JPH0514967B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0514967B2 JPH0514967B2 JP60247366A JP24736685A JPH0514967B2 JP H0514967 B2 JPH0514967 B2 JP H0514967B2 JP 60247366 A JP60247366 A JP 60247366A JP 24736685 A JP24736685 A JP 24736685A JP H0514967 B2 JPH0514967 B2 JP H0514967B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- substrate
- magnetic layer
- surface roughness
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は垂直磁気記録用の磁気記録媒体の製
造方法に関するものである。
造方法に関するものである。
従来、垂直磁気記録媒体には、その電磁変換特
性等の電気磁気的特性向上の為、垂直磁化層の垂
直配向性の改善を狙い、その垂直磁化層の下地層
として薄い非磁性層、例えばTi等を設ける構造
をもつものがあつた。第８図にその一例を示す。
アルミ基板１上に表面平坦性等機械的特性向上の
為にアルマイト層２を設け、更に軟磁性層として
例えばパーマロイ層３、中間非磁性層として例え
ばTi層４、及び垂直磁化層として例えばCo−Cr
層５を設けてある。
性等の電気磁気的特性向上の為、垂直磁化層の垂
直配向性の改善を狙い、その垂直磁化層の下地層
として薄い非磁性層、例えばTi等を設ける構造
をもつものがあつた。第８図にその一例を示す。
アルミ基板１上に表面平坦性等機械的特性向上の
為にアルマイト層２を設け、更に軟磁性層として
例えばパーマロイ層３、中間非磁性層として例え
ばTi層４、及び垂直磁化層として例えばCo−Cr
層５を設けてある。
従来の垂直磁気記録媒体、いわゆる磁気デイス
クは以上のような構造になつており中間非磁性層
４が必要であるので製造時に工程が複雑になる等
の問題点があつた。そこで種々検討してみたとこ
ろ、Co−Crを主成分とする垂直磁化層５の垂直
配向性は、軟磁性層３を設けた場合、基板の表面
粗さに依存することが判つた。これを第２図で説
明する。横軸には中間非磁性層の厚さを、縦軸に
は垂直磁化層の垂直配向度を表わすＸ線ロツキン
グカーブの半値幅Δθ50をとつてある。図におい
てａは十点平均粗さ0.005μｍ基準長さ0.025μｍの
基板を用いた場合の中間非磁性層４とΔθ50の関
係、ｂは十点平均粗さの0.003μｍ基準長さ0.025μ
ｍの基板を用いた場合の中間非磁性層４とΔθ50
の関係、ｃは十点平均粗さ0.002μｍ基準長さ
0.05μｍの基板を用いた場合の中間非磁性層４と
Δθ50の関係を示している。
クは以上のような構造になつており中間非磁性層
４が必要であるので製造時に工程が複雑になる等
の問題点があつた。そこで種々検討してみたとこ
ろ、Co−Crを主成分とする垂直磁化層５の垂直
配向性は、軟磁性層３を設けた場合、基板の表面
粗さに依存することが判つた。これを第２図で説
明する。横軸には中間非磁性層の厚さを、縦軸に
は垂直磁化層の垂直配向度を表わすＸ線ロツキン
グカーブの半値幅Δθ50をとつてある。図におい
てａは十点平均粗さ0.005μｍ基準長さ0.025μｍの
基板を用いた場合の中間非磁性層４とΔθ50の関
係、ｂは十点平均粗さの0.003μｍ基準長さ0.025μ
ｍの基板を用いた場合の中間非磁性層４とΔθ50
の関係、ｃは十点平均粗さ0.002μｍ基準長さ
0.05μｍの基板を用いた場合の中間非磁性層４と
Δθ50の関係を示している。
なお上記の表面粗さの表示方法はJIS B0601−
1982に示されているものを用いた。第２図より明
らかなように、表面粗さの大きい基板を用いた場
合、即ちａで示した場合、中間非磁性層を適切な
厚さに設けることによりΔθ50は低下し垂直配向
性は改善されているが、表面粗さの小さい基板を
用いた場合、即ちｂに示した場合では中間非磁性
層を設けてもΔθ50の値はほとんど低下すること
が無い。なお、ここで表面粗さが十点平均粗さ
0.003μｍ基準長さ0.025μｍより大きいものは、ａ
で示す曲線に類似してくる。またさらに表面粗さ
の小さい基板を用いた場合、即ちｃに示した場合
には中間非磁性層を設けてもΔθ50の値は低下せ
ず、即ち垂直配向性は改善されず、かえつて悪化
する場合すらあり、ｂ，ｃで示した場合、即ち表
面粗さの小さい基板を用いた場合、中間非磁性層
を設けない場合においても表面粗さの大きい基板
を用いて中間非磁性層を設けた場合よりも垂直配
向性は良好である。
1982に示されているものを用いた。第２図より明
らかなように、表面粗さの大きい基板を用いた場
合、即ちａで示した場合、中間非磁性層を適切な
厚さに設けることによりΔθ50は低下し垂直配向
性は改善されているが、表面粗さの小さい基板を
用いた場合、即ちｂに示した場合では中間非磁性
層を設けてもΔθ50の値はほとんど低下すること
が無い。なお、ここで表面粗さが十点平均粗さ
0.003μｍ基準長さ0.025μｍより大きいものは、ａ
で示す曲線に類似してくる。またさらに表面粗さ
の小さい基板を用いた場合、即ちｃに示した場合
には中間非磁性層を設けてもΔθ50の値は低下せ
ず、即ち垂直配向性は改善されず、かえつて悪化
する場合すらあり、ｂ，ｃで示した場合、即ち表
面粗さの小さい基板を用いた場合、中間非磁性層
を設けない場合においても表面粗さの大きい基板
を用いて中間非磁性層を設けた場合よりも垂直配
向性は良好である。
また、従来において垂直磁化層と軟磁性層間に
中間非磁性層を設けることは、垂直磁化層と軟磁
性層との磁気的結合を妨げ軟磁性層を設けること
の利点を損なうことになるという問題点があつ
た。
中間非磁性層を設けることは、垂直磁化層と軟磁
性層との磁気的結合を妨げ軟磁性層を設けること
の利点を損なうことになるという問題点があつ
た。
この発明は以上のような点に鑑みなされたもの
で、垂直磁化層の垂直配向性の良好な、かつ製法
の簡単な磁気記録媒体の製造方法を提供すること
を目的としている。
で、垂直磁化層の垂直配向性の良好な、かつ製法
の簡単な磁気記録媒体の製造方法を提供すること
を目的としている。
この発明の磁気記録媒体の製造方法は、表面粗
さが十点平均粗さ0.003μｍ基準長さ0.025μｍ以下
である基板を用い、これに軟磁性層とCo−Crを
主成分とする垂直磁化層をそれぞれスパツタリン
グ法で設けるようにしたものである。
さが十点平均粗さ0.003μｍ基準長さ0.025μｍ以下
である基板を用い、これに軟磁性層とCo−Crを
主成分とする垂直磁化層をそれぞれスパツタリン
グ法で設けるようにしたものである。
この発明においては、磁気記録媒体の基板とし
て表面粗さが十点平均粗さ0.003μｍ基準長さ
0.025μｍより小さいものを用いたので、垂直磁化
層の垂直配向性が良くなると共に、中間非磁性層
を必要としないので製造工程が簡単になる。
て表面粗さが十点平均粗さ0.003μｍ基準長さ
0.025μｍより小さいものを用いたので、垂直磁化
層の垂直配向性が良くなると共に、中間非磁性層
を必要としないので製造工程が簡単になる。
第１図は、この発明の一実施例の磁気記録媒体
の製造方法により得られた磁気記録媒体を示す断
面図である。以下、一実施例の製造方法を説明す
る。アルミ基板１の表面を周知の方法を用いて前
処理洗浄し、その上にアルマイト層２を設けて基
板を形成する。このアルマイト層２の表面を機械
加工により表面粗さが十点平均粗さ0.003μｍ基準
長さ0.025μｍ以下であるように表面加工する。
（なお、ここで十点平均粗さ0.003μｍ基準長さ
0.025μｍ以下とは、十点平均粗さ0.003μｍ基準長
さ0.025μｍよりも表面粗さが小さいということを
表わしている。）しかる後スパツタ装置で５×
10-7Torr以下に排気し、例えば基板電極間60mm、
Arガス圧５ｍTorr、入力電力200Wでパーマロ
イをスパツタし、パーマロイ層３、即ち軟磁性層
を0.5μｍ程度設ける。更にその上に例えば基板電
極間60mm、Arガス圧５ｍTorr、入力電力200W
でCo−Crをスパツタし、Co−Cr層５、即ち垂直
磁化層を0.2μｍ程度設ける。このようにして得ら
れた磁気記録媒体の垂直磁化層の垂直配向性は第
２図から明らかなように良好である。また中間非
磁性層を設ける必要がなく、製造工程が簡単であ
る。
の製造方法により得られた磁気記録媒体を示す断
面図である。以下、一実施例の製造方法を説明す
る。アルミ基板１の表面を周知の方法を用いて前
処理洗浄し、その上にアルマイト層２を設けて基
板を形成する。このアルマイト層２の表面を機械
加工により表面粗さが十点平均粗さ0.003μｍ基準
長さ0.025μｍ以下であるように表面加工する。
（なお、ここで十点平均粗さ0.003μｍ基準長さ
0.025μｍ以下とは、十点平均粗さ0.003μｍ基準長
さ0.025μｍよりも表面粗さが小さいということを
表わしている。）しかる後スパツタ装置で５×
10-7Torr以下に排気し、例えば基板電極間60mm、
Arガス圧５ｍTorr、入力電力200Wでパーマロ
イをスパツタし、パーマロイ層３、即ち軟磁性層
を0.5μｍ程度設ける。更にその上に例えば基板電
極間60mm、Arガス圧５ｍTorr、入力電力200W
でCo−Crをスパツタし、Co−Cr層５、即ち垂直
磁化層を0.2μｍ程度設ける。このようにして得ら
れた磁気記録媒体の垂直磁化層の垂直配向性は第
２図から明らかなように良好である。また中間非
磁性層を設ける必要がなく、製造工程が簡単であ
る。
なお、上記実施例では基板はアルミ基板にアル
マイト層を設けて形成したが、アルミ以外、例え
ばポリイミドなどでも可能である。また基板両面
に適用してもよい。
マイト層を設けて形成したが、アルミ以外、例え
ばポリイミドなどでも可能である。また基板両面
に適用してもよい。
また、垂直磁化層たるCo−Cr層に、例えばロ
ジウム、タンタルなどを少量添加してもよい。
ジウム、タンタルなどを少量添加してもよい。
この発明は以上説明したとおり、表面粗さが十
点平均粗さ0.003μｍ基準長さ0.025μｍ以下である
基板を用い、これに軟磁性層とCo−Crを主成分
とする垂直磁化層をそれぞれスパツタリング法で
設けるようにしたので、垂直磁化層の垂直配向性
が良好であると共に、中間非磁性層を設けていた
従来と比較して製造工程が簡単で垂直磁化層と軟
磁性層の磁気的結合が良好な磁気記録媒体の製造
方法が得られるという効果がある。
点平均粗さ0.003μｍ基準長さ0.025μｍ以下である
基板を用い、これに軟磁性層とCo−Crを主成分
とする垂直磁化層をそれぞれスパツタリング法で
設けるようにしたので、垂直磁化層の垂直配向性
が良好であると共に、中間非磁性層を設けていた
従来と比較して製造工程が簡単で垂直磁化層と軟
磁性層の磁気的結合が良好な磁気記録媒体の製造
方法が得られるという効果がある。
第１図はこの発明の一実施例の磁気記録媒体の
製造方法により得られた磁気記録媒体の断面図、
第２図は基板の表面粗さが異なる場合における垂
直磁化層の垂直配向性と中間非磁性層厚みの関係
を示す特性図、第８図は従来の製法により得られ
た磁気記録媒体の断面図である。 １……アルミ基板、２……アルマイト層、３…
…軟磁性層、４……中間非磁性層、５……垂直磁
化層。なお、各図同一符号は同一又は相当部分を
示す。
製造方法により得られた磁気記録媒体の断面図、
第２図は基板の表面粗さが異なる場合における垂
直磁化層の垂直配向性と中間非磁性層厚みの関係
を示す特性図、第８図は従来の製法により得られ
た磁気記録媒体の断面図である。 １……アルミ基板、２……アルマイト層、３…
…軟磁性層、４……中間非磁性層、５……垂直磁
化層。なお、各図同一符号は同一又は相当部分を
示す。
Claims (1)
- １ 表面粗さが十点平均粗さ0.003μｍ以下である
基板を用い、これに軟磁性層とCo−Crを主成分
とする垂直磁化層をそれぞれスパツタリング法で
設けるようにした磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24736685A JPS62107440A (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24736685A JPS62107440A (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62107440A JPS62107440A (ja) | 1987-05-18 |
| JPH0514967B2 true JPH0514967B2 (ja) | 1993-02-26 |
Family
ID=17162353
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24736685A Granted JPS62107440A (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62107440A (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS548410U (ja) * | 1977-06-20 | 1979-01-20 | ||
| FR2537732A1 (fr) * | 1982-12-10 | 1984-06-15 | Thomson Csf | Dispositif d'echauffement d'une zone annulaire superficielle d'un objet filiforme |
-
1985
- 1985-11-05 JP JP24736685A patent/JPS62107440A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62107440A (ja) | 1987-05-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |