JPH0468625B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0468625B2 JPH0468625B2 JP61056699A JP5669986A JPH0468625B2 JP H0468625 B2 JPH0468625 B2 JP H0468625B2 JP 61056699 A JP61056699 A JP 61056699A JP 5669986 A JP5669986 A JP 5669986A JP H0468625 B2 JPH0468625 B2 JP H0468625B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- positioning pin
- exposure
- base
- printed wiring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0073—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces
- H05K3/0082—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces characterised by the exposure method of radiation-sensitive masks
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、プリント配線基板の製造工程で使用
される露光用フイルムに露光時のフイルム位置決
めに必要なピン穴を形成するための方法に関する
ものである。
される露光用フイルムに露光時のフイルム位置決
めに必要なピン穴を形成するための方法に関する
ものである。
（従来の技術）
従来、特開昭60−250689号公報に示される露光
装置では、第５図に示されるように液状フオトレ
ジスト１１を塗布されたプリント配線基板１２を
定盤１３上に位置決めし、一方、ガラス枠１４に
より支持されたガラス板１５の下面に露光用フイ
ルム１６を位置決めして真空吸着し、前記液状フ
オトレジスト１１と前記フイルム１６との間に僅
かな間隙を保つた状態で、前記ガラス枠１４上の
光源からガラス板１５およびフイルム１６を通し
て前記基板１２上の液状フオトレジスト１１に平
行光線を照射し、このフオトレジスト１１を露光
処理するようにしている。
装置では、第５図に示されるように液状フオトレ
ジスト１１を塗布されたプリント配線基板１２を
定盤１３上に位置決めし、一方、ガラス枠１４に
より支持されたガラス板１５の下面に露光用フイ
ルム１６を位置決めして真空吸着し、前記液状フ
オトレジスト１１と前記フイルム１６との間に僅
かな間隙を保つた状態で、前記ガラス枠１４上の
光源からガラス板１５およびフイルム１６を通し
て前記基板１２上の液状フオトレジスト１１に平
行光線を照射し、このフオトレジスト１１を露光
処理するようにしている。
このような露光装置において、前記プリント配
線基板１２は、その基板位置決めピン穴を前記定
盤上の図示しない基板位置決めピンに嵌合して位
置決めし、前記露光用フイルム１６は、そのフイ
ルム位置決めピン穴を前記ガラス枠１４の図示し
ないフイルム位置決めピンに嵌合して位置決め
し、そして前記定盤１３とガラス枠１４とを図示
しない位置決めピンにより位置決めすることによ
り、プリント配線基板１２と露光用フイルム１６
とを位置決めするようにしている。
線基板１２は、その基板位置決めピン穴を前記定
盤上の図示しない基板位置決めピンに嵌合して位
置決めし、前記露光用フイルム１６は、そのフイ
ルム位置決めピン穴を前記ガラス枠１４の図示し
ないフイルム位置決めピンに嵌合して位置決め
し、そして前記定盤１３とガラス枠１４とを図示
しない位置決めピンにより位置決めすることによ
り、プリント配線基板１２と露光用フイルム１６
とを位置決めするようにしている。
したがつて前記露光用フイルム１６等の位置決
めピン穴を正確に設けないと、プリント配線基板
１２と露光用フイルム１６との間に位置ずれが生
じ、基板上に精度の高いパターン面を形成できな
い。
めピン穴を正確に設けないと、プリント配線基板
１２と露光用フイルム１６との間に位置ずれが生
じ、基板上に精度の高いパターン面を形成できな
い。
そこで前記露光用フイルム１６に基板１２との
関係で正確なフイルム位置決めピン穴をあらかじ
め穿設する必要があるが、従来は、前記露光用フ
イルム１６の基準点をプレス機械の基準点に位置
合せして、このプレス機械で前記フイルム位置決
めピン穴を直接穿設している。
関係で正確なフイルム位置決めピン穴をあらかじ
め穿設する必要があるが、従来は、前記露光用フ
イルム１６の基準点をプレス機械の基準点に位置
合せして、このプレス機械で前記フイルム位置決
めピン穴を直接穿設している。
（発明が解決しようとする問題点）
ところが、このプレス機械により前記フイルム
１６に前記位置決めピン穴を直接穿設する方法で
は、そのフイルム位置決めピン穴を基板１２との
関係で正確に設けることが困難であり、前記露光
時にフイルム１６と基板１２との間で位置ずれが
生じ、プリント配線基板に望む通りのパターン面
を形成し難い。
１６に前記位置決めピン穴を直接穿設する方法で
は、そのフイルム位置決めピン穴を基板１２との
関係で正確に設けることが困難であり、前記露光
時にフイルム１６と基板１２との間で位置ずれが
生じ、プリント配線基板に望む通りのパターン面
を形成し難い。
本発明の目的は、露光用フイルムにプリント配
線基板との関係で正確なフイルム位置決めピン穴
をあらかじめ穿設する方法を提供することにあ
る。
線基板との関係で正確なフイルム位置決めピン穴
をあらかじめ穿設する方法を提供することにあ
る。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、プリント配線基板１２の製造工程で
使用する露光用フイルム１６にフイルム位置決め
ピン穴を形成する方法において、あらかじめ露光
用フイルム１６に露光時に使用されるフイルム位
置決めピン穴よりやや大径の仮穴５１を形成して
おき、ベース２４上にプリント配線基板１２を位
置決めし、このプリント配線基板１２上に前記露
光用フイルム１６を載せるとともに、前記ベース
２４上のフイルム位置決めピン２５に前記露光用
フイルム１６の仮穴５１を遊嵌し、前記ベース２
４上でプリント配線基板１２に対し露光用フイル
ム１６を移動調整して位置決めし、このプリント
配線基板１２と露光用フイルム１６とを固定し、
前記ベース２４上のフイルム位置決めピン２５に
正確な穴径のフイルム位置決めピン穴５３が形成
された位置決めシート５２を嵌合し、この位置決
めシート５２を前記露光用フイルム１６の仮穴５
１の周辺に貼着することにより、基板露光用フイ
ルムの位置決めピン穴５３を形成するものであ
る。
使用する露光用フイルム１６にフイルム位置決め
ピン穴を形成する方法において、あらかじめ露光
用フイルム１６に露光時に使用されるフイルム位
置決めピン穴よりやや大径の仮穴５１を形成して
おき、ベース２４上にプリント配線基板１２を位
置決めし、このプリント配線基板１２上に前記露
光用フイルム１６を載せるとともに、前記ベース
２４上のフイルム位置決めピン２５に前記露光用
フイルム１６の仮穴５１を遊嵌し、前記ベース２
４上でプリント配線基板１２に対し露光用フイル
ム１６を移動調整して位置決めし、このプリント
配線基板１２と露光用フイルム１６とを固定し、
前記ベース２４上のフイルム位置決めピン２５に
正確な穴径のフイルム位置決めピン穴５３が形成
された位置決めシート５２を嵌合し、この位置決
めシート５２を前記露光用フイルム１６の仮穴５
１の周辺に貼着することにより、基板露光用フイ
ルムの位置決めピン穴５３を形成するものであ
る。
（作用）
本発明は、露光用フイルム１６にあらかじめ形
成された仮穴５１が大径であるから、ベース２４
上のフイルム位置決めピン２５に前記仮穴５１を
遊嵌した状態で、ベース２４上のプリント配線基
板１２に対し露光用フイルム１６をずらして両者
間の正確な位置決めを行い、この位置決め調整後
に前記基板１２とフイルム１６とを固定して、位
置決めシート５２の正式なフイルム位置決めピン
穴５３を前記ベース２４上のフイルム位置決めピ
ン２５に嵌合しながら、この位置決めシート５２
を前記フイルム１６の仮穴５１の周辺に貼着し
て、基板１２との関係で露光用フイルム１６の正
確な位置にフイルム位置決めピン穴５３を形成す
る。
成された仮穴５１が大径であるから、ベース２４
上のフイルム位置決めピン２５に前記仮穴５１を
遊嵌した状態で、ベース２４上のプリント配線基
板１２に対し露光用フイルム１６をずらして両者
間の正確な位置決めを行い、この位置決め調整後
に前記基板１２とフイルム１６とを固定して、位
置決めシート５２の正式なフイルム位置決めピン
穴５３を前記ベース２４上のフイルム位置決めピ
ン２５に嵌合しながら、この位置決めシート５２
を前記フイルム１６の仮穴５１の周辺に貼着し
て、基板１２との関係で露光用フイルム１６の正
確な位置にフイルム位置決めピン穴５３を形成す
る。
（実施例）
以下、本発明を図面に示される実施例を参照し
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
第３図は本発明方法を実施するための装置であ
り、フレーム２１上の台２２上に支持棒２３を介
してベース２４が取付けられ、このベース２４上
に前記露光用フイルム１６を位置決めするための
２個のフイルム位置決めピン２５が設けられ、ま
たこのベース２４には前記プリント配線基板１２
を位置決めするための２個の基板位置決めピン２
６がベース２４の内部から上側に上下動自在に設
けられ、さらにベース２４の２箇所に切欠部２７
が設けられ、この各切欠部２７に前記ベース２４
上のプリント配線基板１２と露光用フイルム１６
とを固定する挟圧機構２８が設けられている。前
記ベース２４には多数の基板吸着穴２９が設けら
れ、この各吸着穴２９は前記フレーム２１内の真
空ポンプ３０に接続され、この多数の吸着穴２９
の負圧によつてプリント配線基板１２がベース２
４上に吸着される。
り、フレーム２１上の台２２上に支持棒２３を介
してベース２４が取付けられ、このベース２４上
に前記露光用フイルム１６を位置決めするための
２個のフイルム位置決めピン２５が設けられ、ま
たこのベース２４には前記プリント配線基板１２
を位置決めするための２個の基板位置決めピン２
６がベース２４の内部から上側に上下動自在に設
けられ、さらにベース２４の２箇所に切欠部２７
が設けられ、この各切欠部２７に前記ベース２４
上のプリント配線基板１２と露光用フイルム１６
とを固定する挟圧機構２８が設けられている。前
記ベース２４には多数の基板吸着穴２９が設けら
れ、この各吸着穴２９は前記フレーム２１内の真
空ポンプ３０に接続され、この多数の吸着穴２９
の負圧によつてプリント配線基板１２がベース２
４上に吸着される。
第４図に示されるように前記基板位置決めピン
２６は、前記ベース２４に穿設された孔３５内に
上下動自在に嵌合され、ベース２４の下面に取付
板３６を介して取付けられたエアシリンダ３７の
ピストンロツド３８に接続され、このエアシリン
ダ３７により前記孔３５内に下降されるとともに
ベース２４上に上昇され、上昇したときに先端の
テーパー部２６ａがプリント配線基板１２の基板
位置決めピン穴３９に嵌合され、ベース２４上で
のプリント配線基板１２の正確な位置決めがなさ
れる。
２６は、前記ベース２４に穿設された孔３５内に
上下動自在に嵌合され、ベース２４の下面に取付
板３６を介して取付けられたエアシリンダ３７の
ピストンロツド３８に接続され、このエアシリン
ダ３７により前記孔３５内に下降されるとともに
ベース２４上に上昇され、上昇したときに先端の
テーパー部２６ａがプリント配線基板１２の基板
位置決めピン穴３９に嵌合され、ベース２４上で
のプリント配線基板１２の正確な位置決めがなさ
れる。
また前記挟圧機構２８は、ベース２４の下面に
取付板４１を介してエアシリンダ４２が取付けら
れ、このシリンダ４２のピストンロツド４３の上
端に押え板４４が接続され、さらにこの押え板４
４に取付けられたガイドロツド４５が前記取付板
４１に上下動自在に嵌合されたものである。
取付板４１を介してエアシリンダ４２が取付けら
れ、このシリンダ４２のピストンロツド４３の上
端に押え板４４が接続され、さらにこの押え板４
４に取付けられたガイドロツド４５が前記取付板
４１に上下動自在に嵌合されたものである。
そうして、前記シリンダ３７により基板位置決
めピン２６が下降されてから、前記シリンダ４２
により前記押え板４４が下降され、この押え板４
４によりプリント配線基板１２および露光用フイ
ルム１６の両方がベース２４上に挟圧固定され
る。
めピン２６が下降されてから、前記シリンダ４２
により前記押え板４４が下降され、この押え板４
４によりプリント配線基板１２および露光用フイ
ルム１６の両方がベース２４上に挟圧固定され
る。
第２図に示されるように前記露光用フイルム１
６には、露光時に使用される高精度のフイルム位
置決めピン穴よりやや大径の仮穴５１が形成さ
れ、この仮穴５１が前記ベース２４上のフイルム
位置決めピン２５に遊嵌される。さらにこの露光
用フイルム１６の仮穴５１の周辺に位置決めシー
ト５２が貼着されている。この位置決めシート５
２には前記ベース２４上のフイルム位置決めピン
２５に嵌合される正確な穴径のフイルム位置決め
ピン穴５３が形成されている。第１図に示される
ように前記位置決めシート５２は前記ベース２４
上のフイルム位置決めピン２５に対応する２箇所
に設けられている。前記位置決めシート５２は露
光用フイルム１６と同じポリエステルフイルム等
を利用する。
６には、露光時に使用される高精度のフイルム位
置決めピン穴よりやや大径の仮穴５１が形成さ
れ、この仮穴５１が前記ベース２４上のフイルム
位置決めピン２５に遊嵌される。さらにこの露光
用フイルム１６の仮穴５１の周辺に位置決めシー
ト５２が貼着されている。この位置決めシート５
２には前記ベース２４上のフイルム位置決めピン
２５に嵌合される正確な穴径のフイルム位置決め
ピン穴５３が形成されている。第１図に示される
ように前記位置決めシート５２は前記ベース２４
上のフイルム位置決めピン２５に対応する２箇所
に設けられている。前記位置決めシート５２は露
光用フイルム１６と同じポリエステルフイルム等
を利用する。
次に、この実施例の作用を説明する。
あらかじめ露光用フイルム１６に露光時に使用
されるフイルム位置決めピン穴よりやや大径の仮
穴５１を形成しておく。この仮穴５１の穿設には
高い精度が要求されない。
されるフイルム位置決めピン穴よりやや大径の仮
穴５１を形成しておく。この仮穴５１の穿設には
高い精度が要求されない。
そして先ずベース２４上にプリント配線基板１
２を位置決めする。そのとき基板１２は、その位
置決めピン穴３９に前記シリンダ３７にて上昇さ
れた基板位置決めピン２６が嵌合されて位置決め
されるとともに、前記基板吸着穴２９の真空吸着
作用によりベース２４上に固定される。
２を位置決めする。そのとき基板１２は、その位
置決めピン穴３９に前記シリンダ３７にて上昇さ
れた基板位置決めピン２６が嵌合されて位置決め
されるとともに、前記基板吸着穴２９の真空吸着
作用によりベース２４上に固定される。
次に前記プリント配線基板１２上に前記露光用
フイルム１６を載せるとともに、前記ベース２４
上のフイルム位置決めピン２５に前記露光用フイ
ルム１６の仮穴５１を遊嵌する。
フイルム１６を載せるとともに、前記ベース２４
上のフイルム位置決めピン２５に前記露光用フイ
ルム１６の仮穴５１を遊嵌する。
この仮穴５１とフイルム位置決めピン２５の周
面との間には隙間があるから、前記ベース２４上
でプリント配線基板１２に対し露光用フイルム１
６を移動調整して位置決めする。このとき透明な
フイルム１６を透視しながらプリント配線基板１
２の基準点とフイルム１６の基準点とを合致させ
るように手作業でフイルム１６をずらして調整す
る。
面との間には隙間があるから、前記ベース２４上
でプリント配線基板１２に対し露光用フイルム１
６を移動調整して位置決めする。このとき透明な
フイルム１６を透視しながらプリント配線基板１
２の基準点とフイルム１６の基準点とを合致させ
るように手作業でフイルム１６をずらして調整す
る。
次に前記シリンダ４２により押え板４４を下げ
て、この押え板４４によりプリント配線基板１２
と露光用フイルム１６とを固定する。このとき前
記基板位置決めピン２６はベース２４内に下げ
る。
て、この押え板４４によりプリント配線基板１２
と露光用フイルム１６とを固定する。このとき前
記基板位置決めピン２６はベース２４内に下げ
る。
次に前記ベース２４上のフイルム位置決めピン
２５に位置決めシート５２に形成された正確な穴
径のフイルム位置決めピン穴５３を嵌合しなが
ら、この位置決めシート５２を前記露光用フイル
ム１６の仮穴５１の周辺に接着剤にて貼着するこ
とにより、プリント配線基板１２の製造工程で使
用する基板露光用フイルム１６にフイルム位置決
めピン穴５３を形成する。
２５に位置決めシート５２に形成された正確な穴
径のフイルム位置決めピン穴５３を嵌合しなが
ら、この位置決めシート５２を前記露光用フイル
ム１６の仮穴５１の周辺に接着剤にて貼着するこ
とにより、プリント配線基板１２の製造工程で使
用する基板露光用フイルム１６にフイルム位置決
めピン穴５３を形成する。
本発明によれば、あらかじめ露光用フイルムに
フイルム位置決めピン穴よりやや大径の仮穴を設
けておいて、この仮穴の範囲内で前記フイルムを
プリント配線基板との関係で移動調整して位置決
めした後に、この露光用フイルムのフイルム位置
決めピン嵌合部分に位置決めシートを貼着して正
確なフイルム位置決めピン穴を形成するようにし
たから、露光用フイルムにプリント配線基板との
関係で正確なフイルム位置決めピン穴を設けるこ
とができ、高精度の露光処理が可能である。
フイルム位置決めピン穴よりやや大径の仮穴を設
けておいて、この仮穴の範囲内で前記フイルムを
プリント配線基板との関係で移動調整して位置決
めした後に、この露光用フイルムのフイルム位置
決めピン嵌合部分に位置決めシートを貼着して正
確なフイルム位置決めピン穴を形成するようにし
たから、露光用フイルムにプリント配線基板との
関係で正確なフイルム位置決めピン穴を設けるこ
とができ、高精度の露光処理が可能である。
第１図は本発明の一実施例を示す平面図、第２
図はその位置決めシート貼着部分の拡大平面図、
第３図は本発明方法を実施する装置の斜視図、第
４図はその一部の断面図、第５図は露光時のプリ
ント配線基板とフイルムとの関係を示す断面図で
ある。 １２……プリント配線基板、１６……露光用フ
イルム、２４……ベース、２５……フイルム位置
決めピン、５１……仮穴、５２……位置決めシー
ト、５３……フイルム位置決めピン穴。
図はその位置決めシート貼着部分の拡大平面図、
第３図は本発明方法を実施する装置の斜視図、第
４図はその一部の断面図、第５図は露光時のプリ
ント配線基板とフイルムとの関係を示す断面図で
ある。 １２……プリント配線基板、１６……露光用フ
イルム、２４……ベース、２５……フイルム位置
決めピン、５１……仮穴、５２……位置決めシー
ト、５３……フイルム位置決めピン穴。
Claims (1)
- １ プリント配線基板の製造工程で使用する露光
用フイルムにフイルム位置決めピン穴を形成する
方法において、あらかじめ露光用フイルムに露光
時に使用されるフイルム位置決めピン穴よりやや
大径の仮穴を形成しておき、ベース上にプリント
配線基板を位置決めし、このプリント配線基板上
に前記露光用フイルムを載せるとともに、前記ベ
ース上のフイルム位置決めピンに前記露光用フイ
ルムの仮穴を遊嵌し、前記ベース上でプリント配
線基板に対し露光用フイルムを移動調整した位置
決めし、このプリント配線基板と露光用フイルム
とを固定し、前記ベース上のフイルム位置決めピ
ンに正確な穴径のフイルム位置決めピン穴が形成
された位置決めシートを嵌合し、この位置決めシ
ートを前記露光用フイルムの仮穴の周辺に貼着し
たことを特徴とする基板露光用フイルムの位置決
めピン穴形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61056699A JPS62212658A (ja) | 1986-03-14 | 1986-03-14 | 基板露光用フイルムの位置決めピン穴形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61056699A JPS62212658A (ja) | 1986-03-14 | 1986-03-14 | 基板露光用フイルムの位置決めピン穴形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62212658A JPS62212658A (ja) | 1987-09-18 |
| JPH0468625B2 true JPH0468625B2 (ja) | 1992-11-02 |
Family
ID=13034712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61056699A Granted JPS62212658A (ja) | 1986-03-14 | 1986-03-14 | 基板露光用フイルムの位置決めピン穴形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62212658A (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56168650A (en) * | 1980-05-30 | 1981-12-24 | Dainippon Printing Co Ltd | Method for affixing of film negative |
-
1986
- 1986-03-14 JP JP61056699A patent/JPS62212658A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62212658A (ja) | 1987-09-18 |
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