JPH05101360A - 薄膜磁気ヘツドスライダとその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 コンポジット型の薄膜磁気ヘッドスライダ
を、低融点のモールドガラスを使用せずに製造する。 【構成】 コンポジット型の薄膜磁気ヘッドスライダ
と、その製造において、薄膜磁気ヘッドとスライダ本体
11とを、該、薄膜磁気ヘッドに設ける磁気ギャップ６の
形成と同時に、中融点ガラス接着層12により接合させ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスクメモリ装
置に使用する薄膜磁気ヘッドスライダとその製造方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、磁気記録の高密度化に対応するた
め飽和磁束密度が高い金属磁性膜を磁気コアとして使用
する薄膜磁気ヘッドが開発されている。

【０００３】図２は、従来の薄膜磁気ヘッドの概略構造
を示す斜視図である。図において、１は非磁性基板で、
金属磁性膜２を挾持しており、この金属磁性膜２のみが
磁気コアとして作用する。そのため、バルク型磁気ヘッ
ドに比して磁気ヘッドのインダクタンスが小さくでき、
高周波帯で使用可能である。なお、３は高融点ガラス接
着層であり、これについては後で説明する。

【０００４】また、金属磁性膜２にはセンダスト合金等
の飽和磁束密度の高い材料を使用できるので、記録能力
も高くできて高密度記録が可能である。なお、金属磁性
膜２はヘッドのトラック幅が大きく、その膜厚を厚くす
る場合は、渦電流損失を防止するために二酸化珪素等の
絶縁材料の薄膜と積層体を形成して用いられる。

【０００５】図３は、上述した図２に示す薄膜磁気ヘッ
ドを使用する磁気ヘッドスライダの構造を示す斜視図で
ある。この図３に示す従来の磁気ヘッドスライダは製造
コストの最も大きなウエイトを占める金属磁性膜の利用
効率を高めるため、非磁性体の基板からなるスライダ本
体４に形成したスリット４Ｓに図２のような薄膜磁気ヘ
ッドを装着して、低融点モールドガラス５を用いてモー
ルドしたコンポジット型に形成される。なお、６は磁気
ギャップ、７及び８は図４で後述する中融点ガラス接着
層及びボンディングガラスである。

【０００６】図４は従来の薄膜磁気ヘッドの製造方法を
説明するための工程図である。この薄膜磁気ヘッドの製
造には、まず(a)図のように非磁性基板１上にセンダス
ト等をスパッタして金属磁性層２を形成し、これら複数
を高融点ガラス接着層３により(b)図のように接着し
て、非磁性基板１と金属磁性膜２を交互に積層した積層
バーブロック９′を形成する。

【０００７】つぎに、この積層バーブロック９′を、破
線のように金属磁性膜２の長手方向に対し直角に切断し
て(c)図のような非磁性基板１と金属磁性膜２が交互に
積層された積層バー９を形成させる。

【０００８】この積層バー９を(d)図のように、さらに
縦に切断して切断片９a，９bを構成し、一方の切断片、
図では切断片９aに巻線窓用の溝９a１を形成した後、こ
れらの切断面の対応する両面を精密に研磨して二酸化珪
素等の磁気ギャップ体６′と、中融点ガラス接着層７を
スパッタ法等により(e)図のように形成して突き合わ
せ、炉中で加熱し中融点ガラス接着層７を溶融して磁気
ギャップ６を(f)図のように形成する。

【０００９】なお、この磁気ギャップ６の形成時、巻線
窓には補強材としてボンディングガラス８を充填させ
る。磁気ギャップ６を形成した積層バー９は薄膜磁気ヘ
ッドを連続積層させた構造であり、(f)図の破線部分を
スライスして(g)図に示すような単品の薄膜磁気ヘッド
を得る。

【００１０】上述のように形成した薄膜磁気ヘッドは、
薄膜磁気ヘッドチップの挿入ギャップを形成した非磁性
基板からなるスライダ本体４(図３)に装着して、低融点
モールドガラス５を用いてモールドすることにより薄膜
磁気ヘッドスライダの製造が完成する。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の薄膜磁気ヘッドスライダの構造とその製造
方法では、ガラス溶着工程が低，中，高の３回必要であ
り、一度溶着したガラスに構造的なゆるみを発生さない
ためには、各工程において溶着ガラスの作業温度を、溶
着の順番に低くして行なうことが必要である。

【００１２】そのため、低融点モールドガラス５には極
めて融点の低いガラスを使用しなければならない。しか
しながら、低融点ガラスは耐候性が低いため、高い信頼
性が要求されるコンピュータ用の薄膜磁気ヘッドスライ
ダとして用いるには大きな問題がある。

【００１３】本発明は、上記の問題点に鑑みて低融点ガ
ラスを用いることなく製造可能な、薄膜磁気ヘッドスラ
イダとその製造方法の提供を目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明は、非磁性基板に
挾持させた金属磁性膜を磁気コアとし、磁気ギャップ、
及び巻線窓を形成してなる薄膜磁気ヘッドを、非磁性基
板により構成したスライダ本体にガラス接着層によって
接合させ構成した薄膜磁気ヘッドスライダであり、その
製造において、前記、磁気ヘッドにおける磁気ギャップ
を構成するためのガラス溶着と同時に、上記、薄膜磁気
ヘッドとスライダ本体を形成する非磁性基板との接着を
行なうことを特徴とする。

【００１５】

【作用】本発明によれば、ガラス接着工程は２回です
み、信頼性の低い低融点ガラスを使用する必要がなくな
り、したがって薄膜磁気ヘッドスライダの信頼性が向上
する。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。

【００１７】図１は本発明の製造方法の一実施例におけ
る要部工程図を示しており、まず、(a)のように従来と
同様にして、非磁性基板１と金属磁性膜２を、高融点ガ
ラス接着層３により交互に積層した積層バー10を形成
し、さらにこの積層バー10を10a，10bに分離するため縦
に切断して、一方の切断片、図では10aに巻線窓用の溝1
0a１を形成後、上記切断片の対応する両面を精密に研磨
して二酸化珪素等の磁気ギャップ材６′と、中融点ガラ
ス接着層７をスパッタ法などにより形成する。

【００１８】その後、(b)のように本発明では磁気ギャ
ップ材６′の溶着工程において、この磁気ギャップ材
６′の溶着と同時にスライダ本体用の非磁性基板11に、
前もってスパッタ等により設けた中融点ガラス接着層12
によって、積層バー10a側を溶着する。

【００１９】なお、従来と同じように磁気ギャップ６の
形成時には、巻線窓に補強用のボンディングガラス８を
充填する。上記の工程によって連続して薄膜磁気ヘッド
がスライダ本体用の非磁性基板11に接着された構造の積
層バー材が形成される。

【００２０】次に(b)のように上記、積層バー材を各薄
膜磁気ヘッド単位に破線のように切断分離して、浮揚面
等をスライダ形状に加工することにより、(c)のような
薄膜磁気ヘッドスライダが完成する。

【００２１】本発明によれば、薄膜磁気ヘッドの非磁性
基板で形成したスライダ本体との一体化を、磁気ヘッド
における磁気ギャップ溶着と同時に行なう中融点ガラス
による溶着によって行なうので、従来のような低融点の
モールドガラスを使用し、信頼度を低下させていたモー
ルド工程がなくなり信頼性の高い薄膜磁気ヘッドスライ
ダが製造できる。

【００２２】

【発明の効果】以上説明したように本発明の薄膜磁気ヘ
ッドスライダとその製造方法は、低融点のモールドガラ
スを使用しないので、薄膜磁気ヘッドスライダの信頼性
が著しく向上し、ガラス溶着工程も１工程軽減できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の製造方法の一実施例における要部工程
図である。

【図２】従来の薄膜磁気ヘッドの概略構造を示す斜視図
である。

【図３】従来の薄膜磁気ヘッドスライダの構造を示す斜
視図である。

【図４】従来の薄膜磁気ヘッドの製造方法を説明するた
めの工程図である。

【符号の説明】

１，11…非磁性基板、 ２…金属磁性膜、 ３…高融点
ガラス接着層、 ４…スライダ本体、 ６…磁気ギャッ
プ、 ６′…磁気ギャップ材、 ７，12…中融点ガラス
接着層、 ８…ボンディングガラス、 10…積層バー。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 非磁性基板に挾持させた金属磁性膜を磁
   気コアとし、磁気ギャップ、及び巻線窓を形成してなる
   磁気ヘッドを、非磁性基板により構成したスライダ本体
   にガラス接着層によって接合させ構成したことを特徴と
   する薄膜磁気ヘッドスライダ。
2. 【請求項２】 非磁性基板に挾持させた金属磁性膜を磁
   気コアとし、磁気ギャップ、及び巻線窓を形成してなる
   薄膜磁気ヘッドを、非磁性基板により構成したスライダ
   本体にガラス接着層によって接合させ構成した薄膜磁気
   ヘッドスライダの製造において、前記、磁気ヘッドにお
   ける磁気ギャップを構成するためのガラス溶着と同時
   に、上記、薄膜磁気ヘッドとスライダ本体を形成する非
   磁性体基板との接着を行なうことを特徴とする薄膜磁気
   ヘッドスライダの製造方法。