JPH0481317B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、薄膜EL（エレクトロルミネンス）パ
ネルの製造方法に関し、特に薄膜ELパネルにお
ける背面電極群の形成面上でかつその発光領域内
の背面電極面上を除く部分に黒色のオーバーコー
ト層を形成するオーバーコート層の形成方法に関
するものである。

〔従来の技術〕

薄膜ELパネルとしてＸ−Ｙマトリクス型ELパ
ネルを例にとつてその基本構造を第４図に示して
説明する。このELパネルは、第４図に示すよう
に、透光性のガラス基板１上にITO膜などからな
る透明電極２₁，２₂…を前面電極として例えばＸ
軸方向に等間隔に配列して形成された透明電極群
２と、この透明電極群２の面上に積層して形成さ
れた薄膜発光層の両側を薄膜絶縁層でサンドイツ
チ状に挾んだ透光性を有するEL層３と、このEL
層３上にAl電極または黒色電極などの不透明な
背面電極４₁，４₂，…を透明電極群２の配列方向
と直交するＹ軸方向に等間隔に配列して形成され
た背面電極群４とからＸ−Ｙマトリクス構造の
EL表示素子を構成し、前記ガラス基板１上に防
湿用外囲器（図示せず）を封着させて上記EL表
示素子を気密封止するものとなつている。

このようなＸ−Ｙマトリクス型薄膜ELパネル
を表示させるには、互いに直交した透明電極群
２、背面電極群４中の一対を任意に選択して電圧
を印加することにより、その交点のEL層３より
発光するEL光をガラス基板１すなわちパネル裏
側から取り出して任意の表示が行なえる。

ところで、このような構造の薄膜ELパネルは、
背面電極群４の各背面電極４₁，４₂，…間の隙間
が透明を有しているため、パネル裏側からの外来
光の入射及びEL層３によるEL光の反射により表
示コントラストの低下を招いている。そのため、
この対策のひとつとして背面電極群４上の全面に
黒色のオーバーコート層を形成する方法が提案さ
れている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところが、薄膜の黒色オーバーコート層は絶縁
性が要求されるため、適当な材料がなく、一般的
には数μｍ〜数10μｍの厚い樹脂層を被着形成し
ているのが実情である。しかし、このような樹脂
層が発光部の背面電極４₁，４₂，…面上を覆う
と、EL層３のスポツト状絶縁破壊時に発生する
熱の放散及び背面電極の飛散が生じなくなり、絶
縁破壊が拡大し電極の断線を生じるおそれがあ
る。

このようなことから、背面電極群４つまり各背
面電極４₁，４₂，…間の隙間のみにオーバーコー
ト層を形成する方法も提案されている。この各背
面電極面上の隙間のみにオーバーコート層を形成
する方法としては、各背面電極４₁，４₂，…面上
の全面に感光性樹脂を塗布した後、この樹脂を各
背面電極４₁，４₂，…と同じパターンのフオトマ
スクを用いて樹脂塗布面側から紫外光で露光し、
現像により所定パターンのオーバーコート層を形
成する方法がある。しかし、この方法は、パター
ンの位置ずれをなくすためには高度の位置合わせ
技術が必要となり、実用的ではなかつた。そこ
で、第５図に示すように、ネガタイプの感光性樹
脂７をオーバーコート層として各背面電極４₁，
４₂，…面上の全面に塗布後、これら背面電極４
_１，４₂，…自体をマスクとして使用しガラス基板
１側から紫外光１０にて露光する方法が有効であ
る。この場合、その露光時にオーバーコート層の
外形を決めるフオトマスク８が用いられている。
しかし、この方法を薄膜ELパネルに適用する場
合の問題点は、オーバーコート層の露光・現像工
程においてフオトマスク８とオーバーコート層す
なわち感光性樹脂７間にガラス基板１が介在する
ため、第６図に示すごとく、オーバーコート層９
の周辺部９ａのパターン精度が悪く、ジグザグ状
になることである。それ故、このようなオーバー
コート層を用いた薄膜ELパネルは、表示部周辺
の品位が低下するほか、オーバーコート層周辺部
が防湿用外囲器の封着面に達した場合には封止不
良による発光特性の劣化をきたすという問題があ
つた。

本発明は、上記のような問題点を解決するため
になされたもので、オーバーコート層の周辺部も
精度良くパターン化すると共に、オーバーコート
層のはみ出しによる封止不良をなくした薄膜EL
パネルの製造方法を提供するものである。

〔問題点を解決するための手段〕

すなわち、本発明は、透光性基板上に透明電極
群、透光性のEL層および不透明な背面電極群を
順次積層してEL表示素子を形成したうえ、前記
背面電極群の形成面上でかつ前記EL層の発光領
域内の背面電極面上を除く部分に黒色のオーバー
コート層を形成する工程を具備する薄膜ELパネ
ルの製造方法において、前記オーバーコート層
は、前記背面電極上の全面にネガタイプの感光性
樹脂を塗布し、この感光性樹脂を、該樹脂塗布側
と前記基板側との両面から一対のフオトマスクを
用いて露光した後、現像して形成することを特徴
とするものである。

〔作用〕

本発明においては、オーバーコート層の形成に
際し一対のフオトマスクを用いることにより、
EL表示素子の発光領域内のオーバーコート層の
パターンをガラス基板側からの露光によつて形成
し、そのオーバーコート層周囲部のパターンを樹
脂塗布面側からの露光により形成できるので、フ
オトマスクとオーバーコート層とのギヤツプによ
つて生ずるパターンの歪みもなく、精度良くオー
バーコート層を形成することができる。

〔実施例〕 以下、本発明を図面に示す実施例に基いて詳細
に説明する。

第１図は本発明の一実施例による薄膜ELパネ
ルの製造方法を示す一工程断面図であり、オーバ
ーコート層の露光方法を示す。また同図において
第４図と同一符号は同一部分を示している。この
実施例では、透光性のガラス基板１上に透明電極
群２、EL層３および背面電極群４を従来と同様
の方法により積層してＸ−Ｙマトリクス型EL表
示素子を形成したうえ、例えばジアゾ感光剤を添
加したPAA（ポリアクリルアミド）などのネガタ
イプの感光性樹脂１１をオーバーコート層として
前記背面電極群４の形成面上の全面に塗布し、こ
の樹脂１１を乾燥する。このとき、感光性樹脂１
１の厚さは背電電極群４よりも十分厚い方が良
く、１〜10μｍ程度か好適である。次いで、前記
感光性樹脂１１を、ガラス基板１側と樹脂塗布側
との両面から一対のフオトマスク１２，１３を用
いて紫外光１４および１５によりそれぞれ露光す
る。この場合、片方のフオトマスク１２は、上記
背面電極群４の各背面電極４₁，４₂，…をマスク
としてEL層３の発光領域内の感光性樹脂１１を
ガラス基板１側から露光するためのものであり、
そのパターンは形成すべきオーバーコート層のパ
ターンより小さくEL層３の発光領域ｍより大き
な窓部１２ａを有する。すなわちフオトマスク１
２の露光面積ｎは第５図に示すフオトマスク８の
場合よりも小さく設定される。また、他方のフオ
トマスク１３は、感光性樹脂１１の塗布面側から
紫外光１５を当て、形成すべきオーバーコート層
の周囲部に対応する感光性樹脂１１を露光するた
めのものであり、その露光領域Ｐの外周が形成す
べきオーバーコート層の外周に一致し、中央部の
非露光部分ｑがEL層３の発光領域ｍより広くか
つ前記フオトマスク１２の露光領域ｎより狭いパ
ターンを有する窓部１３ａが形成されている。従
つて、これらフオトマスク１２，１３を用いて
EL表示素子の両面からその背面電極群４の全面
に塗布された感光性樹脂１１を露光したうえ現像
すると、この感光性樹脂１１は各背面電極４₁，
４₂，…間とフオトマスク１３の窓部１３ａに相
当する部分のみが残存し、これがオーバーコート
層１６として第２図および第３図に示す如くパタ
ーンを有して形成される。次いで、このオーバー
コート層１６を焼成して黒色化せしめた後、第３
図に示すように、ガラス基板１上に防湿用外囲器
１７を封着剤１８にて封着することにより、薄膜
ELパネルを作成したものである。

このように、上記実施例の方法によれば、オー
バーコート層１６の形成に際し、EL層３の発光
領域内のオーバーコート層１６ａのパターンをガ
ラス基板１側からの露光によつて形成し、オーバ
ーコート層周囲部１６ａのパターンを感光性樹脂
塗布面側からの露光によつて形成することによ
り、上記した従来のようにフオトマスク８と感光
性樹脂層７間に介在するガラス基板１のギヤツプ
によつて生ずるパターンの歪みもなく、精度よく
オーバーコート層１６を形成することができる。
これによつて、オーバーコート層１６のはみ出し
による封止不良も解消され、特性の安定した品位
の高い薄膜ELパネルの製造が可能になる。

なお、上述では薄膜ELパネルとしてＸ−Ｙマ
トリクス型のものに適用した場合について示した
が、本発明はこれに限らずセグメント型などのも
のにも適用できることは勿論である。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、一対のフ
オトマスクを用いてEL素子の両面から露光し現
像することにより、背面電極群の形成面上でかつ
EL層の発光領域内の背面電極面上を除く部分に
パターン精度の高いオーバーコート層を形成する
ことができ、オーバーコート層のはみ出しによる
封止不良もなく特性の安定した薄膜ELパネルが
得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による薄膜ELパネ
ルの製造方法を示す一工程断面図、第２図および
第３図はそれぞれ第１図の工程によりオーバーコ
ート層を形成したときの薄膜ELパネルを示す外
囲器封着前の概略平面図および外囲器封着後の薄
膜ELパネルを示す側面断面図、第４図は通常の
薄膜ELパネルの基本構造を示す斜視図、第５図
は従来によるオーバーコート層の露光方法の説明
に供する断面図、第６図は第５図の方法によりオ
ーバーコート層を形成したときの薄膜ELパネル
を示す第２図相当の概略平面図である。 １……ガラス基板、２……透明電極群、３……
EL層、４……背面電極群、１１……感光性樹脂、
１２，１３……フオトマスク、１４，１５……紫
外光、１６……オーバーコート層、１７……外囲
器。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 透光性基板上に透明電極群、透光性のEL層
   および不透明な背面電極群を順次積層してEL表
   示素子を形成したうえ、前記背面電極群の形成面
   上でかつ前記EL層の発光領域内の背面電極面上
   を除く部分に黒色のオーバーコート層を形成する
   工程を具備する薄膜ELパネルの製造方法におい
   て、前記オーバーコート層は、前記背面電極群の
   全面にネガタイプの感光性樹脂を塗布し、この感
   光性樹脂を、該樹脂塗布側と前記基板側との両面
   から一対のフオトマスクを用いて露光した後、現
   像して形成することを特徴とする薄膜ELパネル
   の製造方法。 ２ 一対のフオトマスクのうち、ガラス基板側の
   フオトマスクは背面電極群をマスクとしてEL層
   の発光領域内の感光性樹脂を露光すべく形状のパ
   ターンを有し、樹脂塗布面側のフオトマスクは、
   形成すべきオーバーコート層の周囲部に対応する
   感光性樹脂を露光すべく形状のパターンを有する
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の薄
   膜ELパネルの製造方法。