JPH0478550U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0478550U JPH0478550U JP12154790U JP12154790U JPH0478550U JP H0478550 U JPH0478550 U JP H0478550U JP 12154790 U JP12154790 U JP 12154790U JP 12154790 U JP12154790 U JP 12154790U JP H0478550 U JPH0478550 U JP H0478550U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ozone
- detection element
- heater
- shows
- chamber
- Prior art date
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- Pending
Links
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
第１図は従来のオゾンガス検出素子取り付け例
を示し、第２図は本考案の一実施例のオゾンセン
サの取り付け断面を示す。第３図は半導体式オゾ
ンガス検出素子の概略平面図を示す。第４図はオ
ゾンセンサ構造の違いに於けるオゾン濃度に対す
る抵抗変化率を示すグラフ、第５図は、分解ヒー
タ温度とチヤンバー内のオゾン濃度を示すグラフ
である。 １……チヤンバー、２……オゾン検出素子、３
……オゾン検出素子支持ピン、４……検出ガス導
入管、５……分解ヒータ、６……キヤツプ、７…
…ステンレス金網、８……分解ヒータ用ピン、９
……台座、１０……電極パツド、１１……絶縁基
板、１２……電極、１３……ヒータ、１４……半
導体薄膜層。
を示し、第２図は本考案の一実施例のオゾンセン
サの取り付け断面を示す。第３図は半導体式オゾ
ンガス検出素子の概略平面図を示す。第４図はオ
ゾンセンサ構造の違いに於けるオゾン濃度に対す
る抵抗変化率を示すグラフ、第５図は、分解ヒー
タ温度とチヤンバー内のオゾン濃度を示すグラフ
である。 １……チヤンバー、２……オゾン検出素子、３
……オゾン検出素子支持ピン、４……検出ガス導
入管、５……分解ヒータ、６……キヤツプ、７…
…ステンレス金網、８……分解ヒータ用ピン、９
……台座、１０……電極パツド、１１……絶縁基
板、１２……電極、１３……ヒータ、１４……半
導体薄膜層。
Claims (1)
- ハウジングの開口部にヒータを設けたことを特
徴とするオゾンセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12154790U JPH0478550U (ja) | 1990-11-19 | 1990-11-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12154790U JPH0478550U (ja) | 1990-11-19 | 1990-11-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0478550U true JPH0478550U (ja) | 1992-07-08 |
Family
ID=31869398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12154790U Pending JPH0478550U (ja) | 1990-11-19 | 1990-11-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0478550U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008032607A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Kyushu Univ | 硫化物の悪臭を高感度で検知するセンサ |
-
1990
- 1990-11-19 JP JP12154790U patent/JPH0478550U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008032607A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Kyushu Univ | 硫化物の悪臭を高感度で検知するセンサ |