JPH0485721A - 磁気ディスク装置及び磁気ヘッドスライダ - Google Patents
磁気ディスク装置及び磁気ヘッドスライダInfo
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- JPH0485721A JPH0485721A JP19796090A JP19796090A JPH0485721A JP H0485721 A JPH0485721 A JP H0485721A JP 19796090 A JP19796090 A JP 19796090A JP 19796090 A JP19796090 A JP 19796090A JP H0485721 A JPH0485721 A JP H0485721A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、磁気記録装置に係り、特に磁気媒体をメツキ
やスパッタリング等によって連続的に形成した連続媒体
形式の磁気ディスクと、薄膜磁気ヘッドを搭載した非磁
性スライダとを有する磁気ディスク装置に関する。
やスパッタリング等によって連続的に形成した連続媒体
形式の磁気ディスクと、薄膜磁気ヘッドを搭載した非磁
性スライダとを有する磁気ディスク装置に関する。
磁気記録装置の分野では、記録密度の増大が強く要請さ
れている。この要請に応えるための手段の一つとして、
磁気媒体を樹脂中に分散させて、ディスク面上に塗布す
る方式から、磁気媒体だけをディスク面上に、直接メツ
キやスパッタリング等によって薄く連続的に付着させる
方式へと移行してきている。さらに、摺動時の磁気ヘッ
ドスライダの浮上高さを一層低くするとともに、ディス
クの回転速度も大きくなる方向にある。従って、磁気デ
ィスクの耐摺動性を向上させることが望まれていた。
れている。この要請に応えるための手段の一つとして、
磁気媒体を樹脂中に分散させて、ディスク面上に塗布す
る方式から、磁気媒体だけをディスク面上に、直接メツ
キやスパッタリング等によって薄く連続的に付着させる
方式へと移行してきている。さらに、摺動時の磁気ヘッ
ドスライダの浮上高さを一層低くするとともに、ディス
クの回転速度も大きくなる方向にある。従って、磁気デ
ィスクの耐摺動性を向上させることが望まれていた。
そのため、磁気ディスクとしては、磁気媒体の上表面に
摺動特性の高いカーボンやその他の無機物質膜等を保護
膜として用い、摺動による磁気媒体の破壊から磁気ディ
スクを保護している。
摺動特性の高いカーボンやその他の無機物質膜等を保護
膜として用い、摺動による磁気媒体の破壊から磁気ディ
スクを保護している。
一方、従来から知られている一般的なスライダ材として
は、Ｍ ｎ −Ｚ ｎフェライト、Ｎ ｊ、 −Ｚ ｎ
フェライト、ＡＱｘＯｓ／ＴｉＣ等が挙げられる。
は、Ｍ ｎ −Ｚ ｎフェライト、Ｎ ｊ、 −Ｚ ｎ
フェライト、ＡＱｘＯｓ／ＴｉＣ等が挙げられる。
これらのスライダ材は、従来の塗布媒体形式の磁気ディ
スクとの組み合わせが、それぞれのスライダ材の特性を
加かした磁気ディスク装置として知られている。
スクとの組み合わせが、それぞれのスライダ材の特性を
加かした磁気ディスク装置として知られている。
しかしながら、これらの材料からなるスライダでは、連
続媒体形式の磁気ディスクと摺動した際には、摩擦熱が
多く発生し、摺動部分がより高温となるため、書き込ん
だ情報の破壊（熱減磁）や、保護膜の損傷等の問題が生
じる。このことは、磁気ディスク装置の稼働寿命の点か
らも望ましくなし）。
続媒体形式の磁気ディスクと摺動した際には、摩擦熱が
多く発生し、摺動部分がより高温となるため、書き込ん
だ情報の破壊（熱減磁）や、保護膜の損傷等の問題が生
じる。このことは、磁気ディスク装置の稼働寿命の点か
らも望ましくなし）。
このために、スライダ材として、摺動部が高温にならな
いよう熱伝導率の高い材料を用いたり、保護膜の酸化損
傷を押さえることを目的として、摺動部を不活性ガスで
覆う方法等を用いた、連続媒体形式の磁気ディスク装置
が提案されている。
いよう熱伝導率の高い材料を用いたり、保護膜の酸化損
傷を押さえることを目的として、摺動部を不活性ガスで
覆う方法等を用いた、連続媒体形式の磁気ディスク装置
が提案されている。
上記従来技術は、スライダとディスクとの摺動に際し、
発生した摩擦熱の放散性を向上させることにより、摺動
部が高温にならないようにする対策や、高温になっても
保護膜が酸化損傷しないようにする対策が施されていた
。しかし、摩擦熱の発生を抑制しようとする配慮はなさ
れていなかった。
発生した摩擦熱の放散性を向上させることにより、摺動
部が高温にならないようにする対策や、高温になっても
保護膜が酸化損傷しないようにする対策が施されていた
。しかし、摩擦熱の発生を抑制しようとする配慮はなさ
れていなかった。
本発明の目的は、連続媒体形式の磁気ディスクとスライ
ダとの連動に際し、摩擦熱の発生を抑制し、ディスクが
熱的９機械的に破壊されない、信頼性の高い磁気ディス
ク装置を提供することにある。
ダとの連動に際し、摩擦熱の発生を抑制し、ディスクが
熱的９機械的に破壊されない、信頼性の高い磁気ディス
ク装置を提供することにある。
本発明は、上記目的を達成するために、連続媒体形式の
磁気ディスクとの摩擦係数が小さい材料からなる焼結体
をスライダに用い、摺動時に摩擦熱の発生を抑制すると
ともに、ディスクが熱的。
磁気ディスクとの摩擦係数が小さい材料からなる焼結体
をスライダに用い、摺動時に摩擦熱の発生を抑制すると
ともに、ディスクが熱的。
機械的に破壊されないようにしたものである。
一般に、ディスクとスライダとが接触あるいは摺動する
と、摩擦熱が発生するが、発生する熱量は摩擦係数に比
例して大きくなる。従って、摩擦熱によるディスクのダ
メージ、即ち、熱の発生による情報の破壊（熱減磁）や
、熱酸化により保護膜や磁気媒体の損傷を防ぐには、摩
擦係数のより小さな材料をスライダ材として用いること
が重要になると考えられる。
と、摩擦熱が発生するが、発生する熱量は摩擦係数に比
例して大きくなる。従って、摩擦熱によるディスクのダ
メージ、即ち、熱の発生による情報の破壊（熱減磁）や
、熱酸化により保護膜や磁気媒体の損傷を防ぐには、摩
擦係数のより小さな材料をスライダ材として用いること
が重要になると考えられる。
また、スライダがディスクとＣ８／Ｓ状態で低速摺動す
る場合に、摩擦係数が大きいと、ステックスリップが生
じやすくなるので、ディスクとスライダとがぶつかりあ
って機械的な損傷を生じやすくなる。
る場合に、摩擦係数が大きいと、ステックスリップが生
じやすくなるので、ディスクとスライダとがぶつかりあ
って機械的な損傷を生じやすくなる。
従って、ディスクの熱的２機械的損傷を抑制し、信頼性
が高く、高記録密度の磁気ディスク装置を得るためには
、連続媒体形式の磁気ディスクと、摩擦係数のより小さ
な材料からなるスライダとを組み合わせることが必要で
ある。
が高く、高記録密度の磁気ディスク装置を得るためには
、連続媒体形式の磁気ディスクと、摩擦係数のより小さ
な材料からなるスライダとを組み合わせることが必要で
ある。
さらに、摺動によりディスクが機械的な損傷をおこさな
いように、スライダ材の硬度はできるだけ小さいことが
望まれる。しかし、一般に低硬度材は、破壊靭性値（Ｋ
ｌｃ）が低いため、摺動の際にスライダ自身が欠けやす
くなる。この破片が摺動時にディスクとスライダとの摺
動部分にはさまり、ディスクが傷つけられることになる
。従って、スライダに用いる材料は低硬度材であってか
つ強靭な性質が要求される。
いように、スライダ材の硬度はできるだけ小さいことが
望まれる。しかし、一般に低硬度材は、破壊靭性値（Ｋ
ｌｃ）が低いため、摺動の際にスライダ自身が欠けやす
くなる。この破片が摺動時にディスクとスライダとの摺
動部分にはさまり、ディスクが傷つけられることになる
。従って、スライダに用いる材料は低硬度材であってか
つ強靭な性質が要求される。
一方、スライダ材の比重は、摺動時のぶつかりモードで
のディスクの機械的な破壊の要因となり、比重が大きい
とぶつかり時の衝突エネルギーが大きくなる。従って、
スライダ材の比重は小さい方が望ましい。
のディスクの機械的な破壊の要因となり、比重が大きい
とぶつかり時の衝突エネルギーが大きくなる。従って、
スライダ材の比重は小さい方が望ましい。
本発明によれば、スライダとディスクとの摺動時に発生
する摩擦熱を抑制することができ、熱的。
する摩擦熱を抑制することができ、熱的。
機械的なディスクの破壊要因を低減することができる。
それでは、どのような材料がふされしいのか、具体的な
数値を検討した結果、硬度はマイクロピンカース硬度で
１１００’ｋｇ ／ ｗｎ２以下、破壊靭性値はＣ，Ｓ
、Ｆ、法で計測して２．５ＭＮ／ｍ３２以上、そして、
比重は５．０ 以下であることが好ましいことがわかっ
た。
数値を検討した結果、硬度はマイクロピンカース硬度で
１１００’ｋｇ ／ ｗｎ２以下、破壊靭性値はＣ，Ｓ
、Ｆ、法で計測して２．５ＭＮ／ｍ３２以上、そして、
比重は５．０ 以下であることが好ましいことがわかっ
た。
これらの要件を満たす材料としては、Ｔ ｉ ０２゜Ａ
ＱＮ、ＢｅＯ等が考えられるが、上述した要件を満たす
材料であれば、特に限定されるものではない。
ＱＮ、ＢｅＯ等が考えられるが、上述した要件を満たす
材料であれば、特に限定されるものではない。
さらに、スライダとディスクとの摩擦係数は、連続媒体
表面または媒体の保護膜表面に吸着している水分とスラ
イダ材との親和力（ぬれ性）に関係するが、例えばＴｉ
０ｚであれば水分に対してぬれにくいために、保護膜の
有無にかかわらず、摩擦係数は小さい。水分に対して親
和力が小さく、摩擦係数も小さい材料としては、Ｔｉ０
ｚの他にＴｉＣ等が挙げられるが、ＴｉＣをスライダ材
に使用した場合には、スライダの硬度がディスク表面の
硬度に比べて大きすぎるため、摺動によってディスクが
傷つけられてしまうので、摩擦係数だけでなく、硬度等
の要件を考慮しなければならない。
表面または媒体の保護膜表面に吸着している水分とスラ
イダ材との親和力（ぬれ性）に関係するが、例えばＴｉ
０ｚであれば水分に対してぬれにくいために、保護膜の
有無にかかわらず、摩擦係数は小さい。水分に対して親
和力が小さく、摩擦係数も小さい材料としては、Ｔｉ０
ｚの他にＴｉＣ等が挙げられるが、ＴｉＣをスライダ材
に使用した場合には、スライダの硬度がディスク表面の
硬度に比べて大きすぎるため、摺動によってディスクが
傷つけられてしまうので、摩擦係数だけでなく、硬度等
の要件を考慮しなければならない。
上述のように、Ｔｉ０ｚ等の材料からなる焼結体は、ア
ルカリ土類金属元素、特にＢａやＣａの添加により、ス
ライダ形状に加工する際の加工性を向上させることがで
きる。ただし、添加量が多すぎると、加工性の向上には
つながっても、著しく摩擦係数が増大するため、好まし
くはない。実用上、ディスクとスライダとの摩擦係数は
０．５以下であることが要求され、できれば０．３ 以
下であることが望ましいからである。
ルカリ土類金属元素、特にＢａやＣａの添加により、ス
ライダ形状に加工する際の加工性を向上させることがで
きる。ただし、添加量が多すぎると、加工性の向上には
つながっても、著しく摩擦係数が増大するため、好まし
くはない。実用上、ディスクとスライダとの摩擦係数は
０．５以下であることが要求され、できれば０．３ 以
下であることが望ましいからである。
また、スライダ材として好ましい材料をスライダに用い
る場合に、Ｔ ｉ Ｏｚ等の材料を均一に含ませても良
いし、ディスクと摺動する部分だけに用いても良い。た
だし、均一に分散させる場合には、Ｔｉ０ｚ等の材料が
全体の９４ｖｏｌ％よりも少なくなると、摩擦係数が０
．５以上になってしまうので、９４ｖｏｌ％以上含有さ
せることが好ましい。
る場合に、Ｔ ｉ Ｏｚ等の材料を均一に含ませても良
いし、ディスクと摺動する部分だけに用いても良い。た
だし、均一に分散させる場合には、Ｔｉ０ｚ等の材料が
全体の９４ｖｏｌ％よりも少なくなると、摩擦係数が０
．５以上になってしまうので、９４ｖｏｌ％以上含有さ
せることが好ましい。
この他、上述したＴｉ０ｚ等の材料の焼結性。
強度等の特性をより改善するために、少量のＺｒ。
Ａｎ、Ｚｎ、Ｃｒ、Ｓｉ、Ｓｎ等の元素またはそれらの
酸化物を添加しても問題はない。
酸化物を添加しても問題はない。
以下、実施例により詳細に説明するが、本発明は実施例
に限定されるものではない。
に限定されるものではない。
実施例ｌ
Ｔｉ０ｚ焼結体をホットプレス法で作製した。
すなわち、平均粒径１．０μｍのＴｉＯ２粉を金型成形
後、真空中１２００’ＣＸ１ｈ、加圧力３００ｋｇ／ｃ
ｄで焼結した。又第１表に示した比較材についても、Ｔ
ｉ０ｚと同様にしてホットプレス法により作製した。作
製した磁気ヘッドスライダの斜視図を第２図に示す。こ
のようにして作製したＴｉ０ｚ焼結体および各種の比較
材料を用いて、スパッタ法で作製した連続媒体ディスク
との摺動時の摩擦係数を測定した。第１図は、本実施例
を示す磁気ディスク装置の要部斜視図である。
後、真空中１２００’ＣＸ１ｈ、加圧力３００ｋｇ／ｃ
ｄで焼結した。又第１表に示した比較材についても、Ｔ
ｉ０ｚと同様にしてホットプレス法により作製した。作
製した磁気ヘッドスライダの斜視図を第２図に示す。こ
のようにして作製したＴｉ０ｚ焼結体および各種の比較
材料を用いて、スパッタ法で作製した連続媒体ディスク
との摺動時の摩擦係数を測定した。第１図は、本実施例
を示す磁気ディスク装置の要部斜視図である。
まず潤滑剤を塗布したカーボン保護膜付きの連続媒体デ
ィスク、潤滑剤をつけないで保護膜の種類をかえた連続
媒体ディスクおよび潤滑剤や保護膜がついていない連続
媒体のみの摩擦係数を測定した。具体的には曲率３０Ｒ
の各種材料で出来た球面摺動子を用いて、摺動速度５ｍ
／ｓ、ディスクへの押付は荷重５ｇの条件で摺動試験を
行なった。一般に摩擦係数は摺動回数の増加とともに上
昇する。又ディスク表面の保護膜の有無、保護膜の種類
、潤滑剤の有無により、摺動による目視キズが発生する
までの摺動回数は大きく異なる。従ってスライダ材の摩
擦係数は、各ディスクにキズがつくまでの摺動回数によ
る摩擦係数の変化を連続的に記録し、キズが発生する直
前の最大値を読みとる方法で求めた。これらの結果を第
１表にまとめて示す。
ィスク、潤滑剤をつけないで保護膜の種類をかえた連続
媒体ディスクおよび潤滑剤や保護膜がついていない連続
媒体のみの摩擦係数を測定した。具体的には曲率３０Ｒ
の各種材料で出来た球面摺動子を用いて、摺動速度５ｍ
／ｓ、ディスクへの押付は荷重５ｇの条件で摺動試験を
行なった。一般に摩擦係数は摺動回数の増加とともに上
昇する。又ディスク表面の保護膜の有無、保護膜の種類
、潤滑剤の有無により、摺動による目視キズが発生する
までの摺動回数は大きく異なる。従ってスライダ材の摩
擦係数は、各ディスクにキズがつくまでの摺動回数によ
る摩擦係数の変化を連続的に記録し、キズが発生する直
前の最大値を読みとる方法で求めた。これらの結果を第
１表にまとめて示す。
ＴｉＯ２は、ディスクの保護膜、潤滑剤等の存在いかん
にかかわらず、摩擦係数は０．３ 以下で他の材料に比
較して同一のディスクでの試験では最も低い摩擦係数を
示した。次にこれら材料を用いて薄膜磁気ヘッドを具備
したスライダを作製し、摺動性を評価した。実スライダ
による摺動性評価用の連続媒体ディスクは前記の摩擦係
数測定に使ったディスクのうち、潤滑剤を塗布したカー
ボン保護膜付きの連続媒体ディスクである。摺動性は、
Ｃ３／Ｓ （コンタクト、スタート／ストップ）により
目視キズがつくまでのＣ８／Ｓ回数及びディスクに書き
込まれた信号が、摺動により摺動前の７０％の出力まで
に低下（７０％減磁）するまでの摺動回数で評価した。
にかかわらず、摩擦係数は０．３ 以下で他の材料に比
較して同一のディスクでの試験では最も低い摩擦係数を
示した。次にこれら材料を用いて薄膜磁気ヘッドを具備
したスライダを作製し、摺動性を評価した。実スライダ
による摺動性評価用の連続媒体ディスクは前記の摩擦係
数測定に使ったディスクのうち、潤滑剤を塗布したカー
ボン保護膜付きの連続媒体ディスクである。摺動性は、
Ｃ３／Ｓ （コンタクト、スタート／ストップ）により
目視キズがつくまでのＣ８／Ｓ回数及びディスクに書き
込まれた信号が、摺動により摺動前の７０％の出力まで
に低下（７０％減磁）するまでの摺動回数で評価した。
Ｃ８／Ｓ試験の試験条件はディスクの回転数３４８０ｒ
ｐｍで浮上高さ０．１ｐ ｍ Ｔ ＣＳ ／ Ｓサイク
ルは１２秒ＯＮ、１２秒ＯＦＦである。第２表に結果を
まとめて示す。尚、表には球面摺動子による、摩擦係数
測定において、ディスクにキズがつくまでの摺動回数と
、使用したスライダ材の硬度もあわせて記した。
ｐｍで浮上高さ０．１ｐ ｍ Ｔ ＣＳ ／ Ｓサイク
ルは１２秒ＯＮ、１２秒ＯＦＦである。第２表に結果を
まとめて示す。尚、表には球面摺動子による、摩擦係数
測定において、ディスクにキズがつくまでの摺動回数と
、使用したスライダ材の硬度もあわせて記した。
第２表から、Ｔ ｉ ０２製スライダのＣ８／Ｓ強度は
２００に回以上で、第１表に示した摩擦係数の測定結果
とよく対応しており、摩擦係数の小さなＴ ｉ Ｏ２が
連続媒体に対して優れた摺動性を示すことがわかる。
２００に回以上で、第１表に示した摩擦係数の測定結果
とよく対応しており、摩擦係数の小さなＴ ｉ Ｏ２が
連続媒体に対して優れた摺動性を示すことがわかる。
実施例２
実施例１と同様な方法で、第３表に示すようなＴｉ０ｚ
を主成分とする複合焼結体を作製した。
を主成分とする複合焼結体を作製した。
第３表は、Ｔ ｉ ０２焼結体の加工性を改善するため
、アルカリ土類金属元素の化合物を添加した場合の摩擦
係数と摺動性を実施例１と同様にして測定した結果を示
している。
、アルカリ土類金属元素の化合物を添加した場合の摩擦
係数と摺動性を実施例１と同様にして測定した結果を示
している。
第３表から明らかなように、摩擦係数の値は、ＢａＣＯ
３，ＢａＦｚ及びＣａＣ０ａの添加量が増加していくに
つれ、大きな値を示すようになり、焼結体中のＴｉＯ２
相が９２ｖｏｌ％では、０．５以上の値を示すようにな
り、同時に摺動性も大幅に劣化する。又、他のＢａ化合
物、Ｃａ化合物でも同様な結果が得られた。なお、同じ
アルカリ土類金属元素であるＳｒ化合物でも、加工性を
改善する効果はＢａ、Ｃａ化合物に比して小さいが、摩
擦係数、摺動性については、同様な結果が得られた。
３，ＢａＦｚ及びＣａＣ０ａの添加量が増加していくに
つれ、大きな値を示すようになり、焼結体中のＴｉＯ２
相が９２ｖｏｌ％では、０．５以上の値を示すようにな
り、同時に摺動性も大幅に劣化する。又、他のＢａ化合
物、Ｃａ化合物でも同様な結果が得られた。なお、同じ
アルカリ土類金属元素であるＳｒ化合物でも、加工性を
改善する効果はＢａ、Ｃａ化合物に比して小さいが、摩
擦係数、摺動性については、同様な結果が得られた。
実施例３
メツキ法によって作製した連続媒体ディスクについて本
実施例１，２と同様な評価を行なった。
実施例１，２と同様な評価を行なった。
なお、本ディスクは保護膜カーボンであり潤滑剤を塗布
している。結果は第４表に示す通り、実施例１，２と同
様Ｔｉ０ｚ相を９４ｖｏｌ％以上含む、材料の摩擦係数
は小さく実スライダでの摺動性も優れることが分った。
している。結果は第４表に示す通り、実施例１，２と同
様Ｔｉ０ｚ相を９４ｖｏｌ％以上含む、材料の摩擦係数
は小さく実スライダでの摺動性も優れることが分った。
実施例４
スパッタ法及びメツキ法により作製した連続媒体ディス
クにスパッタ法によりＢＮ、５ｉａＮ＋等の窒化物及び
ＳｉＣ，ＴａＣ等の炭化物、ＺｒＢｚｔＴｉＢｚ等のホ
ウ化物を保護膜としてつけたディスクについて実施例１
，２と同様にして摩擦係数。
クにスパッタ法によりＢＮ、５ｉａＮ＋等の窒化物及び
ＳｉＣ，ＴａＣ等の炭化物、ＺｒＢｚｔＴｉＢｚ等のホ
ウ化物を保護膜としてつけたディスクについて実施例１
，２と同様にして摩擦係数。
摺動性を評価した。その結果、実施例１，２と同様Ｔｉ
Ｏ２相を９４ｖｏｌ％以上含む、材料の摩擦係数は小さ
く、実スライダでの摺動性も優れることが分った。
Ｏ２相を９４ｖｏｌ％以上含む、材料の摩擦係数は小さ
く、実スライダでの摺動性も優れることが分った。
本発明は、以上説明したとおり、記録密度を大幅に向上
させ得る連続媒体形式の磁気ディスク装置において、連
続媒体ディスクとスライダとの摺動に際し、摩擦熱の発
生を抑制し、ディスクが熱的２機械的に破壊されない、
信頼性の高い磁気ディスク装置を提供することができる
。
させ得る連続媒体形式の磁気ディスク装置において、連
続媒体ディスクとスライダとの摺動に際し、摩擦熱の発
生を抑制し、ディスクが熱的２機械的に破壊されない、
信頼性の高い磁気ディスク装置を提供することができる
。
第１図は本発明の磁気ディスク装置の要部斜視図、第２
図は本発明の磁気ヘッドスライダの斜視図である。
図は本発明の磁気ヘッドスライダの斜視図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、基板上に形成した連続媒体を有する磁気ディスクと
、 該磁気ディスクに対して相対的に移動し、情報の読み書
きを行う磁気ヘッドを備えた磁気ヘッドスライダと、 を有する磁気ディスク装置において、 前記磁気ヘッドスライダが、 （１）マイクロビッカース硬度で１１００ｋｇ／ｍｍ＾
２以下、 （２）Ｃ．Ｓ．Ｆ．法で計測した破壊靭性値で２．５Ｍ
Ｎ／ｍ＾３＾／＾２以上、 （３）比重で５．０以下 の要件を満たす材料からなる焼結体であることを特徴と
する磁気ディスク装置。 ２、前記磁気ヘッドスライダが、前記材料を全体の９４
ｖｏｌ％以上有する焼結体であることを特徴とする請求
項１記載の磁気ディスク装置。 ３、前記磁気ヘッドスライダが、アルカリ土類金属元素
の化合物を有する材料からなる焼結体であることを特徴
とする請求項１記載の磁気ディスク装置。 ４、前記磁気ヘッドスライダが、前記材料としてＢａま
たはＣａのうち、少なくともいずれかの化合物を有する
ことを特徴とする請求項３記載の磁気ディスク装置。 ５、前記磁気ディスクが、該磁気ディスクの磁気媒体上
面に、無機物質からなる保護膜を有することを特徴とす
る請求項１記載の磁気ディスク装置。 ６、前記保護膜が、カーボンであることを特徴とする請
求項５記載の磁気ディスク装置。 ７、基板上に形成した連続媒体を有する磁気ディスクと
、 該磁気ディスクに対して相対的に移動し、情報の読み書
きを行う磁気ヘッドを備えた磁気ヘッドスライダと、 を有する磁気ディスク装置において、 前記磁気ヘッドスライダが。 （１）マイクロビッカース硬度で１１００ｋｇ／ｍｍ＾
２以下、 （２）Ｃ．Ｓ．Ｆ．法で計測した破壊靭性値で２．５Ｍ
Ｎ／ｍ＾３＾／＾２以上 （３）比重で５．０以下 の要件を満たす材料からなる焼結体であることを特徴と
する磁気ディスク装置。 ８、基板上に形成した連続媒体を有する磁気ディスクと
、 該磁気ディスクに対して相対的に移動し、情報の読み書
きを行う磁気ヘッドを備えた磁気ヘッドスライダと、 を有する磁気ディスク装置において、 前記磁気ヘッドスライダが、マイクロビッカース硬度で
１１００ｋｇ／ｍｍ＾２以下の材料からなる焼結体であ
ることを特徴とする磁気ディスク装置。 ９、基板上に形成した連続媒体を有する磁気ディスクと
、 該磁気ディスクに対して相対的に移動し、情報の読み書
きを行う磁気ヘッドを備えた磁気ヘッドスライダと、 を有する磁気ディスク装置において、 前記磁気ヘッドスライダが、Ｃ．Ｓ．Ｆ．法で計測した
破壊靭性値で２．５ＭＮ／ｍ＾３＾／＾２以上の材料か
らなる焼結体であることを特徴とする磁気ディスク装置
。 １０、基板上に形成した連続媒体を有する磁気ディスク
と、 該磁気ディスクに対して相対、的に移動し、情報の読み
書きを行う磁気ヘッドを備えた磁気ヘッドスライダと、 を有する磁気ディスク装置において、 前記磁気ヘッドスライダが、比重で５．０以下の材料か
らなる焼結体であることを特徴とする磁気ディスク装置
。 １１、基板上に形成した連続媒体を有する磁気ディスク
に対して相対的に移動し、情報の読み書きを行う磁気ヘ
ッドを備えた磁気ヘッドスライダにおいて、 （１）マイクロビッカース硬度で１１００ｋｇ／ｍｍ＾
２以下、 （２）Ｃ．Ｓ．Ｆ．法で計測した破壊靭性値で２．５Ｍ
Ｎ／ｍ＾３＾／２以上、 （３）比重で５．０以下 の要件を満たす材料からなる焼結体であることを特徴と
する磁気ヘッドスライダ。 １２、基板上に形成した連続媒体を有する磁気ディスク
に対して相対的に移動し、情報の読み書きを行う磁気ヘ
ッドを備えた磁気ヘッドスライダにおいて、 （１）マイクロビッカース硬度で１１００ｋｇ／ｍｍ＾
２以下、 （２）Ｃ．Ｓ．Ｆ．法で計測した破壊靭性値で２．５Ｍ
Ｎ／ｍ＾３＾／＾２以上 の要件を満たす材料からなる焼結体であることを特徴と
する磁気ヘッドスライダ。 １３、基板上に形成した連続媒体を有する磁気ディスク
に対して相対的に移動し、情報の読み書きを行う磁気ヘ
ッドを備えた磁気ヘッドスライダにおいて、 マイクロビッカース硬度で１１００ｋｇ／ｍｍ＾２以下
の材料からなる焼結体であることを特徴とする磁気ヘッ
ドスライダ。 １４、基板上に形成した連続媒体を有する磁気ディスク
に対して相対的に移動し、情報の読み書きを行う磁気ヘ
ッドを備えた磁気ヘッドスライダにおいて、 Ｃ．Ｓ．Ｆ．法で計測した破壊靭性値で２．５ＭＮ／ｍ
＾３＾／＾２以上の材料からなる焼結体であることを特
徴とする磁気ヘッドスライダ。 １５、基板上に形成した連続媒体を有する磁気ディスク
に対して相対的に移動し、情報の読み書きを行う磁気ヘ
ッドを備えた磁気ヘッドスライダにおいて、 比重で５．０以下の材料からなる焼結体であることを特
徴とする磁気ヘッドスライダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2197960A JP2523957B2 (ja) | 1990-07-27 | 1990-07-27 | 磁気ディスク装置及び磁気ヘッドスライダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2197960A JP2523957B2 (ja) | 1990-07-27 | 1990-07-27 | 磁気ディスク装置及び磁気ヘッドスライダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0485721A true JPH0485721A (ja) | 1992-03-18 |
| JP2523957B2 JP2523957B2 (ja) | 1996-08-14 |
Family
ID=16383183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2197960A Expired - Lifetime JP2523957B2 (ja) | 1990-07-27 | 1990-07-27 | 磁気ディスク装置及び磁気ヘッドスライダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2523957B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5910863A (en) * | 1993-09-20 | 1999-06-08 | Hitachi, Ltd. | Magnetic head slider and magnetic disk device using the same |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5641524A (en) * | 1979-07-23 | 1981-04-18 | Datapoint Corp | Magentic recording disk and forming same |
| JPS6259566A (ja) * | 1985-09-06 | 1987-03-16 | 住友特殊金属株式会社 | 磁気ヘツド基板用材料 |
| JPS62143857A (ja) * | 1985-12-17 | 1987-06-27 | 株式会社トーキン | 磁気ヘツド用非磁性材料 |
| JPS62292672A (ja) * | 1986-06-11 | 1987-12-19 | 住友特殊金属株式会社 | 磁気ヘツド用磁器組成物 |
| JPH01264951A (ja) * | 1988-04-18 | 1989-10-23 | Hitachi Ltd | 焼結体及びその製法と用途 |
-
1990
- 1990-07-27 JP JP2197960A patent/JP2523957B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS62292672A (ja) * | 1986-06-11 | 1987-12-19 | 住友特殊金属株式会社 | 磁気ヘツド用磁器組成物 |
| JPH01264951A (ja) * | 1988-04-18 | 1989-10-23 | Hitachi Ltd | 焼結体及びその製法と用途 |
Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| US5910863A (en) * | 1993-09-20 | 1999-06-08 | Hitachi, Ltd. | Magnetic head slider and magnetic disk device using the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2523957B2 (ja) | 1996-08-14 |
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