JPH05138512A - 研削装置 - Google Patents
研削装置Info
- Publication number
- JPH05138512A JPH05138512A JP32229391A JP32229391A JPH05138512A JP H05138512 A JPH05138512 A JP H05138512A JP 32229391 A JP32229391 A JP 32229391A JP 32229391 A JP32229391 A JP 32229391A JP H05138512 A JPH05138512 A JP H05138512A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting
- workpieces
- grindstone
- workpiece
- cut
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、半導体ウエーハなどの被加工物を
切削砥石によって切削加工する際に、従来切削砥石が片
側支持状態で行ったことによる切削の不都合を解消し、
且つ作業能率を向上させるものである。 【構成】 本発明は、隣接状態に配設した２以上のチャ
ックテーブルに被加工物を保持させ、これを単一の切削
砥石で研削するようにしたことにより、切削砥石が被加
工物を跨ぐようにして全面的に当接するので片側支持の
状態にならず、無理な応力が加わらないために被加工物
を平坦に切削加工することができると共に、２個以上の
被加工物を同時に切削加工できるようにしたものであ
る。
切削砥石によって切削加工する際に、従来切削砥石が片
側支持状態で行ったことによる切削の不都合を解消し、
且つ作業能率を向上させるものである。 【構成】 本発明は、隣接状態に配設した２以上のチャ
ックテーブルに被加工物を保持させ、これを単一の切削
砥石で研削するようにしたことにより、切削砥石が被加
工物を跨ぐようにして全面的に当接するので片側支持の
状態にならず、無理な応力が加わらないために被加工物
を平坦に切削加工することができると共に、２個以上の
被加工物を同時に切削加工できるようにしたものであ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエーハなどの
被加工物を、平滑及び均等厚さに切削加工する装置に関
するものである。
被加工物を、平滑及び均等厚さに切削加工する装置に関
するものである。
【０００２】
【従来技術】一般にこの種の切削装置は、１ワーク１カ
ッターの組み合わせで切削を行っており、図３に示した
構成のものが従来例として周知である。この従来例にお
いて１はチャックテーブルであり、該チャックテーブル
１上に保持された被加工物２を１つの切削砥石３で切削
する構成になっている。そして、この切削砥石３は回転
軸４に取り付けられ、該回転軸４はシリンダー５に支持
されている。
ッターの組み合わせで切削を行っており、図３に示した
構成のものが従来例として周知である。この従来例にお
いて１はチャックテーブルであり、該チャックテーブル
１上に保持された被加工物２を１つの切削砥石３で切削
する構成になっている。そして、この切削砥石３は回転
軸４に取り付けられ、該回転軸４はシリンダー５に支持
されている。
【０００３】このような構成の切削装置で、切削砥石３
に所定の押圧力を加えて被加工物２の切削を遂行する
と、被加工物２に対する切削砥石３の切削作用側が片側
支持の状態になり、その片側支持状態によって切削砥石
３が僅かではあるが、片側支持されない側に傾斜するよ
うになり、それによって被加工物２を均等厚さに切削す
ることが出来ない。
に所定の押圧力を加えて被加工物２の切削を遂行する
と、被加工物２に対する切削砥石３の切削作用側が片側
支持の状態になり、その片側支持状態によって切削砥石
３が僅かではあるが、片側支持されない側に傾斜するよ
うになり、それによって被加工物２を均等厚さに切削す
ることが出来ない。
【０００４】従って、一般的には、被加工物２の平面と
平行するＸ−Ｘ軸と、切削砥石３が取り付けられた回転
軸４の軸芯を通る垂直軸、即ちＹ−Ｙ軸とを直行（９０
°）させないで、片側支持する側の角度Θを例えば略８
９°に設定し、所謂回転軸４を傾斜させた状態で、切削
を遂行しているのが実情である。
平行するＸ−Ｘ軸と、切削砥石３が取り付けられた回転
軸４の軸芯を通る垂直軸、即ちＹ−Ｙ軸とを直行（９０
°）させないで、片側支持する側の角度Θを例えば略８
９°に設定し、所謂回転軸４を傾斜させた状態で、切削
を遂行しているのが実情である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前記従来例における切
削装置は、被加工物２に対する切削砥石３の片側支持状
態による押圧力のアンバランスを解消するため、回転軸
４を傾斜させた状態で切削が遂行されるので、常に回転
軸４に無理な応力が加わっており、長期使用によって徐
々に回転軸４が遍芯する方向に向かうと言う不都合が生
ずるばかりでなく、装置の初期使用時においては、切削
が進行して切削の負荷が減少するに従って、徐々に回転
軸４の傾斜に沿った切削がなされ、図４に示したよう
に、被加工物２の中央部が凹んだ、所謂すり鉢状の切削
がなされるようになると言う不都合が生じている。従っ
て、従来例においては、切削砥石３の片側支持状態によ
る切削で生ずる回転軸の傾斜、並びに被加工物２の切削
状態に解決しなければならない課題を有している。
削装置は、被加工物２に対する切削砥石３の片側支持状
態による押圧力のアンバランスを解消するため、回転軸
４を傾斜させた状態で切削が遂行されるので、常に回転
軸４に無理な応力が加わっており、長期使用によって徐
々に回転軸４が遍芯する方向に向かうと言う不都合が生
ずるばかりでなく、装置の初期使用時においては、切削
が進行して切削の負荷が減少するに従って、徐々に回転
軸４の傾斜に沿った切削がなされ、図４に示したよう
に、被加工物２の中央部が凹んだ、所謂すり鉢状の切削
がなされるようになると言う不都合が生じている。従っ
て、従来例においては、切削砥石３の片側支持状態によ
る切削で生ずる回転軸の傾斜、並びに被加工物２の切削
状態に解決しなければならない課題を有している。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記従来例の課題を解決
する具体的手段として本発明は、２以上のチャックテー
ブルを具備し、該チャックテーブル上に夫々保持されて
いる被加工物を単一の研削砥石で同時に研削するように
構成した研削装置を提供するものであり、前記２以上の
チャックテーブルが隣接状態に配設され、夫々が回転す
る構成にすると共に、チャックテーブルの径よりも研削
砥石の径を大きく形成した切削装置である。
する具体的手段として本発明は、２以上のチャックテー
ブルを具備し、該チャックテーブル上に夫々保持されて
いる被加工物を単一の研削砥石で同時に研削するように
構成した研削装置を提供するものであり、前記２以上の
チャックテーブルが隣接状態に配設され、夫々が回転す
る構成にすると共に、チャックテーブルの径よりも研削
砥石の径を大きく形成した切削装置である。
【０００７】
【作用】本発明は、隣接状態に配設した２以上のチャッ
クテーブルに被加工物を保持させ、これを単一の切削砥
石で研削するようにしたものであるため、切削砥石が被
加工物と全面的に当接して片側支持の状態にならず、無
理な応力が加わらないために被加工物を平坦に切削加工
することができると共に、２個以上の被加工物を同時に
切削加工できるので能率を著しく向上させることができ
る。
クテーブルに被加工物を保持させ、これを単一の切削砥
石で研削するようにしたものであるため、切削砥石が被
加工物と全面的に当接して片側支持の状態にならず、無
理な応力が加わらないために被加工物を平坦に切削加工
することができると共に、２個以上の被加工物を同時に
切削加工できるので能率を著しく向上させることができ
る。
【０００８】
【実施例】次に、本発明を図示の実施例により更に詳し
く説明すると、１１，１２はチャックテーブルであり、
該チャックテーブル１１，１２は隣接状態で且つ上面が
同一平面位置に来るように配設され、夫々が回転するよ
うに構成されている。
く説明すると、１１，１２はチャックテーブルであり、
該チャックテーブル１１，１２は隣接状態で且つ上面が
同一平面位置に来るように配設され、夫々が回転するよ
うに構成されている。
【０００９】そして、これらチャックテーブル１１，１
２上には夫々半導体ウエーハ等の被加工物１３，１４が
吸着保持されるようになっている。
２上には夫々半導体ウエーハ等の被加工物１３，１４が
吸着保持されるようになっている。
【００１０】１５は切削砥石であり、該切削砥石は前記
チャックテーブル１１，１２を跨ぐように配設され、そ
の砥石部分１５ａが被加工物１３，１４に当接するよう
になっている。
チャックテーブル１１，１２を跨ぐように配設され、そ
の砥石部分１５ａが被加工物１３，１４に当接するよう
になっている。
【００１１】前記切削砥石１５は回転軸１６に取り付け
られ、該回転軸１６はシリンダー１７に回転自在に支持
されており、該シリンダー１７の上下動に伴って前記切
削砥石１５が上下動するように構成されている。
られ、該回転軸１６はシリンダー１７に回転自在に支持
されており、該シリンダー１７の上下動に伴って前記切
削砥石１５が上下動するように構成されている。
【００１２】前記切削砥石１５は隣接する前記チャック
テーブル１１，１２を跨ぐようにして配設されるもので
あり、その切削砥石１５の大きさ、即ち外径は、各チャ
ックテーブル１１，１２の径よりも大きくする必要があ
り、図２に示したように、切削砥石１５の外周縁が隣接
するチャックテーブル１１，１２の中心部に至る大きさ
にする必要がある。
テーブル１１，１２を跨ぐようにして配設されるもので
あり、その切削砥石１５の大きさ、即ち外径は、各チャ
ックテーブル１１，１２の径よりも大きくする必要があ
り、図２に示したように、切削砥石１５の外周縁が隣接
するチャックテーブル１１，１２の中心部に至る大きさ
にする必要がある。
【００１３】このような大きさ及び位置関係にすること
によって、各チャックテーブル１１，１２上に保持され
た被加工物１３，１４を単一の切削砥石１５によって同
時に切削加工が遂行でき、しかも切削砥石１５が片側支
持状態にならずに、均等な押圧力で被加工物１３，１４
と均等に当接して切削が出来るのである。
によって、各チャックテーブル１１，１２上に保持され
た被加工物１３，１４を単一の切削砥石１５によって同
時に切削加工が遂行でき、しかも切削砥石１５が片側支
持状態にならずに、均等な押圧力で被加工物１３，１４
と均等に当接して切削が出来るのである。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る切削装
置は、２以上のチャックテーブルを具備し、該チャック
テーブル上に夫々保持されている被加工物を単一の研削
砥石で同時に研削するように構成したことにより、切削
砥石が片側支持状態にならず、被加工物と均等な押圧力
で均等に当接することで、高精度の切削加工ができると
言う優れた効果を奏する。
置は、２以上のチャックテーブルを具備し、該チャック
テーブル上に夫々保持されている被加工物を単一の研削
砥石で同時に研削するように構成したことにより、切削
砥石が片側支持状態にならず、被加工物と均等な押圧力
で均等に当接することで、高精度の切削加工ができると
言う優れた効果を奏する。
【００１５】又、２以上のチャックテーブルが隣接状態
に配設され、夫々が回転し且つ単一の切削砥石で切削が
遂行されるようにしたことで、同時に複数の被加工物を
加工できるので、単位時間当たりの加工数が多くなり能
率向上が図れると言う優れた効果を奏する。
に配設され、夫々が回転し且つ単一の切削砥石で切削が
遂行されるようにしたことで、同時に複数の被加工物を
加工できるので、単位時間当たりの加工数が多くなり能
率向上が図れると言う優れた効果を奏する。
【００１６】更に、２以上のチャックテーブル上の被加
工物を同時に同一手段で加工するので、加工された後の
被加工物の検査又は測定は、一方の被加工物のみで足
り、検査又は測定能率が向上すると共に、例えば検査又
は測定などにおいて被加工物に傷が付くような場合に
は、一方にダミー加工物を使用すれば、そのダミー加工
物を用いて間接的に検査又は測定ができると言う優れた
効果も奏する。
工物を同時に同一手段で加工するので、加工された後の
被加工物の検査又は測定は、一方の被加工物のみで足
り、検査又は測定能率が向上すると共に、例えば検査又
は測定などにおいて被加工物に傷が付くような場合に
は、一方にダミー加工物を使用すれば、そのダミー加工
物を用いて間接的に検査又は測定ができると言う優れた
効果も奏する。
【図１】本発明に係る切削装置の一部を断面で示した側
面図である。
面図である。
【図２】本発明に係る切削装置のチャックテーブルと切
削砥石との関係を示す説明図である。
削砥石との関係を示す説明図である。
【図３】従来例の切削装置の要部を示す側面図である。
【図４】従来例の切削装置によって切削された被加工物
を拡大して示した略示的断面図である。
を拡大して示した略示的断面図である。
１１，１２ チャックテーブル １３，１４ 被加工物 １５ 切削砥石 １５ａ 砥石部 １６ 回転軸 １７ シリンダー
Claims (3)
- 【請求項１】 ２以上のチャックテーブルを具備し、該
チャックテーブル上に夫々保持されている被加工物を単
一の研削砥石で同時に研削するように構成した研削装
置。 - 【請求項２】 ２以上のチャックテーブルが隣接状態に
配設され、夫々が回転する請求項１に記載の切削装置。 - 【請求項３】 チャックテーブルの径よりも研削砥石の
径を大きく形成した請求項１に記載の切削装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32229391A JPH05138512A (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | 研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32229391A JPH05138512A (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | 研削装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05138512A true JPH05138512A (ja) | 1993-06-01 |
Family
ID=18142013
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32229391A Pending JPH05138512A (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | 研削装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05138512A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6402588B1 (en) | 1998-04-27 | 2002-06-11 | Ebara Corporation | Polishing apparatus |
| JP2010036321A (ja) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Disco Abrasive Syst Ltd | バイト工具を備えた加工装置 |
-
1991
- 1991-11-12 JP JP32229391A patent/JPH05138512A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6402588B1 (en) | 1998-04-27 | 2002-06-11 | Ebara Corporation | Polishing apparatus |
| JP2010036321A (ja) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Disco Abrasive Syst Ltd | バイト工具を備えた加工装置 |
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