JPH04889Y2 - - Google Patents
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- JPH04889Y2 JPH04889Y2 JP12310486U JP12310486U JPH04889Y2 JP H04889 Y2 JPH04889 Y2 JP H04889Y2 JP 12310486 U JP12310486 U JP 12310486U JP 12310486 U JP12310486 U JP 12310486U JP H04889 Y2 JPH04889 Y2 JP H04889Y2
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Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、主として高温薬液を循環濾過する装
置に関するものである。
置に関するものである。
半導体製造工程でウエハ処理のために高温の薬
液を用いる場合、通常、フイルタ、ドレインバル
ブ、空気抜きバルブ等の各部品を流通管で連結
し、これら各部品間の薬液流路に絶えず清浄な高
温薬液を供給するために、薬液供給ポンプを用い
て高薬液を循環させている。なお、薬液供給ポン
プを含めた上記各部品は、薬液として硫酸などを
用いるため、薬液に接する部分には例えばテフロ
ンなどの合成樹脂を使用している。
液を用いる場合、通常、フイルタ、ドレインバル
ブ、空気抜きバルブ等の各部品を流通管で連結
し、これら各部品間の薬液流路に絶えず清浄な高
温薬液を供給するために、薬液供給ポンプを用い
て高薬液を循環させている。なお、薬液供給ポン
プを含めた上記各部品は、薬液として硫酸などを
用いるため、薬液に接する部分には例えばテフロ
ンなどの合成樹脂を使用している。
高温薬液の温度は、場合によつては150℃を必
要とし、このため上記各部品に接する室温との間
に大きな温度差を生じ、上記合成樹脂製の各部品
が熱変形を生じて薬液漏れを発生することがあ
る。ことに薬液循環のための圧力を増した場合に
薬液漏れが発生しやすい。
要とし、このため上記各部品に接する室温との間
に大きな温度差を生じ、上記合成樹脂製の各部品
が熱変形を生じて薬液漏れを発生することがあ
る。ことに薬液循環のための圧力を増した場合に
薬液漏れが発生しやすい。
本考案は、上記の各部品と該部品間を連結する
流路の一部を例えば80℃の純水または乾燥空気中
に保持し、上記部品の内部を循環する高温薬液と
これら部品の周波温度との温度差を低減するとと
もに、薬液漏れの検知器を備えたものである。
流路の一部を例えば80℃の純水または乾燥空気中
に保持し、上記部品の内部を循環する高温薬液と
これら部品の周波温度との温度差を低減するとと
もに、薬液漏れの検知器を備えたものである。
高温薬液循環装置に必要な各部品、すなわち、
薬液供給ポンプ、フイルタ、ドレインバルブ、空
気抜きバルブ等を、第１図に示すように金属、合
成樹脂等で作られた収納槽８内に収納し、上記収
納槽８内に純水または乾燥空気を満たすことによ
つて例えば80℃に保持し、循環する高温薬液の温
度が150℃であつても、上記各部品の薬液に接触
する部分における外壁との温度差は70deg.に保た
れ、熱変形によつて生じる薬液漏れを防止するこ
とができる。なお、上記収納槽８内には薬液漏れ
の検知装置を設けて、薬液漏れが発生した場合に
は警報を発するなどして災害を防止する。
薬液供給ポンプ、フイルタ、ドレインバルブ、空
気抜きバルブ等を、第１図に示すように金属、合
成樹脂等で作られた収納槽８内に収納し、上記収
納槽８内に純水または乾燥空気を満たすことによ
つて例えば80℃に保持し、循環する高温薬液の温
度が150℃であつても、上記各部品の薬液に接触
する部分における外壁との温度差は70deg.に保た
れ、熱変形によつて生じる薬液漏れを防止するこ
とができる。なお、上記収納槽８内には薬液漏れ
の検知装置を設けて、薬液漏れが発生した場合に
は警報を発するなどして災害を防止する。
つぎに本考案の実施例を図面とともに説明す
る。第１図は本考案による高温薬液循環濾過装置
の一実施例を示す構成図である。第１図におい
て、加熱用ヒータ１を設けた薬液槽２からオーバ
フローした高温薬液は、流通管３を経由して薬液
供給ポンプ４およびフイルタ５，５′を通り、バ
ルブを経てウエハ処理等のために供給されるが、
上記薬液供給ポンプ４やフイルタ５，５′をはじ
め、高温薬液の流路となるドレインバルブ６や空
気抜きバルブ７等を、金属または合成樹脂で製作
された収納槽８内に収納し、上記収納槽８内には
純水または乾燥空気をほぼ満たすことにより、薬
液供給ポンプ４等の部品を構成する合成樹脂の軟
化変形温度以下に保持する。上記のように構成し
たことにより、高温薬液の温度が150℃であつた
としても、上記高温薬液が流通する流路の外側温
度は例えば80℃に保たれているため、流通管３を
含めて上記収納槽８内にある各部品の内外温度差
は70degをこえることがなく、したがつて上記各
部品およびその接合部が熱変形によつて薬液漏れ
を弱じることはない。また薬液漏れの検知器（図
示せず）を上記収納槽８内に備えたため、万一、
高温薬液が各部品の接合部などから漏れた場合に
は、警報等により直ちに装置の運転を停止し、危
険状態を回避することが可能である。薬液漏れの
検知装置としては、例えば純水を用いる場合には
PHの変化を検知し、また乾燥空気を使用する場合
には吸液性の絶縁被覆を施した導体を近接相対さ
せながら各部品表面に設置する方法などを採用す
ることができる。
る。第１図は本考案による高温薬液循環濾過装置
の一実施例を示す構成図である。第１図におい
て、加熱用ヒータ１を設けた薬液槽２からオーバ
フローした高温薬液は、流通管３を経由して薬液
供給ポンプ４およびフイルタ５，５′を通り、バ
ルブを経てウエハ処理等のために供給されるが、
上記薬液供給ポンプ４やフイルタ５，５′をはじ
め、高温薬液の流路となるドレインバルブ６や空
気抜きバルブ７等を、金属または合成樹脂で製作
された収納槽８内に収納し、上記収納槽８内には
純水または乾燥空気をほぼ満たすことにより、薬
液供給ポンプ４等の部品を構成する合成樹脂の軟
化変形温度以下に保持する。上記のように構成し
たことにより、高温薬液の温度が150℃であつた
としても、上記高温薬液が流通する流路の外側温
度は例えば80℃に保たれているため、流通管３を
含めて上記収納槽８内にある各部品の内外温度差
は70degをこえることがなく、したがつて上記各
部品およびその接合部が熱変形によつて薬液漏れ
を弱じることはない。また薬液漏れの検知器（図
示せず）を上記収納槽８内に備えたため、万一、
高温薬液が各部品の接合部などから漏れた場合に
は、警報等により直ちに装置の運転を停止し、危
険状態を回避することが可能である。薬液漏れの
検知装置としては、例えば純水を用いる場合には
PHの変化を検知し、また乾燥空気を使用する場合
には吸液性の絶縁被覆を施した導体を近接相対さ
せながら各部品表面に設置する方法などを採用す
ることができる。
なお、上記収納槽８は金属または合成樹脂の他
にガラスで製作することも可能であるが、機械的
あるいは熱的衝撃に弱く、また弗酸を取扱うこと
もあるため、実用的とはいえない。
にガラスで製作することも可能であるが、機械的
あるいは熱的衝撃に弱く、また弗酸を取扱うこと
もあるため、実用的とはいえない。
上記のように本考案による高温薬液循環濾過装
置は、高温薬液を濾過して循環供給する高温薬液
循環濾過装置において、薬液供給ポンプ、フイル
タ、ドレインバルブ、空気抜きバルブ等の各部品
を収納する金属または合成樹脂よりなる収納槽を
設け、上記収納槽内を純水または乾燥空気によつ
て例えば80℃に保持するとともに、上記各部品の
薬液漏れを検知する検知装置を、上記収納槽内に
設置したことにより、高温薬液が流れる流路の各
部品における内外の温度差を低減することができ
るため、上記各部品およびその接合部の熱変形に
起因する薬液漏れを防ぎ、また、万一薬液漏れを
生じた場合には、直ちにこれを検知し災害を未然
に防ぐことができる。
置は、高温薬液を濾過して循環供給する高温薬液
循環濾過装置において、薬液供給ポンプ、フイル
タ、ドレインバルブ、空気抜きバルブ等の各部品
を収納する金属または合成樹脂よりなる収納槽を
設け、上記収納槽内を純水または乾燥空気によつ
て例えば80℃に保持するとともに、上記各部品の
薬液漏れを検知する検知装置を、上記収納槽内に
設置したことにより、高温薬液が流れる流路の各
部品における内外の温度差を低減することができ
るため、上記各部品およびその接合部の熱変形に
起因する薬液漏れを防ぎ、また、万一薬液漏れを
生じた場合には、直ちにこれを検知し災害を未然
に防ぐことができる。
図は本考案による高温薬液循環濾過装置の一実
施例を示す構成図である。 ４……薬液供給ポンプ、５，５′……フイルタ、
６……ドレインバルブ、７……空気抜きバルブ、
８……収納槽。
施例を示す構成図である。 ４……薬液供給ポンプ、５，５′……フイルタ、
６……ドレインバルブ、７……空気抜きバルブ、
８……収納槽。
Claims (1)
- 高温薬液を濾過して循環供給する高温薬液循環
濾過装置において、薬液供給ポンプ、フイルタ、
ドレインバルブ、空気抜きバルブ等の各部品を収
納する金属または合成樹脂よりなる収納槽を設
け、上記収納槽内を純水または乾燥空気によつて
80℃に保持するとともに、上記各部品の薬液漏れ
を検知する検知装置を、上記収納槽内に設置した
ことを特徴とする高温薬液循環濾過装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12310486U JPH04889Y2 (ja) | 1986-08-11 | 1986-08-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12310486U JPH04889Y2 (ja) | 1986-08-11 | 1986-08-11 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6332612U JPS6332612U (ja) | 1988-03-02 |
| JPH04889Y2 true JPH04889Y2 (ja) | 1992-01-13 |
Family
ID=31013900
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12310486U Expired JPH04889Y2 (ja) | 1986-08-11 | 1986-08-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04889Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005088685A1 (ja) * | 2004-03-16 | 2005-09-22 | Hirata Corporation | 処理液供給システム及びフィルタ装置 |
-
1986
- 1986-08-11 JP JP12310486U patent/JPH04889Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6332612U (ja) | 1988-03-02 |
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