JPH0478265U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案によるシール装置の一実施例の
長さ方向の断面図、第２図は第１図の−線断
面図、第３図は第１図の−線断面図、第４図
は従来の帯状物連続真空蒸着装置の概略説明図で
ある。 １……真空室、１ａ……真空室入口、１ｂ……
真空室出口、２……入側エアーロツク、２ａ，２
ｂ，２ｃ，２ｄ……入側エアーロツク差圧室、３
……出側エアーロツク、３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ
……出側エアーロツク差圧室、４……帯状物、５
……コイル巻戻機、６……コイル巻取機、７……
入口開口、８……出口開口、９……蒸発源、１０
……シール用差圧室、１１……シール用差圧室頂
壁、１２……シール用差圧室底壁、１３……上シ
ールロール、１４……上シールロール、１５……
下シールロール、１６……下シールロール、１７
，１８，１９，２０……シールロール軸、２１…
…差圧室側壁、２２……回転シール、２３……軸
受、２４……エンドレスシールベルト、２５……
エンドレスシールベルト、２６……サイドシール
片、２７……スペーサ、２８……排気孔又は排気
用スリツト、２９……排気管、３０……空間。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 圧力差があるか又は雰囲気の異なる空間領域相
   互間の圧力差又は雰囲気差を維持しつつ帯状体の
   連続的な通過を誘導するシール装置であつて、帯
   状体の入出開口部を有する帯状走行方向に対して
   長さの長いチヤンバーと、このチヤンバー内の帯
   状体走行ラインの上下部に位置する前後シールロ
   ールに巻掛けられ前記帯状体を上下ベルト間に面
   接触状態に挟む上下無端ベルトか、又は対向する
   上下ベルト間に帯状体を微小隙間を持つて導通さ
   れる通路を形成するようにした上下無端ベルトと
   、前記上下無端ベルトとチヤンバー内壁との隙間
   をシールするシール手段を具備してなるシール装
   置において、前記上下無端ベルトの間の帯状体側
   方空間から排気する排気手段を備えたことを特徴
   とするベルト式シール装置。