）で設定された映像信号しきい値である。
第１１図において、α湯は異常な方向の半導体装置であ
る。
る。
次に動作について説明する。第６図に示すように照明装
置側を半導体装置面の斜め方向より照明し、モールド部
（８）を光電変換装置ｆｉ＋で撮影し、その画像を判定
装置αりにて取り込む。以後はマイクロコンピュータの
処理になるので第１３図のフローチャートに従って説明
する。判定装置０りに取り込まれた画像より、映像信号
しきい値Ｏｓによって２値化画像が決定される。次にイ
ジェクタピン跡（７）の検出範囲を決定し、その範囲の
白点数をカウントする。そして、モールド部（８）の検
出範囲を決定し、その範囲の白点数をカウントする。こ
の部分と図にしたものが第９図から第１２図までである
。第９図は正常な方向の半導体装置の場合でＡＢ点間は
イジェクタピン跡部、Ｃ−Ｄ点間はモールド部である。
置側を半導体装置面の斜め方向より照明し、モールド部
（８）を光電変換装置ｆｉ＋で撮影し、その画像を判定
装置αりにて取り込む。以後はマイクロコンピュータの
処理になるので第１３図のフローチャートに従って説明
する。判定装置０りに取り込まれた画像より、映像信号
しきい値Ｏｓによって２値化画像が決定される。次にイ
ジェクタピン跡（７）の検出範囲を決定し、その範囲の
白点数をカウントする。そして、モールド部（８）の検
出範囲を決定し、その範囲の白点数をカウントする。こ
の部分と図にしたものが第９図から第１２図までである
。第９図は正常な方向の半導体装置の場合でＡＢ点間は
イジェクタピン跡部、Ｃ−Ｄ点間はモールド部である。
この部分を映像信号に変換したものが第１０図であり、
照明が明るい場合の映像信号（９）を映像信号しきい値
で二値化すると、ＡＢのイジェクタピン跡部は早く、Ｃ
−Ｄ点間のモールド部は白く写る。第１１図は異常な方
向の半導体装置の場合でＡ−Ｂ点間、Ｃ−Ｄ点間ともモ
ールド部の位置である。この部分を映像信号に変換した
ものが第１２回であり、Ａ−Ｂ点間とＣＤ点間で明度差
は第１０図のものに比較して非常に少ない。これらＡ−
Ｂ点間とＣ−Ｄ点間の２種類の白点数の差を求め、その
数値が検査判定値内かどうかで良・不良の判定を行って
いた。第１３図は上記に示した半導体装置の方向判別装
置の動作を示すフローチャートである。
照明が明るい場合の映像信号（９）を映像信号しきい値
で二値化すると、ＡＢのイジェクタピン跡部は早く、Ｃ
−Ｄ点間のモールド部は白く写る。第１１図は異常な方
向の半導体装置の場合でＡ−Ｂ点間、Ｃ−Ｄ点間ともモ
ールド部の位置である。この部分を映像信号に変換した
ものが第１２回であり、Ａ−Ｂ点間とＣＤ点間で明度差
は第１０図のものに比較して非常に少ない。これらＡ−
Ｂ点間とＣ−Ｄ点間の２種類の白点数の差を求め、その
数値が検査判定値内かどうかで良・不良の判定を行って
いた。第１３図は上記に示した半導体装置の方向判別装
置の動作を示すフローチャートである。
従来の半導体装置の方向判別装置は以上のように構成さ
れていたので、同一のバ・ノケージでも全体の明るさが
変化した場合には検査のしきい値を変更することが必要
であり、変更しない場合には検査結果が誤判定されるこ
とがあり、映像信号側を照明が明るい場合の映像信号（
９）の時に正常に検査できるように設定して置くと、仮
に照明の劣化によって映像信号が映像信号０Φのように
なった場合には誤判定されるという問題点があった。
れていたので、同一のバ・ノケージでも全体の明るさが
変化した場合には検査のしきい値を変更することが必要
であり、変更しない場合には検査結果が誤判定されるこ
とがあり、映像信号側を照明が明るい場合の映像信号（
９）の時に正常に検査できるように設定して置くと、仮
に照明の劣化によって映像信号が映像信号０Φのように
なった場合には誤判定されるという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、同一のパンケージにおいて全体の明るさが変
化した場合や個々の半導体装置でイジェクタピン跡部、
モールド部の濃淡がわずかに変化した場合でも正常に方
向判別を行うことのできる半導体装置の方向判別装置を
得ることを目的とする。
たもので、同一のパンケージにおいて全体の明るさが変
化した場合や個々の半導体装置でイジェクタピン跡部、
モールド部の濃淡がわずかに変化した場合でも正常に方
向判別を行うことのできる半導体装置の方向判別装置を
得ることを目的とする。
この発明に係る半導体装置の方向判別装置は、イジェク
タピン跡部とモールド部の明度差と検査しきい値を比較
するようにしたものである。
タピン跡部とモールド部の明度差と検査しきい値を比較
するようにしたものである。
この発明における半導体装置の方向判別装置は、イジェ
クタピン跡部とモールド部の相対的な明度によって判定
する。
クタピン跡部とモールド部の相対的な明度によって判定
する。
以下、この発明の一実施例を同について説明する。第１
図において、（１）は光電変換装置、（２）は半導体装
置のイジェクタピン跡部とモールド部の位置を記憶する
検査範囲設定部、（３）は検査範囲設定部（２）で指定
された範囲の明度を検出する明度検出部、（４）は複数
の明度検出部（３）の明度を比較する明度比較部、（５
）は検査の判定基準である検査判定値設定部、（６）は
明度比較部（４）の出力と検査判定値設定部（５）の値
を比較する検査結果判定部である。第２図において、（
７）はイジェクタピン跡、（８）はモールド部、側は正
常な方向の半導体装置である。第３図において、（９）
は照明が明るい場合の映像信号、０ωは照明が暗い場合
の映像信号、ａｔ＋はイジェクタピン跡部とモールド部
の明度差である。第４図において、０３は異常な方向の
半導体装置である。第６図において、（ロ）は照明装置
、αりは判定装置である。
図において、（１）は光電変換装置、（２）は半導体装
置のイジェクタピン跡部とモールド部の位置を記憶する
検査範囲設定部、（３）は検査範囲設定部（２）で指定
された範囲の明度を検出する明度検出部、（４）は複数
の明度検出部（３）の明度を比較する明度比較部、（５
）は検査の判定基準である検査判定値設定部、（６）は
明度比較部（４）の出力と検査判定値設定部（５）の値
を比較する検査結果判定部である。第２図において、（
７）はイジェクタピン跡、（８）はモールド部、側は正
常な方向の半導体装置である。第３図において、（９）
は照明が明るい場合の映像信号、０ωは照明が暗い場合
の映像信号、ａｔ＋はイジェクタピン跡部とモールド部
の明度差である。第４図において、０３は異常な方向の
半導体装置である。第６図において、（ロ）は照明装置
、αりは判定装置である。
第６図に示すように、照明装置ａｔ＋を半導体装置ωの
斜め方向より照明し、モールド部（８）を光電変換装置
（１１で撮影し、その画像を判定装置０５１にて取り込
む。以後はマイクロコンピュータの処理（Ｚ するので
第７図のフローチャートに従って説明する。
斜め方向より照明し、モールド部（８）を光電変換装置
（１１で撮影し、その画像を判定装置０５１にて取り込
む。以後はマイクロコンピュータの処理（Ｚ するので
第７図のフローチャートに従って説明する。
判定装置αωに取り込まれた画像よりイジェクタピン跡
部の明度検出範囲を設定し、明度を検出する。
部の明度検出範囲を設定し、明度を検出する。
次に、モールド部の明度検出範囲を設定し、明度を検出
する。この部分を図にしたものが第２図から第５図まで
である。第２図は正常な方向の半導体装置の場合で、Ａ
−Ｂ点間はイジェクタピン跡部、Ｃ−Ｄ点間はモールド
部である。この部分を映像信号に変換したものが第３図
であり、Ａ−Ｂ点間は暗く写るためＣ−Ｄ点間よりも明
度は低くなっているため、明度差Ｑｌｌが生じている。
する。この部分を図にしたものが第２図から第５図まで
である。第２図は正常な方向の半導体装置の場合で、Ａ
−Ｂ点間はイジェクタピン跡部、Ｃ−Ｄ点間はモールド
部である。この部分を映像信号に変換したものが第３図
であり、Ａ−Ｂ点間は暗く写るためＣ−Ｄ点間よりも明
度は低くなっているため、明度差Ｑｌｌが生じている。
逆に、第４図の異常な方向の場合には、Ａ−Ｂ点間、Ｃ
−Ｄ点間ともモールド面のため、第５図の映像信号には
第３図はど映像信号の明度差が表われない。
−Ｄ点間ともモールド面のため、第５図の映像信号には
第３図はど映像信号の明度差が表われない。
この明度差αυが予め設定された値以上かどうか判断し
、許容範囲内であれば良判定、そうでなければ不良判定
とする。
、許容範囲内であれば良判定、そうでなければ不良判定
とする。
なお、上記実施例では半導体装置の方向判別に関して述
べたが、同様の方法で半導体装置の表裏判別等にも適用
可能で同様の効果が得られる。
べたが、同様の方法で半導体装置の表裏判別等にも適用
可能で同様の効果が得られる。
以上のようにこの発明によれば、半導体装置のイジェク
タピン跡の明度とモールド面の明度の相対的な明度差で
方向判別を行うようにしたので、精度のよい検査ができ
るという効果がある。
タピン跡の明度とモールド面の明度の相対的な明度差で
方向判別を行うようにしたので、精度のよい検査ができ
るという効果がある。
第１図はこの発明の一実施例である半導体装置の方向判
別装置のブロック図、第２回は正常な方向の半導体装置
の場合の図、第３図は正常な方向の半導体装置のイジェ
クタピン跡部とモールド部の映像信号波形図、第４図は
異常な方向の半導体装置の場合の図、第５図は異常な方
向の半導体装置のモールド部の映像信号波形図、第６図
はこの発明の一実施例である判定装置の斜視図、第７図
は第１図の半導体装置の方向判別装置の動作を示すフロ
ーチャート、第８図は従来の半導体装置の方向判別装置
のブロック図、第９図は正常な方向の半導体装置の場合
の図、第１Ｏ図は正常な方向の半導体装置のイジェクタ
ピン跡部とモールド部の映像信号波形図、第１１図は異
常な方向の半導体装置の場合の図、第１２図は異常な方
向の半導体装置のイジェクタピン跡部とモールド部の映
像信号波形図、第１３図は第８図の半導体装置の方向判
別装置の動作を示すフローチャートである。 図において、（１，１は光電変換装置、（２）は検査範
囲設定部、（３ａ） （３ｂ）は明度検出部、（４）は
明度比較部、（５）は検査判定値設定部、（６）は検査
結果判定部を示す。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人 大 岩 増 雄 第１図 １尤’ｔ ｕ岬１ ２ａ、２ｂ 才炙査畢孔囲２の定番ｐ３Ｌ０Ｌ、３ｂ
ｌ！月／Ｌｉｉ、ｔ、ＩＰ４ 日月／１ｐｔＪ′ｊ
−１巨 ５捜査判定４村２足秤 を検を（ＳＬ刊定秤 第２図 ８ モールド秤 １２手４｛、！−装！（王ｆ方匈） ２Ｂ犬ブ東４２号（明ろ１）↓易＠−）ｔｏ吹淳１評（
晴−・場合） ｌＩ 明度先 １５：利赴装！ 第４図 Ａ虱 Ｂ、色 Ｃ，乞 り、色、 イＬＬ 第１１図 第１２図 第９図 第１０図 手 続 補 正 １園 （自発） ＆ 補正の内容 （１）明細書第８頁第１８行の「分と図にしたもの」を
ｒ分を図にしたもの」と訂正する。 以 上 発明の名称 半導体装置の方向判別装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号名
称 （６０１）三菱電機株式会社代表者志岐守哉 ４、代理人 住所 氏 名 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三菱電機株式会社内 （７３７５）弁理士大岩増雄
別装置のブロック図、第２回は正常な方向の半導体装置
の場合の図、第３図は正常な方向の半導体装置のイジェ
クタピン跡部とモールド部の映像信号波形図、第４図は
異常な方向の半導体装置の場合の図、第５図は異常な方
向の半導体装置のモールド部の映像信号波形図、第６図
はこの発明の一実施例である判定装置の斜視図、第７図
は第１図の半導体装置の方向判別装置の動作を示すフロ
ーチャート、第８図は従来の半導体装置の方向判別装置
のブロック図、第９図は正常な方向の半導体装置の場合
の図、第１Ｏ図は正常な方向の半導体装置のイジェクタ
ピン跡部とモールド部の映像信号波形図、第１１図は異
常な方向の半導体装置の場合の図、第１２図は異常な方
向の半導体装置のイジェクタピン跡部とモールド部の映
像信号波形図、第１３図は第８図の半導体装置の方向判
別装置の動作を示すフローチャートである。 図において、（１，１は光電変換装置、（２）は検査範
囲設定部、（３ａ） （３ｂ）は明度検出部、（４）は
明度比較部、（５）は検査判定値設定部、（６）は検査
結果判定部を示す。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人 大 岩 増 雄 第１図 １尤’ｔ ｕ岬１ ２ａ、２ｂ 才炙査畢孔囲２の定番ｐ３Ｌ０Ｌ、３ｂ
ｌ！月／Ｌｉｉ、ｔ、ＩＰ４ 日月／１ｐｔＪ′ｊ
−１巨 ５捜査判定４村２足秤 を検を（ＳＬ刊定秤 第２図 ８ モールド秤 １２手４｛、！−装！（王ｆ方匈） ２Ｂ犬ブ東４２号（明ろ１）↓易＠−）ｔｏ吹淳１評（
晴−・場合） ｌＩ 明度先 １５：利赴装！ 第４図 Ａ虱 Ｂ、色 Ｃ，乞 り、色、 イＬＬ 第１１図 第１２図 第９図 第１０図 手 続 補 正 １園 （自発） ＆ 補正の内容 （１）明細書第８頁第１８行の「分と図にしたもの」を
ｒ分を図にしたもの」と訂正する。 以 上 発明の名称 半導体装置の方向判別装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号名
称 （６０１）三菱電機株式会社代表者志岐守哉 ４、代理人 住所 氏 名 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三菱電機株式会社内 （７３７５）弁理士大岩増雄
Claims (1)
- 半導体装置の表面を斜方から照明する照明手段、この
照明手段により照らされた半導体装置の表面及び表面の
イジェクタピン跡の像を撮像し電気信号を出力する光電
変換手段、半導体装置が正常な方向と異常な方向の時に
イジェクタピン跡とモールド部に切り換わるように配置
されたイジェクタピン跡検査範囲といずれの場合にもモ
ールド部又はいずれの場合にもイジェクタピン跡に配置
された検査範囲を設定する検査範囲設定手段、前記光電
変換手段より出力された電気信号から前記検査範囲設定
手段で設定された検査範囲の明度を検出するための明度
検出手段、この明度検出手段で得られ複数の明度を比較
するための明度比較手段、この明度比較手段で出力され
た値から方向判別を行うための判定値を設定する検査判
定値設定手段、前記明度比較手段の出力と前記検査判定
値設定手段の出力を比較し、検査結果を判定するための
検査結果判定手段を備えたことを特徴とする半導体装置
の方向判別装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2183757A JPH0468552A (ja) | 1990-07-09 | 1990-07-09 | 半導体装置の方向判別装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2183757A JPH0468552A (ja) | 1990-07-09 | 1990-07-09 | 半導体装置の方向判別装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0468552A true JPH0468552A (ja) | 1992-03-04 |
Family
ID=16141448
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2183757A Pending JPH0468552A (ja) | 1990-07-09 | 1990-07-09 | 半導体装置の方向判別装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0468552A (ja) |
-
1990
- 1990-07-09 JP JP2183757A patent/JPH0468552A/ja active Pending
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