JPH0512301B2 - - Google Patents
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- JPH0512301B2 JPH0512301B2 JP59046439A JP4643984A JPH0512301B2 JP H0512301 B2 JPH0512301 B2 JP H0512301B2 JP 59046439 A JP59046439 A JP 59046439A JP 4643984 A JP4643984 A JP 4643984A JP H0512301 B2 JPH0512301 B2 JP H0512301B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aluminum oxynitride
- powder
- sintered body
- less
- aluminum
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Description
本発明は新規な透明な酸窒化アルミニウム焼結
体の製造方法に関する。詳しくは酸窒化アルミニ
ウム粉末を焼結して透明な酸窒化アルミニウム焼
結体を製造するに際し、該酸窒化アルミニウム粉
末を10-1torr以下の減圧下に加熱処理することに
より透明な酸窒化アルミニウム焼結体を製造する
方法を提供するものである。 従来、酸窒化アルミニウム粉末を焼結し、透明
な酸窒化アルミニウム焼結体を製造する方法は例
えば特開昭58−74577号に提案されるように公知
である。しかし該方法で得られた酸窒化アルミニ
ウム焼結体の透明性はその実施例でも明らかなよ
うに、厚さ1.78mmの酸窒化アルミニウム焼結体を
用いたとき、波長4μmに於けるインライン透過率
が43％で、透明性は十分に満足出来るものではな
かつた。 本発明者等はかゝる透明性の改良につき鋭意研
究して来た結果、酸窒化アルミニウム粉末を焼結
するに先きだち、減圧下に加熱処理を実施する
と、得られる酸窒化アルミニウム焼結体の透明性
を著しく改良出来ることを見出し、本発明を完成
させ、ここに提案するに至つた。 即ち、本発明は酸窒化アルミニウム粉末を焼結
して透明な酸窒化アルミニウム焼結体を製造する
に際し、該酸窒化アルミニウム粉末を10-1torr以
下の減圧下に加熱処理することを特徴とする透明
な酸窒化アルミニウム焼結体の製造方法である。 本発明で用いる酸窒化アルミニウム粉末は特に
限定されず如何なる方法で得られたものであつて
もよい。一般に好適に採用される方法を例示すれ
ば次ぎのような方法である。例えば、 (i) 酸化アルミニウムと窒化アルミニウムとの混
合物を窒素ガスの存在下に1650〜1850℃の温度
で焼成して単一相の酸窒化アルミニウム粉末を
得る方法、 (ii) 酸化アルミニウムとカーボンとの混合物を窒
素ガスの存在下に1600〜2000℃の温度に加熱し
て、酸化アルミニウムを部分的に還元窒化せし
め単一相の酸窒化アルミニウム粉末を得る方
法、 以上の方法が好適である。いずれの方法に於い
ても最終的に得られる酸窒化アルミニウム焼結体
に透明性を与えるために、出来るだけ純度の高い
且つ粒子径が小さく、粒度分布が揃つた原料を用
いるのが好ましい。例えば窒化アルミニウム粉末
としては平均粒子径2μm以下で、粒径3μm以下の
粒子の占める割合が70容量％以上で且つ陽イオン
例えばアルミニウム及び焼結助剤として使用する
場合はその陽イオン成分、を除く他の金属イオン
不純物含有量が金属として0.3重量％以下好まし
くは0.1重量％以下の性状を有するものが好適で
ある。 また酸化アルミニウム粉末は平均粒子径が2μm
以下で酸化アルミニウム以外の不純物含有量が
0.1重量％以下であるものが好ましく、特に平均
粒子径が1.0μm以下で、3μm以下の粒子を占める
割合が90容量％で且つ不純物含有量が0.05重量％
以下のものが好ましい。 前記酸窒化アルミニウム焼結体中の窒化アルミ
ニウムと酸化アルミニウムとの組成比は特に限定
されず必要に応じて適宜決定すればよいが該焼結
体に最も透明性を与えるのは一般に窒化アルミニ
ウムが27〜40モル％好ましくは28〜35モル％の範
囲である。 本発明の最大の特徴は酸窒化アルミニウム粉末
を焼結する際に、該酸窒化アルミニウムを10-1
torr以下の減圧下に加熱処理することである。該
圧下での加熱処理は特に限定されるものではなく
如何なる方法、手段によつて行つてもよい。一般
に工業的に好適に実施される態様の代表的なもの
を例示すれば、 (i) 酸窒化アルミニウム粉末を減圧下に例えば
1400℃〜1700℃付近の温度で加熱し、該加熱温
度の上限を超え、2100℃以下の温度で焼結まで
該減圧下に実施する方法、 (ii) 酸窒化アルミニウム粉末を減圧下に加熱し、
該加熱の途中例えば1400℃〜1700℃付近の温度
から或いは焼結温度に到達後不活性ガス例えば
窒素ガスを導入して不活性ガス雰囲気下に該加
熱温度を超え、2100℃以下の温度で焼結する方
法等の方法が好適に採用される。 本発明における前記減圧の程度は減圧度合が少
ない場合は本発明の効果を十分に発揮させること
が出来ないので一般には10-1torr以下好ましくは
10-2torr以下更に好ましくは10-3torr以下の減圧
度合を採用するのがよい。また前記加熱温度は前
記例示したように、減圧下に1400℃〜1700℃付近
の温度で加熱処理するのが好ましい。更にまた上
記加熱処理する時間は減圧度合、加熱温度、酸窒
化アルミニウムの組成比等によつて異なり一概に
限定出来ないが、一般には30分〜10時間の範囲
で、時間を選べばよい。 以上のように酸窒化アルミニウム粉末を焼結す
るに際し、減圧下に加熱処理することを実施する
ことによつて、得られる酸窒化アルミニウム焼結
体は透明性にすぐれ特に可視部でのインライン透
過率が著しく向上するだけでなく、焼結性も改良
される利点を有する。このような効果が酸窒化ア
ルミニウム粉末を焼結前に減圧下で加熱処理する
と云う簡単な手段で発揮されるのは全く驚ろくべ
き現象である。そして本発明の完成により工業的
に透明性にすぐれた酸窒化アルミニウム焼結体を
得ることが出来るようになつた功績は計り知れな
いものである。 本発明の製造方法により製造される透明な酸窒
化アルミニウム焼結体は、透明性が著しく改良さ
れたもので例えば高圧ナトリウムランプ発光管、
高温用窓材、赤外線検出器用窓材等の透明性、耐
久性等を要求される用途分野に有効に用いられ
る。 本発明を更に具体的に説明するため以下実施例
を挙げて説明するが本発明はこれらの実施例に限
定されるものではない。 実施例 １ 純度99.99％（不純物分析値を表１に示す）で
平均粒子径が0.52μmで3μm以下の粒子の割合が
95容量％のアルミナ29ｇと、灰分0.08wt％で平均
粒子径が0.45μmのカーボンブラツク10ｇとを、
ナイロン製ポツトとナイロンコーテイングしたボ
ールを用いエタノールを分散媒体として均一にボ
ールミル混合した。得られた混合物を乾燥後高純
度黒鉛製平皿に入れ電気炉内に窒素ガスを３／
minで連続的に供給しながら1600℃の温度で６時
間加熱した。得られた反応混合物を空気中で750
℃の温度で４時間加熱し未反応のカーボンを酸化
除去した。 得られた白色の粉末はＸ線回折分析（Xray
diffraction analysis）の結果単相（single
phase）のAlNでありAl2O3の回折ピークは無か
つた。また該粉末の平均粒子径は1.31μmであり、
3μm以下が90容量％を占めた。走査型電子顕微鏡
による観察ではこの粉末は平均0.7μm程度の均一
な粒子であつた。また比表面積の測定値は4.0
m2／ｇであつた。この粉末の分析値を表２に示
す。 表１ Al2O3粉末分析値 Al2O3content 99.99％ 元素 含有量（PPM） Mg ＜５ Cr ＜10 Si 30 Zn ＜５ Fe 22 Cu ＜５ Ca ＜20 Ni 15 Ti ＜５ 表２ AlN粉末分析値 AlN content 97.8％ 元素 含有量 Mg ＜５（PPM） Cr 21（ 〃 ） Si 125（ 〃 ） Zn ９（ 〃 ） Fe 20（ 〃 ） Cu ＜５（ 〃 ） Mn ５（ 〃 ） Ni 27（ 〃 ） Ti ＜５（ 〃 ） Co ＜５（ 〃 ） Al 64.8（wt％） Ｎ 33.4（ 〃 ） Ｏ 1.1（ 〃 ） Ｃ 0.11（ 〃 ） 上記の窒化アルミニウム粉末15重量部と、酸化
アルミニウム粉末85重量部を、ナイロン製ポツト
とナイロンコーテイングしたボールを用い、エタ
ノールを分散媒体として均一にボールミル混合し
た。（尚酸化アルミニウム粉末は、前記の窒化ア
ルミニウム粉末を製造する際に用いたと同じ物を
使用した。） 得られた混合物を乾燥後、窒化硼素製容器に入
れ、１気圧の窒素中で、1750℃の温度で３時間焼
成した。 上記で得られた粉末は白色で、粉末Ｘ線回折に
より、実質的に100パーセント立方晶酸窒化アル
ミニウムであることが判つた。また、堀場製作所
製CAPA−500により粒度分布を判定したところ、
平均粒子径2.2μm、粒径3μm以下の粒子の割合は
70容量パーセントであり、10μm以上の粒子は無
かつた。 この酸窒化アルミニウム粉末2.5ｇを、窒化硼
素粉末を内面に塗布した内径20mmの黒鉛型に入
れ、この粉末に200Kg／cm2の圧をかけつつ先ず試
料室内を10-4torrの減圧に保持し室温から1700℃
まで昇温し、1700℃で30分間保持した。その後試
料室内に窒素ガスを導入し、1900℃まで昇温し、
200Kg／cm2の加圧下、１気圧の窒素中に於いて
1900℃で３時間加圧焼結した。得られた焼結体を
厚み２mmに鏡面研磨したものは、内部での散乱が
殆ど無く、透明であつた。アルキメデス法で測定
した密度は3.67ｇ／cm3であつた。 上記の酸窒化アルミニウム焼結体のインライン
透過率を測定した結果を表３に示す。赤外光透過
率の測定には、日立製作所製260−30形赤外分光
光度計、可視−紫外光透過率の測定には、同じく
200形ダブルビーム分光光度計を用いた。
体の製造方法に関する。詳しくは酸窒化アルミニ
ウム粉末を焼結して透明な酸窒化アルミニウム焼
結体を製造するに際し、該酸窒化アルミニウム粉
末を10-1torr以下の減圧下に加熱処理することに
より透明な酸窒化アルミニウム焼結体を製造する
方法を提供するものである。 従来、酸窒化アルミニウム粉末を焼結し、透明
な酸窒化アルミニウム焼結体を製造する方法は例
えば特開昭58−74577号に提案されるように公知
である。しかし該方法で得られた酸窒化アルミニ
ウム焼結体の透明性はその実施例でも明らかなよ
うに、厚さ1.78mmの酸窒化アルミニウム焼結体を
用いたとき、波長4μmに於けるインライン透過率
が43％で、透明性は十分に満足出来るものではな
かつた。 本発明者等はかゝる透明性の改良につき鋭意研
究して来た結果、酸窒化アルミニウム粉末を焼結
するに先きだち、減圧下に加熱処理を実施する
と、得られる酸窒化アルミニウム焼結体の透明性
を著しく改良出来ることを見出し、本発明を完成
させ、ここに提案するに至つた。 即ち、本発明は酸窒化アルミニウム粉末を焼結
して透明な酸窒化アルミニウム焼結体を製造する
に際し、該酸窒化アルミニウム粉末を10-1torr以
下の減圧下に加熱処理することを特徴とする透明
な酸窒化アルミニウム焼結体の製造方法である。 本発明で用いる酸窒化アルミニウム粉末は特に
限定されず如何なる方法で得られたものであつて
もよい。一般に好適に採用される方法を例示すれ
ば次ぎのような方法である。例えば、 (i) 酸化アルミニウムと窒化アルミニウムとの混
合物を窒素ガスの存在下に1650〜1850℃の温度
で焼成して単一相の酸窒化アルミニウム粉末を
得る方法、 (ii) 酸化アルミニウムとカーボンとの混合物を窒
素ガスの存在下に1600〜2000℃の温度に加熱し
て、酸化アルミニウムを部分的に還元窒化せし
め単一相の酸窒化アルミニウム粉末を得る方
法、 以上の方法が好適である。いずれの方法に於い
ても最終的に得られる酸窒化アルミニウム焼結体
に透明性を与えるために、出来るだけ純度の高い
且つ粒子径が小さく、粒度分布が揃つた原料を用
いるのが好ましい。例えば窒化アルミニウム粉末
としては平均粒子径2μm以下で、粒径3μm以下の
粒子の占める割合が70容量％以上で且つ陽イオン
例えばアルミニウム及び焼結助剤として使用する
場合はその陽イオン成分、を除く他の金属イオン
不純物含有量が金属として0.3重量％以下好まし
くは0.1重量％以下の性状を有するものが好適で
ある。 また酸化アルミニウム粉末は平均粒子径が2μm
以下で酸化アルミニウム以外の不純物含有量が
0.1重量％以下であるものが好ましく、特に平均
粒子径が1.0μm以下で、3μm以下の粒子を占める
割合が90容量％で且つ不純物含有量が0.05重量％
以下のものが好ましい。 前記酸窒化アルミニウム焼結体中の窒化アルミ
ニウムと酸化アルミニウムとの組成比は特に限定
されず必要に応じて適宜決定すればよいが該焼結
体に最も透明性を与えるのは一般に窒化アルミニ
ウムが27〜40モル％好ましくは28〜35モル％の範
囲である。 本発明の最大の特徴は酸窒化アルミニウム粉末
を焼結する際に、該酸窒化アルミニウムを10-1
torr以下の減圧下に加熱処理することである。該
圧下での加熱処理は特に限定されるものではなく
如何なる方法、手段によつて行つてもよい。一般
に工業的に好適に実施される態様の代表的なもの
を例示すれば、 (i) 酸窒化アルミニウム粉末を減圧下に例えば
1400℃〜1700℃付近の温度で加熱し、該加熱温
度の上限を超え、2100℃以下の温度で焼結まで
該減圧下に実施する方法、 (ii) 酸窒化アルミニウム粉末を減圧下に加熱し、
該加熱の途中例えば1400℃〜1700℃付近の温度
から或いは焼結温度に到達後不活性ガス例えば
窒素ガスを導入して不活性ガス雰囲気下に該加
熱温度を超え、2100℃以下の温度で焼結する方
法等の方法が好適に採用される。 本発明における前記減圧の程度は減圧度合が少
ない場合は本発明の効果を十分に発揮させること
が出来ないので一般には10-1torr以下好ましくは
10-2torr以下更に好ましくは10-3torr以下の減圧
度合を採用するのがよい。また前記加熱温度は前
記例示したように、減圧下に1400℃〜1700℃付近
の温度で加熱処理するのが好ましい。更にまた上
記加熱処理する時間は減圧度合、加熱温度、酸窒
化アルミニウムの組成比等によつて異なり一概に
限定出来ないが、一般には30分〜10時間の範囲
で、時間を選べばよい。 以上のように酸窒化アルミニウム粉末を焼結す
るに際し、減圧下に加熱処理することを実施する
ことによつて、得られる酸窒化アルミニウム焼結
体は透明性にすぐれ特に可視部でのインライン透
過率が著しく向上するだけでなく、焼結性も改良
される利点を有する。このような効果が酸窒化ア
ルミニウム粉末を焼結前に減圧下で加熱処理する
と云う簡単な手段で発揮されるのは全く驚ろくべ
き現象である。そして本発明の完成により工業的
に透明性にすぐれた酸窒化アルミニウム焼結体を
得ることが出来るようになつた功績は計り知れな
いものである。 本発明の製造方法により製造される透明な酸窒
化アルミニウム焼結体は、透明性が著しく改良さ
れたもので例えば高圧ナトリウムランプ発光管、
高温用窓材、赤外線検出器用窓材等の透明性、耐
久性等を要求される用途分野に有効に用いられ
る。 本発明を更に具体的に説明するため以下実施例
を挙げて説明するが本発明はこれらの実施例に限
定されるものではない。 実施例 １ 純度99.99％（不純物分析値を表１に示す）で
平均粒子径が0.52μmで3μm以下の粒子の割合が
95容量％のアルミナ29ｇと、灰分0.08wt％で平均
粒子径が0.45μmのカーボンブラツク10ｇとを、
ナイロン製ポツトとナイロンコーテイングしたボ
ールを用いエタノールを分散媒体として均一にボ
ールミル混合した。得られた混合物を乾燥後高純
度黒鉛製平皿に入れ電気炉内に窒素ガスを３／
minで連続的に供給しながら1600℃の温度で６時
間加熱した。得られた反応混合物を空気中で750
℃の温度で４時間加熱し未反応のカーボンを酸化
除去した。 得られた白色の粉末はＸ線回折分析（Xray
diffraction analysis）の結果単相（single
phase）のAlNでありAl2O3の回折ピークは無か
つた。また該粉末の平均粒子径は1.31μmであり、
3μm以下が90容量％を占めた。走査型電子顕微鏡
による観察ではこの粉末は平均0.7μm程度の均一
な粒子であつた。また比表面積の測定値は4.0
m2／ｇであつた。この粉末の分析値を表２に示
す。 表１ Al2O3粉末分析値 Al2O3content 99.99％ 元素 含有量（PPM） Mg ＜５ Cr ＜10 Si 30 Zn ＜５ Fe 22 Cu ＜５ Ca ＜20 Ni 15 Ti ＜５ 表２ AlN粉末分析値 AlN content 97.8％ 元素 含有量 Mg ＜５（PPM） Cr 21（ 〃 ） Si 125（ 〃 ） Zn ９（ 〃 ） Fe 20（ 〃 ） Cu ＜５（ 〃 ） Mn ５（ 〃 ） Ni 27（ 〃 ） Ti ＜５（ 〃 ） Co ＜５（ 〃 ） Al 64.8（wt％） Ｎ 33.4（ 〃 ） Ｏ 1.1（ 〃 ） Ｃ 0.11（ 〃 ） 上記の窒化アルミニウム粉末15重量部と、酸化
アルミニウム粉末85重量部を、ナイロン製ポツト
とナイロンコーテイングしたボールを用い、エタ
ノールを分散媒体として均一にボールミル混合し
た。（尚酸化アルミニウム粉末は、前記の窒化ア
ルミニウム粉末を製造する際に用いたと同じ物を
使用した。） 得られた混合物を乾燥後、窒化硼素製容器に入
れ、１気圧の窒素中で、1750℃の温度で３時間焼
成した。 上記で得られた粉末は白色で、粉末Ｘ線回折に
より、実質的に100パーセント立方晶酸窒化アル
ミニウムであることが判つた。また、堀場製作所
製CAPA−500により粒度分布を判定したところ、
平均粒子径2.2μm、粒径3μm以下の粒子の割合は
70容量パーセントであり、10μm以上の粒子は無
かつた。 この酸窒化アルミニウム粉末2.5ｇを、窒化硼
素粉末を内面に塗布した内径20mmの黒鉛型に入
れ、この粉末に200Kg／cm2の圧をかけつつ先ず試
料室内を10-4torrの減圧に保持し室温から1700℃
まで昇温し、1700℃で30分間保持した。その後試
料室内に窒素ガスを導入し、1900℃まで昇温し、
200Kg／cm2の加圧下、１気圧の窒素中に於いて
1900℃で３時間加圧焼結した。得られた焼結体を
厚み２mmに鏡面研磨したものは、内部での散乱が
殆ど無く、透明であつた。アルキメデス法で測定
した密度は3.67ｇ／cm3であつた。 上記の酸窒化アルミニウム焼結体のインライン
透過率を測定した結果を表３に示す。赤外光透過
率の測定には、日立製作所製260−30形赤外分光
光度計、可視−紫外光透過率の測定には、同じく
200形ダブルビーム分光光度計を用いた。
【表】
比較例 １
実施例１に於いて酸窒化アルミニウム粉末を減
圧下に加熱処理する手段を実施しない以外は実施
例１と同様に実施した。その結果は表４に示す通
りであつた。
圧下に加熱処理する手段を実施しない以外は実施
例１と同様に実施した。その結果は表４に示す通
りであつた。
【表】
【表】
実施例 ２
純度99.99％、平均粒子径0.52μmで、3μm以下
の粒子の割合が95容量％の酸化アルミニウム粉末
94.4重量部と、灰分0.08重量％で平均粒子径が
0.45μmのカーボンブラツク5.6重量部とを、ナイ
ロン製ポツトとナイロン・コーテイングしたボー
ルを用い、エタノールを分散媒体として均一にボ
ールミル混合した。得られた混合物を乾燥後、高
純度黒鉛製平皿に入れ、電気炉内に窒素ガスを３
／分で連続的に供給しながら、1750℃の温度で
２時間加熱した。 得られた粉末は白色で、粉末Ｘ線回折により、
実質的に100％立方晶酸窒化アルミニウムである
ことが判つた。また、実施例１と同様に粒度分布
を測定したところ、平均粒子径1.7μm、粒径3μm
以下の粒子の割合は82容量％であり、10μm以上
の粒子は無かつた。 上記の酸窒化アルミニウム粉末を用い、実施例
１と全く同一の焼結方法によつて得られた焼結体
は、実施例１で得たものとほぼ同様な外観を呈し
た。この焼結体の波長0.6μm及び4μmに於けるイ
ンライン透過率は、それぞれ72％、85％であつ
た。
の粒子の割合が95容量％の酸化アルミニウム粉末
94.4重量部と、灰分0.08重量％で平均粒子径が
0.45μmのカーボンブラツク5.6重量部とを、ナイ
ロン製ポツトとナイロン・コーテイングしたボー
ルを用い、エタノールを分散媒体として均一にボ
ールミル混合した。得られた混合物を乾燥後、高
純度黒鉛製平皿に入れ、電気炉内に窒素ガスを３
／分で連続的に供給しながら、1750℃の温度で
２時間加熱した。 得られた粉末は白色で、粉末Ｘ線回折により、
実質的に100％立方晶酸窒化アルミニウムである
ことが判つた。また、実施例１と同様に粒度分布
を測定したところ、平均粒子径1.7μm、粒径3μm
以下の粒子の割合は82容量％であり、10μm以上
の粒子は無かつた。 上記の酸窒化アルミニウム粉末を用い、実施例
１と全く同一の焼結方法によつて得られた焼結体
は、実施例１で得たものとほぼ同様な外観を呈し
た。この焼結体の波長0.6μm及び4μmに於けるイ
ンライン透過率は、それぞれ72％、85％であつ
た。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 酸窒化アルミニウム粉末を焼結して透明な酸
窒化アルミニウム焼結体を製造するに際し、該酸
窒化アルミニウム粉末を10-1torr以下の減圧下に
加熱処理することを特徴とする透明な酸窒化アル
ミニウム焼結体の製造方法。 ２ 減圧が10-2torr以下の減圧である特許請求の
範囲１記載の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59046439A JPS60191062A (ja) | 1984-03-13 | 1984-03-13 | 透明な酸窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59046439A JPS60191062A (ja) | 1984-03-13 | 1984-03-13 | 透明な酸窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60191062A JPS60191062A (ja) | 1985-09-28 |
| JPH0512301B2 true JPH0512301B2 (ja) | 1993-02-17 |
Family
ID=12747192
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59046439A Granted JPS60191062A (ja) | 1984-03-13 | 1984-03-13 | 透明な酸窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60191062A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62204293A (ja) * | 1986-03-05 | 1987-09-08 | 東芝セラミツクス株式会社 | デイスプレイ・デバイス用透過板 |
| FR2621574B1 (fr) * | 1987-10-13 | 1990-11-09 | Innomat | Procede de preparation d'oxynitrure d'aluminium et son application a la realisation de fenetres infra-rouges |
| JPH075358B2 (ja) * | 1990-11-29 | 1995-01-25 | 住友金属鉱山株式会社 | 透光性セラミックスの製造方法 |
| JP2007039335A (ja) * | 1998-11-24 | 2007-02-15 | Nippon Electric Glass Co Ltd | セラミックス物品の製造方法 |
| JP6349100B2 (ja) * | 2014-02-14 | 2018-06-27 | 株式会社アテクト | アルミナ焼結体及びその製造方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58106703A (ja) * | 1981-12-16 | 1983-06-25 | 松下電器産業株式会社 | 透光性強誘電体セラミツクスの製造方法 |
-
1984
- 1984-03-13 JP JP59046439A patent/JPS60191062A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60191062A (ja) | 1985-09-28 |
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