JPH048785B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH048785B2 JPH048785B2 JP58020353A JP2035383A JPH048785B2 JP H048785 B2 JPH048785 B2 JP H048785B2 JP 58020353 A JP58020353 A JP 58020353A JP 2035383 A JP2035383 A JP 2035383A JP H048785 B2 JPH048785 B2 JP H048785B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- transparent
- film
- printed wiring
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0073—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces
- H05K3/0082—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces characterised by the exposure method of radiation-sensitive masks
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、印刷配線板の製造工程において、例
えばエツチングレジストを形成する場合のように
印刷配線板の表面に形成した光重合性樹脂層に所
定の像を焼き付けるための装置に関するものであ
る。
えばエツチングレジストを形成する場合のように
印刷配線板の表面に形成した光重合性樹脂層に所
定の像を焼き付けるための装置に関するものであ
る。
従来、銅張積層板に光重合性樹脂によるエツチ
ングレジストを形成させる場合、表面に光重合性
樹脂層を形成した印刷配線板に製版フイルムを重
ね、これらを焼付機の透明支持板と透明フレキシ
ブルフイルムとで挟み、透明支持板と透明フレキ
シブルフイルムとで挟まれた空間を真空状態にし
て露光を行つている。そして、透明支持板と製版
フイルムとの密着性をよくするため、透明支持板
の製版フイルムと接触する側に細い溝を設けた
り、透明支持板を貫通する細孔を設けたりしてい
る。
ングレジストを形成させる場合、表面に光重合性
樹脂層を形成した印刷配線板に製版フイルムを重
ね、これらを焼付機の透明支持板と透明フレキシ
ブルフイルムとで挟み、透明支持板と透明フレキ
シブルフイルムとで挟まれた空間を真空状態にし
て露光を行つている。そして、透明支持板と製版
フイルムとの密着性をよくするため、透明支持板
の製版フイルムと接触する側に細い溝を設けた
り、透明支持板を貫通する細孔を設けたりしてい
る。
従来の装置は、透明支持板そのものを加工する
ため、加工が困難であつたり、また精度よく加工
できず却つて透明支持板と製版フイルムとの密着
性の損なうような場合もあつた。
ため、加工が困難であつたり、また精度よく加工
できず却つて透明支持板と製版フイルムとの密着
性の損なうような場合もあつた。
本発明はこのような欠点を解消しようとするも
のである。
のである。
本発明では、透明板３に、製版フイルム２と接
触する面に、その一部を溝状に切り剥がして空気
排出溝１１とした厚さ15〜50μｍの紫外線透過フ
イルム１０を接着することにより前記のような課
題を解決した。
触する面に、その一部を溝状に切り剥がして空気
排出溝１１とした厚さ15〜50μｍの紫外線透過フ
イルム１０を接着することにより前記のような課
題を解決した。
透明板３に所定の厚さの紫外線透過フイルムを
接着し、これを切り剥がすのみでよいので、加工
が簡単であり、かつ溝の深さはフイルムの厚さで
定まるため、加工精度を気にする必要が全くなく
なる。
接着し、これを切り剥がすのみでよいので、加工
が簡単であり、かつ溝の深さはフイルムの厚さで
定まるため、加工精度を気にする必要が全くなく
なる。
以下図面に基づいて本発明の一実施例を説明す
る。
る。
第１図において、１は光重合性樹脂層を表面に
形成した印刷配線板用基板、２はネガ又はポジフ
イルムの製版フイルム、３は透明板、４は透明フ
レキシブルフイルム、５は透明支持板、６は真空
ポンプ、７は紫外線ランプ、８は反射鏡である。
透明板３は厚さ３〜５mmの透明ガラス板が好まし
く、第２図に示すように、製版フイルムと接する
面に厚さ15〜50μｍの紫外線透過性フイルム１０
を接着し、そのフイルムを部分的に切り剥がして
空気排出溝１１を形成してある。空気排出溝１１
は第３図に示すように、透明板３の中央部を中心
として放射状に形成すると、より効果的である。
空気排出溝の幅は５〜15mmがよい。これより狭い
と空気を充分に排出できないため密着性を損な
い、これより広いと製版フイルムが溝の中に落ち
込んで平面性を損なつてしまう。
形成した印刷配線板用基板、２はネガ又はポジフ
イルムの製版フイルム、３は透明板、４は透明フ
レキシブルフイルム、５は透明支持板、６は真空
ポンプ、７は紫外線ランプ、８は反射鏡である。
透明板３は厚さ３〜５mmの透明ガラス板が好まし
く、第２図に示すように、製版フイルムと接する
面に厚さ15〜50μｍの紫外線透過性フイルム１０
を接着し、そのフイルムを部分的に切り剥がして
空気排出溝１１を形成してある。空気排出溝１１
は第３図に示すように、透明板３の中央部を中心
として放射状に形成すると、より効果的である。
空気排出溝の幅は５〜15mmがよい。これより狭い
と空気を充分に排出できないため密着性を損な
い、これより広いと製版フイルムが溝の中に落ち
込んで平面性を損なつてしまう。
本発明の装置を使用して、銅張積層板にエツチ
ングレジストを形成した。その回路位置精度（使
用ネガフイルムの表裏張り合わせ精度0.03mmに対
する変化量）は0.02〜0.03mm、回路寸法精度（使
用ネガフイルムのライン幅0.15mmに対する変化
量）は0.01〜0.03mmであり、透明ガラス板を加工
して溝を形成した装置を用いた場合と同等であつ
た。
ングレジストを形成した。その回路位置精度（使
用ネガフイルムの表裏張り合わせ精度0.03mmに対
する変化量）は0.02〜0.03mm、回路寸法精度（使
用ネガフイルムのライン幅0.15mmに対する変化
量）は0.01〜0.03mmであり、透明ガラス板を加工
して溝を形成した装置を用いた場合と同等であつ
た。
本発明は、透明板３に、製版フイルム２と接す
る面に、その一部を溝状に切り剥がして空気排出
溝１１とした厚さ15〜50μｍの紫外線透過フイル
ム１０を接着したので、加工が簡単であり、かつ
溝の深さはフイルムの厚さで定まるため、加工精
度を気にする必要が全くなくなる。
る面に、その一部を溝状に切り剥がして空気排出
溝１１とした厚さ15〜50μｍの紫外線透過フイル
ム１０を接着したので、加工が簡単であり、かつ
溝の深さはフイルムの厚さで定まるため、加工精
度を気にする必要が全くなくなる。
図面は何れも本発明の一実施例を示し、第１図
は装置全体の模式図、第２図は透明板の断面図、
第３図は透明板の平面図である。 符号の説明、３……透明板、１０……紫外線透
過性フイルム、１１……空気排出溝。
は装置全体の模式図、第２図は透明板の断面図、
第３図は透明板の平面図である。 符号の説明、３……透明板、１０……紫外線透
過性フイルム、１１……空気排出溝。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 表面に光重合性樹脂層を形成した印刷配線板
に製版フイルムを重ね、これらを焼付機の透明支
持板と透明フレキシブルフイルムとで挟み、透明
支持板と透明フレキシブルフイルムとで挟まれた
空間を真空状態にして露光を行う装置において、
製版フイルムと透明フレキシブルフイルムとの間
に、製版フイルムと接する面にその一部を溝状に
切り剥がして空気排出溝とした厚さ15〜50μｍの
紫外線透過フイルムを接着した透明板を配したこ
とを特徴とする印刷配線板の焼付け装置。 ２ 空気排出溝が幅５〜15mmで、透明板の中央か
ら端部へ放射状となつていることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の印刷配線板の焼付け装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58020353A JPS59146056A (ja) | 1983-02-09 | 1983-02-09 | 印刷配線板用基板に形成された光重合性樹脂フイルムの焼付法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58020353A JPS59146056A (ja) | 1983-02-09 | 1983-02-09 | 印刷配線板用基板に形成された光重合性樹脂フイルムの焼付法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59146056A JPS59146056A (ja) | 1984-08-21 |
| JPH048785B2 true JPH048785B2 (ja) | 1992-02-18 |
Family
ID=12024747
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58020353A Granted JPS59146056A (ja) | 1983-02-09 | 1983-02-09 | 印刷配線板用基板に形成された光重合性樹脂フイルムの焼付法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59146056A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2608795A1 (fr) * | 1986-12-18 | 1988-06-24 | Photomeca Sa | Dispositif de maintien pour leur insolation par ultraviolet des plaques de resine photosensible et machine d'insolation equipee de ce dispositif |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5260705A (en) * | 1975-11-13 | 1977-05-19 | Dainippon Screen Mfg | Photoosensitive holder for step and repeat machine |
| JPS54107402U (ja) * | 1978-01-13 | 1979-07-28 | ||
| JPS56109354A (en) * | 1980-02-01 | 1981-08-29 | Yamatoya Shokai:Kk | Photosensitive plate equipping device of composer |
-
1983
- 1983-02-09 JP JP58020353A patent/JPS59146056A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59146056A (ja) | 1984-08-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| AU567497B2 (en) | Method and apparatus for captivating a substrate with a holder | |
| GB1510159A (en) | Laminar structures | |
| EP0267807A3 (en) | Improved photosensitive laminate | |
| JP4420507B2 (ja) | 基板露光方法および装置 | |
| JPH048785B2 (ja) | ||
| JPH0679856A (ja) | スクリーン印刷機器 | |
| CN101661218B (zh) | 透明光掩模的制备方法 | |
| JPS62229250A (ja) | 回路基板のパタ−ンの印刷用マスクフイルムの貼合方法 | |
| JP2003021909A (ja) | 露光装置 | |
| JPS6148858A (ja) | 真空密着露光方法 | |
| JPH0224233B2 (ja) | ||
| JPH09179310A (ja) | 回路パターンの露光方法 | |
| JPS6340157A (ja) | 露光機 | |
| JPH0264543A (ja) | 曲面へのパターン形成方法 | |
| JPH0384991A (ja) | 内層回路パターニング用露光ツール | |
| JPH01265254A (ja) | 印刷用樹脂凸版材及びこれを用いた凸板の製造方法 | |
| JPS626714Y2 (ja) | ||
| JPH11151729A (ja) | 高精度な感光性樹脂版の製造方法及び装置 | |
| JPH07219234A (ja) | 露光機の密着装置 | |
| JPS6318018Y2 (ja) | ||
| JPH08160638A (ja) | フィルム状感光性材料の光活性保持方法及びプリント配線板の製造法 | |
| JPS6310588A (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
| JPH05232710A (ja) | フォトマスク固定法 | |
| JPS61194795A (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
| JPS59118460A (ja) | 被印刷物固定装置 |