JPH0478076A - 磁気へッドスライダ及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要］ 磁気ディスク装置に用いられる磁気ヘントスライダ及び
その製造方法、特に磁気記録媒体に対するヘッド吸着が
なく、耐久性の良い磁気ヘッドスライダの構成及びその
製造方法に関し、媒体対向面に対するヘッド吸着を防止
し、しかも低浮上化においても浮上安定性の良好な磁気
−・ノドスライダの構成とその製造方法を提供すること
を目的とし、 多結晶セラミックス材で形成されたスライダ本体の磁気
記録媒体と対向する面に、浮上レールを備えた磁気ヘン
トスライダであって、前記浮」ニレ−ルのレール面に露
呈する結晶粒の粒界に空隙状の溝を設けた構成とする。

また、多結晶セラミックス材で形成されたスライダ本体
の磁気記録媒体と対向する浮上レールのレール面に露呈
する結晶粒の粒界に、熱燐酸を用いた化学エツチング法
等により処理して空隙状の溝を形成する構成とする。

更に、多結晶セラミックス材で形成されたスライダ本体
の磁気記録媒体と対向する浮上レールのレール面に一定
方向の研磨を施した後、その研磨条痕を有するレール面
を熱燐酸を用いた化学エツチング法により処理する構成
とする。

（産業上の利用分野〕 本発明は磁気ディスク装置に用いられる磁気ヘントスラ
イダ及びその製造方法に係り、特にヘッド吸着がなく、
磁気記録媒体に対する耐久性の向上を図った磁気へラド
スライダの構成及びその製造方法に関するものである。

コンピュータシステムにおける大容量ファイル装置とし
て用いられている磁気ディスク装置では、近来、情報量
の増大により益々大容量化、高密度記録化が要求されて
いる。それに伴い従来の塗膜磁気ディスクに取って変わ
る上記要求に対して有利な連続スパッタリング法等によ
り形成される薄膜磁気ディスクが採用されている。

またこのような薄膜磁気ディスクに対する高密度記録化
に伴って、記録・再生用磁気ヘッドスライダの低浮上化
が不可欠となる。このため、停止時は磁気へラドスライ
ダを磁気ディスク面に接触させておき、該磁気ディスク
の回転速度の上昇につれて該磁気へラドスライダが浮上
される、所謂ＣＳ　Ｓ　（Ｃｏｎｔａｃｔ　５ｔａｒｔ
　５ｔｏｐ）動作方式が広く用いられている。

かかるＣ３Ｓ動作方式では、磁気ディスクの回転起動時
及び停止時には磁気へラドスライダがディスク面に接触
摺動することから、磁気ディスク面に潤滑剤が塗布され
ている。従って、その潤滑剤の仲介により磁気へラドス
ライダが磁気ディスク面に吸着される、所謂ヘッド吸着
が発生し易くなり、磁気へラドスライダの安定な浮上動
作が損なわれる傾向にある。このため、そのような障害
を防止し得るスライダ構造及びそのスライダ構造を容易
に実現できる製造方法が必要とされる。

〔従来の技術〕

従来の磁気ヘントスライダは、該スライダの構成を理解
し易くするためにディスク対向面を上向きにした第５図
に示すように、Ｎｉ−Ｚｎフェライト、或いはＡｊ２ｚ
０３・ＴｉＣなどのセラミックスからなるスライダ用基
板を研削加工により、媒体対向面の空気流入端側から流
出端側に向かって、例えば該空気流入端に傾斜面３ａと
平坦面３ｂからなる浮上力発生用のレール面３を有する
一対の浮上レール２が形成され、このようなスライダ本
体ｌにおける前記各浮上レール２の空気流出側の端面に
記録・再生用の磁気ヘッド素子（図示省略）が設けられ
た構成からなり、通常タイプとして一般的に広く用いら
れている。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところでこのような磁気へラドスライダでは、磁気ディ
スク面への接触・摺動による損傷を避けるために、前記
各浮上レール２のレール面３は平滑面に仕上げられ、ま
た平滑な磁気ディスク面には滑り性を確保するために潤
滑剤を塗布しているが、互いに平滑面を有する磁気へラ
ドスライダと潤滑剤を塗布した磁気ディスクとの組み合
わせにおいては、その潤滑剤の仲介により磁気へラドス
ライダが磁気ディスク面に吸着される、所謂ヘッド吸着
が発生し易くなる問題がある。

特にＣＳ　Ｓ　（Ｃｏｎｔａｃｔ　５ｔａｒｔ　５ｔｏ
ｐ）動作方式により磁気ディスクの停止時には磁気ヘッ
ドスライダがディスク面に密着することから、ヘッド吸
着が生じるという欠点があった。

また一方、上記ヘッド吸着の発生を防止するために、磁
気へラドスライダにおける各浮上レール２のレール面３
にテクスチャ（ｔｅｘｔｕｒｅ）処理を施して機械的に
粗面にすることも行われているが、高密度記録化により
磁気ディスク面への磁気ヘットスライダの浮上量を低下
させた場合、該ディスク面に極く微小な突起があると引
っ掛かり易くなって接触摺動が起こり、安定な浮上動作
が損なわれてへ、ドクラッシュの発生確率が高くなる問
題があった。

本発明は上記した従来の問題点を解消するため、記録媒
体面に対するヘッド吸着及び引っ掛かり障害を防止して
、低浮上化においても良好な浮上安定性が得られる新規
な磁気ヘッドスライダの構成とその製造方法を捉供する
ことを目的とするものである。

〔課題を解決するための手段］ 本発明は上記した目的を達成するため、多結晶セラミッ
クス材で形成されたスライダ本体の磁気記録媒体と対向
する面に、浮上レールを備えた磁気ヘントスライダであ
って、前記浮上レールのレール面に露呈する結晶粒の粒
界に空隙状の溝を設けた構成とする。

また、多結晶セラミックス材で形成されたスライダ本体
の磁気記録媒体と対向する浮上レールのレール面に露呈
する結晶粒の粒界に、熱燐酸を用いた化学エンチング法
等により処理して空隙状の溝を形成する構成とする。

更に、多結晶セラミンクス材で形成されたスライダ本体
の磁気記録媒体と対向する浮トレールのレール面に一定
方向の研磨を施した後、その研磨条痕を有するレール面
を熱燐酸を用いた化学エツチング法により処理する構成
とする。

〔作　用〕

本発明では、磁気ヘッドスライダの構成材料である多結
晶セラミックス面に露呈する結晶粒の粒界及びその面を
研磨して設けた研磨条痕が熱燐酸処理により選択的にエ
ツチングされることを利用して、例えばＮｉ−Ｚｎ磁性
フェライトにより構成された磁気へットスライダにおけ
る浮上レールのレール面を熱燐酸処理液により浸漬処理
することにより、そのレール面に露呈する結晶粒の粒界
が選択的にエツチングされて、該粒界に空隙状の溝をを
容易に形成することができる。

また、前記浮上レールのレール面を熱燐酸で処理するに
先立って、該レール面に一定方向、例えばそのレール面
の長さ方向に沿って研磨を施した後、その研磨条痕を有
するレール面を熱燐酸処理液により浸漬処理することに
より、そのレール面の研磨条痕が選択的にエツチングさ
れると共に、露呈する結晶粒の粒界も同時にエツチング
されて該研磨条痕及び粒界に空隙状の溝を容易に形成す
ることができる。この結果、磁気ディスク面に対するヘ
ッド吸着が発生し難くなり、また該ディスク面に極く微
小な突起があっても低浮上動作中の当該磁気ヘントスラ
イダによる引掛かり接触の確率が著しく低減するので、
該磁気ヘッドスライダの浮上安定性とへラドフラノシュ
に対する安全性が高められる。

〔実施例〕

以下図面を用いて本発明の実施例について詳細に説明す
る。

第１図は本発明に係る磁気ヘッドスライダと、その製造
方法の一実施例を説明するための媒体対向面を上向きに
して示す斜視図である。

図において、１１はＮｉ　Ｚｎ、　Ｍｎ−Ｚｎ等の磁性
フェライト、或いは八〇２０３・ＴｉＣなどのセラミツ
クスからなるスライダ用基板を研削仕上げ加工により、
媒体対向面の空気流入端側から流出端側に向かって該空
気流入端に傾斜面１３ａと平坦面１３ｂからなる浮上力
発生用のレール面１３を有する一対の浮」ニレール１２
が形成されたスライダ本体であり、かかるスライダ本体
１１における前記各浮上レール１２の空気流出側の端面
に記録・再生用の磁気ヘッド素子（図示省略）が設けら
れた従来と同様な構成である。

そしてかかるスライダの前記浮上レール１２のレール面
１３以外の部分を、例えばポリイミド樹脂等の耐熱樹脂
膜で被覆した状態で５０〜８０°Ｃに加熱した熱硫酸（
８５％）に所定時間浸漬してエンチング処理を行うこと
により、第２図の部分拡大平面図及び第３図の部分拡大
側断面図に示すように前記レール面１３に露呈する無数
の結晶粒１４の粒界１５が選沢的にエンチングされ、そ
の結晶粒１４の粒界１５に空隙状の溝１６を形成するこ
とができる。

従って、このようにして得られた磁気へ、トスライダは
、その浮上レール１２のレール面１３に形成された結晶
粒１４の粒界１５に沿う空隙状の溝１６により　磁気デ
ィスク面に対するヘッド吸着が防止され、また前記浮上
レール１２のレール面１３に無数に露呈する結晶粒１４
の面は平滑平坦面であり、その各結晶粒１４の平滑平坦
面がレール面１３の大力を占めており、しかも前記空隙
状の溝１６のエンジ部分はエンチングにより丸味がつい
ているので、該ディスク面に極く微小な突起があっても
低浮上動作の磁気へラドスライダが引っ掛かって接触す
る確率が著しく低減される。

更に他の実施例としては、例えば前記したスライダにお
ける前記浮上レール１２の研削仕上げされたレール面１
３以外の部分をポリイミド樹脂等の耐熱樹脂膜で被覆し
た後、該レール面１３を一定方向、例えば前記浮上レー
ル１２の長さ方向に研磨する。

そしてかかるレール面１３を５０〜８０°Ｃに加熱した
熱硫酸（８５％）に所定時間浸漬してエツチング処理を
行うことにより、前記レール面１３に施した研磨条痕１
７が選択的にエツチングされると共に、その面に露呈す
る無数の結晶粒１４の粒界１５も同時に選択的にエツチ
ングされて、第４図の部分拡大平面図に示すように前記
研磨条痕１７及び結晶粒１４の粒界１５に空隙状の溝１
８．１６を形成することができる。

このようにして得られた磁気へラドスライダにおいても
前記第２図及び第３図による実施例と同様な効果が得ら
れる。

なお、以上の実施例ではＮｉ−Ｚｎ、　Ｍｎ−Ｚｎ等の
磁性フェライト、或いはＡ　ｊ２２０３・ＴｉＣなどの
セラミックスからなるスライダ本体の媒体と対向する浮
上レール面を熱燐酸によりエツチング処理する場合の例
について説明したが、本発明はこれらの例に限定される
ものではなく、これらの他に、例えばＺｒ０ｚ、　Ｂａ
ＴｉＯ３，ＣａＴｉ０ｔ等の耐摩耗性の多結晶セラミッ
クスからなるスライダ本体の媒体と対向する浮上レール
面を熱燐酸によりエツチング処理した場合、或いは前記
浮上レール面を、例えばその浮上レールの長さ方向に研
磨した後、熱燐酸によりエツチング処理した場合にも同
様な効果が得られる。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように、本発明に係る磁気ヘッ
ドスライダと、その製造方法によれば、浮上力発生用の
浮上レール面に、該レール面に露呈する結晶粒界、或い
は一定方向に研磨して設けた研磨条痕が熱燐酸処理によ
り選択的にエツチングされることを利用して微細な空隙
溝を設けた構成とすることができるので、磁気ディスク
面に対するヘッド吸着が発生し難くなり、また該ディス
ク面に極く微小な突起があっても低浮上動作中に引っ掛
かってクラッシュが起こる確率が著しく低減される等、
磁気ディスクに対する耐久性が向上する優れた利点を有
する。

従って、特にＣＳ　Ｓ　（Ｃｏｎｔａｃｔ　５ｔａｒｔ
　５ｔｏｐ）動作方式の磁気へラドスライダとして通用
することにより、実用上優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る磁気ヘッドスライダと、その製造
方法の一実施例を説明するた めの斜視図、 第２図は本発明に係る磁気ヘントスライダの浮上レール
面を示す部分拡大平面図、 第３図は本発明に係る磁気へラドスライダの浮上レール
部分を示す拡大側断面図、 第４図は本発明に係る磁気ヘッドスライダの浮上レール
の他のレール面を示す部分拡 大平面図、 第５図は従来の磁気へラドスライダを説明するための斜
視図である。 第１図〜第４図において、 １１はスライダ本体、１２は浮上レール、１３はレール
面、１４は結晶粒、１５は粒界、１６゜１８は空隙状の
溝、１７は研磨条痕をそれぞ稀耗晶ｔ１ ７鉛四、４賂ｉへ、、ト２７１７履４ｈ　Ｌ−１けｆｅ
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Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）多結晶セラミックス材で形成されたスライダ本体
   （１１）の磁気記録媒体と対向する面に、浮上レール（
   １２）を備えた磁気ヘッドスライダであって、前記浮上
   レール（１２）のレール面（１３）に露呈する結晶粒（
   １４）の粒界（１５）に空隙状の溝（１６、１８）を設
   けたことを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
2. （２）多結晶セラミックス材で形成されたスライダ本体
   （１１）の磁気記録媒体と対向する浮上レール（１２）
   のレール面（１３）に露呈する結晶粒（１４）の粒界（
   １５）に空隙状の溝（１６、１８）を形成することを特
   徴とする磁気ヘッドスライダの製造方法。
3. （３）前記浮上レール（１２）のレール面（１３）を熱
   燐酸を用いた化学エッチング法により処理することを特
   徴とする請求項２記載の磁気ヘッドスライダの製造方法
   。
4. （４）多結晶セラミックス材で形成されたスライダ本体
   （１１）の磁気記録媒体と対向する浮上レール（１２）
   のレール面（１３）に一定方向の研磨を施した後、その
   研磨条痕（１７）を有するレール面（１３）を熱燐酸を
   用いた化学エッチング法により処理することを特徴とす
   る磁気ヘッドスライダの製造方法。