JPH0479418U - - Google Patents
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- JPH0479418U JPH0479418U JP12131390U JP12131390U JPH0479418U JP H0479418 U JPH0479418 U JP H0479418U JP 12131390 U JP12131390 U JP 12131390U JP 12131390 U JP12131390 U JP 12131390U JP H0479418 U JPH0479418 U JP H0479418U
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
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Description
第１図は本考案の一実施例の全体構成図である
。 １……制御コンピユータ、４……検出用光源。
。 １……制御コンピユータ、４……検出用光源。
Claims (1)
- 半導体製造分野における、半導体回路パターン
をシリコン基板上に焼付露光する際の、層間合せ
のための、位置認識マークを検出し、複数の波長
の検出光の中から、被測定物の表面に存在する、
薄膜に対して最も有効な検出光波長を自動で選択
し、かつ、装置にフイードバツクすることを特徴
とする露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12131390U JPH0479418U (ja) | 1990-11-21 | 1990-11-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12131390U JPH0479418U (ja) | 1990-11-21 | 1990-11-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0479418U true JPH0479418U (ja) | 1992-07-10 |
Family
ID=31869173
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12131390U Pending JPH0479418U (ja) | 1990-11-21 | 1990-11-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0479418U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010199453A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Nikon Corp | 検出方法、光学特性計測方法、露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法 |
-
1990
- 1990-11-21 JP JP12131390U patent/JPH0479418U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010199453A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Nikon Corp | 検出方法、光学特性計測方法、露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法 |
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