JPH0513559A - ウエハ挿入用アダプタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 基体本体２ａにウエハが通過できる穴５が形
成され、基体下部に本アダプタをウエハケース上側に装
着するための装着器８を有するようにウエハ挿入用アダ
プタ２を構成した。 【効果】 ウエハケースの上側にウエハが通過できる穴
のあいたアダプタを装着することで、ウエハケース内に
ウエハが正確にまっすぐに両サイドに合わせて挿入でき
るので、ケース内でのウエハの割れを防止できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、ウエハを移送する際
などに用いるウエハケースに、ウエハを挿入する際に用
いるウエハ挿入用アダプタに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図２および図３はウエハケースにウエハ
を挿入する時の状態を示す図である。図において、(1)
はウエハ、(3) はウエハケースであり、ケース内の対向
する２辺にウエハを挿入する際の案内溝が複数設けられ
ている。また、(6) はケース内に正常に挿入されている
ウエハ、(7) はケース内でずれて挿入されているウエハ
である。

【０００３】次にウエハの収納の仕方について説明す
る。ウエハ(1) をウエハケース(3) に挿入する場合、ケ
ース両側のきざみ(4) を目印にウエハ(1) を並行に挿入
していくが、図３に示すようにケースの中央部では両側
のきざみ（案内溝）の対応をつけにくく、ケース内でず
れて挿入される場合があり、ずれて挿入したままケース
を移動すると、移動時にケース内でウエハ(1) が割れる
おそれがある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来のウエハケースは
以上のように構成されていたので、ウエハ挿入時ウエハ
ケース中央では両側のきざみが判別しにくく、ウエハを
ケース内に平行に格納できないことがあり、ケース内で
ウエハが割れるという問題点があった。

【０００５】この発明は、上記のような問題を解決する
ためになされたもので、ウエハをウエハケースに挿入す
る時、ケース中央部でも両側のずれたきざみにとらわれ
ず、平行にウエハを挿入することができ、ケース内での
ウエハの割れを防ぐことができるウエハ挿入用アダプタ
を得ることを目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明に係るウエハ挿
入用アダプタは、基体本体にウエハが通過できる穴を形
成し、基体下部に本アダプタをウエハケースの上側に装
着するための装着器を設けたものである。

【０００７】

【作用】この発明に係るウエハ挿入用アダプタは、上述
のように構成されているので、アダプタをケース上側に
装着し、ウエハが通る穴を介してウエハを挿入すること
により、ケース中央でも両側のずれたきざみにとらわれ
ず、相対向するきざみにウエハを挿入でき、ケース内で
ウエハが割れないようになる。

【０００８】

【実施例】以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図１はこの発明の一実施例によるウエハ挿入用ア
ダプタを示す。図において、(1) はウエハ、(2) はウエ
ハ挿入用アダプタ、(3) はウエハケース、(4) はウエハ
ケース両側のきざみ、(5)はアダプタ(2) の基体本体に
あいた穴であり、その中央部は図４(a) に示すようにウ
エハを挟んだピンセットがより奥の方に届くように幅広
になった穴(5b)が形成されており、その両側にはウエハ
を通す溝(5a)が形成されている。(8) はアダプタ(2) の
基体下部に設けられた装着器であり、ウエハケースに装
着する時に、既に収容されているウエハが邪魔をしない
ように、先端に向かって徐々に幅が細くなる形状となっ
ている。

【０００９】次に作用, 効果について説明する。ウエハ
(1) 挿入時、図４(b) に示すように、ウエハケース(3)
の上側に本ウエハ挿入用アダプタを装着し、その基体本
体に形成されたウエハが通過できる穴にウエハを装着し
て、ピンセットでウエハを挟んだまま、ウエハをケース
内部に向けて進入させると、図４(c) に示すように、ウ
エハ(1) はこの穴をガイドとして、ケース開口の両長辺
の相対向するきざみに容易に当接させてケース内部に挿
入できるので、ウエハケース(3) の中央部分でも両側の
ずれたきざみにとらわれることなく、ウエハ(1) を並行
に、即ち、正確にまっすぐに両サイドに合わせて挿入で
きる。従って、ケース内でウエハが割れることはない。

【００１０】

【発明の効果】以上のように、この発明に係るウエハ挿
入用アダプタによれば、基体本体にウエハが通過できる
穴を形成し、基体下部に本アダプタをウエハケースの上
側に装着するための装着器を設けたので、ウエハケース
にウエハを挿入する時、ケース上側にウエハが通過する
穴のあいたアダプタを装着し、その穴を介してウエハを
挿入することにより、ウエハは自動的にケース両側の相
対向するきざみに合わされて平行にケース内に挿入さ
れ、ウエハケース両側のずれたきざみにウエハが挿入さ
れることがなくなり、ウエハケース内でのウエハの割れ
を防止するなどの効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例によるウエハ挿入用アダプ
タを用いて、ウエハをウエハケースに挿入する時の状態
を示す図である。

【図２】従来のウエハをウエハケース挿入する時の状態
を示す図である。

【図３】従来のウエハがウエハケースに挿入されている
状態を示す図である。

【図４】この発明の一実施例によるウエハ挿入用アダプ
タをより詳細に示す図で、図４(a) はアダプタのより詳
細な構成を示す斜視図、図４(b),(c) はその使用方法を
示す断面図である。

【符号の説明】

１ ウエハ ２ ウエハ挿入用アダプタ ２ａ 基体本体 ３ ウエハケース ４ ウエハケース両側のきざみ ５ アダプタにあいたウエハが通過できる穴 ６ ケース内に正常に挿入されているウエハ ７ ケース内でずれて挿入されているウエハ ８ アダプタの装着器

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】 ケース内の対向する２辺にウエハを挿入
   する際の案内溝を複数設けたウエハケースにウエハを挿
   入するためのアダプタであって、 基体本体にウエハが通過できる穴が形成され、 該基体下部に本アダプタをウエハケース上側に装着する
   ための装着器を備えたことを特徴とするウエハ挿入用ア
   ダプタ。