JPH01124932A - ガス放電パネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 この発明はガス放電パネルの製造方法に関し、対向する
二枚の基板間を一定間隙に保つ球状の支えを基板上の電
極を避けて設置する能率的方法を得ることを目的とし、 感光性レジスト材料に球状のスペーサを混合し、ガス放
電パネルの一方の基板の誘電体層上全面に塗布し、・マ
スクを用いて露光および現像を行うことによっ°て電極
を避けた場所に感光性レジスト材料と共に前記スペーサ
を残し、その後焼成して感光性レジスト材料を消失せし
めると共に、スペーサを誘電体層に融着せしめる方法で
ある。

〔産業上の利用分野〕

この発明はガス放電パネルの製造方法に関するものであ
る。

さらに詳しくは前記パネルの放電間隙を設定するスペー
サの新しい設置方法に関するものである。

〔従来の技術〕

一般にガス放電パネルで−１よ、対向配置した一対の電
極基板の間にスペーサを複数個点在させてガ大空間を設
定している。

従来このスペーサの設置方法として、実公昭５８−２３
１６６号に提示されているようなスペーサを水ガラスに
よって電極絶縁用の誘電体層上に接着固定したものが知
られている。

しかし、この方法ではスペーサー個ずつを人手で配置し
、固定しなければならず、そのため゛多大の工数と時間
を要して製造コストが高くなり、またスペーサ配置ずれ
などの作業ミスが生じやすくてパネル品質面において不
都合であった。

これに加えて、従来の方法ではスペーサとして比較的大
きい形状のもの、例えば０．５　ミリメートル角の大き
さのスペーサを使用する必要上、割合細かい電極の配列
ピッチ（例えば０．３ミリメートル゛以下）の場合、水
ガラスの使用とあいまって発光しない不良点数が多く出
るという不都合があった。

更にパネル全体の重量を軽減するため、基板１の薄形化
が求められ、放電間隙保持のため、より密度高くスペー
サを必要としており、従来の方法では対応できなかった
。

また、球状スペーサを表示パネル間に設置する先行技術
として特開昭５８−１６０９２７に示されるようにスペ
ーサ粒子径より小さい厚みの感光剤で保持されたスペー
サ粒子でパネル板を支える構成が知られている。

本願の対象とするようなガス放電パネルに適用するに当
たっては、放電面に残留する感光剤が放電特性に悪影響
を及ぼす問題がある。

〔発明が解決しようとする問題点〕

この発明は以上のような従来の状況から、対向する二枚
の基板間を一定間隙に保つスペーサを基板上の電極を避
けて設置する能率的方法を得ることを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

以上のような問題点を解決するため本発明では第１図乃
至第５図に示すように、感光性レジスト材料９に球状の
スペーサ４を混合し、ガス放電パネルの一方の基板１の
誘電体Ｆｉａ上全面に塗布し、マスクを用いて露光およ
び現像を行うことによって電極２を避けた場所に感光性
レジスト材料９と共に前記スペーサ４を残し、その後焼
成して感光性レジスト材料９を消失せしめると共に、ス
ペーサ４を誘電体層３に融着せしめることを特徴とする
。

〔作　用〕

以上の方法を適用すると、フォトリソグラフィの正確さ
で電極上を避けてスペーサを配置することが容易に実現
できる。そして球状をした前記スペーサが放電点を覆う
ことがないので、スペーサによる表示欠陥が皆無の表示
パネルを作り出せる。

すなわち使用するスペーサ球の直径は予め放電間隙とな
る距離数十〜３００ミクロンの値をもとに選別してあっ
て、この値は隣接電極間隔を越えない値となるので配置
位置が適切であれば、放電点を遮ることなくスペーサ機
能を達成できる。また感光性レジストの残留による放電
特性面への悪影響も回避することができる。

〔実施例〕

以下この発明を、電極表面が誘電体層で被覆された交流
駆動形ガス放電パネルに適用した実施例につき図面を参
照して詳細に説明する。

第１図は上記ガス放電パネルの電極を有する一方の基板
１にスペーサとなるガラス球４と、粘着性をもたらす感
光性レジストとを混合した液とをスプレーＧによって誘
電体層３上に一面に撒布付着させている説明図である。

使用するスペーサ球の直径は予め放電間隙となる距離数
十〜３００ミクロンの値をもとに選別しである一定の大
きさのガラス球を用いている。このようにするとガラス
球４が一時的に基板に固着した状態で、ランダムではあ
るが平均に分布するようになる。

以上のように一時的にガラス球４を基板上に保持させた
上で保持力を増すために、もう−度感光性しシストを、
全面に塗布してもよい。

上記感光性レジストをスペーサと共に塗布した基板１を
乾燥後拡大して平面図としてみると第２図のようになっ
ている。スペーサ球４は薄く感光性レジストで覆われる
と共に、該材料の付着力で基板１に保持され、ランダム
に分散させられている。

この後露光マスクを電極を除く部位、すなわちＷで示す
電極間隔の間にある物質が残るように設定して後、露光
および現像すると、第３図のようにスペーサ球４が電極
２を避けた位置、電極の単位間隔Ｗの中に位置する幅Ｔ
を接着幅とする範囲にのみ残留する。この状態で空気中
約５００度に加熱して焼成すると、第４図の要部拡大平
面図のように、粘着力を備える感光性レジストは気化蒸
発して除去されると共に、ガラス球４は軟化点に達した
誘電体層３内に沈み込み、誘電体Ｎ３と融着し、冷却後
はそのままの位置に固定される。

次にこのようにして固着せしめた球状ガラススペーサ４
を持つ基板１と、スペーサを持たない他方の基板５とを
所定の位置に重ねて基板周囲を封着材によりガス封止を
行い、放電ガス空間８に放電ガスを充填すると、第５図
に要部断面図を示すような目的とするガス放電パネルが
完成する。なおスペーサ４を誘電体層３に固着した後、
全表面に図示しない酸化マグネシウム（ＭｇＯ）等の表
面保護層を蒸着等の手段で形成するのが好ましい。

完成したパネル平面図を第４図に見るとスペーサ４は必
ず一方の基板１の電極間Ｗに位置すると共に、他方の基
板上の電極６に対してはスペーサ４ａの場合のごとく電
極６上に位置する場合もあるが、スペーサ部位は放電点
ではなく、その両隣ＸおよびＹに位置する対向電極同士
が放電点であるために、本スペーサ球が表示放電を遮る
ことはない。

以上この発明の一実施例について説明したが、本発明で
はこれに限らず次のような変形と応用が可能である。す
なわち変形例として、スペーサが球状の他に多面体、直
方体、円柱体（ガラスファイバを含む）なとが使用でき
る。

また応用例として、電極表面を誘電体層で被覆しない直
流放電形ガス放電パネルへの適用も可能であり、この場
合は基板上にスペーサを保持する誘電体層を電極を避け
てスペーサ部位に作成しておく必要がある。

また本発明を直交するマトリクス形パネルについて説明
したが、応用はこれに限ることなく、電極が無定形のセ
グメント形のパネルでも良いのは言うまでもない。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように、この発明によれば、簡
便にスペーサが一方の基板上の放電間隙のみに配されて
放電点を妨害すること無く、多数のスペーサでも設置で
きる上に、スペーサが誘電体層に固着されているため動
く心配が無く、また当該パネルの電極配列ピッチよりも
小さい直径のスペーサが使用できるため当該スペーサの
使用によって発光が不良な放電点を生ずることは皆無と
なり、高品質のガス放電パネルを提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のスペーサ配置方法第１工程の斜視図、 第２図は本発明のスペーサ配置方法第１工程後の要部拡
大平面図、 第３図は本発明のスペーサ配置方法第２工程後の要部拡
大平面図、 第４図は本発明のスペーサ配置方法第３工程後の要部拡
大平面図、 第５図は本発明の方法によって構成されたガス放電パネ
ルの要部断面図である。 図において、 １および５は基板 ２および６は電極、 ３および７は誘電体層、 ４は球状スペーサ、 ８はガス空間、 Ｗは単位電極間隔、 Ｔは一時固着幅、 Ｘ、Ｙは放電点である。 第１図 第２図 第３図 第４図 Ａｉ辱ト明Ｑ□Ｍ、Ｎ；Ｊ’？て精ρ気ｙｋｒニガスち
又ｆｉｔ論しの喝１１）−図第５図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 複数の電極（２）、（６）と、該電極を覆う形で全面に
   、または該電極間のみに設けられた基板（１）、（５）
   より低融点である誘電体層（３）、（７）を有する一対
   の基板（１）、（５）をガス放電空間（８）を隔てて対
   向配置したガス放電パネルにおいて、 感光性レジスト材料（９）に球状のスペーサ（４）を混
   合し、ガス放電パネルの一方の基板（１）の誘電体層（
   ３）上全面に塗布し、マスクを用いて露光および現像を
   行うことによって電極（２）を避けた場所に感光性レジ
   スト材料（９）と共に前記スペーサ（４）を残し、その
   後焼成して感光性レジスト材料（９）を消失せしめると
   共に、スペーサ（４）を誘電体層（３）に融着せしめる
   ことを特徴とするガス放電パネルの製造方法。