JPH0477251U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0477251U JPH0477251U JP12150690U JP12150690U JPH0477251U JP H0477251 U JPH0477251 U JP H0477251U JP 12150690 U JP12150690 U JP 12150690U JP 12150690 U JP12150690 U JP 12150690U JP H0477251 U JPH0477251 U JP H0477251U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- walking beam
- backward
- wafer
- movements
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 1
Description
第１図ａ，ｂはそれぞれ本考案の一実施例に半
導体ウエハーを支持させた状態の側面図と平面図
、第２図ａ〜ｄは第１図のウオーキングビームに
よる半導体ウエハーの搬送を説明するための動作
説明側面図、第３図ａ，ｂはそれぞれ従来のウオ
ーキングビームに半導体ウエハーを支持させた状
態を示す側面図と平面図である。 １，１１……ビーム、２……ピン状突起、３…
…オーブンプレート、５……半導体ウエハー。
導体ウエハーを支持させた状態の側面図と平面図
、第２図ａ〜ｄは第１図のウオーキングビームに
よる半導体ウエハーの搬送を説明するための動作
説明側面図、第３図ａ，ｂはそれぞれ従来のウオ
ーキングビームに半導体ウエハーを支持させた状
態を示す側面図と平面図である。 １，１１……ビーム、２……ピン状突起、３…
…オーブンプレート、５……半導体ウエハー。
Claims (1)
- 半導体ウエハーの裏面を２本の平行な横桁（ビ
ーム）で橋わたしに支持し、その長手方向への前
進、後退およびこの前進、後退の前後にはさまれ
る上昇、下降のくり返し動作により前記ウエハー
の連続搬送を行うウオーキングビームを含む半導
体装置の製造装置において、前記ウオーキングビ
ームの半導体ウエハー支持面には複数のピン状突
起が設けられていることを特徴とする半導体装置
の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12150690U JPH0477251U (ja) | 1990-11-20 | 1990-11-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12150690U JPH0477251U (ja) | 1990-11-20 | 1990-11-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0477251U true JPH0477251U (ja) | 1992-07-06 |
Family
ID=31869359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12150690U Pending JPH0477251U (ja) | 1990-11-20 | 1990-11-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0477251U (ja) |
-
1990
- 1990-11-20 JP JP12150690U patent/JPH0477251U/ja active Pending