JPH0513012Y2

JPH0513012Y2 -

Info

Publication number: JPH0513012Y2
Application number: JP1985183270U
Authority: JP
Priority date: 1985-11-27
Filing date: 1985-11-27
Publication date: 1993-04-06
Anticipated expiration: 2000-11-27
Also published as: JPS6290130U

Description

【考案の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野この考案は、ウエハ上のICチツプ等に標印を
付すマーキング装置の改良に関する。

(ロ) 従来の技術従来、ウエハ・プロービングにおいて、不良と
されたチツプに不良であることを示す標印を付す
マーキング装置は、第４図に示すように、外部に
連通する連通孔２４を穿設したインク容器２１
と、上方よりこの連通孔２４に軸動可能に挿通さ
れるナイロン単線等よりなる中芯２０と、この中
芯２０の上端を支持する金属等よりなる線状の支
持体１９と、この支持体１９上部を上下に駆動
し、中芯２０の下端をインク容器２１下端より突
出させるソレノイド等の駆動手段（図示せず）を
備えたものが知られている。

(ハ) 考案が解決しようとする問題点上記従来のマーキング装置においては、支持体
１９下端が左右にがたつく場合があつた。特に、
駆動手段がソレノイドである場合には、支持体１
９が固着されるコアは、ソレノイドに緩やかに挿
通されるものであるから、支持体１９のがたつき
は特に大きいものとなる。この状態で中芯２０を
下方に軸動させるべく、支持体１９に下方への駆
動力を加えると、その力が側方へ逸れ、ナイロン
等の軟質素材よりなる中芯２０上部が、第４図に
示すように中心よりずれて変形する。その結果、
中芯２０の下端がインク容器２１の下端より突出
せず、あるいは突出量が小さくなり、ウエハＷ表
面に接しないため、標印もれが発生する不都合が
あつた。また、一度変形した中芯２０は、その後
も度々変形を起こすようになり、中芯２０を支持
体１９ごと交換せねばならず、中芯２０の寿命が
短く、経済的でないという不都合があつた。

この考案は、上記不都合に鑑みなされたもの
で、中芯の変形を防ぎ、標印もれの生じないマー
キング装置の提供を目的としている。

(ニ) 問題点を解決するための手段及び作用上記不都合を解決するための手段として、この
考案のマーキング装置は、インク容器内の連通孔
に通ずる部分に、支持体の中芯支持部における太
さよりも僅かに大きいガイド孔を有する案内部を
設け、この案内部のガイド孔で支持体の中芯支持
部を上下動可能に構成したことを特徴とする。こ
のマーキング装置では、支持体の中芯支持部が案
内部のガイド孔で案内・支持されているため、駆
動手段によつて支持体が上下動する時に支持体が
がたつかず、中芯が変形しない上に、中芯の下端
がインク容器の連通孔から確実に突出する。

(ホ) 実施例この考案の一実施例を、第１図乃至第３図に基
づいて以下に説明する。

第１図は、この考案の実施例に係るマーキング
装置１の部分縦断面図である。２は側面Ｌ字状の
基体で、図示しない移動手段により適切な方向に
移動される。

基体２中央部には、アングル部材３が図示しな
いビスにより固着される。このアングル部材３上
面には、ソレノイド５が載置され、カバー４がこ
のソレノイド５を被覆し、保護する。ソレノイド
５の内部空間５ａには、コア６が緩やかに挿入さ
れる。コア６上端には、コア６の下動を規制する
フランジ６ａが設けられている。

前記カバー４上面中央部には、貫通孔４ａが穿
設され、この貫通孔４ａを挿通して、ビス７がコ
ア６中心部の雌ネジ孔６ｂに螺着される。ビス７
にはバネ８が巻着され、ビス７の頭部をカバー４
上面に対して上方に付勢するため、コア６はソレ
ノイド５の内部空間５ａよりやや上方に位置して
いる。

一方、ビス７下端よりは、金属製の棒状支持体
９が、コア６の雌ネジ孔６ｂ並びにアングル部材
３の貫通孔３ａを挿通して垂下している。さら
に、この支持体９下端よりは、ナイロン単線より
なる中芯１０が垂下している。

基体２下端より突出した水平部２ａには、高粘
度のインク１を貯溜するインク容器１１が下方よ
り螺着される。インク容器１１は、フツ素樹脂等
よりなる上方が開放されているカツプ１２と、こ
のカツプ１２底部より垂下するスリーブ１５とよ
りなる。カツプ１２底部には、スリーブ１５と同
軸上に貫通孔１２ａを穿設し、スリーブ１５の内
空部１６と合わせて、連通孔１４としている。

前記支持体９は、カツプ１２の上方開口部より
内部に導入され、中芯１０は、連通孔１４を軸動
可能に挿通し、その下端はスリーブ１５下端面に
揃う。一方、カツプ１２内部には、支持体９の下
端部が左右にふれないようにガイドするガイド孔
１３ａを穿設した金属製の案内部材（案内部）１
３が設けられている。この案内部材１３上面は、
ガイド孔１３ａにインクが流入しやすいように、
皿状としている。なお、中芯１０外表面と連通孔
１４内面との間隙は、通常0.1〜0.2mm程度に設定
される。

次に、この実施例マーキング装置１の動作を、
以下に説明する。

先ず、ウエハＷ上の標印を行いたい部分の上方
へマーキング装置１を移動し、スリーブ１５下端
面とウエハＷ表面との距離が0.5〜１mmになるよ
うに、その高さを調整する。

次に、ソレノイド５に図示しないリード線を通
じて直流電流を流し、励磁する。コア６は、ソレ
ノイド５の内部空間５ａに引込まれ、支持体９及
び中芯１０が下方に軸動され、中芯１０下端がス
リーブ１５下端面より突出し、ウエハＷに接触
し、中芯１０下端に付着していたインクがウエハ
Ｗに付着し、標印される（第３図参照）。

一方、中芯１０が下方に軸動される際に、連通
孔１４と中芯１０表面との隙間に充填されていた
インクが少量引出され、スリーブ１５下端面に付
着する。

標印が終了すると、ソレノイド５に加えられて
いた電流がオフされ、コア６はバネ８の付勢力に
より上方に復帰し、支持体９及び中芯１０もそれ
に連動して上方へ軸動し、中芯１０下端はスリー
ブ１５下端面まで帰還する。そしてスリーブ１５
下端面に付着していたインクが、中芯１０下端面
にも付着し、次回の標印に備える。

なお、この実施例においては、インク容器１１
内に金属製の案内部材１３を別体に設けている
が、インク容器１１と案内部材１３を一体に成形
することもできる。但し、この場合には、インク
容器１１は支持体９の材質と同等か、それ以上の
硬度を有するもので形成しなければならない。こ
れは、支持体９下端面がガイド孔１３ａ内面に接
触する時に、ガイド孔１３ａ内面が削られ、削り
屑が形成されて、ガイド孔１３ａ内面と支持体９
又は中芯１０表面と連通孔１４との間の間隙を閉
塞し、インクの流動が止められるのを防止するた
めである。

また、インク容器、案内部材等の形状は、この
実施例に示したものに限定されず、適宜設計変更
可能である。

さらに、駆動手段もソレノイドに限定されず、
カム等の摺動機構あるいは手動で操作するための
レバー等、適宜変更が可能である。

(ヘ) 考案の効果この考案のマーキング装置は、インク容器内
に、支持体の中芯支持部を上下動可能に案内・支
持するガイド孔を有する案内部を設けたものであ
るから、支持体が左右にがたつくことにより中芯
が変形し、中芯の先端がインク容器外部に突出し
ないことより生じる標印不良を有効に防止できる
と共に、中芯に変形が加わらないため、その寿命
を長くすることができる利点を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この考案の一実施例に係るマーキン
グ装置の縦断面図、第２図は、同マーキング装置
の外観斜視図、第３図は、同マーキング装置の標
印状態を示す要部縦断面図、第４図は、従来のマ
ーキング装置の要部断面図である。５……ソレノイド、９……支持体、１０……中
芯、１１……インク容器、１３……案内部材、１
４……連通孔。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】下部に連通孔を有するインク容器と、一方側が
前記連通孔の下部に連通孔から突出可能に設けら
れた中芯と、この中芯の他方側を支持する支持体
と、この支持体を駆動し中芯を上下動させる駆動
手段とよりなるマーキング装置において、前記インク容器内の連通孔に通ずる部分に、支
持体の中芯支持部における太さよりも僅かに大き
いガイド孔を有する案内部を設け、この案内部の
ガイド孔で支持体の中芯支持部を上下動可能に構
成したことを特徴とするマーキング装置。