JPH0269960U - - Google Patents
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- JPH0269960U JPH0269960U JP14847088U JP14847088U JPH0269960U JP H0269960 U JPH0269960 U JP H0269960U JP 14847088 U JP14847088 U JP 14847088U JP 14847088 U JP14847088 U JP 14847088U JP H0269960 U JPH0269960 U JP H0269960U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roll
- trap
- vacuum evaporation
- vapor deposition
- cooling roll
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図、第２図、第３図および第４図はそれぞ
れ本考案の第１、第２、第３および第４の実施例
の一部を縦断した正面図である。第５図ないし第
８図は従来の真空蒸着装置の例を示す図である。 １，１′……走行基板、２……蒸着室、３……
デフレクタロール、４……冷却ロール、５，５′
……巻取リール、６，６′……巻出リール、７…
…蒸着装置、８……蒸着材、９……蒸着材収納容
器、１０……加熱装置、１１……エツジマスク、
１２……入側シール装置、１３……出側シール装
置、１４……シール装置、１５ａ，１５ｂ，１５
ｃ……シールロール、１６ａ，１６ｂ，１６ｃ…
…差圧室、１７……チヤンネル、１８……蒸着材
投入口、１９……アンコイラ、２０……コイラ、
２１……押付ロール、２２……切断機、２９……
排気ポンプユニツト、４０……蒸着室内壁、４１
……蒸着室と冷却ロールの間隙、４３……トラツ
プロール、４３……スクレーパー、４４……回収
皿、４５……トラツプベルト。
れ本考案の第１、第２、第３および第４の実施例
の一部を縦断した正面図である。第５図ないし第
８図は従来の真空蒸着装置の例を示す図である。 １，１′……走行基板、２……蒸着室、３……
デフレクタロール、４……冷却ロール、５，５′
……巻取リール、６，６′……巻出リール、７…
…蒸着装置、８……蒸着材、９……蒸着材収納容
器、１０……加熱装置、１１……エツジマスク、
１２……入側シール装置、１３……出側シール装
置、１４……シール装置、１５ａ，１５ｂ，１５
ｃ……シールロール、１６ａ，１６ｂ，１６ｃ…
…差圧室、１７……チヤンネル、１８……蒸着材
投入口、１９……アンコイラ、２０……コイラ、
２１……押付ロール、２２……切断機、２９……
排気ポンプユニツト、４０……蒸着室内壁、４１
……蒸着室と冷却ロールの間隙、４３……トラツ
プロール、４３……スクレーパー、４４……回収
皿、４５……トラツプベルト。
Claims (1)
- 真空の蒸着室内で冷却ロールの側面に巻き掛け
られた可撓性の基板に蒸着材容器内の蒸着材を蒸
着させるようにした真空蒸着装置において、回転
機構を有しかつ冷却されたトラツプロールまたは
トラツプベルトを上記冷却ロールと上記蒸着材容
器との間に配するとともに、上記トラツプロール
またはトラツプベルトの表面の付着物を除去する
手段を設けたことを特徴とする真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14847088U JPH0269960U (ja) | 1988-11-16 | 1988-11-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14847088U JPH0269960U (ja) | 1988-11-16 | 1988-11-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0269960U true JPH0269960U (ja) | 1990-05-28 |
Family
ID=31419826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14847088U Pending JPH0269960U (ja) | 1988-11-16 | 1988-11-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0269960U (ja) |
-
1988
- 1988-11-16 JP JP14847088U patent/JPH0269960U/ja active Pending
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