JPH05136332A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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Publication number
JPH05136332A
JPH05136332A JP3300612A JP30061291A JPH05136332A JP H05136332 A JPH05136332 A JP H05136332A JP 3300612 A JP3300612 A JP 3300612A JP 30061291 A JP30061291 A JP 30061291A JP H05136332 A JPH05136332 A JP H05136332A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor device
carrier tape
semiconductor
film carrier
film
Prior art date
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Pending
Application number
JP3300612A
Other languages
English (en)
Inventor
Tomonori Nishino
友規 西野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP3300612A priority Critical patent/JPH05136332A/ja
Publication of JPH05136332A publication Critical patent/JPH05136332A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/10Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
    • H05K2201/10613Details of electrical connections of non-printed components, e.g. special leads
    • H05K2201/10621Components characterised by their electrical contacts
    • H05K2201/10681Tape Carrier Package [TCP]; Flexible sheet connector

Landscapes

  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 占有面積に対する集積密度を高くし、配線密
度を低くできる半導体装置を得る。 【構成】 第1の半導体チップ7から引き出された第1
のフィルムキャリアテープ1の第1のアウターリード1
0をコの字状に折り曲げ、第1のベースフィルム2に対
向するように貼り合わせ、第1のベースフィルム2に上
に形成された裏面パターン15に第2の半導体チップ1
7を接続した第2のアウターリード21の一部を接合す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置、特に複数
の半導体チップをフィルムキャリアテープを用いて接合
し、樹脂封止した半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】樹脂封止型半導体装置は一般に一個の半
導体チップを樹脂封止したもので、この樹脂封止した半
導体記憶装置や半導体制御装置などの半導体装置を、マ
ザーボードと呼ばれるプリント配線板に平面的に配置し
て実装していた。また、フィルムキャリアテープに接続
された一個の半導体チップを樹脂封止した半導体記憶装
置をプリント配線板に複数個立体的に積重ねて実装する
技術が特開平2−134859号公報において開示され
ている。
【0003】ところで、樹脂封止型半導体装置から引き
出される各配線がプリント配線板に占める割合は、近年
ますます大きくなる傾向にある。特にデータバスが多ビ
ット化する程データ線が、メモリが大容量化する程アド
レス線の数が増えるのでその傾向が強くなる。一方、樹
脂封止型半導体装置搭載の電子機器には一般に小型化が
要求され、配線はますます高密度化される。したがっ
て、プリント配線板の配線パターンはますます長く、か
つ、ますます細くせざるを得なくなり、回路の高速化、
耐ノイズ性の向上が制約される。また、特開平2−13
4859号公報において開示された複数個の樹脂封止型
半導体装置を立体的に積重ねて実装する技術において
は、個々の半導体チップをトランスファーモールドによ
る樹脂封止を行いにくく、樹脂肉厚が薄いために、樹脂
封止型半導体装置の信頼性の向上が制約される。
【0004】本発明は、先に述べたような課題を解決す
べく為されたものであり、占有面積に対する集積密度を
高くし、半導体装置を搭載するプリント配線板の小型
化、配線密度の緩和を可能とし、同時に信頼性の高い半
導体装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体装置は、
第1のフィルムキャリアテープに第1の半導体チップを
電気的に接続し、第1のフィルムキャリアテープに開口
を設けた第1の半導体装置と、別体の第2のフィルムキ
ャリアテープに第2の半導体チップを電気的に接続し、
第2のフィルムキャリアテープのアウターリードの一部
をコの字状に折り曲げ、ベースフィルムを対抗するよう
に貼り合わせた第2の半導体装置を、開口において合金
接合し、樹脂封止したことを特徴とする。
【0006】
【作用】すなわち、第1の半導体チップをインナーリー
ドに電気的に接続した第1の半導体装置において、アウ
ターリードの一部を折り曲げて、片面配線の第1のフィ
ルムキャリアテープから裏面パターンを形成し、この裏
面パターンと、第2の半導体チップを第2のフィルムキ
ャリアテープのインナーリードに電気的に接続した第2
の半導体装置のベースフィルムに設けた開口をまたぐ表
面パターンとを合金接合することにより、第1の半導体
装置と第2の半導体装置をフィルムキャリアテープ状態
で一体化できるようになる。そして、フィルムキャリア
テープ状態で一体化された第1の半導体装置と第2の半
導体装置をトランスファーモールドによる樹脂封止を行
うことができるようになり、半導体装置の信頼性を高め
ることができる。
【0007】
【実施例】以下、本発明の半導体装置を図示実施例にも
とづいて説明する。図1および図2は本発明の半導体装
置の第1の実施例を示すもので、図1は分解斜視図、図
2は断面図である。図1において、1は第1のフィルム
キャリアテープ、2は第1のフィルムキャリアテープ1
の第1のベースフィルムで、例えばポリイミド樹脂から
なる。3、3─は第1のベースフィルム2の表面に形成
された銅薄膜のリード、4は第1のベースフィルム2に
形成されたデバイスホールである。リード3、3─はデ
バイスホール4の第1のフィルムキャリアテープ1の長
手方向の相対する辺の近傍からフィルムキャリアテープ
端へとほぼ平行に伸びるように形成されている。
【0008】リード3、3─は、デバイスホール4の端
面から内側にそのまま突設せしめられた第1のインナー
リード5、5─を形成している。この第1のインナーリ
ード5、5─は例えば金からなる突起電極6、6─を介
して、デバイスホール4に収められた第1の半導体チッ
プ7上のパッド電極(図示せず)と電気的に接続して、
第1の半導体装置8として機能するように構成される。
また、リード3、3─の他端側は、第1のベースフィル
ム2に形成されたアウターリード孔9をまたぐようにフ
ィルムキャリアテープ1の端部近傍まで引き延ばされて
おり、アウターリード孔9に形成されたリード3、3─
が本発明の半導体装置の第1のアウターリード10、1
0─になる。図1中の一点鎖線枠は樹脂封止部11の形
成する部位を示しており、樹脂封止後にアウターリード
孔9において所定の長さの第1のアウターリード10と
なるようにリード3は切断される。なお、第1のベース
フィルム2を支持するサポートフィルム12も、樹脂封
止後に切断される。
【0009】ここで、第1のインナーリード5と第1の
アウタリード10の間の第1のベースフィルム2には、
開口13が形成されており、この開口13をまたぐリー
ド3、3─がつぎに述べる第2の半導体装置14に形成
された裏面パターン15と合金接合される。
【0010】つぎに、第2の半導体装置14について、
図3および図4にもとづいて説明する。図3および図4
は第2の半導体装置14の説明図であり、それぞれAは
平面図、Bは断面図である。第2の半導体装置14は、
別体の第2のフィルムキャリアテープ16と第2の半導
体チップ17とから構成することができる。この第2の
フィルムキャリアテープ16の第2のベースフィルム1
8に形成されたリード3、3─は、前述の第1の半導体
装置8をなすリード3、3─とほぼ同一設計になってい
る。これは、第1の半導体チップ7と第2の半導体チッ
プ16に、例えばミラー反転、すなわち線対称の回路形
成面を有する半導体記憶素子チップを用いたとき、アド
レス線、入出力データ線、電源線、制御線(但しチップ
選択線を除く)が共通にすることができるために、第1
のフィルムキャリアテープ1と第2のフィルムキャリア
テープ16のリードを互いに接合できるようにするため
である。第2の半導体チップ17は、突起電極を介し
て、第2のフィルムキャリアテープ16の第2のインナ
ーリード19と接続されており、第2のベースフィルム
18に形成されたデバイスホール20は第1のフィルム
キャリアテープ1のデバイスホール4と同一の大きさと
なっている。
【0011】また、第2のベースフィルム18からフィ
ルムキャリアテープ端近傍まで引き延ばされた第2のア
ウターリード21の中間部には棒状ベースフィルム18
が形成され、この棒状ベースフィルム18は不要なサポ
ーフィルム12を切断することにより得られる。そし
て、不要な第2のアウターリード21は、棒状ベースフ
ィルム18の端部で切断されている。この後、さらに不
要なサポートフィルム12を切断されることにより、第
2の半導体装置14をなす主部がフィルムキャリアテー
プから切り出される。このようにして得られた第2の半
導体装置14の主部は、つぎに第2のアウターリード2
1の一部が90ずつ折り曲げられ、インナーリード側の
ベースフィルムとアウターリード側の棒状ベースフィル
ム18を対向させるようにエポキシ系接着剤を用いて接
着せしめられ、図4A、Bに示すような第2の半導体装
置14が得られる。
【0012】この第2の半導体装置14では、第2のフ
ィルムキャリアテープ16の片面主面上に形成されたリ
ード3は主面とは反対側の裏面にまで引き延ばされるこ
とになり、前述の棒状ベースフィルム18上に裏面パタ
ーン15が形成される。
【0013】この裏面パターン15は、第2の半導体装
置14を裏返しにし、第1の半導体チップ7と第2の半
導体チップが背中合わせになるようにして、前述したよ
うに第1のフィルムキャリアテープ1の開口13に形成
されたリード3に合金接合される。そして、裏面パター
ン15が形成された棒状ベースフィルム18は第1のフ
ィルムキャリアテープの開口13の中に収納される。な
お、このように第2の半導体装置14を合金接合により
フィルムキャリアテープ状態の第1の半導体装置7へ一
体化させた後に、既に説明したとおりフィルムキャリア
状態でトランスファーモールドによる樹脂封止がなさ
れ、サポートフィルム12および第1のアウターリード
10から切り離すことにより、本発明の半導体装置が完
成する。
【0014】なお、第1のフィルムキャリアテープ1お
よび第2のフィルムキャリアテープ16には、その表面
を保護するための光感光性のソルダレジスト(図示せ
ず)がコーティングされており、樹脂封止時の樹脂漏れ
およびリードのマイグレーションを防いでいる。また、
ソルダレジストから露出したリード3、すなわち、第1
のインナーリード5、第2のインナーリード19、第1
のアウターリード10、第2のアウターリード21およ
び裏面パターン15には、金メッキ膜が施されている。
【0015】このような半導体装置によれば、2つの第
1の半導体チップ7および第2の半導体チップ17を背
中合わせに配置してトランスファーモールドによる樹脂
封止をしているので、半導体装置の占有面積を広くする
ことなくマルチチップ化して半導体装置の回路集積密度
を高めることができる。そして、半導体装置内部の第1
の半導体チップ7および第2の半導体チップ17との間
における電気的な接続は、樹脂封止部11の内部で行わ
れることになり、半導体装置を搭載するプリント配線板
の配線で行う必要はない。したがって、プリント配線板
を大型に、その配線長を長くすることなく、また、配線
密度を高くすることなく大容量の回路を実装できる。ま
た、トランスファーモールドの樹脂封止が行えることに
なり、半導体装置の信頼性を高めることができる。
【0016】つぎに、本発明の半導体装置の第1の実施
例の変形例について図5にもとづいて説明する。図5は
第1の実施例の変形例の断面図である。本変形例では、
既に説明した第1の実施例における第1の半導体チップ
7の半導体記憶素子チップの代わりに半導体制御素子チ
ップを適用した例を示している。すなわち、半導体記憶
素子の記憶容量のみを大きくするのではなく、半導体制
御素子チップと半導体記憶素子チップを一つの半導体装
置内に一体化させて、大容量の記憶容量をもつ制御素子
を構成させた例である。
【0017】この変形例は、第1の実施例で説明した第
1のフィルムキャリアテープ1のリードパターンが4辺
に形成されたものおよび第1の半導体チップ7上のパッ
ド電極が4辺近傍に配置されたものを用いていることに
おいて第1の実施例と異なる。しかし、半導体記憶素子
チップである第2の半導体チップ17の第2のアウター
リード21に対応する裏面パターン15と半導体制御素
子チップである第1の半導体チップ7の第1のアウター
リード10との位置を同一にして合金接合することによ
り第1の実施例と同様に得られる。また、この変形例に
おける効果は第1の実施例における効果と同一であるこ
とは言うまでもない。
【0018】つぎに、本発明の半導体装置の第2の実施
例を図6にもとづいて説明する。図6は本発明の半導体
装置の第2の実施例を説明するための分解斜視図であ
る。 図6によれば、第1の半導体装置8を構成する第
1のフィルムキャリアテープ1にはインナーリードを有
さず、かつ、第1のアウターリード10に係合したダミ
ーリード23が開口13をまたがって配設されているこ
とのみが、第1の実施例とは異なる。このダミーリード
23と、下側の第2の半導体装置14の入出力データ線
となる裏面パターン15を接続することにより、第1の
半導体チップ7、第2の半導体チップ17の回路を変更
することなく、本発明の半導体装置の第1のアウターリ
ード10からは、2倍の入出力データ線が取り出せるこ
とになり、かつ、記憶容量も2倍にすることができる。
なお、ダミーリード23は前述の入出力データ線の他に
チップ選択線についても適用できる。
【0019】最後に、本発明の半導体装置の第3の実施
例を図7にもとづいて説明する。図7は本発明の半導体
装置の第3の実施例の断面図である。図7によれば、第
2の半導体装置17のベースフィルム18と棒状ベース
フィルム22の間に強化板24を挿入した例を示してい
る。強化板24は例えばアルミナ等の薄板からなるが、
この薄板は棒状薄板であっても良いし、第2の半導体チ
ップ17の周囲にあるベースフィルム18とほぼ同一形
状の枠状薄板であっても良い。また、強化板24は上下
のベースフィルムとエポキシ系接着剤により固着されて
いる。強化板24は、第2の半導体装置14の機械的強
度を高め、かつ、半導体チップの厚みに第1の半導体装
置8の第1のインナーリード5の高さを合わせるスペー
サとなっている。
【0020】本実施例における強化板24を挿入したこ
とにより、第2の半導体装置17のハンドリング性は向
上し、樹脂封止後の半導体装置の機械的強度を高めるこ
とができる。さらに、第1のインナーリード5が第1の
半導体チップ7のエッジにおいて半導体チップと短絡す
ることも回避できる。
【0021】
【発明の効果】本発明により得られる効果を簡単に説明
すれば、半導体装置の占有面積を広くすることなくマル
チチップ化して半導体装置内部の回路集積密度を高める
ことができる。そして、トランスファモールドの樹脂封
止を行った半導体装置内部の半導体チップ相互間におけ
る電気的接続は、半導体装置内部で行われ、半導体装置
を搭載するプリント配線板により行う必要はなく、プリ
ント配線板の小型化、配線密度の緩和を図りながら大容
量の回路をなすことができる半導体装置を提供できる。
また、トランスファーモールドによる樹脂封止を行うこ
とにより、高信頼性の半導体装置を提供できる。
【0022】更に、ダミーリードの有無により半導体装
置のアウターリードへの回路を切り換えることができる
ようになり、半導体チップの回路を変更することなく、
簡単に半導体装置の回路を切り換えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体装置の第1の実施例の分解斜視
図である。
【図2】本発明の半導体装置の第1の実施例の断面図で
ある。
【図3】本発明の半導体装置の第1の実施例の第2の半
導体装置14の説明図であり、Aは平面図、Bは断面図
である。
【図4】本発明の半導体装置の第1の実施例の第2の半
導体装置14の説明図であり、Aは平面図、Bは断面図
である。
【図5】本発明の半導体装置の第1の実施例の変形例の
断面図である。
【図6】本発明の半導体装置の第2の実施例の分解斜視
図である。
【図7】本発明の半導体装置の第3の実施例の断面図で
ある。
【符号の説明】
1 第1のフィルムキャリアテープ 2 第1のベースフィルム 3 リード 4 デバイスホール 5 第1のインナーリード 6 突起電極 7 第1の半導体チップ 8 第1の半導体装置 9 アウターリード孔 10 第1のアウターリード 11 樹脂封止部 12 サポートフィルム 13 開口 14 第2の半導体装置 15 裏面パターン 16 第2のフィルムキャリアテープ 17 第2の半導体チップ 18 第2のベースフィルム 19 第2のインナーリード 20 デバイスホール 21 第2のアウターリード 22 棒状ベースフィルム 23 ダミーリード 24 強化板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 23/50 S 9272−4M

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1のフィルムキャリアテープに第1の
    半導体チップを電気的に接続し、前記第1のフィルムキ
    ャリアテープのベースフィルムに開口を設けた第1の半
    導体装置と、別体の第2のフィルムキャリアテープに第
    2の半導体チップを電気的に接続し、前記第2のフィル
    ムキャリアテープのアウターリードの一部をコの字状に
    折り曲げ、ベースフィルムを対向するように貼り合わせ
    た第2の半導体装置を、前記開口において合金接合し、
    樹脂封止したことを特徴とする半導体装置。
  2. 【請求項2】 前記第1のフィルムキャリアテープに
    は、インナーリードを有さず、かつ、アウターリードに
    係合したダミーリードが前記開口部をまたがって配設さ
    れていることを特徴とする請求項1記載の半導体装置
JP3300612A 1991-11-15 1991-11-15 半導体装置 Pending JPH05136332A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3300612A JPH05136332A (ja) 1991-11-15 1991-11-15 半導体装置

Applications Claiming Priority (1)

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JP3300612A JPH05136332A (ja) 1991-11-15 1991-11-15 半導体装置

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ID=17886955

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JP3300612A Pending JPH05136332A (ja) 1991-11-15 1991-11-15 半導体装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7227251B2 (en) 1997-09-29 2007-06-05 Elpida Memory, Inc. Semiconductor device and a memory system including a plurality of IC chips in a common package

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7227251B2 (en) 1997-09-29 2007-06-05 Elpida Memory, Inc. Semiconductor device and a memory system including a plurality of IC chips in a common package

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