JPH0513379B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ＜技術分野＞ 本発明は、縦型処理装置のためのウエーハ搬送
装置、更に詳しくは、縦型処理装置に対する半導
体ウエーハの搬入及び／又は搬出を遂行するウエ
ーハ搬送装置に関する。

＜従来技術＞ 半導体ウエーハの熱処理、化学反応処理等の処
理に使用される処理装置、例えば拡散炉又は
CVD（化学的着気相成長）装置として、近時にお
いては、所謂横型装置（装置における収納空洞の
中心軸線が実質上水平に延びる形態の装置）に代
えて種々の利点を有する所謂縦型装置（装置にお
ける収納空洞の中心軸線が実質上鉛直に延びる形
態の装置）が提案され実用に供され始めている。
かかる縦型装置においてウエーハに所要処理、例
えば熱処理又はCVD処理、を施す時には、複数
枚のウエーハを石英ガラス又はシリコンの如き材
料から形成されたウエーハボートに装填し、かか
るウエーハボートを縦型装置の収納空洞に収納す
ることが必要である。上記ウエーハボートは、そ
の正常状態においてその長手方向軸線が実質上鉛
直に延び、その前面にウエーハ出入開口を有する
と共に、鉛直方向に間隔を置いて形成された複数
個のウエーハ収容溝を有する。そして、上記ウエ
ーハ収容溝にウエーハが装填される。一般に、上
記ウエーハ収容溝は上記ウエーハ出入開口に向か
つて上方に水平に対して０度乃至45度、通常は約
５度、の角度をなして延びる。従つて上方ウエー
ハ収容溝に装填された複数枚のウエーハは、相互
に鉛直方向に間隔を置いて且つ各々が上記ウエー
ハ出入開口に向かつて上方に水平に対して０度乃
至45度、通常は約５度、の角度をなす状態で支持
される。

＜解決課題＞ 而して、上記縦型装置の実用に際しては、上記
ボートに対するウエーハの装填及び／又は離脱と
共に、縦型装置外の所定位置と縦型装置との間に
て上記ウエーハボートを移送し、かくして縦型装
置に対するウエーハの搬入及び／又は搬出を遂行
するウエーハ搬送装置を装備することが必要であ
る。しかしながら、かようなウエーハ搬送装置は
未だ開発されておらず、これが縦型装置の実用化
における障害となつている。

従来から実用に供されている横型装置に関して
は、勿論、ウエーハ搬送装置が開発され実用に供
されている。しかしながら、横型装置に使用され
るウエーハボートと縦型装置に使用されるウエー
ハボートとは顕著に相違し、それ故に横型装置の
ためのウエーハ搬送装置を縦型装置に適用するこ
とはできない。横型装置に使用されるウエーハボ
ートは、その正常状態においてその長手方向軸線
が実質上水平に延び、その上面にウエーハ出入開
口を有すると共に、水平方向に間隔を置いて形成
された複数個のウエーハ収容溝を有する。従つ
て、上記ウエーハ収容溝に装填された複数枚のウ
エーハは、相互に水平方向に間隔を置いて且つ
各々が略鉛直に起立した状態で支持される。

＜発明の目的＞ 本発明は上記事実に鑑みてなされたものであ
り、縦型処理装置に対するウエーハの搬入及び／
又は搬出を遂行するための新規且つ優れたウエー
ハ搬送装置を提供することである。

＜発明の要約＞ 上記ウエーハ搬送装置の実現化に際しては、特
に上記ボートに対するウエーハの装填及び／又は
離脱を如何にして遂行するかが問題であるが、本
発明者は、鋭意研究の結果、ウエーハボートをそ
の長手方向軸線が略鉛直に延びる第１の状態とか
かる第１の状態から傾動せしめた第２の状態とに
選択的に支持することができるようにせしめ、ボ
ートに対するウエーハの装填及び／又は離脱を遂
行する際にはボートを上記第２の状態にせしめれ
ば、充分容易且つ確実にボートに対するウエーハ
の装填及び／又は離脱を遂行することができるこ
とを見出した。

即ち、本発明によれば、複数枚のウエーハを間
隔を置いて且つ相互に略平行に収容したウエーハ
ボートが、その長手方向軸線を略鉛直にせしめた
状態で収納される収納空洞を有する縦型処理装置
のための、ウエーハ搬送装置にして、 該ボートの長手方向軸線が略鉛直に延びる第１
の状態と該第１の状態から傾動せしめた第２の状
態とに、該ボートを選択的に支持することができ
るボート支持手段を具備する、ことを特徴とする
ウエーハ搬送装置が提供される。

本発明の好適具体例においては、該第２の状態
において該ボートの長手方向軸線は、水平に対し
て角度θ、ここで０度≦θ≦45度である、をなし
て延び、該ボートはその前面にウエーハ出入開口
を有すると共に、その長手方向に間隔を置いて形
成された複数個のウエーハ収容溝を有し、該ボー
トの長手方向軸線が略垂直にせしめられた状態で
該ウエーハ収容溝の各々は該ウエーハ出入開口に
向かつて上方に水平に対して角度α、ここで０度
≦α≦45度おなして延び、該第２の状態において
該ボートは該ウエーハ出入開口を上方に向け、該
角度θは該角度αと実質上同一であり、かくして
該第２の状態において該ボートの該ウエーハ収容
溝は実質上鉛直に延びる。

＜発明の好適具体例＞ 以下、添付図面を参照して、本発明に従つて構
成されたウエーハ搬送装置の一具体例について詳
細に説明する。

第１図は、本発明に従つて構成されたウエーハ
搬送装置の一具体例が装備された拡散炉システム
の一例を図示している。図示のシステムは、４台
の縦型拡散炉２と共通の１台のウエーハ搬送装置
４とを含んでいる。

縦型拡散炉の概要 それ自体は公知の適宜の形態でよい縦型拡散炉
２の各々は、本体部６とボート懸架機構８と具備
している。本体部６はハウジング１０を有し、こ
のハウジング１０には上方に開口した収納空洞１
２が形成されている。かかる収納空洞１２の中心
軸線は実質上鉛直に延びている。ボート懸架機構
８は、ハウジング１６と、このハウジング１６か
ら実質上鉛直に上方へ突出した支持軸１８と、こ
の支持軸１８の上端から実質上水平に突出するア
ーム２０とを含んでいる。支持軸１８は昇降自在
に且つ回転自在に装着されている。そして、ハウ
ジング１６内には、支持軸１８を昇降動せしめる
ための昇降動手段（図示していない）及び支持軸
１８を回転せしめるための回転手段（図示してい
ない）が配設されている。一端が支持軸１８に固
定されたアーム２０の自由端は、スリーブ２１が
固定され、このスリーブ２１の下端に蓋体２２が
固定されている。更に、上記アーム２０の自由端
には、スリーブ２１及び蓋体２２を貫通して下方
へ延びる軸２４が回転自在に装着されている。軸
２４の下端にはボート懸架具２６（このボート懸
架具２６については後に更に言及する）が形成さ
れている。軸２４は、上記アーム２０及び上記支
持軸１８内に配設された駆動連結手段（図示して
いない）を介して、ハウジング１６内に配設され
た回転駆動源（図示していない）に駆動連結され
ている。

上記の通りの縦型拡散炉２においては、ボート
懸架機構８のアーム２０がボート受渡位置２０Ａ
にある時に、後述する如くして、複数枚の半導体
ウエーハを支持したウエーハボートがウエーハ搬
送装置４によつて供給され、かかるボートの上端
部が上記ボート懸架具２６に係合せしめられる。
かくしてアーム２０の自由端にボートが懸架され
た後に、支持軸１８が回転せしめられ、アーム２
０は２点鎖線で示す位置２０Ｂ（即ち、アーム２
０の自由端に装着されている軸２４が収納空洞１
２に整合する位置）に回転せしめられ、次いで、
支持軸１８が下降せしめられ、アーム２０は上記
蓋体２２が収納空洞１２の上端開口を閉じる位置
２０Ｃまで下降される。かくして、複数枚のウエ
ーハを支持したボートが収納空洞１２内に収納さ
れる。拡散処理が遂行される時には、上記軸２４
が比較的低速で回転され、従つて軸２４に懸架さ
れたボートが比較的低速で回転される。拡散処理
が終了すると、アーム２０が２点鎖線で示す位置
２０Ｂまで上昇され、次いで実線で示すボート受
渡位置２０Ａに回転せしめられる。そして、拡散
処理されたウエーハを支持しているボートが、後
述する如くしてウエーハ搬送装置４によつて搬出
される。

縦型拡散炉２自体は公知の形態でよい故に、縦
型拡散炉２自体の詳細な説明は、本明細書におい
ては省略する。

ウエーハ搬送装置の構成概要 図示のシステムにおけるウエーハ搬送装置４
は、４台の縦型拡散炉２の夫々に拡散処理すべき
複数枚のウエーハを支持したボートを供給即ち搬
入すると共に、４台の縦型拡散炉２の夫々から拡
散処理された複数枚のウエーハを支持したボート
を搬出する。所望ならば、搬入専用のウエーハ搬
送装置と搬出専用のウエーハ搬送装置とを別個に
システムに装備することもできる。

第１図を参照して説明を続けると、図示のウエ
ーハ搬送装置４は、縦型拡散炉２に並置されたハ
ウジング２８と、縦型拡散炉２の後方に配設され
たハウジング３０とを具備している。そして、ハ
ウジング２８には、カセツト支持手段３２、ウエ
ーハ移送手段３４及びボート支持手段３６が設け
られており、ハウジング３０には、ボート移送手
段３８が設けられている。

カセツト支持手段及びカセツト 第１図と共に第２図を参照して説明すると、上
記ハウジング２８は比較的低い実質上水平な上面
４０を有し、かかる上面４０の前部にカセツト支
持手段３２が形成されている。図示の具体例にお
いては、上面４０の前部に相互に隣接せしめて６
個の矩形の凹部４２が形成されており、かかる凹
部４２の各々にウエーハカセツト４４が載置され
る。上記凹部４２の底面には、全ての凹部４２に
渡つて連続して延びる細長い開口４６が形成され
ている（かかる開口４６については後に更に言及
する）。

ウエーハカセツト４４自体は、広く一般に使用
されている周知の形態のものでよい。第３図を参
照してカセツト４４の一例について説明すると、
図示のカセツト４４は、上面が開口した箱形状で
ある。かかるカセツト４４の底部は上部に比べて
幾分幅狭にせしめられており、かかる底部の幅及
び長さは、上記凹部４２の幅及び長さに対応して
いる。カセツト４４の両側壁４８の内面には、長
手方向に所定間隔を置いて実質上鉛直に延びる複
数個のウエーハ収容溝５０が形成されている。両
側壁４８間の間隔は半導体ウエーハＷの直径に略
対応している。溝５０の幅はウエーハＷの厚さに
略対応している。カセツト４４の底壁５２には、
ウエーハＷの直径よりも小さい幅で長手方向に延
びる幅狭開口５４が形成されている。かようなカ
セツト４４においては、その上面に存在するウエ
ーハ出入開口５６を通して、上記溝５０の各々に
ウエーハＷが挿入される。かくして、カセツト４
４には、その長手方向に間隔を置いて実質上鉛直
に支持された複数枚のウエーハＷが収容される。

第２図に図示する如く、拡散処理すべき複数枚
のウエーハＷを収容したカセツト４４は、例えば
手動で上記カセツト支持手段３２上に載置され
る。この際には、カセツト４４の底部が上記凹部
４２内に位置せしめられ、かくして、カセツト４
４は所定位置に充分正確に実質上水平に載置さ
れ、従つて上記溝５０及びかかる溝５０に挿入さ
れたウエーハＷは実質上鉛直に位置する。所望な
らば、上記カセツト支持手段３２上にカセツト４
４を搬入し、そしてまた上記カセツト支持手段３
２上からカセツト４４を搬出するための適宜カセ
ツト搬送装置（図示していない）を、システムに
装備することもできる。

ボート支持手段及びボート 第２図を参照して説明すると、上記ハウジング
２８は実質上鉛直に延在する鉛直面５８を有し、
この鉛直面５８には相互に平行に且つ実質上鉛直
に延びる一対の案内レール６０が固定されてい
る。第２図と共に第４図を参照して説明すると、
上記一対の案内レール６０には支持基台６２が昇
降自在に装着され、そして支持基台６２を昇降動
せしめるための昇降動手段６４が設けられてい
る。昇降動手段６４は、鉛直方向に間隔を置いて
上記ハウジング２８内に回転自在に装着されたス
プロケツトホイール６６及び６８、並びにかかる
スプロケツトホイール６６及び６８に巻掛けられ
た無端チエーン７０を含んでいる。チエーン７０
の前側走行部は上記鉛直面５８に形成されている
細長い開口７２を通して露呈せしめられており、
かかる前側走行部には連結部材７４によつて上記
支持基台６２が連結されている。スプロケツトホ
イール６６は適宜の減速機構７５を介して電動モ
ータ７６に駆動連結されている。かくして、電動
モータ７６を正転及び逆転せしめることによつ
て、支持基台６２は第４図に実線で示す下降位置
と第４図に２点鎖線で示す上昇位置との間を昇降
動せしめられる。

上記支持基台６２には矩形開口７８が形成され
ており、かかる開口７８内にボート支持枠８０の
一端が旋回自在に装着されている。第５図を参照
して説明すると、ボート支持枠８０は、所定間隔
を置いて相互に平行に配設された底板８２及び上
板８４、並びに上記底板８２と上板８４間に固定
された４本のロツド８６ａ乃至８６ｄを有する。
上板８４には矩形の切欠き８８が形成されている
（この切欠き８８については後に更に言及する）。
第４図に図示する如く、底板８２の外面には略三
角形状の一対の連結片９０が形成されている。そ
して、かかる一対の連結片９０が、上記支持基台
６２に回転自在に装着され上記開口７８を実質上
水平に延びる軸９２に固定されている。かくし
て、ボート支持枠８０は軸９２を中心として旋回
自在に支持基台６２に装着されている。上記支持
基台６２には、電動モータでよい旋回動手段９２
が装着されており、かかる旋回動手段９４の出力
端は、減速機構９５を介して上記軸９２に駆動連
結されている。従つて、旋回動手段９４の正転及
び逆転に応じて、ボート支持枠８０は、第４図に
実線で示す起立位置と第４図に２点鎖線８０Ａで
示す横臥位置との間を旋回動せしめられる。

上記ボート支持枠８０には、ウエーハボート９
６が支持される。第５図を参照して説明すると、
図示のボート９６は、所定の間隔をおいて相互に
平行に配置された底板９８及び上板１００、並び
に上記底板９８と上板１００との間に固定された
６本のロツド１０２ａ乃至１０２ｆを有する。最
前方に位置するロツド１０２ａとロツド１０２ｆ
との間隔は、支持すべきウエーハＷの直径に略対
応、更にくわしくはそれより若干短く設定されて
おり、上記１０２ａ及び１０２ｆ間にウエーハ出
入開口１０４が規定されている。上記ロツド１０
２ａ乃至１０２ｆのうちの４本のロツド１０２
ａ，１０２ｃ，１０２ｄ及び１０２ｆの各々に
は、長手方向に所定間隔を置いて複数個のウエー
ハ収容溝１０６が形成されている。ウエーハ収容
溝１０６の長手方向間隔は、上述したカセツト４
４のウエーハ収容溝５０（第３図）の長手方向間
隔と実質上同一でよい。第６図に図示する如く、
ロツド１０２ａ，１０２ｃ，１０２ｄ及び１０２
ｆの各々に形成されているウエーハ収容溝１０６
の長手方向位置は相互に対応せしめられており、
ロツド１０２ａ，１０２ｃ，１０２ｄ及び１０２
ｆにおける夫々１個の組を成す４個のウエーハ収
容溝１０６に１枚のウエーハＷが挿入される。図
示の具体例においては、ロツド１０２ａ，１０２
ｃ，１０２ｄ及び１０２ｆの各々に形成されてい
るウエーハ収容溝１０６の数は、上記カセツト４
４の各々の両側壁４８に形成されているウエーハ
収容溝５０の数の６倍であり、従つてボート９６
には６個のカセツト４４に収容される数のウエー
ハＷが収容され得る。第５図及び第６図に図示す
る如く、ボート９６が実質上鉛直に延在する正常
状態において、上記ウエーハ収容溝１０６は、第
６図に図示する如く、上記ウエーハ出入開口１０
４に向かつて上方に水平に対して０度乃至45度、
通常は約５度、の角度αをなして延びる。従つ
て、ウエーハ出入開口１０４を通してウエーハ収
容溝１０６に挿入されて支持されるウエーハＷ
も、ウエーハ出入開口１０４に向かつて上方に上
記角度αをなす。第７図を参照して説明すると、
ボート９６の上記上板１００の上面には、被係合
部１０８が形成されている。この被係合部１０８
は、前方に向かつて開口したチヤンネル状主部１
１０を有する。そして、かかるチヤンネル状主部
１１０の外面における長手方向中間部には、中間
フランジ１１２が形成されている。チヤンネル状
主部１１０の上端には、天板１１４が形成されて
おり、かかる天板１１４はチヤンネル状主部１１
０の外面を越えて外方へ張出していて、上端フラ
ンジ１１６を規定している。天板１１４には前方
に開口された切欠き１１７が形成されている。更
に、上記天板１１４の前端縁には、所定間隔を置
いて２個の垂下片１１８が形成されている。後の
説明から明らかになる如く、上記被係合部１０８
における上記中間フランジ１１２は、ボート支持
枠８０に対する被懸架手段を構成し、上記上端フ
ランジ１１６はボート移送手段３４（第１図）に
対する被懸架手段を構成し、上記天板１１４及び
上記垂下片１１８は縦型拡散炉２（第１図）に対
する被懸架手段を構成する。

上記ボート９６は上記ボート支持枠８０に装填
されてこれに支持される。この際には、第５図に
２点鎖線で示す如く、ボート９６の被係合部１０
８における中間フランジ１１２をボート支持枠８
０における上板８４に上方に位置せしめて、ボー
ト９６の被係合部１０８のチヤンネル状主部１１
０をボート支持枠８０における上板８４の切欠き
８８に挿入する（チヤンネル状主部１１０の幅と
切欠き８８の幅とは実質上同一に設定されてい
る）。かくして、長手方向においてはボート９６
の中間フランジ１１２がボート支持枠８０の上板
８４に懸架されることによつて、横方向において
はボート９６の底板９８及び上板１００の後端縁
がボート支持枠８０のロツド８６ａ乃至８６ｄに
当接することによつて、ボート支持枠８０に対し
てボート９６が所定通りに位置付けられて支持さ
れる。第４図を参照して説明すると、ボート支持
枠８０が２点鎖線８０Ａで示す横臥位置即ち第２
の位置にせしめられると、これに支持されたボー
ト９６は、そのウエーハ出入開口１０４を上方に
向けた状態で且つその長手方向軸線が水平に対し
て０度乃至45度である角度θをなす第２の状態９
６Ａに位置付けられる。この角度θはボート９６
における上記ウエーハ収容溝１０６に関する上記
角度αと実質上同一に設定され、従つて上記第２
の状態９６Ａにおいては、ボート９６におけるウ
エーハ収容溝１０６は実質上鉛直に延びるのが好
ましい。ボート支持枠８０に支持されたボート９
６の長手方向軸線が存在する実質上鉛直な平面
は、上記カセツト支持手段３２上に載置されたカ
セツト４４の長手方向軸線が存在する実質上鉛直
な平面に対して実質上平行である。後の説明から
明らかになる如く、ボート９６が上記第２の状態
９６Ａに位置せしめられている間に、上記カセツ
ト支持手段３２上に載置されているカセツト４４
（第２図）とボート９６との間にてウエーハＷが
移送される。ボート支持枠８０が第４図に実線で
示す起立位置にせしめられると、これに支持され
たボート９６もその長手方向軸線が略鉛直に延び
る状態に起立せしめられる。次いで、支持基台６
２が上昇せしめられてボート支持枠８０が２点鎖
線８０Ｂで示す位置即ち第１の位置まで上昇せし
められると、これに付随してボート９６も上昇せ
しめられて２点鎖線９６Ｂで示す第１の状態に位
置付けられる。後の説明から明らかになる如く、
ボート支持枠８０が２点鎖線８０Ｂで示す第１の
位置（従つてボート９６が２点鎖線９６Ｂで示す
第１の状態）に位置せしめられている時に、ボー
ト支持枠８０と縦型拡散炉２（第２図）との間に
てボート９６が移送される。

ウエーハ移送手段 次に、第２図と共に第８図及び第９図を参照し
て、ウエーハ移送手段３４について詳細に説明す
る。上記ハウジング２８内の前端部には、直立静
止基台１２０が配設されている。この静止基台１
２０は、上記カセツト支持手段３２上に載置され
たカセツト４４の長手方向軸線に実質上平行（従
つて、上記上面４０に形成されている細長い開口
４６に実質上平行）に延在する。静止基台１２０
の後面には、鉛直方向に間隔を置いて実質上水平
に延びる２本の案内レール１２２が固定されてい
る。かかる案内レール１２２には、可動基台１２
４が滑動自在に装着されている。そして、案内レ
ール１２２に沿つて可動基台１２４を移動せしめ
るための移動手段１２６が配設されている。この
移動手段１２６は、上記静止基台１２０の後面上
に回転自在に装着され実質上水平に延びている雄
ねじロツド１２８と、静止基台１２０の後面上に
装着され且つその出力軸が適宜の減速機構１２９
を介して上記雄ねじロツド１２８に駆動連結され
ている電動モータ１３０とを含んでいる。上記可
動基台１２４には、水平方向に貫通する雌ねじ穴
が形成されており、上記雄ねじロツド１２８はか
かる雌ねじ穴に螺合されている。従つて、上記電
動モータ１３０の正転及び逆転によつて、可動基
台１２４が第９図において左右方向（第８図にお
いて紙面に垂直な方向）に上記案内レール１２２
に沿つて滑動せしめられる。

上記可動基台１２４の片面上には、３対の案内
レール１３２，１３４及び１３６が固定されてい
る。案内レール対１３２，１３４及び１３６の
各々のレールは、実質上水平方向に間隔を置いて
実質上鉛直に延びている。案内レール対１３２，
１３４及び１３６には、夫々、支持ブロツク１３
８，１４０及び１４２が滑動自在に装着されてい
る。そして、かかる支持ブロツク１３８，１４０
及び１４２の夫々に関して、昇降手段１４４，１
４６及び１４８が設けられれている。昇降手段１
４４，１４６及び１４８の各々は、可動基台１２
４の片面上に回転自在に装着され実質上鉛直に延
びる雄ねじロツド１５０，１５２及び１５４、可
動基台１２４の片面上に装着され且つその出力軸
が適宜の減速機構１５６，１５８及び１６０を介
して上記雄ねじロツド１５０，１５２及び１５４
に駆動連結されている電動モータ１６２，１６４
及び１６６とを含んでいる。一方、上記ブロツク
１３８，１４０及び１４２の各々には、鉛直方向
に貫通する雌ねじ穴が形成されている雌ねじブロ
ツク１６８，１７０及び１７２が固定されてお
り、上記雄ねじロツド１５０，１５２及び１５４
の各々が雄ねじブロツク１６８，１７０及び１７
２の各々の雌ねじ穴に螺合されている。かような
次第であるので、上記電動モータ１６２，１６４
及び１６６の夫々の正転及び逆転によつて、支持
ブロツク１３８，１４０及び１４２の夫々が上記
案内レール対１３２，１３４及び１３６に沿つて
昇降動せしめられる。

上記支持ブロツク１３８には、実質上鉛直に上
方へ延びる支柱１７４が植設されており、この支
柱１７４の上端には実質上水平に延在する細長い
部材から成るカセツト側ウエーハ昇降部材１７６
が固定されている。かかるカセツト側ウエーハ昇
降部材１７６は、上述した昇降手段１４４による
支持ブロツク１３８の昇降に応じて、実線で示す
下降位置（かかる下降位置においては、カセツト
側ウエーハ昇降部材１７６はハウジング２８の上
面４０よりも幾分下方に位置する）と、ハウジン
グ２８に形成されている上記細長い開口４６（第
２図も参照されたい）を通つて上方へ突出すると
ころの２点鎖線で示す上昇位置との間を昇降動せ
しめられる。カセツト側ウエーハ昇降部材１７６
の幅及び長さは、上述したカセツト４４に形成さ
れている幅狭開口５４（第３図）の幅及び長さに
対応、更に詳しくは幅狭開口５４の幅及び長さよ
りも若干だけ小さい。

同様に、上記支持ブロツク１４２には、実質上
鉛直に上方へ延びる支柱１７８が植設されてお
り、この支柱１７８の上端には上記カセツト側昇
降部材１７６と実質上同一でよいボート側ウエー
ハ昇降部材１８０が固定されている。一方、ハウ
ジング２８の上記上面４０には、ボート側ウエー
ハ昇降部材１８０に関連せしめて、上記細長い開
口４６と実質上平行に延びる細長い開口１８２が
形成されている（第２図も参照されたい）。上記
ボート側ウエーハ昇降部材１８０も、上述した昇
降手段１４８による支持ブロツク１４２の昇降に
応じて、実線で示す下降位置（かかる下降位置に
おいては、ボート側ウエーハ昇降部材１８０はハ
ウジング２８の上面４０よりも幾分下方に位置す
る）と、上記細長い開口１８２を通つて上方へ突
出するところの２点鎖線で示す上昇位置との間を
昇降動せしめられる。

一方、上記支持ブロツク１３８と上記支持ブロ
ツク１４２との間に位置する上記支持ブロツク１
４０には、実質上鉛直に上方へ延びる支持軸１８
４が回転自在に装着されている。第２図に明確に
図示する如く、ハウジング２８の上面４０には、
上記細長い開口４６及び１８２間においてこれら
に実質上平行に延びる細長い開口１８６も形成さ
れており、上記支持軸１８４はこの細長い開口１
８６を通つて上方へ突出している。支持軸１８４
の上端には実質上水平に延びるアーム１８８が固
定されており、このアーム１８８の自由端いはウ
エーハ移送具１９０が固定されている。上記支持
ブロツク１４０には、電動モータでよいウエーハ
移送具移動手段１９２も固定されており、かかる
移動手段１９２の出力軸は適宜の減速機構（図示
していない）を介して上記支持軸１８４に駆動連
結されている。移送手段１９２の正転及び逆転に
よつて支持軸１８４が回転され、これによつて、
ウエーハ移送具１９０は、第８図及び第１０図に
実線で示すカセツト対向位置と、このカセツト対
向位置から180度回転せしめられたところの第１
０図に２点鎖線で示すボート対向位置との間を旋
回動せしめられる。後に更に言及する如く、カセ
ツト対向位置に位置せしめられたウエーハ移送具
１９０は、カセツト支持手段３２に載置された複
数個のカセツト４４のいずれか１個の上方に位置
する。また、ボート対向位置に位置せしめられた
ウエーハ移送具１９０は、第４図に２点鎖線で示
す第２の状態９６Ａに位置しているボート９６の
特定部分の上方に位置する。

第８図及び第９図と共に第１０図を参照して説
明すると、ウエーハ移送具１９０は、下面が開口
したチヤンネル状部材から形成された本体１９４
を含んでいる。この本体１９４の上壁１９６の中
心部が上記アーム１８８の自由端に固定されてい
る。本体１９４の両側壁１９８は、ウエーハＷの
直径に対応、更に詳しくはそれより若干小さい間
隔を置いて位置する。かかる両側壁１９８の各々
の内面には、長手方向（第１０図において紙面に
垂直な方向）に所定間隔を置いて実質上鉛直に延
びる複数個のウエーハ収容溝２００が形成されて
いる。かかるウエーハ収容溝２００の間隔は、上
述したカセツト４４に形成されているウエーハ収
容溝５０間隔と実質上同一でよい。図示の具体例
においては、ウエーハ移送具１９０の長手方向寸
法は１個のカセツト４４の長手方向寸法に対応し
ており、ウエーハ移送具１９０の両側壁１９８に
形成されているウエーハ収容溝２００の数は、１
個のカセツト４４の両側壁４８に形成されている
ウエーハ収容溝５０の数と同一である。上記両側
壁１９８の各々の外面には、取付ブラケツト２０
２が固定されている。かかる取付ブラケツト２０
２の各々は両側壁１９８の下端を越えて下方に突
出しており、かかる突出下端部には、位置付け手
段２０４が装着されている。図示の位置付け手段
２０４は、空気圧シリンダ機構から構成されてお
り、そのシリンダ２０６が上記取付ブラケツト２
０２の突出下端部に固定されている。シリンダ機
構のピストン２０８の先端には、ウエーハ落下防
止部材２１０が固定されている。かかるウエーハ
落下防止部材２１０の内面には、上記本体１９４
の両側壁１９８の内面に形成されている複数個の
ウエーハ収容溝２００に対応せしめてかかるウエ
ーハ収容溝２００と同一深さのウエーハ通過溝２
１１（第２図も参照されたい）が形成されてい
る。シリンダ機構のピストン２０８が収縮せしめ
られている時には、ウエーハ落下防止部材２１０
は実線で示す非作用位置に位置付けられている。
かかる非作用位置においては、ウエーハ落下防止
部材２１０の内面は本体１９４の両側壁１９８の
内面と同一平面上に位置し、従つて本体１９４の
下面に存在するウエーハ出入開口２１２を通して
の上記ウエーハ収容溝２００へのウエーハＷの出
入に対して、ウエーハ落下防止部材２１０は干渉
しない。シリンダ機構のピストン２０８が伸長せ
しめられると、ウエーハ落下防止部材２１０は２
点鎖線で示す作用位置に位置付けられる。かくす
ると、ウエーハ落下防止部材２１０の各々は、本
体１９４の両側壁１９８の内面を越えて内側に突
出し、ウエーハ出入開口２１２の開口幅をウエー
ハＷの直径よりも相当小さい値に低減せしめ、か
くして上記ウエーハ収容溝２００に収容されたウ
エーハＷが下方へ落下するのを確実に防止する。

次に、第８図乃至第１０図、特に第１０図を参
照して、上述した通りのウエーハ移送手段３４の
作用を説明する。既に言及した如く、ウエーハ移
送手段３４のよつてカセツト４４とボート９６と
の間にてウエーハＷを移送する時には、ボート支
持手段３２のボート支持枠８０は第４図に２点鎖
線８０Ａで示す横臥位置即ち第２の位置に位置付
けられ、ボート支持枠８０に支持されたボート９
６は第４図に２点鎖線で示す第２の状態９６Ａに
位置付けられている。カセツト支持手段３２上に
載置されているカセツト４４内に収容されている
拡散処理すべきウエーハＷをボート９６に移送す
る際には、最初に、上記可動基台１２４が特定の
カセツト４４に対応する位置に位置付けられ、ウ
エーハ移送具１９０が第１０図に実線で示すカセ
ツト対向位置に位置付けられる。次いで、カセツ
ト側ウエーハ昇降部材１７６が第１０図に実線で
示す下降位置から２点鎖線で示す上昇位置まで上
昇せしめられる。かくすると、カセツト側ウエー
ハ昇降部材１７６は、カセツト４４の底壁５２に
形成されている幅狭開口５４を通つてカセツト４
４内に進入し、カセツト４４に収容されている全
てのウエーハＷの下端に当接し、ウエーハＷをウ
エーハ収容溝５０に沿つて鉛直方向上方に上昇せ
しめる。かくして、第１０図に２点鎖線で示す如
くウエーハＷは、カセツト４４のウエーハ収容溝
５０から漸次排出されて、ウエーハ移送具１９０
におけるウエーハ収容溝２００に漸次挿入され
る。次いで、ウエーハ移送具１９０におけるウエ
ーハ落下防止部材２１０が第１０図に２点鎖線で
示す作用位置に移動せしめられ、かくしてウエー
ハ移送具１９０におけるウエーハ収容溝２００に
挿入されたウエーハＷが下方へ落下することが防
止される。しかる後に、カセツト側ウエーハ昇降
部材１７６が第１０図に実線で示す下降位置に下
降せしめられる。次いで、ウエーハＷを収容した
ウエーハ移送具１９０が幾分上昇せしめられると
共に第１０図に２点鎖線で示すボート対向位置ま
で180度旋回動せしめられる。また、この間には、
ボート側ウエーハ昇降部材１８０が第１０図に実
線で示す下降位置から第１０図に２点鎖線示です
上昇位置へ上昇せしめられる。この際には、ボー
ト側ウエーハ昇降部材１８０は、ボート支持枠８
０におけるロツド８６ｂ及び８６ｃ間に存在する
開口２１４（第５図も参照されたい）及びボート
９６におけるロツド１０２ｃ及び１０２ｄ間に存
在する幅狭開口２１６（第５図も参照されたい）
を通つて上昇する。かくして、上昇位置にせしめ
られたボート側ウエーハ昇降部材１８０の上面
は、ボート対向位置にせしめられたウエーハ移送
具１９０に収容されているウエーハＷの下端に接
触乃至近接せしめられる。ついで、ウエーハ移送
具１９０におけるウエーハ落下防止部材２１０が
ウエーハＷの下方への移動を許容する非作用位置
にせしめられる。これと同時に或いはこれに引き
続いて、ボート側ウエーハ昇降部材１８０が第１
０図に２点鎖線で示す上昇位置から第１０図に実
線で示す下降位置へ下降せしめられる。かくする
と、ボート側ウエーハ昇降部材１８０の下降に応
じてウエーハＷが下降され、これによつてウエー
ハＷウエーハ移送具１９０におけるウエーハ収容
溝２００から漸次排出されて、ボート９６におけ
る特定部分のウエーハ収容溝１０６に漸次挿入さ
れる。前述した如く、ボート９６が第４図に２点
鎖線で示す第２の状態９６Ａに位置付けられてい
る時には、ボート９６のウエーハ収容溝１０６は
実質上鉛直に延びている故に、ウエーハＷの下方
への移動によつてウエーハＷは充分容易且つ確実
にボート９６のウエーハ収容溝１０６に挿入され
る。ウエーハＷがウエーハ収容溝１０６に完全に
挿入されると、ウエーハＷは更に下降せず、従つ
てボート側ウエーハ昇降部材１８０はウエーハＷ
の下端から離れて第１０図に実線で示す下降位置
間で下降する。

上記の通りにして１個のカセツト４４に収容さ
れていたウエーハＷをボート９６の特定部分に移
送し終わると、ウエーハ移送具１９０は180度旋
回せしめられると共に幾分下降せしめられ、第１
０図に実線で示すカセツト対向位置にせしめられ
る。これと同時にあるいはこれに引続いて、可動
基台１２４（第８図及び第９図）が水平方向に所
定距離移動せしめられ、次の隣接するカセツト４
４に対応する位置に位置付けられる。そして、上
述した手順と同様にして、次の隣接するカセツト
４４に収容されているウエーハＷがボート９６の
上記特定部分に隣接した部分に移送される。かよ
うにして、カセツト支持手段３２上に載置された
６個のカセツト４４に収容されているウエーハＷ
が順次に共通の１個のボート９６に移送される。

共通の１個のボート９６に収容されている拡散
処理済のウエーハＷを、カセツト支持手段３２上
に載置されている空のカセツト４４に移送する際
の、ウエーハ移送手段３４の作用も、上述した場
合と実質上同一である。この場合には、ボート側
ウエーハ昇降部材１８０が第１０図に実線で示す
下降位置から２点鎖線で示す上昇位置に上昇せし
められることによつて、ボート９６からウエーハ
Ｗが上昇せしめられてウエーハ移送具１９０に収
容され、また、カセツト側ウエーハ昇降部材１７
６が第１０図に２点鎖線で示す上昇位置から実線
で示す下降位置に下降せしめられることによつ
て、ウエーハ移送具１９０からウエーハＷが下降
されてカセツト４４に収容される。

ボート移送手段 次に、第１図と共に第１１図を参照して、ボー
ト移送手段３８について詳細に説明する。

縦型拡散炉２の後方且つ上方に延在するハウジ
ング３０内には、所定間隔を置いて相互に平行に
且つ実質上水平に延びる一対の支持レール２１８
及び２２０が固定されている。そして、かかる一
対の支持レール２１８及び２２０上には、下面が
開放された箱状の水平移動枠２２２が装着されて
いる。水平移動枠２２２の下端４角部の各々に
は、車輪２２４が回転自在に装着されており、か
かる車輪２２４が上記一対の支持レール２１８及
び２２０上に乗載されており、かくして、水平移
動枠２２２は一対の支持レール２１８及び２２０
上を実質上水平に移動自在である。水平移動枠２
２２の後壁は、後側レール２２０を越えて下方へ
延在せしめられており、延在部の両側部の各々に
は、車輪２２５が回転自在に装着されている。か
かる車輪２２５は、後側レール２２０の下面に当
接せしめられ、水平移動枠２２２が上方へ変位す
るのを防止する。また、水平移動枠２２２の下端
後方両側部の各々には、支持部材２２６が固定さ
れており、かかる支持部材２２６に一対の案内ロ
ーラ２２７が回転自在に装着されている。かかる
案内ローラ２２７は、後側レール２２０の前面及
び後面に当接せしめられており、水平移動枠２２
２が一対の支持レール２１８及び２２０上を移動
する際の水平移動枠２２２の横揺を防止する。水
平移動枠２２２を一対の支持レール２１８及び２
２０に沿つて所要通りに移動せしめるための水平
動手段２２８も設けられている。この水平移動手
段２２８は、静止チエーン２３０及びチエーン２
３０に係合せしめられている可動スプロケツト２
３２を含んでいる。チエーン２３０は、上記ハウ
ジング３０内に張設されていて、上記一対の支持
レール２１８及び２２０の間をこれらに実質上平
行に且つ実質上水平に延びている。一方、スプロ
ケツト２３２は、水平移動枠２２２に回転自在に
装着された軸２３４に固定されている。水平移動
枠２２２には電動モータ２３６も装着されてお
り、かかる電動モータ２３６の出力軸が適宜の減
速機構２３８を介して上記軸２３４に駆動連結さ
れている。電動モータ２３６が正転されてスプロ
ケツト２３２が矢印２４０で示す方向に回転せし
められると、静止チエーン２３０に係合せしめら
れているスプロケツト２３２はチエーン２３０に
沿つて矢印２４２で示す方向に転動し、かくして
水平移動枠２２２が矢印２４２で示す方向に移動
せしめられる。一方、電動モータ２３６が逆転さ
れてスプロケツト２３２が矢印２４４で示す方向
に回転せしめられると、チエーン２３０に係合せ
しめられているスプロケツト２３２はチエーン２
３０に沿つて矢印２４６で示す方向に転動し、か
くして水平移動枠２２２が矢印２４６で示す方向
に移動せしめられる。

上記水平移動枠２２２内には、さらに、実質上
鉛直に延在する鉛直基板２４８が固定されてい
る。この鉛直基板２４８の片面には、所定間隔を
置いて相互に平行に且つ実質上鉛直に延びる２本
の案内レール２５０が形成されている。かかる案
内レール２５０に鉛直移動ブロツク２５２が滑動
自在に装着されている。そして、鉛直移動ブロツ
ク２５２を案内レール２５０に沿つて移動せしめ
る鉛直移動手段２５４が設けられている。この鉛
直移動手段２５４は、上記垂直基板２４８の片面
に回動自在に装着され実質上鉛直に延びる雄ねじ
ロツド２５６を含んでいる。上記鉛直移動ブロツ
ク２５２には鉛直方向に貫通する雌ねじ穴が形成
されておりかかる雌ねじ穴に上記雄ねじロツド２
５６が螺合されている。上記鉛直基板２４８の片
面には電動モータ２６０も装着されており、かか
る電動モータ２６０の出力軸が適宜の減速機構２
６２をかいして上記雄ねじロツド２５６に駆動連
結されている。かくして、電動モータ２６０の正
転及び逆転によつて、鉛直移動ブロツク２５２が
案内レール２５０に沿つて実質上鉛直に昇降動せ
しめられる。

上記鉛直移動ブロツク２５２には、懸架部材２
６４が固定されている。この懸架部材２６４は、
前方に突出する突出部２６５、この突出部２６５
の先端から下方に垂下する垂下部２６６、及び垂
下部２６６の下端に形成された懸架具２６８を有
する。懸架具２６８は矩形切欠き２７０が形成さ
れた平板から構成されている。切欠き２７０の幅
は、第７図に図示するボート９６の被係合部１０
８におけるチヤンネル状主部１１０の幅に対応し
ている。第１図に図示する如く、ハウジング３０
の前壁には開口２７２が形成されており、上記懸
架部材２６４の突出部２６５はこの開口２７２を
通つてハウジング３０の前方に突出しており、従
つて、上記懸架部材２６４の垂下部２６６及びそ
の下端に形成された懸架具２６８はハウジング３
０の前方に位置する。ハウジング３０の前壁に形
成されている開口２７２は、実質上水平に延在す
る水平主部２７４と、上述したボート支持手段３
８並びに４個の縦型拡散炉２の各々のボート懸架
機構８に夫々対応した位置にて実質上鉛直に延び
る鉛直部２７６ａ乃至２７６ｅとを有する。鉛直
部２７６ａ乃至２７６ｅは上記懸架部材２６４の
突出部２６５の幅よりも充分に大きい幅を有し、
以下の説明から明らかになる如く、懸架部材２６
４は開口２７２の鉛直部２７６ａ乃至２７６ｅを
通つて前方に突出する状態においても水平方向に
所要範囲に渡つて移動することができる。

次に、主として第１図及び第２図を参照して、
上述した通りのボート移送手段３８の作用を説明
する。既に言及した如く、ボート移送手段３８に
よつてボート支持枠８０と縦型拡散炉２との間に
てボート９６を移速する時には、ボート支持枠８
０は２点鎖線８０Ｂで示す第１の位置にせしめら
れる。かかる第１の位置にせしめられているボー
ト支持枠８０に支持され、従つて２点鎖線９６Ｂ
で示す第１の状態にあり、且つ拡散処理すべき複
数枚のウエーハＷを収容しているボート９６を、
縦型拡散炉２に搬入する場合について説明する
と、次の通りである。最初に、懸架部材２６４
が、ハウジング３０の前壁に形成されている開口
２７２における鉛直部２７６ａに沿つて所定位置
間で下降され、かくして、懸架部材２６４の下端
に形成された懸架具２６８が、ボート９６の後方
で且つボート９６の被係合部１０における上端フ
ランジ１１６の直ぐ下方（中間フランジ１１２よ
りも上方）に位置付けられる。ついで、懸架部材
２６４が実質上水平に矢印２４２で示す方向に移
動せしめられる。かくすると、懸架具２６８がボ
ート９６の非係合部１０８に係合する。第５図及
び第７図をも参照してさらに詳しく説明すると、
ボート９６の非係合部１０８におけるチヤンネル
状主部１１０の上端フランジ１１６の直ぐ下方の
部位が、懸架具２６８の切欠き２７０に受入られ
る。懸架部材２６４が更に矢印２６２で示す方向
に移動を続けると、非係合部１０８の上端フラン
ジ１１６が懸架具２６８に懸架されて、ボート９
６も矢印２６２で示す方向に移動され、かくし
て、ボート９６は、ボート支持枠８０から離脱さ
れ、懸架部材２６４に懸架される。しかる後に、
懸架部材２６４が、その突出部２６５が開口２７
２の水平主部２７４に位置するまで、上昇せしめ
られる。次いで、ボート９６を懸架した懸架部材
２６４が開口２７２の鉛直部２７６ｂ乃至２７６
ｅのいずれかに整合する位置、例えば第１図にお
いて最も左方に位置する縦型拡散炉２にボート９
６を搬入する場合には、鉛直部２７６ｅに整合す
る位置まで、実質上水平に矢印２６２で示す方向
に移動せしめられる。そして更に、懸架部材２６
４が、鉛直部２７６ｅに沿つて所定位置まで下降
せしめられ、かくして、ボート９６の被係合部１
９８が、縦型拡散炉２のボート懸架機構８におけ
る、ボート受渡位置２０Ａに位置せしめられてい
るアーム２０のボート懸架具２６に対向せしめら
れる。次いで、懸架部材２６４が所定距離だけ矢
印２４２で示す方向に実質上水平に移動せしめら
れる。かくすると、ボート懸架具２６は、ボート
９６の被係合１０８におけるチヤンネル状主部１
１０内にその開口した前面から受入れられる。し
かる後に、懸架部材２６４が若干下降せしめら
れ、かくして、ボート懸架具２６の上面が被係合
部１０８の天板１１４の下面に当接せしめられ、
ボート９６はボート懸架具２６に懸架せしめられ
る。ついで、懸架部材２６４は逆方向、即ち矢印
２６４で示す方向に所定距離だけ水平に移動さ
れ、かくして懸架部材２６４の懸架具２６８がボ
ート９６の被係合部１０８から離脱せしめられ
る。かくして、ボート支持枠８０から縦型拡散炉
２にボート９６が移送される。

第１２図に図示する如く、ボート懸架機構８の
ボート懸架具２６は、所定位置に２個の切欠き２
７８が形成されている円板状部材から形成されて
いる。上述した如く懸架部材２６４が下降されて
ボート懸架具２６の上面が天板１１４の下面に当
接せしめられ、ボート９６がボート懸架具２６に
懸架されると、上記２個の切欠き２７８の各々が
被係合部１０８の２個の垂下片１１８に係合せし
められる。従つて、既に言及した通りにして、ボ
ート懸架具２６に懸架されたボート９６が縦型拡
散炉２の収容空洞１２内に収納され、ボート懸架
具２６が回転せしめられると、これに付随してボ
ート９６も回転せしめられる。

ボート受渡位置２０Ａに位置せしめられている
ボート懸架具２６に懸架され、且つ既に拡散処理
された複数枚のウエーハＷを収容しているボート
９６を、縦型拡散炉２からボート支持枠８０に搬
出する場合には、懸架部材２６４が上述した場合
の移動様式の逆に移動され、かくして、ボート懸
架具２６から懸架部材２６４にボート９６が移さ
れ、次いで懸架部材２６４からボート支持枠８０
にボート９６が移される。

ウエーハ搬送装置の作用要約 ウエーハ搬送装置４の全体の作用については、
上述した説明から既に容易に理解され得るとも思
われるが、要約して説明すると次の通りである。

第１図、第２図及び第４図を参照して説明する
と、複数個の縦型拡散炉２のいずれかに拡散処理
すべき複数枚のウエーハＷを搬入する際には、カ
セツト支持手段３２上に手動で（或いは適宜のカ
セツト搬送装置によつて）、ウエーハＷ収容した
６個のカセツト４４を載置する。そして、空のボ
ート９６を支持したボート支持枠８０を第４図に
２点鎖線８０Ａで示す第２の位置に位置付け、ボ
ート９６を第２の状態にせしめる。しかる後に、
上述した如く、ウエーハ移送手段３４によつて、
カセツト４４に収容されているウエーハＷをボー
ト９６に移送する。全てのカセツト４４に収容さ
れているウエーハＷをボート９６に移送し終わる
と、ボート支持枠８０を第４図に実線で示す位置
に旋回せしめ、次いでボート支持枠８０を上昇せ
しめて第４図に２点鎖線８０Ｂで示す第１の位置
にせしめ、かくしてボート９６を第４図に２点鎖
線で示す第１の状態にせしめる。しかる後に、上
述した如くボート移送手段３８によつて、ボート
９６をボート支持枠８０から所定の縦型拡散炉２
に搬入する。

複数個の縦型拡散炉２のいずれかから既に拡散
処理したウエーハＷを搬出する際には、ボート９
６を支持していない空のボート支持枠８０を第４
図に２点鎖線８０Ｂで示す第１の位置に位置付け
る。次いで、既に、拡散処理した複数枚のウエー
ハＷを収容しているボート９６を、上述した如
く、ボート移送手段３８によつて、所定の縦型拡
散炉２からボート支持枠８０に搬出する。しかる
後に、ボート支持枠８０を第４図に実線で示す位
置まで下降せしめ、次いでボート支持枠８０を旋
回せしめて第４図に２点鎖線８０Ａで示す第２の
位置にせしめ、かくしてボート９６を第４図に２
点鎖線で示す第２の状態にせしめる。叱る後に、
上述した如く、ウエーハ移送手段３４によつて、
ボート９６に収容されているウエーハＷをカセツ
ト支持手段３２上に載置されている６個の空のカ
セツト４４に移送する。既に拡散処理されたウエ
ーハＷが移送されたカセツト４４は、手動で（或
いは適宜のカセツト搬送装置によつて）、次の処
理域又は保管域に搬出することができる。

ウエーハ移送手段の変形例 第１３図及び第１４図は、ウエーハ移送手段３
４の変形例を図示している。既に第２図、第８図
及び第９図を参照して説明した如く、上記ハウジ
ング２８内には直立静止基台１２０が配設され、
この静止基台１２０には可動基台１２４が水平方
向に滑動自在に装着されている。而して、変形例
においては、上記可動基台１２４の片面の、カセ
ツト支持手段３２（第２図）の下方に位置する部
分には、単一の支持ブロツク１３８（第８図及び
第９図）に代えて、２個の支持ブロツク１３８ａ
及び１３８ｂが別個独立に実質上鉛直に昇降自在
に装着され、そしてかかる支持ブロツク１３８ａ
及び１３８ｂの各々に関して夫々昇降手段１４４
ａ及び１４４ｂが設けられている。可動基台１２
４に対する支持ブロツク１３８ａ及び１３８ｂの
各々の装着様式は、可動基台１２４に対する支持
ブロツク１３８の装着様式と実質上同一でよく、
そしてまた昇降手段１４４ａ及び１４４ｂの各々
の構成は、昇降手段１４４の構成と実質同一でよ
いに（従つて、これについての説明は省略する）。
上記支持ブロツク１３８ａ及び１３８ｂの各々に
は、実質鉛直に上方へ延びる支柱１７４ａ及び１
７４ｂが植設されている。そして、支柱１７４ａ
及び１７４ｂの各々の上端に、カセツト側ウエー
ハ昇降部材１７６ａ及び１７６ｂが固定されてい
る。一方のカセツト側ウエーハ昇降部材１７６ａ
は、実質上水平に延在する水平板１７７ａと、か
かる水平板１７７ａに所定間隔を置いて固定され
た複数枚の鉛直板１７９ａとから構成されてい
る。かかる鉛直板１７９ａの枚数は、１個のカセ
ツト４４（第２図及び第３図）に収容されるウエ
ーハＷの枚数の半分であり、鉛直板１７９ａの間
隔は、カセツト４４に収容されるウエーハＷの１
枚置きの間隔に対応している。他方のカセツト側
ウエーハ昇降部材１７６ｂも、実質上水平に延在
する水平１７７ｂと、かかる水平板１７７ｂに所
定間隔を置いて固定された複数枚の鉛直板１７９
ｂとから構成されている。鉛直板１７９ｂの各々
の主部は、上記一方のカセツト側ウエーハ昇降部
材１７６ａにおける鉛直板１７９ａの各々の主部
の間に位置せしめられている。鉛直板１７９ｂの
枚数も、１個のカセツト４４（第２図及び第３
図）に収容されるウエーハＷの枚数の半分であ
り、鉛直板１７９ｂの間隔も、カセツト４４に収
容されるウエーハＷの１枚置きの間隔に対応して
いる。従つて、鉛直板１７９ａの枚数と鉛直板１
７９ｂの枚数との合計が、１個のカセツト４４に
収容うされるウエーハＷの枚数と同一であり、隣
接する鉛直板１７９ａと鉛直板１７９ｂとの間隔
が、カセツト４４に収容されるウエーハＷの隣接
間隔と同一である。鉛直板１７９ａ及び１７９ｂ
の各々の厚さは、ウエーハＷの厚さと実質上同一
又はそれより若干大きくてよい。上記の通りのカ
セツ側ウエーハ昇降部材１７６ａ及び１７６ｂの
各々は、上述した具体例におけるカセツト側ウエ
ーハ昇降部材１７６（第８図及び第９図）と同様
に、その上端がハウジング２８の上面４０よりも
幾分下方に位置する下降位置と、ハウジング２８
に形成されている細長い開口４６を通つて所定量
上方へ突出する上昇位置との間を昇降動せしめる
られる。

第１４図を参照して説明すると、ウエーハ移送
手段３４の変形例においては、ウエーハ移送具１
９０は、アーム１８８に回転自在に装着されてい
る。更に詳述すると、アーム１８８には実質上鉛
直に延びる軸１８９が回転自在に装着されてお
り、この軸１８９の下端にウエーハ移送具１９０
が固定されている。アーム１８８の上面には、電
動モータ１９１が装着されており、かかる電動モ
ータ１９１の出力軸が適宜の減速機構１９３を介
して上記軸１８９に駆動連結されている。従つ
て、電動モータ１９１の回転によつて軸１８９及
びこれに固定されたウエーハ移送具１９０が回転
せしめられる。ウエーハ移送手段３４の変形例に
おける上述した構成以外は、先に説明した具体例
と実質上同一である。

第１３図及び第１４図に図示する変形例におい
は、１個のカセツト４４（第２図及び第３図）に
収容されているウエーハＷをボート９６（第２
図、第３図及び第５図）に移送する際に、先ず最
初に、一方のカセツト側ウエーハ昇降部材１７６
ａを下降位置から上昇位置に上昇せしめる。かく
すると、一方のカセツト側ウエーハ昇降部材１７
６ａが、カセツト４４内に収容されている複数枚
のウエーハＷのうちに１枚置きのウエーハＷに作
用してこれらを上昇せしめ、カセツト対向位置に
位置せしめられているウエーハ移送具１９０に挿
入する。しかる後に、上記一方のカセツト側ウエ
ーハ昇降部材１７６ａを下降位置に下降せしめ
る。次いで、アーム１８８を180度旋回動せしめ
てウエーハ移送具１９０をボート対向位置にせし
める。そして、先の具体例の場合と同様にして、
ウエーハ移送具１９０からウエーハＷを排出して
ボート９６に挿入する。しかる後に、アーム１８
８を180度旋回動せしめてウエーハ移送具１９０
をカセツト対向位置に戻す。次いで、他方のカセ
ツト側ウエーハ昇降部材１７６ｂを下降位置から
上昇位置に上昇せしめる。かくすると、他方のカ
セツト側ウエーハ昇降部材１７６ｂが、カセツト
４４内に残留している１枚置きのウエーハＷに作
用してこれらを上昇せしめ、ウエーハ移送具１９
０に挿入する。しかる後に、上記他方のカセツト
側ウエーハ昇降部材１７６ｂを下降位置に下降せ
しめる。次いで、アーム１８８を180度旋回動せ
しめてウエーハ移送具１９０をボート対向位置に
せしめる。これと同時に又は引き続いて、ウエー
ハ移送具１９０自体を軸１８９と共に180度回転
せしめる（かくすると、ウエーハＷの表裏が反転
される）。しかる後に、さきの具体例の場合と同
様にして、ウエーハ移送具１９０からウエーハＷ
を排出してボート９６に挿入する。

一般に、カセツト４４内においては全てのウエ
ーハＷが拡散処理すべき表面を同一の方向に向け
て収容されているが、上述した変形例によれば、
ボート９６に移送されたウエーハＷは一枚毎に表
裏が逆にせしめられる。拡散処理の後に。一枚毎
に表裏を逆にしてボート９６に収容されているウ
エーハＷを、全てのウエーハＷの拡散処理された
表面を同一の方向向けてカセツト４４に移送する
ことが望まれる場合には、ボート側ウエーハ昇降
部材も、カセツト側ウエーハ昇降部材と同様な構
成にすればよい。

以上、添付図面を参照して本発明に従つて構成
されたウエーハ搬送装置の一具体例及びその一部
の変形例について詳細に説明したが、本発明はか
かる具体例及び変形例に限定されるものではな
く、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形
乃至修正が可能であることは勿論である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に従つて構成されたウエーハ
搬送装置の一具体例が装備された拡散炉システム
の一例を示す斜視図。第２図は、第１図に図示す
るウエーハ搬送装置の一部を示す斜視図。第３図
は、第１図に図示するウエーハ搬送装置において
使用されるウエーハカセツトを、一部を切欠いて
示す斜視図。第４図は、第１図に図示するウエー
ハ搬送装置におけるボート支持手段を示す断面
図。第５図は、第１図に図示するウエーハ搬送装
置におけるボート支持手段の一部とボート支持手
段に支持されるウエーハボートとを示す斜視図。
第６図は、第５図に図示するボートの一部を示す
側面図。第７図は、第５図に図示するボートの一
部を示す斜視図。第８図及び第９図は、第１図に
図示するウエーハ搬送装置におけるウエーハ移送
手段を示す断面図。第１０図は、第１図に図示す
るウエーハ搬送装置におけるウエーハ移送手段の
一部を示す断面図。第１１図は、第１図に図示す
るウエーハ搬送装置におけるボート移送手段を示
す斜視図。第１２図は、第１図に図示する拡散炉
システムにおける拡散炉のボート懸架具とこれに
懸架されるボートの一部を示す平面図。第１３図
は、ウエーハ移送手段の変形例の一部を示す斜視
図。第１４図は、ウエーハ移送手段の変形例の一
部を示す側面図。 ２……縦型拡散炉（縦型処理装置）、４……ウ
エーハ搬送装置、３２……カセツト支持手段、３
４……ウエーハ移送手段、３６……ボート支持手
段、３８……ボート移送手段、４４……ウエーハ
カセツト、５０……カセツトにおけるウエーハ収
容溝、６２……ボート支持手段の支持基台、８０
……ボート支持枠、９６……ウエーハボート、１
０６……ボートにおけるウエーハ収容溝、１０８
……ボートの被係合部、１７６並びに１７６ａ及
び１７６ｂ……カセツト側ウエーハ昇降部材、１
８０……ボート側ウエーハ昇降部材、１９０……
ウエーハ移送具、２１０……ウエーハ移送具のウ
エーハ落下防止部材、２２２……ボート移送手段
の水平移動枠、２６４……ボート移送手段の懸架
部材。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 複数枚のウエーハを間隔を置いて且つ相互に
   略平行に収容したウエーハボートが、その長手方
   向軸線を略鉛直にせしめた状態で収納される収納
   空洞を有する縦型処理装置のための、ウエーハ搬
   送装置にして、 該ボートの長手方向軸線が略鉛直に延びる第１
   状態と該第１の状態から傾動せしめた第２の状態
   とに、該ボートを選択的に支持することができる
   ボート支持手段を具備する、ことを特徴とするウ
   エーハ搬送装置。 ２ 該第２の状態において該ボートの長手方向軸
   線は、水平に対して角度θ、ここで０度≦θ≦45
   度である、をなして延びる、特許請求の範囲第１
   項記載のウエーハ搬送装置。 ３ 該ボートは、その前面にウエーハ出入開口を
   有すると共に、その長手方向に間隔を置いて形成
   された複数個のウエーハ収容溝を有し、該ボート
   の長手方向軸線が略鉛直にせしめられた状態で該
   ウエーハ収容溝の各々は該ウエーハ出入開口に向
   かつて上方に水平に対して角度α、ここで０度≦
   α≦45度をなして延び、 該第２の状態において該ボートは該ウエーハ出
   入開口を上方に向け、該角度θは該角度αと実質
   上同一であり、かくして該第２の状態において該
   ボートの該ウエーハ収容溝は実質上鉛直に延び
   る、特許請求の範囲第２項記載のウエーハ搬送装
   置。 ４ 該ボート支持手段は、該ボートを該第１の状
   態に支持する第１の位置と該ボートを該第２の状
   態に支持する第２の位置との間を移動自在に装着
   されたボート支持枠、及び該ボート支持枠を該第
   １の位置と該第２の位置との間にて移動せしめる
   ためのボート支持枠移送手段を含む、特許請求の
   範囲第１項乃至第３項のいずれかに記載のウエー
   ハ搬送装置。 ５ 更に、複数枚のウエーハを収容するためのウ
   エーハカセツトが載置されるカセツト支持手段
   と、 該カセツト支持手段上に載置された該カセツト
   と該第２の位置に位置付けられている該ボート支
   持枠上に支持されている該ボートとの間にて複数
   枚のウエーハを移送するためのウエーハ移送手段
   と、 該第１の位置に位置付けられている該ボート支
   持枠と該縦型処理装置との間にて該ボートを移送
   するためのボート移送手段と、を具備する特許請
   求の範囲第４項記載のウエーハ搬送装置。 ６ 該ボート支持手段は支持基台を含み、該ボー
   ト支持枠は略鉛直に延在する起立位置と水平に対
   して該角度θをなす横臥位置との間を旋回自在に
   該支持基台に装着されており、該ボート支持枠移
   動手段は該支持基台に対して該ボート支持枠を旋
   回動せしめるための旋回動手段を有する、特許請
   求の範囲第４項又は第５項記載のウエーハ搬送装
   置。 ７ 該ボート支持手段の該支持基台は実質上鉛直
   に昇降自在に装着されており、該ボート支持枠移
   動手段は該支持基台を昇降動せしめるための昇降
   動手段を有する、特許請求の範囲第６項記載のウ
   エーハ搬送装置。 ８ 該支持基台が所定下降位置に位置つけられ且
   つ該ボート支持枠が該横臥位置に位置付けられる
   と、該ボート支持枠が該第２の位置に位置し、該
   ボート支持枠が該起立位置に位置付けられ且つ該
   支持基台が所定上昇位置に位置つけられると、該
   ボート支持枠が該第１の位置に位置する、特許請
   求の範囲第７項記載のウエーハ搬送装置。 ９ 該ボートの上端には被係合部が形成されてお
   り、該ボート移送手段は該被係合部に係合して該
   ボートを懸架することができる可動懸架部材を含
   む、特許請求の範囲第５項記載のウエーハ搬送装
   置。 １０ 該ボート移送手段は実質上水平方向に移動
   自在に装着された水平移動枠を含み、該懸架部材
   は実質上鉛直方向に昇降自在に該水平移動枠に装
   着されており、該ボート移送手段は、更に、該水
   平移動枠を移動さしめるための水平移動手段、及
   び該水平移動枠に対して該懸架部材を昇降動せし
   めるための鉛直移動手段を含む、特許請求の範囲
   第９項記載のウエーハ搬送装置。 １１ 該ボートの該ウエーハ出入開口に対向する
   後面には、ウエーハの径より小さい幅で長手方向
   に延びる幅狭開口が形成されており、 該カセツトはその上面にウエーハ出入開口を有
   すると共に、その長手方向に間隔を置いて該ウエ
   ーハ出入開口に対して実質上垂直に延びる複数個
   のウエーハ収容溝、及び該ウエーハ出入開口に対
   向する下面に形成され且つウエーハの径より小さ
   い幅で長手方向に延びる幅狭開口を有し、 該カセツトはそのウエーハ出入開口を上方に向
   けて且つ該ウエーハ収容溝が実質上鉛直に延びる
   状態で該カセツト支持手段上に載置され、 該ウエーハ移送手段は、該カセツト支持手段上
   に載置された該カセツトの上方に位置するカセツ
   ト対向位置と該第２の状態にある該ボートに対向
   するボート対向位置との間を移動自在に装着され
   たウエーハ移送具と、該ウエーハ移送具を該カセ
   ツト対向位置と該ボート対向位置との間にて移動
   せしめるためのウエーハ移送具移動手段と、該カ
   セツト支持手段上に載置された該カセツトの該幅
   狭開口を通つて実質上鉛直方向に昇降自在に装着
   されたカセツト側ウエーハ昇降部材と、該カセツ
   ト側ウエーハ昇降部材を昇降動せしめるためのカ
   セツト側昇降手段と、該第２の状態にある該ボー
   トの該幅狭開口を通つて実質上鉛直方向に昇降自
   在に装着されたボート側ウエーハ昇降部材と、該
   ボート側ウエーハ昇降部材を昇降動せしめるため
   のボート側昇降手段とを含み、 該ウエーハ移送具は、その下面にウエーハ出入
   開口を有すると共に、その長手方向に間隔を置い
   て且つ実質上鉛直に延びる複数個のウエーハ収容
   溝を有し、そして更に、ウエーハ出入開口を通し
   てのウエーハの出入に干渉しない非作用位置と該
   ウエーハ出入開口の幅を減少せしめて該ウエーハ
   出入開口を通つてウエーハが下方に落下するのを
   防止する作用位置との間を移動自在に装着された
   ウエーハ落下防止部材と、該ウエーハ落下防止部
   材を該非作用位置と該作用位置とに選択的に位置
   付けるウエーハ落下防止部材位置付け手段とを含
   む、特許請求の範囲第５項記載のウエーハ搬送装
   置。 １２ 該ウエーハ落下防止部材は該ウエーハ移送
   具の該ウエーハ出入開口の両側に夫々設けられて
   いる、特許請求の範囲第１１項記載のウエーハ搬
   送装置。 １３ 該カセツト支持手段上に載置された該カセ
   ツトの長手方向軸線と該第２の状態にある該ボー
   トの長手方向軸線とは相互に実質上平行な鉛直平
   面内に夫々位置し、該ウエーハ移送具、該カセツ
   ト側ウエーハ昇降部材及び該ボート側ウエーハ昇
   降部材は、該鉛直平面に対して実質上平行に且つ
   実質上水平に移動自在に装着されており、そし
   て、該ウエーハ移送具、該カセツト側ウエーハ昇
   降部材及び該ボート側ウエーハ昇降部材を該垂直
   平面に対して実質上平行に且つ実質上水平に移動
   せしめるための移動手段が配設されている、特許
   請求の範囲第１１項又は第１２項記載のウエーハ
   搬送装置。