JPH0499166A - 両面蒸着フィルムの製造方法 - Google Patents
両面蒸着フィルムの製造方法Info
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- JPH0499166A JPH0499166A JP2207438A JP20743890A JPH0499166A JP H0499166 A JPH0499166 A JP H0499166A JP 2207438 A JP2207438 A JP 2207438A JP 20743890 A JP20743890 A JP 20743890A JP H0499166 A JPH0499166 A JP H0499166A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は合成樹脂フィルムなどのサブストレトの両面に
亜鉛または亜鉛合金、あるいは、その他の金属薄膜を形
成する製造方法に関する。
亜鉛または亜鉛合金、あるいは、その他の金属薄膜を形
成する製造方法に関する。
従来の技術
従来、この種の両面蒸着法では、蒸着中の真空度を低く
し、酸素分圧を高めて蒸着面を酸化することにより蒸着
した金属同志が接着し、巻き戻し時に接着した金属膜が
剥離を起こすブロッキング現象を防止していた。
し、酸素分圧を高めて蒸着面を酸化することにより蒸着
した金属同志が接着し、巻き戻し時に接着した金属膜が
剥離を起こすブロッキング現象を防止していた。
発明が解決しようとする課題
このような従来の方法ではポリプロピレンのようにヤン
グ率が低く、ぬれ張力も小さいフィルムに亜鉛や亜鉛合
金のように蒸着されにくい金属を蒸着する場合において
は、従来知られていた以上に金属の酸化を進行させない
とブロッキングが発生していた。また、従来の技術の酸
素分圧を上げる方法だけでは酸化により蒸着膜の形成が
非常に不安定になったり、蒸着金属溶解用のるつぼが酸
化されて寿命が短かくなるなどの理由で実用化が困難で
あるという課題があった。
グ率が低く、ぬれ張力も小さいフィルムに亜鉛や亜鉛合
金のように蒸着されにくい金属を蒸着する場合において
は、従来知られていた以上に金属の酸化を進行させない
とブロッキングが発生していた。また、従来の技術の酸
素分圧を上げる方法だけでは酸化により蒸着膜の形成が
非常に不安定になったり、蒸着金属溶解用のるつぼが酸
化されて寿命が短かくなるなどの理由で実用化が困難で
あるという課題があった。
本発明はこのような課題を解決するもので、酸素分圧を
上げたときに発明する問題を解決し、ポリプロピレンの
両面にプロキングを起こさない亜鉛または亜鉛合金など
の金属を真空蒸着することを目的とするものである。
上げたときに発明する問題を解決し、ポリプロピレンの
両面にプロキングを起こさない亜鉛または亜鉛合金など
の金属を真空蒸着することを目的とするものである。
課題を解決するための手段
この課題を解決するために本発明は、真空チャンバ内の
巻取シ室に空気または酸素などの酸化性の気体を急激に
注入することにより、フィルムに蒸着された金属にのみ
、またはフィルムに酸素を付着させこの酸素によシフィ
ルムに蒸着された金属のみを酸化させるようにしたもの
である。
巻取シ室に空気または酸素などの酸化性の気体を急激に
注入することにより、フィルムに蒸着された金属にのみ
、またはフィルムに酸素を付着させこの酸素によシフィ
ルムに蒸着された金属のみを酸化させるようにしたもの
である。
さらに従来の課題であった酸素分子が蒸着室側に流入し
て蒸着膜が異常酸化され、蒸着膜の形成が不安定と々つ
たシ、蒸着金属溶解用ｌレツポの低寿命を防止するため
、蒸着室内への酸化性の気体が流入するのを防止する隔
壁を設けたものである。
て蒸着膜が異常酸化され、蒸着膜の形成が不安定と々つ
たシ、蒸着金属溶解用ｌレツポの低寿命を防止するため
、蒸着室内への酸化性の気体が流入するのを防止する隔
壁を設けたものである。
作 用
蒸着膜の表層にのみ酸化膜を形成させることにより、蒸
着膜相互間の密着性がフィルムと蒸着膜との密着性より
著しく小さくなり、ブロッキング現象が防止できる。本
発明は真空チャンバ内の巻取り室のみに酸化性の気体を
注入することによシ、注入された気体の分子は急膨張し
て急拡散し、巻取り室内にあるフィルムおよび蒸着膜に
衝突し、この衝突した気体の酸素分子によシ酸化反応が
行われる。
着膜相互間の密着性がフィルムと蒸着膜との密着性より
著しく小さくなり、ブロッキング現象が防止できる。本
発明は真空チャンバ内の巻取り室のみに酸化性の気体を
注入することによシ、注入された気体の分子は急膨張し
て急拡散し、巻取り室内にあるフィルムおよび蒸着膜に
衝突し、この衝突した気体の酸素分子によシ酸化反応が
行われる。
実施例
本発明の実施例を図面を参考にして説明する。
第１図に本発明の一実施例の両面蒸着装置の構成を示す
。各装置は真空チャンバ１の内部に配されている。フィ
ルムａはクーリングロール３の上でアルミニュウム蒸発
源６および亜鉛蒸発源４によシそれぞれの金属をフィル
ムの両面に蒸着する構成となっている。
。各装置は真空チャンバ１の内部に配されている。フィ
ルムａはクーリングロール３の上でアルミニュウム蒸発
源６および亜鉛蒸発源４によシそれぞれの金属をフィル
ムの両面に蒸着する構成となっている。
真空チャンバ１には気体注入用流量調整弁２を接続し、
真空チャンバ１内部には気体搬送用配管９にフード８を
接続し、酸素や空気などの気体を蒸着面に吹きつける構
造となっている。また真空チャンバ１内を巻取り室と蒸
着室に分離するため隔壁６．隔壁７．隔壁シール１ｏが
配設されている。この隔壁シール１ｏは合成ゴムなどで
形成されていて隔壁７を挟んでシールする構造となって
いる。この隔壁６，７に蒸Ｍ室への酸化性の気体の流入
を防いでいる。
真空チャンバ１内部には気体搬送用配管９にフード８を
接続し、酸素や空気などの気体を蒸着面に吹きつける構
造となっている。また真空チャンバ１内を巻取り室と蒸
着室に分離するため隔壁６．隔壁７．隔壁シール１ｏが
配設されている。この隔壁シール１ｏは合成ゴムなどで
形成されていて隔壁７を挟んでシールする構造となって
いる。この隔壁６，７に蒸Ｍ室への酸化性の気体の流入
を防いでいる。
本実施例では、気体搬送用配管９．フード８を介して気
体を注入しているが、注入する気体の量によってはフー
ド８無しでも同等の効果が得られる。
体を注入しているが、注入する気体の量によってはフー
ド８無しでも同等の効果が得られる。
第２図は真空チャンバ１内への注入空気量とブロッキン
グ発生率の相関を示す。空気を用いた場合は注入量を１
１／ＩＩｊＩＫ以上にしたときブロッキング発生率が大
幅に低下することがわかる。なお、ブロッキング発生率
とは第３図に示すようにフィルム全幅に対するブロッキ
ング部Ｃの面積比率を百分率であられしたものである。
グ発生率の相関を示す。空気を用いた場合は注入量を１
１／ＩＩｊＩＫ以上にしたときブロッキング発生率が大
幅に低下することがわかる。なお、ブロッキング発生率
とは第３図に示すようにフィルム全幅に対するブロッキ
ング部Ｃの面積比率を百分率であられしたものである。
第４図に両面蒸着されたコンデンサ用フィルムの構成を
示す。フィルムｄの両面に蒸着金属膜すが形成されてい
る。
示す。フィルムｄの両面に蒸着金属膜すが形成されてい
る。
発明の効果
以上の実施例の説明からも明らかなように本発明によれ
ば、ポリプロピレンのようにぬれ張力が低く、ヤング率
が低いため真空蒸着後フィルムが巻締まシしやすい材料
の両面に、亜鉛、アルミニュウムなどの金属を蒸着する
場合でも、ブロッキング性が大幅に改善できるという効
果が得られる。
ば、ポリプロピレンのようにぬれ張力が低く、ヤング率
が低いため真空蒸着後フィルムが巻締まシしやすい材料
の両面に、亜鉛、アルミニュウムなどの金属を蒸着する
場合でも、ブロッキング性が大幅に改善できるという効
果が得られる。
第１図は本発明の両面蒸着フィルムの製造方法を用いた
蒸着装置の構成図、第２図は注入空気量とブロッキング
不良率の関係を示すグラフ、第３図はブロッキング発生
の形態を示す図、第４図は第１図の蒸着装置により製造
された両面蒸着フィルムの断面図である。 １・・・・・・真空チャンバ、２・・・・・・流量調節
弁、３・・・・・・クーリングロール、４・・・・・・
亜鉛蒸発源、６・旧・・アルミニュウム蒸発源、６．７
・・・・・・隔壁、８・旧・・フード、９・・・・・・
気体搬送配管、１０川・・・隔壁シール、ａ・・・・・
・フィルム、ｂ・・・・・・蒸着金属膜、Ｃ・・・・・
・ブロッキング部。
蒸着装置の構成図、第２図は注入空気量とブロッキング
不良率の関係を示すグラフ、第３図はブロッキング発生
の形態を示す図、第４図は第１図の蒸着装置により製造
された両面蒸着フィルムの断面図である。 １・・・・・・真空チャンバ、２・・・・・・流量調節
弁、３・・・・・・クーリングロール、４・・・・・・
亜鉛蒸発源、６・旧・・アルミニュウム蒸発源、６．７
・・・・・・隔壁、８・旧・・フード、９・・・・・・
気体搬送配管、１０川・・・隔壁シール、ａ・・・・・
・フィルム、ｂ・・・・・・蒸着金属膜、Ｃ・・・・・
・ブロッキング部。
Claims (3)
- （１）ぬれ張力が４５ｄｙｎｅ／ｃｍ以下の合成樹脂フ
ィルム、またはその他のサブストレートの裏表両面に亜
鉛、亜鉛合金またはその他の金属を真空蒸着する両面蒸
着フィルムの製造方法において、酸化性気体を真空チャ
ンバ内のフィルム巻取り室に注入する両面蒸着フィルム
の製造方法。 - （２）酸化性気体として空気を用いる請求項１記載の両
面蒸着フィルムの製造方法。 - （３）酸化性気体として酸素を用いる請求項１記載の両
面蒸着フィルムの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2207438A JPH0762238B2 (ja) | 1990-08-03 | 1990-08-03 | 両面蒸着フィルムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2207438A JPH0762238B2 (ja) | 1990-08-03 | 1990-08-03 | 両面蒸着フィルムの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0499166A true JPH0499166A (ja) | 1992-03-31 |
| JPH0762238B2 JPH0762238B2 (ja) | 1995-07-05 |
Family
ID=16539771
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2207438A Expired - Lifetime JPH0762238B2 (ja) | 1990-08-03 | 1990-08-03 | 両面蒸着フィルムの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0762238B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002101768A1 (en) * | 2001-06-08 | 2002-12-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of manufacturing double surface metallized film, and metallized film capacitor using the method |
| CN103310906A (zh) * | 2012-03-13 | 2013-09-18 | 日东电工株式会社 | 导电性膜卷的制造方法 |
| US20140027021A1 (en) * | 2012-07-24 | 2014-01-30 | Nitto Denko Corporation | Method for manufacturing conductive film roll |
| CN113684462A (zh) * | 2021-07-29 | 2021-11-23 | 苏州道一至诚纳米材料技术有限公司 | 双面往复镀膜装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6028712B2 (ja) * | 2013-10-23 | 2016-11-16 | 住友金属鉱山株式会社 | 両面成膜方法と金属ベース層付樹脂フィルムの製造方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5330932A (en) * | 1976-09-03 | 1978-03-23 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Continuous vacuum deposition zinc plating method |
| JPS56163262A (en) * | 1980-05-21 | 1981-12-15 | Ulvac Corp | Method and apparatus for forming oxidation and weather resistant film after surface treatment |
| JPS5861272A (ja) * | 1981-10-06 | 1983-04-12 | Agency Of Ind Science & Technol | 箔の表面に皮膜を形成する方法 |
| JPS6280262A (ja) * | 1985-10-02 | 1987-04-13 | Nippon Kokan Kk <Nkk> | めつき鋼板及びその製造方法 |
| JPS6297133A (ja) * | 1985-10-24 | 1987-05-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
| JPS6326826A (ja) * | 1986-07-18 | 1988-02-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
-
1990
- 1990-08-03 JP JP2207438A patent/JPH0762238B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (6)
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| CN1323409C (zh) * | 2001-06-08 | 2007-06-27 | 松下电器产业株式会社 | 两面金属化膜制造方法以及使用它的金属化膜电容器 |
| US7291185B2 (en) | 2001-06-08 | 2007-11-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of manufacturing both-side metallized film with reduced blocking of metallized film and metallized film capacitor using the same |
| EP1400990A4 (en) * | 2001-06-08 | 2008-03-19 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | METHOD FOR PRODUCING A DOUBLE-SIDED METALLIZED FILM AND METAL FILM CONDENSER USING THE PROCESS |
| EP2157589A1 (en) * | 2001-06-08 | 2010-02-24 | Panasonic Corporation | Method of manufacturing double surface metallized film, and metallized film capacitor using the method |
| CN103310906A (zh) * | 2012-03-13 | 2013-09-18 | 日东电工株式会社 | 导电性膜卷的制造方法 |
| US20130243945A1 (en) * | 2012-03-13 | 2013-09-19 | Nitto Denko Corporation | Method of manufacturing conductive film roll |
| US20140027021A1 (en) * | 2012-07-24 | 2014-01-30 | Nitto Denko Corporation | Method for manufacturing conductive film roll |
| CN103578608A (zh) * | 2012-07-24 | 2014-02-12 | 日东电工株式会社 | 导电性薄膜卷的制造方法 |
| CN113684462A (zh) * | 2021-07-29 | 2021-11-23 | 苏州道一至诚纳米材料技术有限公司 | 双面往复镀膜装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0762238B2 (ja) | 1995-07-05 |
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